專(zhuān)利名稱(chēng)：Pecvd用硅片載片器的改裝裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)工藝設(shè)備，具體地說(shuō)是用于平板爐PECVD(等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)中的配套裝置。
背景技術(shù)：
太陽(yáng)能光伏電池片有多晶、單晶之分，多晶硅片是正四邊形的，單晶硅片是帶有四個(gè)圓角的正四邊形。在進(jìn)行平板爐PECVD的工藝時(shí)，和它們相配套的硅片載片器也要與它們的外型相匹配才可以。有些廠家只配置了多晶的(即正四邊形的)硅片載片器，在接到單晶的訂單時(shí)，就需要配置新的單晶硅片載片器。由于硅片載片器的價(jià)格很貴，代價(jià)太高，從而增加了采購(gòu)成本。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型針對(duì)上述問(wèn)題，提供一種PECVD用硅片載片器的改裝裝置，該裝置安裝于多晶硅片載片器上，可將多晶硅片載片器轉(zhuǎn)換成單晶硅片載片器，可大幅度降低采購(gòu)成本。 按照本實(shí)用新型的技術(shù)方案一種PECVD用硅片載片器的改裝裝置，包括十字形
的板體，所述板體的角部以板體的中心為中心呈輻射狀向外延伸有四個(gè)支臂，使所述板體
成十字形，各個(gè)相鄰的支臂的交叉處設(shè)置有過(guò)渡圓弧，所述支臂的寬度與多晶硅片載片器
的框桿寬度相等，所述過(guò)渡圓弧的直徑與單晶硅片載片器的圓角直徑相等。
本實(shí)用新型的技術(shù)效果在于本實(shí)用新型安裝于相鄰的多晶硅片載片器的交叉
處，將正四邊形的多晶硅片載片器改裝成帶有圓角的正四邊形硅片載片器，用于生產(chǎn)單晶
硅片，可以節(jié)省大量采購(gòu)成本；拆除本實(shí)用新型后，又可以生產(chǎn)多晶硅片，轉(zhuǎn)換方便。

圖1為多晶硅片載片器中的一個(gè)方框的結(jié)構(gòu)示意圖；[0007] 圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3為本實(shí)用新型安裝于多晶硅片載片器中的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說(shuō)明。 本實(shí)用新型是一種PECVD用硅片載片器的改裝裝置，可將多晶硅片載片器改裝成
單晶硅片載片器，用來(lái)生產(chǎn)單晶硅片。 圖1為多晶硅片載片器中的一個(gè)方框1的結(jié)構(gòu)示意圖。 如圖2所示，本實(shí)用新型PECVD用硅片載片器的改裝裝置2，包括板體3，所述板體3的角部以板體3的中心為中心呈輻射狀向外延伸有四個(gè)支臂4，使所述板3體成十字形；各個(gè)相鄰的支臂4的交叉處設(shè)置有過(guò)渡圓弧5。支臂4的寬度與多晶硅片載片器框的框桿寬度相等，過(guò)渡圓弧5的直徑與單晶硅片載片器的圓角直徑相等。 如圖3所示，本實(shí)用新型PECVD用硅片載片器的改裝裝置2安裝于相鄰的多晶硅片載片器的方框1的交叉處，將多晶硅片載片器轉(zhuǎn)換為單晶硅片載片器，生產(chǎn)單晶硅片，可節(jié)省2/3的硅片載片器成本。拆除本實(shí)用新型后又可進(jìn)行多晶硅片的生產(chǎn)。本實(shí)用新型裝卸方便，使用效果好。
權(quán)利要求一種PECVD用硅片載片器的改裝裝置，包括板體(3)，其特征是所述板體(3)的角部以板體(3)的中心為中心呈輻射狀向外延伸有四個(gè)支臂(10)，使所述板體(3)成十字形，各個(gè)相鄰的支臂(4)的交叉處設(shè)置有過(guò)渡圓弧(5)，所述支臂(4)的寬度與多晶硅片載片器的框桿寬度相等，所述過(guò)渡圓弧(5)的直徑與單晶硅片載片器的圓角直徑相等。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種PECVD用硅片載片器的改裝裝置，其包括十字形的板體，所述板體的角部以板體的中心為中心呈輻射狀向外延伸有四個(gè)支臂，使所述板體成十字形，各個(gè)相鄰的支臂的交叉處設(shè)置有過(guò)渡圓弧，所述支臂的寬度與多晶硅片載片器的框桿寬度相等，所述過(guò)渡圓弧的直徑與單晶硅片載片器的圓角直徑相等。本實(shí)用新型安裝于相鄰的多晶硅片載片器的交叉處，將正四邊形的多晶硅片載片器改裝成帶有圓角的正四邊形的硅片載片器，用于生產(chǎn)單晶硅片，可以節(jié)省大量采購(gòu)成本；拆除本實(shí)用新型后，又可以生產(chǎn)多晶硅片，轉(zhuǎn)換方便。
文檔編號(hào)H01J37/32GK201473587SQ200920234830
公開(kāi)日2010年5月19日 申請(qǐng)日期2009年8月7日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月7日
發(fā)明者尤耀明 申請(qǐng)人:無(wú)錫綠波新能源設(shè)備有限公司