專利名稱:放電燈保持機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及放電燈保持機(jī)構(gòu),尤其涉及安裝到燈座的安裝作業(yè)困 難的大型放電燈的放電燈保持機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù):
近年來,在半導(dǎo)體或液晶的曝光、其它的細(xì)微加工領(lǐng)域,作為照 相平板印刷的光源,利用使用短電弧放電燈的曝光技術(shù)。
照相平板印刷的光源可使用高效放射光掩模具有感度的波長
365nm(i線)的光的放電燈,或者在液晶或者印刷基板的曝光中,可使 用放射波長350nm-450nm的光的放電燈。放電燈封入有水銀,作為發(fā) 光物質(zhì),并封入有氬、氙等稀有氣體作為啟動(dòng)用氣體。
光源裝置除了具有應(yīng)曝光的面積變大以外,還具有處理時(shí)間(容許 能力)縮短的傾向,作為光源的放電燈也為了增加輸入而具有使曝光量 增加的傾向。
但是,燈輸入的增大使得燈在物理性上大型化,組裝到反射鏡上 的組裝作業(yè)更為復(fù)雜化。尤其是燈大型化時(shí),在尺寸上或者重量上都 會增大對操作者的負(fù)擔(dān)。
圖14是表示使用上述放電燈的光源裝置。
光源裝置是在燈罩100中,具備放電燈10、反射鏡20及燈座5 而構(gòu)成。反射鏡20為凹面形狀,將上側(cè)開口 21朝著上部設(shè)置,反射 鏡20的下側(cè)開口部22的下方設(shè)有燈座5,其安裝在燈座固定臺30上。
反射鏡20中,安裝有燈頭4的放電燈10豎立在垂直方向地安裝。安
裝放電燈10是從反射鏡20的下側(cè)開口部22首先通過導(dǎo)線15,隨后插 入放電燈IO,在反射鏡20的內(nèi)部空間以單手保持,同時(shí)另一只手在反 射鏡20的外側(cè),對于安裝在放電燈10的燈頭4螺紋固定燈座5。
在上述構(gòu)造的情況下,從反射鏡20的下側(cè)開口部22通過導(dǎo)線15 時(shí),會有傷及反射鏡20的危險(xiǎn)。并且,必須以單手保持著放電燈10, 同時(shí)以另一只手在反射鏡20的外側(cè)進(jìn)行上述螺紋固定,因此非常地繁 雜。日本實(shí)公平7-13171號公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種即使是大型化的放電燈,也可以容易 固定放電燈的放電燈用保持機(jī)構(gòu)。
為了解決上述課題,本發(fā)明所涉及放電燈用保持機(jī)構(gòu)由至少在一 方端部安裝有燈頭的放電燈;以及將該放電燈豎立在垂直方向上并可 以拆裝地保持的燈座構(gòu)成,
上述放電燈的燈頭,具備沿著放電燈的管軸延伸而被放電燈的 端部包覆地安裝的燈頭側(cè)基體部;正交于管軸的方向上的寬度形成得 比該燈頭側(cè)基體部小、從該燈頭側(cè)基體部前端面突出,并朝著上述燈 座沿著管軸延伸的柱形的燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu);以及形成在該燈頭側(cè) 基體部的前端側(cè)外周面上的燈頭側(cè)最終固定機(jī)構(gòu),
上述燈座,具備具有與上述燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)卡合用的、沿
著管軸延伸的凹部構(gòu)成的燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)的燈座側(cè)基體部;以及
與上述燈頭側(cè)最終固定機(jī)構(gòu)卡合用的、設(shè)于該燈座側(cè)基體部的外周面 上,以該燈座側(cè)基體部為中心在周方向旋轉(zhuǎn)的筒狀燈座側(cè)最終固定機(jī) 構(gòu),
上述燈頭與上述燈座通過上述燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)與上述燈座側(cè)
臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)的卡合得以臨時(shí)固定,并通過上述燈頭側(cè)最終固定機(jī)構(gòu) 與上述燈座側(cè)最終固定機(jī)構(gòu)的卡合得以最終固定,其特征在于
上述燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu),在管軸方向上分離的兩處,形成有基 端側(cè)嵌合部與前端側(cè)嵌合部,并且在該基端側(cè)嵌合部與該前端側(cè)嵌合 部之間形成有燈頭側(cè)插入部,
上述燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu),在燈座中心軸方向上分離的兩處,形 成有與上述基端側(cè)嵌合部與上述前端側(cè)嵌合部分別嵌合用的基端側(cè)嵌 合用凹部與前端側(cè)嵌合用凹部,并且在該基端側(cè)嵌合用凹部與該前端 側(cè)嵌合用凹部之間形成有用于插入上述燈頭側(cè)插入部的燈座側(cè)被插入 部,
上述燈頭與上述燈座滿足以下的關(guān)系1表示的關(guān)系 關(guān)系1:
以上述燈座側(cè)被插入部的正交于燈座中心軸的方向的寬度與上述 燈頭側(cè)插入部的正交于管軸的方向的寬度的差為D,
以上述基端側(cè)嵌合用凹部的正交于燈座中心軸的方向的寬度與上 述基端側(cè)嵌合部的正交于管軸的方向的寬度的差為E,
以上述前端側(cè)嵌合用凹部的正交于燈座中心軸的方向的寬度與上 述前端側(cè)嵌合部的正交于管軸的方向的寬度的差為F時(shí),
D比E及F都大。
另外,本發(fā)明的放電燈用保持機(jī)構(gòu)除了上述的關(guān)系1以外,滿足 以下關(guān)系2表示的關(guān)系。
關(guān)系2:
以上述基端側(cè)嵌合用凹部的正交于燈座中心軸的方向的寬度與上
述前端側(cè)嵌合部的正交于管軸的方向的寬度的差為A,
以上述基端側(cè)嵌合用凹部的正交于燈座中心軸的方向的寬度與上
述燈頭側(cè)插入部的正交于管軸的方向的寬度的差為B,
以上述燈座側(cè)被插入部的正交于燈座中心軸的方向的寬度與上述
前端側(cè)嵌合部的正交于管軸的方向的寬度的差為C時(shí), A、 B及C皆比E及F中任一個(gè)大。
上述燈頭側(cè)最終固定機(jī)構(gòu),其特征在于在上述燈頭側(cè)基體部前 端側(cè)的側(cè)邊緣形成有燈頭側(cè)螺紋部,上述燈座側(cè)最終固定機(jī)構(gòu)在其內(nèi) 周面上形成有燈座側(cè)螺紋部。
另外,本發(fā)明的放電燈用保持機(jī)構(gòu),其特征在于上述燈頭及上 述燈座由導(dǎo)電性構(gòu)件構(gòu)成,在上述燈頭側(cè)基體部的前端面與上述燈座 基體部的基端面抵接的狀態(tài)下,將上述頭燈與上述燈座最終固定,從 而形成供電機(jī)構(gòu)。
此外,本發(fā)明的放電燈用保持機(jī)構(gòu),其特征在于在上述燈座上 形成有從上述燈座側(cè)基體部的基端面朝著上述燈頭側(cè)基體部突出的突 起部,上述燈頭在上述燈頭側(cè)基體部的前端面上形成有用于與上述突 起部卡合的凹部。
再者,本發(fā)明的放電燈用保持機(jī)構(gòu),其特征在于額定電流為50A 以上。
發(fā)明效果
本發(fā)明所涉及放電燈用保持機(jī)構(gòu)使得燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)與燈座 側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)動(dòng)作,即使放開手也可以保持放電燈(臨時(shí)固定),因此 不存在以往那樣以單手保持著燈,同時(shí)以另一手固定燈的困難。
并且,在燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)上,在管軸方向上分離的兩處形成 有燈頭側(cè)嵌合部,在燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)上,在對應(yīng)于各燈頭側(cè)嵌合 部的管軸方向上分離的兩處上形成有燈座側(cè)嵌合部,因此在燈座上臨 時(shí)固定放電燈的作業(yè)中,可確實(shí)識別臨時(shí)固定的結(jié)束,可提升臨時(shí)固 定的作業(yè)效率。
并且,燈頭與燈座是滿足上述關(guān)系1的構(gòu)成,因此在燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)的內(nèi)部中,燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)可在相對于管軸正交的方向 上自由移動(dòng),因此進(jìn)行臨時(shí)固定的作業(yè)時(shí),燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)的中 心軸即使是從燈座中心軸偏心的狀態(tài)時(shí),仍可以不損傷放電燈地將燈 頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)切實(shí)卡合在燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)上。
另外,本發(fā)明所涉及的放電燈用保持機(jī)構(gòu)是除了上述的關(guān)系1之 外,滿足上述關(guān)系2的構(gòu)成,因此在燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)的內(nèi)部中, 燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)可更容易地在相對于管軸正交的方向自由移動(dòng), 因此在進(jìn)行臨時(shí)固定的作業(yè)時(shí),可以更切實(shí)地防止放電燈的損傷。
并且,在燈頭側(cè)最終固定機(jī)構(gòu)前端側(cè)的外周面上形成有燈頭側(cè)螺 紋部,在燈座側(cè)最終固定機(jī)構(gòu)的內(nèi)周面上形成燈座側(cè)螺紋部,因此通 過螺合各個(gè)螺紋部,可確實(shí)進(jìn)行放電燈的燈頭與燈座的最終固定。
再者,燈頭及燈座由導(dǎo)電性構(gòu)件構(gòu)成,在燈頭側(cè)基體部的前端面 與燈座側(cè)基體部的基端面抵接的狀態(tài)下燈頭與燈座被最終固定,從而 形成燈頭與燈座間的供電機(jī)構(gòu),因此不需要像以往那樣使用導(dǎo)線,因 此在對于反射鏡安裝放電燈時(shí)不會有傷及反射鏡的危險(xiǎn)。
并在燈座上,形成有從燈座側(cè)基體部的基端面朝著燈頭側(cè)基體部 突出的突起部,燈頭在燈頭側(cè)基體部的前端面上形成有用于與上述突 起部卡合的凹部,因此旋轉(zhuǎn)燈座側(cè)最終固定機(jī)構(gòu)將燈座側(cè)最終固定機(jī) 構(gòu)相對于燈頭側(cè)最終固定機(jī)構(gòu)固定的最終固定作業(yè)時(shí),燈頭不會在周 方向旋轉(zhuǎn),可提升最終固定的作業(yè)效率。
圖1表示具有本發(fā)明涉及的放電燈保持機(jī)構(gòu)的光源裝置。 圖2表示本發(fā)明涉及的放電燈。
圖3表示具有本發(fā)明涉及的放電燈保持機(jī)構(gòu)的光源裝置。 圖4表示本發(fā)明涉及的燈頭。 圖5表示本發(fā)明涉及的燈座。
圖6表示固定本發(fā)明涉及的燈頭與燈座的順序。
圖7表示本發(fā)明涉及的放電燈保持機(jī)構(gòu)的作用的說明。
圖8表示本發(fā)明涉及的放電燈保持機(jī)構(gòu)的作用的說明。 圖9表示本發(fā)明涉及的放電燈保持機(jī)構(gòu)的作用的說明。 圖IO是表示本發(fā)明涉及的放電燈保持機(jī)構(gòu)的作用的說明。 圖11表示比較例涉及的放電燈保持機(jī)構(gòu)。 圖12表示本發(fā)明涉及的放電燈保持機(jī)構(gòu)的其他實(shí)施例。 圖13是表示本發(fā)明涉及的放電燈保持機(jī)構(gòu)的其他實(shí)施例。 圖14表示具有以往涉及的放電燈保持機(jī)構(gòu)的光源裝置。
具體實(shí)施例方式
圖1是表示在安裝于曝光裝置的保持臺30上的燈座5上安裝放電 燈10,兩者被固定的狀態(tài)的放電燈保持機(jī)構(gòu)。
放電燈IO(以下,也僅稱為"燈")通過反射鏡20的下側(cè)開口部22, 安裝在燈座5上。在此,以安裝有燈頭4的燈10與燈座5作為放電燈 保持機(jī)構(gòu),燈10、反射鏡20及燈座5稱為光源裝置。燈座5例如通過 螺紋固定而固定在曝光裝置的保持臺30上。并在燈座5的下部設(shè)有銷 31,推壓保持臺30的側(cè)面。并且,反射鏡20通過省略圖示的機(jī)構(gòu)固 定在曝光裝置等上。
圖2是表示固定在燈座5上之前的狀態(tài)的放電燈10的圖。放電燈 IO例如在管軸方向的中央具有石英玻璃構(gòu)成的發(fā)光管部11,在其兩端 桿狀的密封部12延伸地一體形成。發(fā)光管部11是球型、或考在管軸 方向(圖示的上下方向)上細(xì)長延伸的紡錘型,其內(nèi)部形成氣密空間,封 入作為發(fā)光物質(zhì)的水銀或作為啟動(dòng)用氣體的氙或氬。并且,在發(fā)光管 部11的內(nèi)部,陽極13與陰極14相對配置,其前端之間的間隔作為放 電間隙而形成。放電間隙也是電極間距離,例如為5mm左右。下方側(cè) 的密封部12前端上安裝有圓筒狀燈頭4。并且,圖中上方側(cè)的密封部 的前端上也安裝有圓筒狀燈頭4,但在本發(fā)明中并不是必須的。
該燈IO是任一電極位于上方,另一電極位于下方的垂直配置,該
實(shí)施例中,將陰極14配置在下方,陽極13配置在上方。
回到圖l,反射鏡20例如在玻璃基材的反射面上涂敷多層膜,整 體為凹面形狀,可良好地反射來自燈10的放射光。反射鏡20大多使 用橢圓聚光鏡,此時(shí),必須使放電燈10的電弧與反射鏡20的第1焦 點(diǎn)一致。該電弧一般形成在放電間隙間,因此以放電間隙位于反射鏡 20的第一焦點(diǎn)的方式設(shè)置燈。雖然表示了反射鏡20的方向向上方打開 的反射鏡,但是也可以向下方(燈座側(cè))打開。
燈10與反射鏡20近年來呈大型化。如上所述,本發(fā)明的放電燈 保持機(jī)構(gòu)在燈與反射鏡大型化的情況下尤其有用。
對于燈10表示數(shù)值例時(shí),燈功率為額定值為3KW 40KW、燈電 流為額定值為50A 200A、發(fā)光管部11的最大外徑(垂直于電極延伸方 向的方向上的直徑)為50mm 250mm。并且,燈的重量為0.5kg 10kg。 對于反射鏡20表示數(shù)值例時(shí),上側(cè)開口部21為(()300mm 1000mm,燈 延伸方向的深度為200mm 800mm。
圖3是表示從與圖1不同方向觀察圖1所示光源裝置的狀態(tài),切 開了反射鏡20—部分,表現(xiàn)反射鏡20的內(nèi)部構(gòu)造。
反射鏡20具有大徑的上側(cè)開口部21與小徑的下側(cè)開口部22。下 側(cè)開口部22至少必須具有燈10的密封部12或者燈頭4可通過的大小。 下側(cè)開口部22過大時(shí),燈10的放射光會從下側(cè)開口部22泄漏,降低 光的利用效率。
圖4是用于說明安裝在本發(fā)明的放電燈的密封部的燈頭的構(gòu)成的
放大圖。
燈頭4,具備整體形成為圓筒狀、沿著放電燈IO的管軸延伸且 安裝在密封部12上的燈頭側(cè)基體部41;以及連續(xù)形成在燈頭側(cè)基體部 41上,沿著管軸延伸的柱形的燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42。燈頭側(cè)基體部
41,具備安裝在燈10的密封部12上的燈頭側(cè)胴部411以及連續(xù)于 該燈頭側(cè)胴部411的前端側(cè),在正交于管軸的方向上的寬度(以下,也 僅稱寬度)比燈頭側(cè)胴部411大的形成為鍔狀的燈頭側(cè)凸緣部412。燈 頭側(cè)基體部41與燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42物理上由一個(gè)構(gòu)件構(gòu)成,例 如由黃銅等導(dǎo)電性構(gòu)件構(gòu)成。
燈頭側(cè)凸緣部412在前端側(cè)具有平坦的燈頭側(cè)供電面413,并且 在其外周面上形成有燈頭側(cè)螺紋部414。在圖4表示的例中,形成在該 凸緣部412的燈頭側(cè)螺紋部414是燈頭側(cè)最終固定機(jī)構(gòu)。燈頭側(cè)供電 面413在相對于放電燈10的管軸正交的方向上擴(kuò)開,與燈座5的燈座 側(cè)供電面呈面接觸,從而形成燈10與燈頭4的供電機(jī)構(gòu)。
燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42形成寬度小于燈頭側(cè)基體部41的柱形, 設(shè)置在形成于燈頭側(cè)基體部41的燈頭側(cè)供電面413的大概中心位置, 朝向燈座側(cè)沿著管軸呈凸?fàn)钛由?。燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42,具備用 于嵌合在燈座5的基端側(cè)嵌合用凹部531的、連續(xù)于燈頭側(cè)供電面413 形成的圓柱形基端側(cè)嵌合部421;用于穿透燈座3的燈座側(cè)被插入部 532的、連續(xù)于基端側(cè)嵌合部421,形成寬度小于基端側(cè)嵌合部421的 圓柱形的燈頭側(cè)插入部422;以及用于嵌合于燈座3的前端側(cè)凹部533 的、連續(xù)于燈頭側(cè)插入部422,形成寬度小于燈頭側(cè)插入部422的圓柱 形的前端側(cè)嵌合部423。亦即,燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42隔著燈頭側(cè)插 入部422在管軸方向上分離的兩處形成有燈頭側(cè)嵌合部。
燈頭側(cè)供電面413上的兩處,形成有用于與設(shè)置在燈座3的燈座 側(cè)供電面315上的各突起部517卡合的各凹部415。在設(shè)置于燈頭側(cè)供
電面413的凹部415上卡合突起部517,從而如下文所述,在將燈10 與燈座5進(jìn)行最終固定的作業(yè)時(shí),防止安裝于燈10的燈頭4在周方向 上旋轉(zhuǎn)。
并且,在燈頭側(cè)供電面413上的兩處卡合燈座5的突起部520, 從而形成用于防止具有與燈座5的關(guān)系不適合的燈頭4的放電燈10被 固定于燈座5上的凹部416。
圖5為用于說明本發(fā)明涉及的燈座的構(gòu)成的圖。圖5是從斜方向 觀察將燈座從其中心軸方向切斷的剖面的圖。
燈座5,具備用于與燈頭側(cè)基體部41卡合的燈座側(cè)基體部51, 以及安裝在燈座基體部51的基端惻上,以燈座側(cè)基體部51為中心旋 轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部52。燈座側(cè)基體部51,具備:與曝光裝置的保持臺30電 連接的圓柱形的燈座側(cè)胴部511;以及連續(xù)于燈座側(cè)胴部511的基端側(cè), 具有大于燈座側(cè)胴部511的基端部518的寬度而形成為鍔狀的燈座側(cè) 凸緣部512。
燈座側(cè)胴部511在比燈座側(cè)凸緣部512稍微下方的位置上,形成 有用于防止旋轉(zhuǎn)部52落下到下方的旋轉(zhuǎn)部擋件513。旋轉(zhuǎn)部擋件513 形成為寬度稍微大于燈座側(cè)胴部511的基端部518。在該旋轉(zhuǎn)部擋件 513的稍微上方的位置上,形成有表示旋轉(zhuǎn)部52與燈頭4完全最終固 定時(shí)旋轉(zhuǎn)部52的位置的標(biāo)記514。標(biāo)記514是在燈座側(cè)胴部511周方 向設(shè)置的環(huán)狀缺口,在燈座側(cè)胴部511外周面涂敷呈環(huán)形的染料等, 只要可以目視加以辨識即可。燈座側(cè)胴部511的前端部515被安裝在 曝光裝置的保持臺30上,與保持臺30電連接。燈座側(cè)凸緣部512的 基端側(cè)上形成有平坦的燈座側(cè)供電面516。
燈座側(cè)胴部511及燈座側(cè)凸緣部512例如由銅、黃銅等或者在這 些基材上涂敷鎳、銀、金等低氧化性、抗藥性等物的導(dǎo)電性材料構(gòu)成。
使具有導(dǎo)電性的燈座側(cè)基體部51的燈座側(cè)供電面516與具有導(dǎo)電性的
燈頭側(cè)基體部51的燈頭側(cè)供電面413面接觸,從而可以將燈頭4與燈 座5電連接。因此,不須如以往那樣使用導(dǎo)線,只要將燈頭側(cè)供電面 413與燈座側(cè)供電面516面接觸,即可經(jīng)由燈座5對放電燈10進(jìn)行供 電。
在燈座側(cè)凸緣部512上,從燈座側(cè)供電面516上的兩處朝著燈頭 側(cè)基體部41呈凸?fàn)钛由煨纬捎胁迦朐O(shè)置在燈頭側(cè)供電面413的各凹部 415用的2個(gè)突起部517。將各突起部517分別卡合在燈頭基體部41 的各凹部415,旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)部32,進(jìn)行燈頭4與燈座5的最終固定作業(yè) 時(shí),利用各突起部517限制燈頭4在周方向的旋轉(zhuǎn),以提升最終固定 的作業(yè)效率。
另外,在燈座側(cè)凸緣部512,從燈座側(cè)供電面516上的兩處朝著 燈頭側(cè)基體部41呈凸?fàn)钛由煨纬捎胁迦朐O(shè)置在燈頭側(cè)供電面413的各 凹部416用的2個(gè)突起部520(圖5由于為剖面,僅形成有1處突起部 520)。對于各凹部416分別卡合各突起部520,由此僅固定處于彼此可 適合關(guān)系的燈頭4與燈座5,不致有將具備與燈座5的關(guān)系不適合的燈 頭4的放電燈10固定于燈座5的危險(xiǎn)。
燈座側(cè)凸緣部512在大概中心的位置上,具備沿著燈座5的中心 軸朝向燈座側(cè)胴部511的前端部515側(cè)延伸的由凹部構(gòu)成的燈座側(cè)臨 時(shí)固定機(jī)構(gòu)53。燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53,具備用于嵌合在燈頭4的 基端側(cè)嵌合部421的基端側(cè)嵌合用凹部531;用于插入燈頭側(cè)插入部 422的、在正交于燈座側(cè)基體部51的中心軸的方向上的寬度大于基端 側(cè)嵌合用凹部531的燈座側(cè)被插入部532;以及用于嵌合在燈頭4的前 端側(cè)嵌合部423的、正交于燈座側(cè)基體部51的中心軸的方向上的寬度 小于燈座側(cè)被插入部532,并且與基端側(cè)嵌合用凹部531 —致的前端側(cè) 嵌合用凹部533。亦即,燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53在隔著燈座側(cè)被插入 部532在燈座側(cè)基體部51的中心軸方向上分離的兩處,形成有用于嵌 合燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42的燈座側(cè)嵌合用凹部。
在此,對于燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42與燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53的 規(guī)格進(jìn)行如下說明?;藗?cè)嵌合部421為了形成相對于基端側(cè)嵌合用 凹部531嵌合的關(guān)系,將正交于燈座側(cè)基體部51的中心軸的方向的寬 度(以下,也僅稱為寬度)形成為比基端側(cè)嵌合用凹部531小0~1%(通常 為0.05 0.3%)。燈頭側(cè)插入部422為了不形成相對于燈座側(cè)被插入部 532的嵌合關(guān)系,寬度形成為比燈座側(cè)被插入部532小0.5~100%(通常 為5~20%)。前端側(cè)嵌合部423為了形成相對于前端側(cè)嵌合用凹部533 的嵌合關(guān)系,將寬度形成為比前端側(cè)嵌合用凹部533小0~1%(通常為 0.05 0.3%)。通過具有以上的規(guī)格,在臨時(shí)固定燈頭4與燈座5時(shí),可 以使燈頭4在直徑方向移動(dòng)而不偏心,并且在管軸方向上可以將燈頭4 固定在適當(dāng)?shù)奈恢?,因此可進(jìn)行放電燈IO在管軸方向上的定位。
此外,根據(jù)上述放電燈保持機(jī)構(gòu)的例子,燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42 與燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53可滿足以下的關(guān)系。
以基端側(cè)嵌合用凹部531的寬度Dl與前端側(cè)嵌合部423的寬度 d3的差為A,
以基端側(cè)嵌合用凹部531的寬度Dl與燈頭側(cè)插入部422的寬度 d2的差為B,
以燈座側(cè)被插入部532的寬度D2與前端側(cè)嵌合部423的寬度d3 的差為C,
以燈座側(cè)被插入部532的寬度D2與燈頭側(cè)插入部422的寬度d2 的差為D,
以基端側(cè)嵌合用凹部531的寬度Dl與基端側(cè)嵌合部421的寬度 dl的差為E,
以前端側(cè)嵌合用凹部533的寬度D3與前端側(cè)嵌合部423的寬度 d3的差為F時(shí),
A、 B、 C及D中的任一個(gè)均比E及F中的任一個(gè)大。
通過具備以上的構(gòu)成,如下文所述,將安裝在放電燈10的燈頭4
插入燈座5進(jìn)行臨時(shí)固定作業(yè)時(shí),即使在燈頭4的中心軸相對于燈座5 的中心軸傾斜的狀態(tài)下插入燈頭時(shí),只要傾斜不是極端大時(shí)放電燈10 的密封部12就不會有破損的危險(xiǎn)。
旋轉(zhuǎn)部52是將旋轉(zhuǎn)主體部521安裝在燈座側(cè)凸緣部512的外周面 上,旋轉(zhuǎn)主體部521的基端側(cè)的一部分超過燈座側(cè)供電面516朝著管 軸方向延伸,以燈座側(cè)基體部51為中心以手動(dòng)使其在周方向旋轉(zhuǎn)。在 旋轉(zhuǎn)主體部521的前端側(cè)連續(xù)形成具有外徑小于旋轉(zhuǎn)主體部521的旋 轉(zhuǎn)縮徑部522,旋轉(zhuǎn)縮徑部522被安裝在燈座側(cè)胴部511的基端部518 的外周面。旋轉(zhuǎn)部32通過在周方向的旋轉(zhuǎn),在旋轉(zhuǎn)縮徑部522的基端 面523抵接燈座側(cè)凸緣部512的前端面519的位置與旋轉(zhuǎn)縮徑部522 的前端面524抵接在旋轉(zhuǎn)部擋件513的位置之間,可以在上下方向移 動(dòng)。
旋轉(zhuǎn)主體部521的內(nèi)周面上形成有用于與形成在燈頭4上的燈頭 側(cè)螺紋部414螺合的燈座側(cè)螺紋部525。旋轉(zhuǎn)部521的外周面上例如施 以滾花加工使其容易進(jìn)行手動(dòng)的旋轉(zhuǎn)作業(yè)。燈座側(cè)最終固定機(jī)構(gòu)由具 有燈座側(cè)螺紋部525的旋轉(zhuǎn)部52構(gòu)成。
圖6是用于說明相對于燈座5固定安裝在放電燈10上的燈頭4的 順序的圖。將燈頭4固定在燈座5上時(shí)的順序是(a) (c)的順序,將燈頭 4從燈座5卸下時(shí)的順序則是(c) (a)的順序。(a)是表示燈頭4插入燈座 5瞬間前的狀態(tài)。(b)是表示燈頭4插入燈座5,臨時(shí)固定完成的狀態(tài)。 (c)是表示燈頭4與燈座5的最終固定完成的狀態(tài)。
如圖6(b)表示,燈頭4的燈頭側(cè)供電面413抵接到燈座5的燈座 側(cè)供電面516為止使放電燈10向燈座5側(cè)移動(dòng),從而將前端側(cè)嵌合部 423嵌合在前端側(cè)嵌合用凹部533,燈頭側(cè)插入部422插入到燈座側(cè)被
插入部532,變成基端側(cè)嵌合部421嵌合到基端側(cè)嵌合用凹部531的狀 態(tài),并形成將從燈座側(cè)供電面516呈凸?fàn)钛由斓母魍黄鸩?17插入到 燈頭側(cè)供電面413上形成的各凹部415的狀態(tài),從而完成相對于燈座5 臨時(shí)固定燈頭4的作業(yè)。燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42相對于燈座側(cè)臨時(shí)固 定機(jī)構(gòu)53,以前端側(cè)嵌合部423的外端面424不抵接前端側(cè)嵌合用凹 部533的底面535的狀態(tài)加以卡合。完成臨時(shí)固定之后,放電燈10經(jīng) 由燈頭4由燈座5保持,因此不須以操作者的手支撐著放電燈10。
如上所述,將燈頭側(cè)供電面413抵接在燈座側(cè)供電面516上,從 而決定放電燈10的管軸方向的位置,并且將前端側(cè)嵌合部423嵌合在 前端側(cè)嵌合用凹部533,并將基端側(cè)嵌合部421嵌合在基端側(cè)嵌合用凹 部531,從而限制放電燈10的管軸相對于燈座5的中心軸傾斜,并且 可以限制燈頭4在相對于管軸正交的方向上的移動(dòng)。
如上所述,燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42管軸方向上分離的兩處上形成 的基端側(cè)嵌合部421與前端側(cè)嵌合部423,分別嵌合在燈座側(cè)臨時(shí)固定 機(jī)構(gòu)53的燈座中心軸方向上分離的兩處上形成的基端側(cè)嵌合用凹部 531與前端側(cè)嵌合用凹部533。由此,燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42在燈座 側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53的深度側(cè)位置與入口側(cè)位置的兩處,限制放電燈在 正交于管軸的方向上的移動(dòng),縮小放電燈IO相對于燈座5的活動(dòng)范圍, 因此操作者可辨識該狀態(tài)而辨識臨時(shí)固定作業(yè)的結(jié)束。
此外,燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42與燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53是如上 所述滿足A、 B、 C、 D中的任一個(gè)均大于E、 F的任一個(gè)的關(guān)系,因此 如利用圖7 圖10的說明所示,即使在燈頭4的中心軸相對于燈座5的 中心軸傾斜的狀態(tài)插入燈頭時(shí),只要傾斜不是極端大的情況就不會有 使得放電燈10的密封部12破損的危險(xiǎn)。
圖7是表示燈頭4的燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42卡合在燈座5的燈座 側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53之前的狀態(tài)。圖8是表示燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)24的中心軸相對于燈座5的中心軸傾斜而卡合在燈座5的燈座側(cè)臨時(shí)固
定機(jī)構(gòu)53的狀態(tài)。圖9是表示燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42的前端側(cè)嵌合 部423的一部分嵌合在燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53的前端側(cè)嵌合用凹部 533,并且基端側(cè)嵌合部421的一部分嵌合在基端側(cè)嵌合用凹部531的 狀態(tài)。圖10是表示燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42的前端側(cè)嵌合部423完全 嵌合到燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53的前端側(cè)嵌合用凹部533,并且基端側(cè) 嵌合部421完全嵌合到基端側(cè)嵌合用凹部531的狀態(tài)。
亦即,如圖8表示,在燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42的中心軸相對于燈 座5的中心軸傾斜的狀態(tài)下,即使燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42插入燈座側(cè) 臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53時(shí),燈座5的基端側(cè)嵌合用凹部531與燈座側(cè)被插入 部532中,燈頭4的前端側(cè)嵌合部423與燈頭側(cè)插入部422具有可在 正交于管軸的方向上自由移動(dòng)的空間,因此只要燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu) 42的傾斜不是極端大,就不會對放電燈10的密封部12施加應(yīng)力,因 此不會有放電燈10的密封部12破損等問題的危險(xiǎn)。
并且,如圖9表示,前端側(cè)嵌合部423的一部分嵌合在前端側(cè)嵌 合用凹部533,并且基端側(cè)嵌合部421的一部分嵌合在基端側(cè)嵌合用凹 部531,從而可以決定正交于各個(gè)中心軸的寬度方向上的放電燈10的 位置,在該狀態(tài)下將燈頭側(cè)供電面413抵接在燈座側(cè)供電面516,來決 定管軸方向上的放電燈IO的位置,完成臨時(shí)固定作業(yè)。
對此,如圖11所示,根據(jù)燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42'與燈座側(cè)臨時(shí) 固定機(jī)構(gòu)53'跨過燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42'的全長嵌合在燈座側(cè)臨時(shí)固 定機(jī)構(gòu)53'的情況,燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42'在燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53' 中不具有在正交于管軸的方向上自由移動(dòng)的空間,因此在進(jìn)行臨時(shí)固 定的作業(yè)時(shí),即使燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42的中心軸相對于燈座5的中 心軸稍微傾斜,應(yīng)力就會施加到放電燈10的密封部12,密封部12破 損的危險(xiǎn)性高?;氐綀D6(C),對于燈頭4與燈座5的最終固定的作業(yè)進(jìn)行如下說
明。臨時(shí)固定結(jié)束后,需要進(jìn)行通過將燈頭側(cè)螺紋部414與燈座側(cè)螺 紋部525的螺合,將安裝在放電燈10上的燈頭4固定在燈座5的作業(yè)。 僅臨時(shí)固定燈頭4與燈座5時(shí),對于曝光裝置施加振動(dòng)時(shí),會有造成 放電燈傾倒而破損的危險(xiǎn),極為危險(xiǎn)。同圖表示的例中,燈頭側(cè)螺紋 部414為外螺紋,燈座側(cè)螺紋部525為內(nèi)螺紋,但是也可以相反。
如圖6(c)表示,旋轉(zhuǎn)部52在周方向旋轉(zhuǎn),將形成在旋轉(zhuǎn)主體部521 的內(nèi)周面上的燈座側(cè)螺紋部525與燈頭側(cè)螺紋部414螺合,并且使旋 轉(zhuǎn)部52上升至旋轉(zhuǎn)縮徑部522的基端面523抵接到燈座側(cè)凸緣部512 的前端面519為止,由此完成相對于燈座5的燈頭4的最終固定作業(yè)。
在最終固定的作業(yè)中,由于在臨時(shí)固定的階段從燈座側(cè)供電面516 呈凸?fàn)钛由斓母魍黄鸩?17被卡合于形成在燈頭側(cè)供電面413上的各 凹部415,因此在為了使燈座側(cè)螺紋部525與燈頭側(cè)螺紋部414螺合而 使旋轉(zhuǎn)部52旋轉(zhuǎn)時(shí),不會有燈頭4及放電燈IO在周方向旋轉(zhuǎn)的危險(xiǎn)。
最終固定后,由于燈頭側(cè)供電面413與燈座側(cè)供電面516抵接, 燈頭側(cè)供電面413將燈座側(cè)供電面516朝著下方側(cè)推壓,使旋轉(zhuǎn)縮徑 部522的基端面523抵接在燈座側(cè)凸緣部512的前端面519,形成基端 面532將前端面519朝著上方側(cè)推壓,因此燈頭側(cè)供電面413及燈座 側(cè)供電面516不會分開,可以燈頭4放置在燈座側(cè)基體部51上的狀態(tài) 下牢固地加以固定。因此,最終固定后,燈頭4與燈座5變?yōu)閷?dǎo)通的 狀態(tài),并且不會有放電燈IO傾倒的憂慮。
最終固定的作業(yè)結(jié)束時(shí),隱藏在旋轉(zhuǎn)主體部521及旋轉(zhuǎn)縮徑部522 與燈座側(cè)胴部511之間原本不能目視辨識的標(biāo)記514出現(xiàn)在燈座側(cè)胴 部511的外周面上,操作者通過目視辨識標(biāo)記514可認(rèn)識到最終固定 的作業(yè)結(jié)束。卸下壽命末期的放電燈10時(shí),根據(jù)圖6(c) (a)的順序進(jìn)行。亦即, 將旋轉(zhuǎn)部52朝著與最終固定時(shí)相反方向旋轉(zhuǎn),從燈座側(cè)螺紋部525解 除燈頭側(cè)螺紋部414,并且使旋轉(zhuǎn)部52朝著下方側(cè)移動(dòng)至旋轉(zhuǎn)縮徑部 522的前端面524抵接到旋轉(zhuǎn)部擋件513為止,形成圖6(b)所示的臨時(shí) 固定狀態(tài)。并且,通過將處于燈頭4臨時(shí)固定在燈座5上的狀態(tài)下的 放電燈10從上方側(cè)拔除時(shí),可以將壽命末期的放電燈10從燈座5卸 下。
根據(jù)以上的本發(fā)明的放電燈保持機(jī)構(gòu),基本上,燈頭側(cè)臨時(shí)固定 機(jī)構(gòu)42插入到燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53,處于將燈頭4與燈座5臨時(shí)固 定的狀態(tài),從而操作者可以將手從放電燈放開。因此,將重量大的放 電燈10固定在燈座5的情況下,由于不需要以單手持續(xù)支撐著放電燈 并以另外一只手進(jìn)行固定放電燈的繁雜作業(yè),可提高安裝放電燈的作 業(yè)效率。
并且,通過燈頭側(cè)供電面413與燈座側(cè)供電面516的接觸,可以 導(dǎo)通燈頭4與燈座5,因此可通過燈座5對放電燈IO供電。因此,即 使在使用例如需要流過50 250A(安培)的大電流的大型放電燈的情況 下,只要最終固定燈頭4與燈座5,即可以使燈頭側(cè)供電面413牢固地 面接觸在燈座側(cè)供電面516上,可確實(shí)對放電燈供給大電流。并且, 由于不會如以往的放電燈10那樣需要供電用的導(dǎo)線,將放電燈10固 定在燈座5時(shí),不會傷及反射鏡20的反射面,因此不會有損傷反射面 的光反射特性的危險(xiǎn)。
此外,根據(jù)本發(fā)明的放電燈保持機(jī)構(gòu),相對于燈座5進(jìn)行燈頭4 的臨時(shí)固定的作業(yè)時(shí),即使在放電燈10的管軸相對于燈座5的中心軸 傾斜的狀態(tài)下插入到燈座5時(shí),也不會有造成放電燈10的密封部12 破損的危險(xiǎn),并且操作者可容易辨識臨時(shí)固定的作業(yè)完成。
以下,使用圖12、圖13說明本發(fā)明的其它實(shí)施方式。圖12、圖 13表示的實(shí)施方式中,除了燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)及燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī) 構(gòu)的構(gòu)成以外,其它的構(gòu)成與上述圖4、圖5所示的實(shí)施方式共通,并
且,對于臨時(shí)固定、最終固定的作業(yè)順序也是和圖6表示的實(shí)施方式共通。
圖12是用于說明本發(fā)明其它實(shí)施方式的圖。圖12(a) (c)表示的方 式是分別與圖4表示的燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)的構(gòu)成同樣地,同時(shí)滿足 上述A、 B、 C及D中的任一個(gè)均大于E、 F中的任一個(gè)的關(guān)系,以及 前端側(cè)嵌合部的寬度d3小于基端側(cè)嵌合部的寬度dl的關(guān)系。
圖12(a)表示的方式是燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42a具備從燈頭供電 面413a的中央突出的圓柱狀的基端側(cè)嵌合部421a以及寬度小于基端側(cè) 嵌合部421a的圓柱形而連續(xù)于基端側(cè)嵌合部421a所形成燈頭側(cè)插入部 422a,燈頭側(cè)插入部422a的前端側(cè)具備前端側(cè)嵌合部423a。亦即,燈 頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42a形成為燈頭側(cè)插入部422a的寬度與前端側(cè)嵌合 部423a —致。
燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53a形成有用于嵌合在基端側(cè)嵌合部421a 的、形成在燈座側(cè)供電面516a中央的基端側(cè)嵌合用凹部531a;用于插 入燈頭側(cè)插入部422a的、具有與基端側(cè)嵌合用凹部531a同一寬度的燈 座側(cè)被插入部532a;以及用于嵌合前端側(cè)嵌合部423a的、寬度小于燈 座側(cè)被插入部532a的前端側(cè)嵌合用凹部533a。燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42a 相對于燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53a以前端側(cè)嵌合部423a的外端面425a 不抵接在前端側(cè)嵌合用凹部533a的底面535a的方式進(jìn)行卡合。
圖12(b)表示的方式是燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42b具備連續(xù)于從燈 頭側(cè)供電面413b的中央突出的基端部420b、徑向上鍔狀擴(kuò)開的基端側(cè) 嵌合部421b;寬度小于基端側(cè)嵌合部421b的圓柱形而連續(xù)于基端側(cè)嵌 合部421b所形成的燈頭側(cè)插入部422b;在燈頭側(cè)插入部422b的前端 側(cè)具有與燈頭側(cè)插入部422b相同寬度所形成的前端側(cè)嵌合部423b;以 及寬度小于前端側(cè)嵌合部423b的圓柱形而連續(xù)于前端側(cè)嵌合部423b 所形成的前端部424b。
燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53b具備用于嵌合基端側(cè)嵌合部421b的、 形成在燈座側(cè)供電面516b中央的基端側(cè)嵌合用凹部531b;用于插入燈 頭側(cè)插入部422b的、具有與基端側(cè)嵌合用凹部531b相同寬度的燈座 側(cè)被插入部532b;以及用于嵌合前端側(cè)嵌合部423b的、寬度小于燈座 側(cè)被插入部532b的前端側(cè)嵌合用凹部533b。燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42b 相對于燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53b以前端部424b的外端面425b不抵接 在前端側(cè)嵌合用凹部533b的底面535b的方式卡合。
如圖12(c)表示的方式,燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42c具備連續(xù)于從 燈頭側(cè)供電面413c的中央側(cè)突出的基端部420c、在徑向上鍔狀擴(kuò)開的 基端側(cè)嵌合部421c;寬度小于基端側(cè)嵌合部421c的圓柱形而連續(xù)于基 端側(cè)嵌合部421c所形成的燈頭側(cè)插入部422c;以及連續(xù)于燈頭側(cè)插入 部422c在徑向上鍔狀擴(kuò)開的前端側(cè)嵌合部423c。
燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53c具備用于嵌合基端側(cè)嵌合部421c的基 端側(cè)嵌合用凹部531c;用于插入燈頭側(cè)插入部422c的、具有與基端側(cè) 嵌合用凹部531c相同寬度的燈座側(cè)被插入部532c;以及用于嵌合前端 側(cè)嵌合部423c的、寬度小于燈座側(cè)被插入部532c的前端側(cè)嵌合用凹部 533c。
圖13是用于說明本發(fā)明其它實(shí)施方式的圖。圖13(a)表示的方式 為分別滿足上述B、 C、 D中的任一個(gè)均大于E、 F中的任一個(gè)的關(guān)系, 圖13(b)表示的方式為滿足上述B、 C、 D中的任一個(gè)均大于E、 F中的 任一個(gè)的關(guān)系。并且,圖13(a)、 (b)表示的方式具有燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī) 構(gòu)42的基端側(cè)嵌合部421的寬度dl與前端側(cè)嵌合部423的寬度d3 — 致的特征。
圖13(a)表示的方式中,燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42d具備連續(xù)于從 燈頭側(cè)供電面413d的中央側(cè)突出的基端部420d在徑向上鍔狀擴(kuò)開的 基端側(cè)嵌合部421d;為寬度小于基端側(cè)嵌合部421d的圓柱形且連續(xù)于 基端側(cè)嵌合部421d所形成的燈頭側(cè)插入部422d;以及連續(xù)于燈頭側(cè)插 入部422d,具有與基端側(cè)嵌合部421d相同寬度而在徑向上鍔狀擴(kuò)開的 前端側(cè)嵌合部423d。
燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53d由形成在燈座側(cè)供電面516d中央的凹部 構(gòu)成,按順序連續(xù)形成嵌合基端側(cè)嵌合部421d用的基端側(cè)嵌合用凹部 531d;插入燈頭側(cè)插入部422d用的、寬度大于基端側(cè)嵌合用凹部531d 的燈座側(cè)被插入部532d;以及嵌合前端側(cè)嵌合部423d用的前端側(cè)嵌合 用凹部533d。
圖13(b)表示的方式中燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)42e由從燈頭側(cè)供電面 413e的中央呈凸?fàn)钛由斓?、跨放電燈的管軸方向全長具有相同寬度的 柱狀物構(gòu)成,按照順序連續(xù)形成基端側(cè)嵌合部421e、燈頭側(cè)插入部422e 及前端側(cè)嵌合部423e。
燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53e具備嵌合基端側(cè)嵌合部421e用的、形 成在燈座側(cè)供電面516e中央的基端側(cè)嵌合用凹部531e;插入燈頭側(cè)插 入部422e用的、寬度大于基端側(cè)嵌合用凹部531e的燈座側(cè)被插入部 532e;以及嵌合前端側(cè)嵌合部423e用的、寬度小于燈座側(cè)被插入部532e 的前端側(cè)嵌合用凹部533e。基端側(cè)嵌合用凹部531e形成為寬度大于前 端側(cè)嵌合部423e及燈頭側(cè)插入部422e。
根據(jù)如上述圖12、圖13表示的實(shí)施方式,燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu) 42a 42e、燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)53a 53e分別在管軸方向(燈座的中心軸 方向)上分離的兩處嵌合,并且滿足上述B、 C、 D中的任一個(gè)均大于E、 F中的任一個(gè)的關(guān)系,可期待與圖4、 5表示的實(shí)施方式相同的效果。
權(quán)利要求
1.一種放電燈保持機(jī)構(gòu),由至少在一方端部安裝有燈頭的放電燈;以及將該放電燈豎立在垂直方向上并可以拆裝地保持的燈座構(gòu)成,上述放電燈的燈頭,具備沿著放電燈的管軸延伸并被放電燈的端部包覆地安裝的燈頭側(cè)基體部;正交于管軸的方向上的寬度形成得比該燈頭側(cè)基體部小、從該燈頭側(cè)基體部前端面突出,并朝著上述燈座沿著管軸延伸的柱形的燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu);以及形成在該燈頭側(cè)基體部的前端側(cè)外周面上的燈頭側(cè)最終固定機(jī)構(gòu),上述燈座,具備具有與上述燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)卡合用的、沿著管軸延伸的凹部構(gòu)成的燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)的燈座側(cè)基體部;以及與上述燈頭側(cè)最終固定機(jī)構(gòu)卡合用的、設(shè)于該燈座側(cè)基體部的外周面上,以該燈座側(cè)基體部為中心在周方向旋轉(zhuǎn)的筒狀燈座側(cè)最終固定機(jī)構(gòu),上述燈頭與上述燈座通過上述燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)與上述燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)的卡合得以臨時(shí)固定,并通過上述燈頭側(cè)最終固定機(jī)構(gòu)與上述燈座側(cè)最終固定機(jī)構(gòu)的卡合得以最終固定,其特征在于在上述燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)上,在管軸方向上分離的兩處形成有基端側(cè)嵌合部與前端側(cè)嵌合部,并且在該基端側(cè)嵌合部與該前端側(cè)嵌合部之間形成有燈頭側(cè)插入部,在上述燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)上,在燈座中心軸方向上分離的兩處,形成有與上述基端側(cè)嵌合部與上述前端側(cè)嵌合部分別嵌合用的基端側(cè)嵌合用凹部與前端側(cè)嵌合用凹部,并且在該基端側(cè)嵌合用凹部與該前端側(cè)嵌合用凹部之間形成有用于插入上述燈頭側(cè)插入部的燈座側(cè)被插入部,上述燈頭與上述燈座滿足以下的關(guān)系1表示的關(guān)系關(guān)系1以上述燈座側(cè)被插入部的正交于燈座中心軸的方向的寬度與上述燈頭側(cè)插入部的正交于管軸的方向的寬度的差為D,以上述基端側(cè)嵌合用凹部的正交于燈座中心軸的方向的寬度與上述基端側(cè)嵌合部的正交于管軸的方向的寬度的差為E,以上述前端側(cè)嵌合用凹部的正交于燈座中心軸的方向的寬度與上述前端側(cè)嵌合部的正交于管軸的方向的寬度的差為F時(shí),D比E及F都大。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的放電燈保持機(jī)構(gòu),其特征在于,上述燈 頭與上述燈座滿足以下關(guān)系2表示的關(guān)系,關(guān)系2:以上述基端側(cè)嵌合用凹部的正交于燈座中心軸的方向的寬度與上述前端側(cè)嵌合部的正交于管軸的方向的寬度的差為A,以上述基端側(cè)嵌合用凹部的正交于燈座中心軸的方向的寬度與上述燈頭側(cè)插入部的正交于管軸的方向的寬度的差為B,以上述燈座側(cè)被插入部的正交于燈座中心軸的方向的寬度與上述前端側(cè)嵌合部的正交于管軸的方向的寬度的差為C時(shí), A、 B及C中的任一個(gè)均比E及F中的任一個(gè)大。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的放電燈保持機(jī)構(gòu),其特征在于,上述燈 頭側(cè)最終固定機(jī)構(gòu)在上述燈頭側(cè)基體部前端側(cè)的外周面上形成有燈頭 側(cè)螺紋部,上述燈座側(cè)最終固定機(jī)構(gòu)在其內(nèi)周面上形成有燈座側(cè)螺紋部。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的放電燈保持機(jī)構(gòu),其特征在于,上述燈 頭及上述燈座由導(dǎo)電性構(gòu)件構(gòu)成,在上述燈頭側(cè)基體部的前端面與上 述燈座側(cè)基體部的基端面抵接的狀態(tài)下,將上述燈頭與上述燈座最終 固定,從而形成供電機(jī)構(gòu)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的放電燈保持機(jī)構(gòu),其特征在于,在上述 燈座上形成有從上述燈座側(cè)基體部的基端面向著上述燈頭側(cè)基體部突 出的突起部,在上述燈頭上,在上述燈頭側(cè)基體部的前端面上形成有用于與上述突起部卡合的凹部。
6.根據(jù)權(quán)利要求l所述的放電燈保持機(jī)構(gòu),其特征在于,上述放電燈的額定電流為50A以上。
全文摘要
本發(fā)明的目的是提供一種可以容易固定大型化放電燈的放電燈用保持機(jī)構(gòu)。本發(fā)明的放電燈用保持機(jī)構(gòu)由安裝有燈頭的放電燈和燈座構(gòu)成,燈頭與燈座通過燈頭側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)與燈座側(cè)臨時(shí)固定機(jī)構(gòu)的卡合得以臨時(shí)固定,并通過燈頭側(cè)最終固定機(jī)構(gòu)與燈座側(cè)最終固定機(jī)構(gòu)的卡合得以最終固定,燈頭與燈座在臨時(shí)固定的狀態(tài)下,燈頭側(cè)插入部與燈座側(cè)被插入部之間的間隙大于燈頭側(cè)嵌合部與燈座側(cè)嵌合部之間的間隙。
文檔編號H01J5/00GK101354122SQ20081010848
公開日2009年1月28日 申請日期2008年6月6日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月6日
發(fā)明者松島竹夫 申請人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會社