一種真空蒸鍍銀膜反射鏡的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于反射鏡領(lǐng)域，具體屬于一種真空蒸鍍銀膜反射鏡。
【背景技術(shù)】
[0002]市場上的反射鏡Ag膜層與玻璃基板附著力差，而且Ag膜層與空氣中的硫化物容易發(fā)生反應(yīng)，而且Ag膜層的反射率低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是:提供一種真空蒸鍍銀膜反射鏡。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用以下技術(shù)方案:
[0005]—種真空蒸鍍銀膜反射鏡，包括基板，所述基板自下往上包括第一 Al2O3膜層、Ni膜層和射頻離子源輔助鍍膜層，所述Ni膜層的上表面還蒸鍍有一層Ag膜層，所述Ag膜層上表面還鍍有用來阻斷Ag膜層與空氣中的硫化物發(fā)生反應(yīng)的第二 Al2O3膜層，所述射頻離子源輔助鍍膜層從上往下依次為第一 S1J莫層、Ti 305膜層以及第二 S1 J莫層。
[0006]所述第一 Al2O3膜層沉積于基板上。
[0007]采用以上技術(shù)方案后:本實用新型Ag膜層與基板之間增加2層過渡緩沖層，利用Al2O3膜層與玻璃附著良好特性，采用Al 203打底層，利用Ni膜層與Ag膜層和Al 203膜層附著性強來增強Ag膜層與底層的附著強度，Ag膜層上表面還鍍有用來阻斷Ag膜層與空氣中的硫化物發(fā)生反應(yīng)的第二 Al2O3膜層，為了增加Ag膜層反射率和Ag膜層表面牢固度再增加射頻離子源輔助鍍膜層。
【附圖說明】
[0008]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0009]參見圖1，一種真空蒸鍍銀膜反射鏡，包括基板1，所述基板I自下往上包括第一Al2O3膜層2、Ni膜層3和射頻離子源輔助鍍膜層，所述Ni膜層3的上表面還蒸鍍有一層Ag膜層4，所述Ag膜層4上表面還鍍有用來阻斷Ag膜層4與空氣中的硫化物發(fā)生反應(yīng)的第二Al2O3膜層5，所述射頻離子源輔助鍍膜層從上往下依次為第一 S1 J莫層6、Ti 305膜層7以及第二 S1J莫層8。
[0010]所述第一 Al2O3膜層2沉積于基板I上。
[0011]采用以上技術(shù)方案后:本實用新型Ag膜層與基板之間增加2層過渡緩沖層，利用Al2O3膜層與玻璃附著良好特性，采用Al 203打底層，利用Ni膜層與Ag膜層和Al 203膜層附著性強來增強Ag膜層與底層的附著強度，Ag膜層上表面還鍍有用來阻斷Ag膜層與空氣中的硫化物發(fā)生反應(yīng)的第二 Al2O3膜層，為了增加Ag膜層反射率和Ag膜層表面牢固度再增加射頻離子源輔助鍍膜層。
【主權(quán)項】
1.一種真空蒸鍍銀膜反射鏡，包括基板(I)，其特征在于:所述基板(I)自下往上包括第一 Al2O3膜層(2)、Ni膜層(3)和射頻離子源輔助鍍膜層，所述Ni膜層(3)的上表面還蒸鍍有一層Ag膜層(4)，所述Ag膜層(4)上表面還鍍有用來阻斷Ag膜層(4)與空氣中的硫化物發(fā)生反應(yīng)的第二 Al2O3膜層(5)，所述射頻離子源輔助鍍膜層從上往下依次為第一 S12膜層(6)、Ti3O5膜層(7)以及第二 S1 2膜層(8) ο2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空蒸鍍銀膜反射鏡，其特征在于:所述第一Al 203膜層(2)沉積于基板⑴上。
【專利摘要】本實用新型涉及一種真空蒸鍍銀膜反射鏡，包括基板，基板自下往上包括第一Al2O3膜層、Ni膜層和射頻離子源輔助鍍膜層，Ni膜層的上表面還蒸鍍有一層Ag膜層，Ag膜層上表面還鍍有用來阻斷Ag膜層與空氣中的硫化物發(fā)生反應(yīng)的第二Al2O3膜層，采用以上技術(shù)方案后：本實用新型Ag膜層與基板之間增加2層過渡緩沖層，利用Al2O3膜層與玻璃附著良好特性，采用Al2O3打底層，利用Ni膜層與Ag膜層和Al2O3膜層附著性強來增強Ag膜層與底層的附著強度，Ag膜層上表面還鍍有用來阻斷Ag膜層與空氣中的硫化物發(fā)生反應(yīng)的第二Al2O3膜層，為了增加Ag膜層反射率和Ag膜層表面牢固度再增加射頻離子源輔助鍍膜層。
【IPC分類】B32B15/00, G02B5/08
【公開號】CN204832564
【申請?zhí)枴緾N201520553175
【發(fā)明人】徐裕宏, 廖貴軍
【申請人】松林光電科技（湖北）有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年7月20日