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一種光刻膠自動平衡調節(jié)裝置的制造方法

文檔序號:9087685閱讀:494來源:國知局
一種光刻膠自動平衡調節(jié)裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種光刻膠自動平衡調節(jié)裝置。
【背景技術】
[0002]在對觸摸屏的基板曝光作業(yè)中,對玻璃基板上光刻膠的厚度及平面均勻性要求極高,涂膠品質差則容易造成曝光時局部過度曝光或曝光度不夠、視覺對位不準確、線路的線寬線距不達標、設備運行不穩(wěn)定等等一系列影響。
[0003]現行的工作模式,平衡調節(jié)的方式是采用手動調節(jié)好后進行固定鎖緊的硬性連接,基于調整結構在不斷運動磨合中的不穩(wěn)定性,缺少平衡自動實時監(jiān)控反饋并實時修復的功能,導致涂布在玻璃基板上光刻膠或厚或薄極不均勻,每片基板的涂布效果各異,或出現膠面折皺波紋,或直接損傷玻璃基板等等不良結果,極大的影響后繼曝光工藝品質,降低良品率,增加成本,加大勞動強度。
[0004]現有技術存在以下缺陷:
[0005]1、手動調整平衡平行度操作難度大,誤差大,耗時長,效率低;
[0006]2、結構不穩(wěn)定造成膠液涂布平面均勻性差、波紋,品質不穩(wěn)定;
[0007]3、涂布間隙無法精確保證,造成膠液涂布時損傷玻璃基板表面;
[0008]4、無法實時監(jiān)控及報警提示,自動化作業(yè)時易造成批量性不良;
[0009]5、后繼生產工藝升級受到限制。
【實用新型內容】
[0010]本實用新型提出一種光刻膠自動平衡調節(jié)裝置,解決了現有技術中存在的缺陷,克服了手動調整平衡平行度操作難度大,誤差大,耗時長,效率低等問題。
[0011]本實用新型的技術方案是這樣實現的:一種光刻膠自動平衡調節(jié)裝置,所述光刻膠自動平衡調節(jié)裝置包括兩個機構固定座、涂膠刮刀、涂膠刮刀龍門架、兩個龍門架活性自動補償機構、兩套步進減速電機、兩個絲桿模組、兩個實時平衡檢測反饋元件,所述涂膠刮刀龍門架安裝在兩個機構固定座之間,所述涂膠刮刀安裝在所述涂膠刮刀龍門架上;兩個龍門架活性自動補償機構安裝在所述涂膠刮刀龍門架的同一端與所述涂膠刮刀龍門架活動連接,且與所述機構固定座連接;一個步進減速電機安裝在一個機構固定座,所述步進減速電機的輸出端通過絲桿模組與所述涂膠刮刀龍門架的一端活動連接,兩個實時平衡檢測反饋元件沿水平方向安裝在所述涂膠刮刀龍門架上。
[0012]進一步,所述涂膠刮刀龍門架包括刀架A梁座、刀架B梁座、兩個刮刀安裝塊,所述刀架A梁座與所述刀架B梁座相互配合安裝在兩個機構固定座之間,兩個刮刀安裝塊安裝在所述刀架A梁座與所述刀架B梁座之間,一個龍門架活性自動補償機構通過所述刀架A梁座與所述機構固定座連接,另一個龍門架活性自動補償機構通過所述刀架B梁座與所述機構固定座連接。
[0013]進一步,所述龍門架活性自動補償機構包括依次連接的梁壁軸承壓塊、第一 V型導軌、刀架軸承壓塊、軸承、第二 V型導軌、梁壁滑塊。
[0014]進一步,所述實時平衡檢測反饋元件包括依次連接的激光位移傳感器、傳感器安裝板、調節(jié)平臺、位移平臺安裝座、滑軌,所述滑軌安裝在所述刀架A梁座上,所述位移平臺安裝座與所述滑軌滑動連接,所述激光位移傳感器的電信號輸出端與所述步進減速電機電連接。
[0015]進一步,所述光刻膠自動平衡調節(jié)裝置包括兩個光電感應開關,每套步進減速電機與一個光電感應開關電性連接。
[0016]本實用新型的有益效果為:本實用新型的光刻膠自動平衡調節(jié)裝置,提升了工藝品質,降代了成本,同時優(yōu)化后繼生產工藝升級的基礎。
[0017]1、設計工藝更加先進,科學合理;
[0018]2、以其靈敏的平衡自動調節(jié)功能,以及對間隙精確的實時控制,可在玻璃基板上涂布厚度3um以上,平面均勻性優(yōu)良的光刻膠;
[0019]3、龍門架兩端采用進口步進減速電機+高清研磨絲桿驅動,實現工作中尺寸精確補償修正;
[0020]4、、龍門架聯(lián)接具備活性自動補償功能,防止機構運動中卡死;
[0021]5、實時自動檢測反饋系統(tǒng)與兩端步進驅動進行數據通訊交換,保證涂膠刮刀與玻璃基板在工作運動中的間隙、精準平行度,從而保證涂膠品質,提升良品質,節(jié)約光刻膠用量成本;
[0022]6、平衡調節(jié)自動化極大降低工人操作疲勞強度,節(jié)省時間,或者直接減少設備所需操作人員數量;
[0023]7、使操作變得方便,快捷,容易。
【附圖說明】
[0024]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0025]圖1為本實用新型一種光刻膠自動平衡調節(jié)裝置一個實施例的立體結構示意圖;
[0026]圖2為圖1所示光刻膠自動平衡調節(jié)裝置的拆分結構示意圖。
[0027]附圖中:1_步進減速電機;2_絲桿模組;3_涂膠刮刀龍門架;4_涂膠刮刀;5-實時平衡檢測反饋元件;6_龍門架活性自動補償機構;7_機構固定座;20_梁壁軸承壓塊;21-刀架軸承壓塊;22_軸承;23_激光位移傳感器;24_傳感器安裝板;25_調節(jié)平臺;26-位移平臺安裝座;27_滑軌;28_刮刀安裝塊;29-V型導軌;30_梁壁滑塊;31_軸承墊圈;34_刀架A梁座;35_刀架B梁座。
【具體實施方式】
[0028]下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?,本領域普通技術人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。
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