動第二反射鏡208旋轉(zhuǎn)，使得第二激光束32沿掃描方向200掃描，依次轟擊位于輻射位置202的液滴22。
[0068]第一子驅(qū)動裝置205位于第一反射鏡207上方,所述第一子驅(qū)動裝置205與第一反射鏡207之間通過軸承連接，所述第二子驅(qū)動裝置206位于第二反射鏡208下方，所述第二子驅(qū)動裝置206與第二反射鏡208之間通過軸承連接。所述軸承可以為電磁軸承或機械軸承。
[0069]第一子驅(qū)動裝置205驅(qū)動第一反射鏡207旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動方式以及第二子驅(qū)動裝置206驅(qū)動第二反射鏡208旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動方式可以為電磁驅(qū)動或壓電陶瓷驅(qū)動。
[0070]第一子驅(qū)動裝置205和第二子驅(qū)動裝置206中包括動力源和驅(qū)動電路，所述動力源為第一反射鏡207和第二反射鏡208的旋轉(zhuǎn)提供動力，所述驅(qū)動電路為動力源提供驅(qū)動信號。所述動力源可以為電機。
[0071]所述激光器204與第一反射鏡207和第二反射鏡208之間的光路上還具有透鏡單元219，所述透鏡單元219用于調(diào)整激光器204發(fā)出的激光束入射到第一反射鏡207和第二反射鏡208上的入射角度，以使第一反射鏡207反射的第一激光束31和第二反射鏡208反射的第二激光束32聚焦到輻射位置202。
[0072]本實施例中，所述反射鏡209包括分離的第一反射鏡207和第二反射鏡208，第一驅(qū)動裝置包括第一子驅(qū)動裝置205和第二子驅(qū)動裝置206的目的在于:
[0073]本實施例中，所述反射鏡209包括分離的第一反射鏡207和第二反射鏡208，第一驅(qū)動裝置包括第一子驅(qū)動裝置205和第二子驅(qū)動裝置206，第一子驅(qū)動裝置205和第二子驅(qū)動裝置206可以分別驅(qū)動第一反射鏡207和第二反射鏡208旋轉(zhuǎn)，第一反射鏡207反射部分激光束，形成第一激光束31，第二反射鏡208反射部分激光束，形成第二激光束32，第一激光束31和第二激光束32可以交替的轟擊不同排的到達輻射位置202的液滴，當單位時間內(nèi)液滴陣列201供應(yīng)的液滴的數(shù)量較多(相鄰排液滴之間間隔的第二時間可以很短，單位時間內(nèi)的液滴數(shù)量增多)時，第一激光束31和第二激光束32通過交替的掃描轟擊不同排的液滴，可以覆蓋所有的位于輻射位置202的液滴，從而增加了極紫外光的功率。
[0074]在一實施例中，第一激光束31和第二激光束32交替的轟擊不同排的到達輻射位置202的液滴過程包括:當?shù)贚(L > I)排液滴到達輻射位置202時，第一子驅(qū)動裝置205驅(qū)動第一反射鏡207從初始位置開始旋轉(zhuǎn)，使得第一反射鏡207反射的第一激光束31沿掃描方向200掃描轟擊達到輻射位置的第L(L> I)排液滴，轟擊完成后，第一子驅(qū)動裝置205驅(qū)動第一反射鏡207回到初始位置；接著，當?shù)贚+l (L ^ I)排液滴到達輻射位置202時，第二子驅(qū)動裝置206驅(qū)動第二反射鏡208從初始位置開始旋轉(zhuǎn)，使得第二反射鏡208反射的第二激光束32沿掃描方向200掃描轟擊達到輻射位置200的第L+l (L ^ I)排液滴，轟擊完成后，第二子驅(qū)動裝置206驅(qū)動第二反射鏡208回旋到初始位置；接著，當?shù)贚+2排液滴到達輻射位置202時，第一激光束31沿掃描方向200掃描依次轟擊達到輻射位置202的第L+2排液滴，轟擊完成后，第一子驅(qū)動裝置205驅(qū)動第一反射鏡207回到初始位置；接著，當?shù)贚+3排液滴到達輻射位置202時，第二激光束32沿掃描方向200掃描依次轟擊達到輻射位置202的第L+3排液滴，轟擊完成后，第二子驅(qū)動裝置206驅(qū)動第二反射鏡208回旋到初始位置；如此反復(fù)循環(huán)，以輸出連續(xù)不斷的極紫外光脈沖。
[0075]在另一實施例中，第一激光束31和第二激光束32交替的轟擊不同排的到達輻射位置202的液滴過程包括:當?shù)贚(L> I)排液滴到達輻射位置202時，第二子驅(qū)動裝置206驅(qū)動第二反射鏡208從初始位置開始旋轉(zhuǎn)，使得第二反射鏡208反射的第二激光束32沿掃描方向200掃描轟擊達到輻射位置200的第L(L> I)排液滴，轟擊完成后，第二子驅(qū)動裝置
206驅(qū)動第二反射鏡208回旋到初始位置；接著，當?shù)贚+l (L ^ I)排液滴到達輻射位置202時，第一子驅(qū)動裝置205驅(qū)動第一反射鏡207從初始位置開始旋轉(zhuǎn)，使得第一反射鏡207反射的第一激光束31沿掃描方向200掃描轟擊達到輻射位置200的第L+l (L ^ I)排液滴，轟擊完成后，第一子驅(qū)動裝置205驅(qū)動第一反射鏡207回到初始位置；接著，當?shù)贚+2排液滴到達輻射位置202時，第二激光束32沿掃描方向200掃描依次轟擊達到輻射位置202的第L+3排液滴，轟擊完成后，第二子驅(qū)動裝置206驅(qū)動第二反射鏡208回旋到初始位置；接著，當?shù)贚+3排液滴到達輻射位置202時，第一激光束31沿掃描方向200掃描依次轟擊達到輻射位置202的第L+2排液滴，轟擊完成后，第一子驅(qū)動裝置205驅(qū)動第一反射鏡207回到初始位置；如此反復(fù)循環(huán)，以輸出連續(xù)不斷的極紫外光脈沖。
[0076]本實施例中，以第一激光束31轟擊第一排液滴，第二激光束32轟擊第二排液滴，第一激光束31接著轟擊第三排液滴，第二激光束接著轟擊第四排液滴作為示例進行具體的說明，具體過程為:當?shù)谝慌乓旱沃械牡谝坏蔚谝灰旱芜_到輻射位置202時，第一反射鏡
207位于初始位置，激光源203產(chǎn)生的部分激光束經(jīng)第一反射鏡207反射后形成的第一激光束31向輻射位置202傳輸，轟擊位于輻射位置的第一滴第一液滴，接著，第一排液滴中的其他液滴依次滯后第一時間達到輻射位置202，相應(yīng)的第一反射鏡207在第一子驅(qū)動裝置205的作用下旋轉(zhuǎn)，第一激光束31在第一反射鏡207的作用下沿掃描方向200掃描，依次轟擊到達輻射位置202的第一排液滴中的其他液滴，當?shù)谝患す馐?1轟擊完第一排液滴中的最后一滴液滴時，第一反射鏡207也旋轉(zhuǎn)到終止位置，然后第一反射鏡207在第一子驅(qū)動裝置205的作用下回旋到初始位置；當?shù)诙乓旱沃械牡诙蔚谝灰旱芜_到輻射位置202時，第二反射鏡208位于初始位置，激光源203產(chǎn)生的部分激光束經(jīng)第二反射鏡208反射后形成的第二激光束32向輻射位置202傳輸，轟擊位于輻射位置的第二排液滴中的第二滴第一液滴，接著，第二排液滴中的其他液滴依次滯后第一時間達到輻射位置202，相應(yīng)的第二反射鏡208在第二子驅(qū)動裝置206的作用下旋轉(zhuǎn)，第二激光束32在第二反射鏡208的作用下沿掃描方向200掃描，依次轟擊到達輻射位置202的第二排液滴中的其他液滴，當?shù)诙す馐?2轟擊完第二排液滴中的最后一滴液滴時，第二反射鏡208也旋轉(zhuǎn)到終止位置，然后第二反射鏡208在第二子驅(qū)動裝置206的作用下回旋到初始位置；接著當?shù)谌乓旱沃械囊旱我来蔚竭_輻射位置202時，第一激光束31沿掃描方向200掃描，依次轟擊到達輻射位置202的第三排液滴，轟擊完成后第一反射鏡207回旋到初始位置；接著當?shù)谒呐乓旱沃械囊旱我来蔚竭_輻射位置202時，第二激光束32沿掃描方向掃描，依次轟擊到達輻射位置202的第四排液滴，轟擊完成后第二反射鏡208回旋到初始位置。
[0077]為了在第一激光束31或第二激光束32轟擊液滴時，第一激光束31與第二激光束32不會相互影響或者影響極紫外光的形成，所述第一反射鏡31和輻射位置202之間還設(shè)置有第一光闌210，所述第一光闌210適于阻擋第一激光束21向輻射位置202傳輸；所述第二反射鏡21與輻射位置202之間還具有第二光闌211，所述第二光闌211適于阻擋第二激光束21向福射位置202傳輸。
[0078]所述第一光闌210包括第一阻擋單元和與第一阻擋單元連接的第三驅(qū)動裝置，所述第二光闌211包括第二阻擋單元和與第二阻擋單元連接的第四驅(qū)動裝置，第三驅(qū)動裝置適于驅(qū)動所述第一阻擋單元位于或遠離所述第一激光束31向輻射位置202的傳輸路徑；所述第四驅(qū)動裝置與第二阻擋單元相連，適于驅(qū)動所述第二阻擋單元位于或遠離所述第二激光束32向福射位置的傳輸路徑。
[0079]因而，當?shù)谝患す馐?1轟擊位于輻射位置202的液滴時，所述第四驅(qū)動裝置驅(qū)動所述第二阻擋單元位于第二激光束32向輻射位置202傳輸路徑上，阻止第二激光束32向輻射位置202傳輸，當輪到第二激光束32轟擊位于輻射位置202的液滴時，所述第四驅(qū)動裝置驅(qū)動所述第二阻擋單元遠離第二激光束32向輻射位置202傳輸路徑，使得第二激光束32向輻射位置202傳輸；同樣，當?shù)诙す馐?2轟擊位于輻射位置202的液滴時，所述第三驅(qū)動裝置驅(qū)動所述第一阻擋單元位于第一激光束31向輻射位置202傳輸路徑上，阻止第一激光束31向輻射位置202傳輸，當輪到第一激光束31轟擊位于輻射位置202的液滴時，所述第三驅(qū)動裝置驅(qū)動所述第一阻擋單元遠離第一激光束31向輻射位置202傳輸路徑，使得第一激光束31向福射位置202傳輸。
[0080]參考圖4,圖4為一實施例中第一光闌210和第二光闌211的結(jié)構(gòu)TK意圖，所述第一光闌210包括第一阻擋單元210b和與第一阻擋單元210b連接的第三驅(qū)動裝置210a，所述第二光闌211包括第二阻擋單元211b和與第二阻擋單元211b連接的第四驅(qū)動裝置211a，本實施例中，所述第一阻擋單元210b為第三反射鏡，所述第三反射鏡在阻擋第一激光束31時,將第一激光束31向遠離第二光闌211的方向(或者z軸正方向)反射，所述第二阻擋單元211b為第四反射鏡，所述第四反射鏡在阻擋第二激光束32時，將第二激光束32向遠離第一光闌210的方向(或者z軸的負方向)反射。
[0081]在本發(fā)明的其他實施例中，所述第一阻擋單元可以將第一激光束31向X軸的正方向或負方向反射，所述第二阻擋單元可以將第二激光束32向X軸的正方向或負方向反射。
[0082]還包括:所述第一激光束31被第三反射鏡后的傳輸方向上以及第二激光束32被第四反射鏡反射后的傳輸方向上還具有熱回收單元(圖中未示出)，適于吸收第三反射鏡反射的第一激光束31和第四反射鏡反射的第二激光束32，以防止第三反射鏡反射后的第一激光束31和第四反射鏡反射的第二激光束32再次被反射。
[0083]請繼續(xù)參考圖2，所述聚光器215位于反射鏡209和輻射位置202之間，所述聚光器215包括聚光鏡214和第二驅(qū)動裝置，聚光鏡214具有橢球型反射面，橢球型反射面面對輻射位置202，所述橢球型反射面收集輻射的極紫外光，并將收集的輻射極紫外光反射匯聚于中心焦點220，所述第二驅(qū)動裝置與聚光鏡214連接，適于驅(qū)動所述聚光鏡214旋轉(zhuǎn)掃描，在激光束依次轟擊到達輻射位置202的液滴形成的輻射極紫外光時，聚光鏡214收集輻射的極紫外光，并將收集的輻射極紫外光反射后匯聚于中心焦點220。
[0084]所述聚光鏡214的中心處具有通道218，以使反射鏡209反射的激光束通過通道218傳輸至輻射位置202轟擊到達輻射位置202的液滴。本實施例中，所述通道218為通孔。
[0085]本實施例中，所述聚光鏡214包括分離的第一部分聚光鏡212和第二部分聚光鏡213，第一部分聚光鏡212位于第二部分聚光鏡213上方，所述第二驅(qū)動裝置包括第三子驅(qū)動裝置216和第四子驅(qū)動裝置217，第三子驅(qū)動裝置216與第一部分聚光鏡212連接，適于驅(qū)動第一部分聚光鏡212旋轉(zhuǎn)掃描，第四子驅(qū)動裝置217與第二部分聚光鏡213連接，適于驅(qū)動第二部分聚光鏡213旋轉(zhuǎn)掃描。
[0086]所述聚光鏡214被中心焦點220和輻射位置202所在的平面分割成上下對稱的第一部分聚光鏡212和第二