圖2所示的示例中，汞燈分光裝置還包括照度控制單元7，以便控制從汞燈I發(fā)出的光線的照度。在本發(fā)明中，照度控制單元7可以是一個，其對所有的汞燈I發(fā)出的光線的照度共同進(jìn)行控制；照度控制單元7也可以與汞燈I的數(shù)量對應(yīng)，即每個照度控制單元7均與一個汞燈I對應(yīng)，從而僅對該汞燈I發(fā)出的光線的照度進(jìn)行控制。
[0050]為了確保曝光的質(zhì)量，汞燈分光裝置還可包括照度傳感器(未圖示)，所述照度傳感器對引導(dǎo)至光刻機(jī)4的光線的照度進(jìn)行確認(rèn)。照度傳感器可以設(shè)置在光刻機(jī)4上。
[0051]下面參照圖3來詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的用于光刻機(jī)的汞燈分光裝置的操作方法。
[0052]曝光程序開始以后，待曝光的第一光刻機(jī)41在曝光前發(fā)送曝光訊號給控制器(S12)。
[0053]控制器從至少一個汞燈I中選定一個處于閑置狀態(tài)的汞燈11作為曝光光源，接著向與選定的汞燈11對應(yīng)的可動反射鏡5的驅(qū)動裝置6發(fā)送控制訊號，該驅(qū)動裝置6于是驅(qū)動可動反射鏡5，從而可動反射鏡5將選定的汞燈11發(fā)出的光線引導(dǎo)至第一光刻機(jī)41(S13)。
[0054]照度傳感器對引導(dǎo)至第一光刻機(jī)41的光線的照度進(jìn)行確認(rèn)(S14)。
[0055]當(dāng)照度傳感器確認(rèn)引導(dǎo)至第一光刻機(jī)41的光線的照度達(dá)到曝光要求時，第一光刻機(jī)41開始曝光(S15)。當(dāng)照度傳感器確認(rèn)引導(dǎo)至第一光刻機(jī)41的光線的照度未達(dá)到曝光要求時，照度傳感器發(fā)送訊號給控制器，于是控制器向照度控制單元7發(fā)送訊號來調(diào)整汞燈11發(fā)出的光線的照度，或者選定另一個汞燈作為曝光光源，然后重復(fù)上述操作，直到照度傳感器確認(rèn)引導(dǎo)至第一光刻機(jī)41的光線的照度達(dá)到曝光要求并開始曝光。
[0056]第一光刻機(jī)41在曝光結(jié)束(S16)以后，發(fā)送訊號給控制器,于是控制器向驅(qū)動裝置6發(fā)送訊號，該驅(qū)動裝置6驅(qū)動可動反射鏡5而使汞燈11發(fā)出的光線不再被引導(dǎo)至第一光刻機(jī)41 (S17)。到此,一臺光刻機(jī)的曝光程序全部完成。
[0057]如果此時，還有第二光刻機(jī)42需要曝光，則第二光刻機(jī)42可以執(zhí)行與前述相同的步驟來進(jìn)行曝光程序。
[0058]具體而言，待曝光的第二光刻機(jī)42在曝光前發(fā)送曝光訊號給控制器(S22)。
[0059]控制器可以繼續(xù)選定汞燈11作為曝光光源，接著向與選定的汞燈11對應(yīng)的可動反射鏡5的驅(qū)動裝置6發(fā)送控制訊號，該驅(qū)動裝置6于是驅(qū)動可動反射鏡5，從而可動反射鏡5將選定的汞燈11發(fā)出的光線引導(dǎo)至第二光刻機(jī)42 (S23)。
[0060]照度傳感器對引導(dǎo)至第二光刻機(jī)42的光線的照度進(jìn)行確認(rèn)(S24)。
[0061]當(dāng)照度傳感器確認(rèn)引導(dǎo)至第二光刻機(jī)42的光線的照度達(dá)到曝光要求時，第二光刻機(jī)42開始曝光(S25)。當(dāng)照度傳感器確認(rèn)引導(dǎo)至第二光刻機(jī)42的光線的照度未達(dá)到曝光要求時，照度傳感器發(fā)送訊號給控制器，于是控制器向照度控制單元7發(fā)送訊號來調(diào)整汞燈11發(fā)出的光線的照度，或者選定另一個汞燈作為曝光光源，然后重復(fù)上述操作，直到照度傳感器確認(rèn)引導(dǎo)至第二光刻機(jī)42的光線的照度達(dá)到曝光要求并開始曝光。
[0062]第二光刻機(jī)42在曝光結(jié)束(S26)以后，發(fā)送訊號給控制器，于是控制器向驅(qū)動裝置6發(fā)送訊號，該驅(qū)動裝置6驅(qū)動可動反射鏡5而使汞燈11發(fā)出的光線不再被引導(dǎo)至第二光刻機(jī)42。
[0063]如上所述，多個光刻機(jī)(諸如第一光刻機(jī)41、第二光刻機(jī)42等)可以按照次序相繼地進(jìn)行曝光程序，在這種情況下，一個汞燈11可以相繼地對多個光刻機(jī)41、42進(jìn)行曝光，或者數(shù)量較少的汞燈I可以相繼地對數(shù)量較多的光刻機(jī)4進(jìn)行曝光，也就是說，汞燈I的數(shù)量可以少于光刻機(jī)4的數(shù)量，從而減少整個曝光過程中汞燈的消耗，并大大節(jié)省了能量。
[0064]應(yīng)理解,在具有一個以上的光刻機(jī)4和一個以上的萊燈I時，多個光刻機(jī)4也可以借助多個汞燈I同時進(jìn)行曝光程序，從而節(jié)省整個曝光過程的時間。
[0065]圖4是圖2中的萊燈分光裝置的TJK例性原理圖,其中以一個光刻機(jī)為例,TJK出了萊燈分光裝置在整個曝光過程中的各個時間點(diǎn)的狀態(tài)，從中可以看到，在單一設(shè)備的曝光過程中，實(shí)際使用到光源的時間約為1/3，且使用到光源的相對時間是固定的。
[0066]圖5是圖2中的汞燈分光裝置的最佳化曝光流程的圖表，其中主要描述在一個曝光過程里，實(shí)際上使用到光源與沒有使用到光源的關(guān)系。在多臺設(shè)備的情況下，如能將各個設(shè)備使用到光源的時間合理分配，即為最佳化，最能節(jié)省汞燈數(shù)量。
[0067]前述的實(shí)施例和優(yōu)點(diǎn)僅是示例性的，而不能視為對本發(fā)明的限制。本文的描述旨在示例，而不是限制權(quán)利要求的范圍。對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，多種替換方案、改型和修改都是顯而易見的。本文所描述的示例性實(shí)施例的特征、結(jié)構(gòu)以及其它特性可以多種方式組合，從而得到其它的和/或可替換的示例性實(shí)施例。
[0068]由于在不背離本發(fā)明的特性的情況下，可以多種形式來體現(xiàn)本發(fā)明的特征，所以還應(yīng)該理解的是，上述實(shí)施例不局限于以上描述的任何細(xì)節(jié)，除非另外注明，而應(yīng)該寬泛地解釋為處于所附權(quán)利要求限定的范圍內(nèi)，因此，落入權(quán)利要求的范圍和界限或者這種范圍和界限的等效方案內(nèi)的所有修改和改型都應(yīng)該為所附權(quán)利要求涵蓋。
【主權(quán)項】
1.一種用于光刻機(jī)的汞燈分光裝置，其特征在于，所述汞燈分光裝置包括: 至少一個汞燈； 至少一個可動導(dǎo)光單元，每個可動導(dǎo)光單元均與所述至少一個汞燈中的一個汞燈對應(yīng)，而且對應(yīng)的汞燈發(fā)出的光線能夠被所述可動導(dǎo)光單元改變方向而被引導(dǎo)至不同的光刻機(jī)。2.如權(quán)利要求1所述的汞燈分光裝置，其特征在于，所述可動導(dǎo)光單元包括可動反射鏡。3.如權(quán)利要求2所述的汞燈分光裝置，其特征在于，在所述可動反射鏡上聯(lián)接有驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置能夠驅(qū)動所述可動反射鏡，以使得所述可動反射鏡能夠?qū)⑺龉療舭l(fā)出的光線引向多個不同的方向。4.如權(quán)利要求3所述的汞燈分光裝置，其特征在于，所述汞燈分光裝置還包括控制器，所述控制器與所述光刻機(jī)及所述驅(qū)動裝置電連接，以便控制所述驅(qū)動裝置對所述可動反射鏡的驅(qū)動。5.如權(quán)利要求2所述的汞燈分光裝置，其特征在于，所述汞燈分光裝置還包括一組固定反射鏡，該組固定反射鏡由至少一個固定反射鏡構(gòu)成并被布置在所述汞燈與所述可動反射鏡之間，以便將所述汞燈的發(fā)出的光線引導(dǎo)至所述可動反射鏡。6.如權(quán)利要求1所述的汞燈分光裝置，其特征在于，所述汞燈分光裝置包括照度傳感器，所述照度傳感器對引導(dǎo)至所述光刻機(jī)的光線的照度進(jìn)行確認(rèn)。7.如權(quán)利要求1所述的汞燈分光裝置，其特征在于，汞燈分光裝置還包括照度控制單元，以便控制從所述汞燈發(fā)出的光線的照度。8.一種用于光刻機(jī)的汞燈分光裝置的操作方法，其特征在于，所述汞燈分光裝置包括: 至少一個汞燈； 至少一個可動導(dǎo)光單元，每個可動導(dǎo)光單元均與所述至少一個汞燈中的一個汞燈對應(yīng)，而且對應(yīng)的汞燈發(fā)出的光線能夠被所述可動導(dǎo)光單元改變方向而被引導(dǎo)至不同的光刻機(jī)； 所述操作方法包括: 步驟I)從所述至少一個汞燈中選定一個汞燈作為曝光光源； 步驟2)與選定的汞燈對應(yīng)的所述可動導(dǎo)光單元將所述選定的汞燈發(fā)出的光線引導(dǎo)至待進(jìn)行曝光的光刻機(jī)。9.如權(quán)利要求8所述的操作方法，其特征在于， 所述可動導(dǎo)光單元包括可動反射鏡，在所述可動反射鏡上聯(lián)接有驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置能夠驅(qū)動所述可動反射鏡，以使得所述可動反射鏡能夠?qū)⑺鲞x定的汞燈發(fā)出的光線引向多個不同的方向， 所述汞燈分光裝置包括控制器，所述控制器與所述光刻機(jī)及所述驅(qū)動裝置電連接，以便控制所述驅(qū)動裝置對所述可動反射鏡的驅(qū)動。10.如權(quán)利要求9所述的操作方法，其特征在于，所述步驟I)包括:待曝光的光刻機(jī)在曝光前發(fā)送曝光訊號給所述控制器，所述控制器從所述至少一個汞燈中選定一個汞燈作為曝光光源。11.如權(quán)利要求10所述的操作方法，其特征在于，所述步驟2)包括:所述控制器在接收到所述待曝光的光刻機(jī)發(fā)送的曝光訊號以后，向與選定的汞燈對應(yīng)的可動反射鏡的驅(qū)動裝置發(fā)送控制訊號，所述驅(qū)動裝置于是驅(qū)動所述可動反射鏡，從而所述可動反射鏡將所述選定的汞燈發(fā)出的光線引導(dǎo)至所述待曝光的光刻機(jī)。12.如權(quán)利要求8所述的操作方法，其特征在于，所述汞燈分光裝置包括照度傳感器，所述照度傳感器對引導(dǎo)至所述光刻機(jī)的光線的照度進(jìn)行確認(rèn)。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于光刻機(jī)的汞燈分光裝置，所述汞燈分光裝置包括：至少一個汞燈；至少一個可動導(dǎo)光單元，每個可動導(dǎo)光單元均與所述至少一個汞燈中的一個汞燈對應(yīng)，而且對應(yīng)的汞燈發(fā)出的光線能夠被可動導(dǎo)光單元改變方向而被引導(dǎo)至不同的光刻機(jī)。本發(fā)明還公開了一種用于光刻機(jī)的汞燈分光裝置的操作方法。根據(jù)本發(fā)明，可以大大節(jié)省汞燈的消耗數(shù)量和消耗能量。
【IPC分類】G02B26/08, G03F7/20
【公開號】CN105445928
【申請?zhí)枴緾N201410339740
【發(fā)明人】黃昱嘉, 楊靖哲, 黃正義
【申請人】上海和輝光電有限公司
【公開日】2016年3月30日
【申請日】2014年7月16日