本發(fā)明一種等離子刻蝕真空系統(tǒng)泵工作液組合物屬于軸承潤滑劑領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
：等離子刻蝕是干法刻蝕中最常見的一種形式，其原理是在使暴露的電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此而產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成等離子式離子。電離的氣體原子通過電磁場的加速，會獲得足夠的能量和表面動力，來粘合材料成蝕刻表面。同樣相似的離子情況實際上是等離子刻蝕的一種輕微程度的狀況。進(jìn)行干式蝕刻工藝的成套設(shè)置包括：反應(yīng)室、電源、真空系統(tǒng)。刻蝕工件是存入被真空系統(tǒng)抽吸戴真空狀的反應(yīng)室內(nèi)加工。氣體被導(dǎo)入并與等離子體進(jìn)行交換。當(dāng)?shù)入x子體在工件表面發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)過程中產(chǎn)生的揮發(fā)性物質(zhì)被真空系統(tǒng)抽吸出來。等離子體刻蝕工藝其壓縮是一種反應(yīng)性等離子工藝。被真空系統(tǒng)抽吸排出的揮發(fā)性物質(zhì)，對其真空系統(tǒng)中的真空泵工作液會加速變質(zhì)反應(yīng)。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的是提供一種具有良好的熱氧化安定性、抗氧性、密封材料相溶性、低溫流動和擴(kuò)散性、抗泡、抗乳化、抗氧防腐、防銹蝕性、抗輻射、抗強(qiáng)電磁場性能的等離子刻蝕真空系統(tǒng)泵工作液組合物。本發(fā)明采用如下技術(shù)方案解決上述技術(shù)問題：一種等離子刻蝕真空系統(tǒng)泵軸承工作液組合物，采用質(zhì)量比50％的氟氯碳油和50％的聚三氟氯乙烯油復(fù)合作為全合成復(fù)合基礎(chǔ)油，配合抗氧防腐劑和抗氧防銹劑，其各自質(zhì)量百分?jǐn)?shù)的成分組成為：組分質(zhì)量百分比含量基礎(chǔ)油余量抗氧防腐劑0.5％～1.5％抗氧防銹劑0.2％～0.6％以上各組分的質(zhì)量百分比含量為100％?？寡醴栏瘎┦橇状??？寡醴冷P劑是全氟烷基二磷朵-對稱-三嗪。本發(fā)明的優(yōu)點在于：本發(fā)明等離子刻蝕真空系統(tǒng)泵軸承工作液組合物具有良好的熱氧化安定性、抗氧性、密封材料相溶性、低溫流動和擴(kuò)散性、抗泡、抗乳化、抗氧防腐、防銹蝕性、抗輻射、抗強(qiáng)電磁場性能。具體實施方式實施例1：將下列各組分按百分比含量調(diào)和而成：組分質(zhì)量百分比含量質(zhì)量比50％的氟氯碳油和50％的聚三氟氯乙烯油復(fù)合98.5％磷代三嗪1.0％全氟烷基二磷雜-對稱-三嗪0.5％實施例2：將下列各組分按百分比含量調(diào)和而成：組分質(zhì)量百分比含量質(zhì)量比50％的氟氯碳油和50％的聚三氟氯乙烯油復(fù)合98.6％磷代三嗪0.9％全氟烷基二磷雜-對稱-三嗪0.5％實施例3：將下列各組分按百分比含量調(diào)和而成：組分質(zhì)量百分比含量質(zhì)量比50％的氟氯碳油和50％的聚三氟氯乙烯油復(fù)合98.6％磷代三嗪1.0％全氟烷基二磷染-對稱-三嗪0.4％實施例1典型技術(shù)指標(biāo)：實施例2典型技術(shù)指標(biāo)：實施例3典型技術(shù)指標(biāo)：當(dāng)前第1頁12