顯示裝置及其生產(chǎn)方法
【專利說明】顯示裝置及其生產(chǎn)方法
[0001]相關(guān)串請案
[0002]本專利申請案主張2013年3月14日申請的標(biāo)題為“使用抗蝕劑側(cè)壁的堆焊表面來導(dǎo)電(Electrical Conduct1n Using Bead on Surface of Resist Sidewall)，，的第2013-051967號日本申請案的優(yōu)先權(quán)，所述申請案轉(zhuǎn)讓給本受讓人且在此以引用的方式明確地并入本文中。
技術(shù)領(lǐng)域
[0003]本發(fā)明涉及一種顯示裝置及其生產(chǎn)方法。
【背景技術(shù)】
[0004]微機電系統(tǒng)(MEMS)顯示器是預(yù)期取代液晶顯示器的顯示器(參考專利參考I)。此顯示器使用機械快門打開和閉合透明窗口，不同于采用偏光的液晶快門樣式。更具體地說，針對上面形成TFT(薄膜晶體管)的TFT襯底上的每一像素提供快門，且通過借助依靠靜電力在水平方向上操作快門而打開和閉合孔隙來顯示圖像。
[0005][現(xiàn)有技術(shù)參考]
[0006][專利參考]
[0007][專利參考I]第2008-197668號日本未審查專利申請公開案
[0008][專利參考2]第2001-215524號日本未審查專利申請公開案

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009][本發(fā)明要解決的問題]
[0010]通常，為防止快門粘住對置襯底，快門和所述對置襯底必須處于相同電位。為了這樣做，致使對置襯底和TFT襯底使用導(dǎo)電材料電連接。上面提供快門的TFT襯底的表面用鈍化膜覆蓋。因為鈍化膜由例如SiN等硬質(zhì)材料形成，所以即使使用通過按壓導(dǎo)電粒子的方法(如專利參考2中所揭示)也無法刺穿鈍化膜，且難以使對置襯底和TFT襯底為電連續(xù)的。
[0011 ] 本發(fā)明的目標(biāo)為致使上面提供快門的襯底和與其對置的襯底為電連接的。
[0012][用于解決問題的手段]
[0013](I)關(guān)于本發(fā)明的顯示裝置包含:第一襯底；第二襯底，其經(jīng)布置以便與第一襯底對置；第一導(dǎo)電膜，其提供在第一襯底的最接近第二襯底的側(cè)上；絕緣膜，其提供在第一襯底的最接近第二襯底的側(cè)上以便覆蓋第一導(dǎo)電膜；第二導(dǎo)電膜，其提供在第二襯底的最接近第一襯底的側(cè)上；以及導(dǎo)電粒子，其插入在第一襯底與第二襯底之間，其中，在第一襯底上，分別提供控制光的通過或阻擋的快門、用于驅(qū)動所述快門的驅(qū)動器和具有從第一襯底上升以便環(huán)繞指定空間的多個側(cè)面的伸出部分以便含有第一導(dǎo)電膜和絕緣膜的層壓結(jié)構(gòu)，且所述相應(yīng)多個側(cè)面的最外層由覆蓋第一導(dǎo)電膜的絕緣膜制成，且具有暴露第一導(dǎo)電膜的一部分的孔隙，且導(dǎo)電粒子布置在由所述多個側(cè)面環(huán)繞的指定空間中，且在最接近第一襯底的側(cè)上，其接觸從所述多個側(cè)面中的孔隙暴露的第一導(dǎo)電膜，且在最接近第二襯底的側(cè)上，其接觸第二導(dǎo)電膜。根據(jù)本發(fā)明，可使形成于上面提供快門的第一襯底上的第一導(dǎo)電膜和形成于對置的第二襯底上的第二導(dǎo)電膜電連接。因此，可防止快門和襯底歸因于靜電力粘著在一起，因為快門和第二襯底處于相同電位。導(dǎo)電粒子觸碰的第一導(dǎo)電膜為構(gòu)成從第一襯底上升的伸出部分的層壓結(jié)構(gòu)的一部分。在伸出部分的側(cè)面上，絕緣膜和第一導(dǎo)電膜的層壓方向為與第一襯底和第二襯底的對置方向相交的方向。因此，當(dāng)使第一襯底與第二襯底對置時，歸因于導(dǎo)電粒子在所述兩者彼此對置的方向中移動，容易由于導(dǎo)電粒子剝落掉絕緣膜的一部分而形成孔隙。因此，導(dǎo)電粒子和第一導(dǎo)電膜可經(jīng)由絕緣膜中的孔隙而電連接。
[0014](2)其特征還可在于，在根據(jù)項目(I)的顯示裝置中，絕緣膜進(jìn)一步含有平行于第一襯底的表面延伸的部分，且構(gòu)成所述多個側(cè)面的最外層的部分比平行于第一襯底的表面延伸的部分薄。
[0015](3)其特征還可在于，在根據(jù)項目(I)或(2)的顯示裝置中，連續(xù)地提供伸出部分以便包圍指定空間，且一體地且連續(xù)地形成所述多個側(cè)面。
[0016](4)其特征還可在于，在根據(jù)項目(I)或(2)的顯示裝置中，伸出部分以分段方式形成以便含有至少兩個對置部分，在包圍指定空間的位置處的鄰近部分之間存在間隙，且所述多個側(cè)面各自是至少兩個對置部分的側(cè)面。
[0017](5)其特征還可在于，在根據(jù)項目(4)的顯示裝置中，所述至少兩個對置部分各自形成為階梯狀圖案，且具有基底和從所述基底上升的壁，且所述多個側(cè)面是所述至少兩個對置部分的壁的側(cè)面。
[0018](6)其特征還可在于，在根據(jù)項目(4)或(5)的顯示裝置中，所述多個側(cè)面各自為圍繞垂直于第一襯底的軸形成的圓柱形面。
[0019](7)其特征還可在于，在根據(jù)項目(4)或(5)的顯示裝置中，所述多個側(cè)面各自具有外部隅角形狀。
[0020](8)其特征還可在于，在根據(jù)項目⑷或(5)的顯示裝置中，所述多個側(cè)面各自具有內(nèi)部隅角形狀。
[0021](9)其特征還可在于，在根據(jù)項目⑴到⑶中的任一者的顯示裝置中，導(dǎo)電粒子由于被所述多個側(cè)面按壓而彈性地變形。
[0022](10)關(guān)于本發(fā)明的用于生產(chǎn)顯示裝置的方法包含:在第一襯底上提供控制光的通過或阻擋的快門、用于驅(qū)動所述快門的驅(qū)動器和具有從第一襯底上升以便環(huán)繞指定空間的多個側(cè)面的伸出部分以便含有第一導(dǎo)電膜和絕緣膜的層壓結(jié)構(gòu)；在第二襯底上提供第二導(dǎo)電膜；以及使第一襯底的上面提供第一導(dǎo)電膜和絕緣膜的側(cè)與第二襯底的上面提供第二導(dǎo)電膜的側(cè)彼此對置且在第一襯底與第二襯底之間插入導(dǎo)電粒子，其中所述多個側(cè)面中的每一者的最外層由覆蓋第一導(dǎo)電膜的絕緣膜制成，由所述多個側(cè)面環(huán)繞的指定空間小于導(dǎo)電粒子，且通過按壓由所述多個側(cè)面環(huán)繞的所述指定區(qū)中的導(dǎo)電粒子而插入所述導(dǎo)電粒子，絕緣膜被切削掉且暴露第一導(dǎo)電膜的一部分的孔隙形成于絕緣膜中，且所述導(dǎo)電粒子在最接近第一襯底的側(cè)上放置成與從所述多個側(cè)面中的孔隙暴露的第一導(dǎo)電膜接觸，且在最接近第二襯底的側(cè)上安置成與第二導(dǎo)電膜接觸。
【附圖說明】
[0023]圖1為示意性地說明關(guān)于本發(fā)明的實施例的顯示裝置的平面圖。
[0024]圖2為示意性地說明關(guān)于本發(fā)明的實施例的顯示裝置的橫截面圖。
[0025]圖3為說明快門及其驅(qū)動器的斜視圖。
[0026]圖4為說明關(guān)于本發(fā)明的實施例的顯示裝置的細(xì)節(jié)的橫截面圖。
[0027]圖5為伸出部分的平面圖。
[0028]圖6為說明伸出部分的修改實例I的平面圖。
[0029]圖7為說明伸出部分的修改實例2的平面圖。
[0030]圖8為說明伸出部分的修改實例3的平面圖。
[0031]圖9為說明伸出部分的修改實例4的平面圖。
[0032]圖10為說明伸出部分的修改實例5的平面圖。
【具體實施方式】
[0033]下文將參看圖式描述本發(fā)明的實施例。
[0034]圖1為示意性地說明關(guān)于本發(fā)明的實施例的顯示裝置的平面圖。圖2為示意性地說明關(guān)于本發(fā)明的實施例的顯示裝置的橫截面圖。
[0035]顯示裝置具有第一襯底10和第二襯底12，每一者由例如玻璃等透明材料制成。第一襯底10為其上形成薄膜晶體管(TFT)、電線等(未說明)的電路板或薄膜晶體管板。在第一襯底10的最接近第二襯底12的側(cè)上，提供由(例如)ITO(氧化銦錫)制成的導(dǎo)電層14。在第一襯底10的最接近第二襯底12的側(cè)上，提供由(例如)氮化硅制成的絕緣膜16以便覆蓋導(dǎo)電層14。絕緣膜16包含平行于第一襯底10延伸的部分。第一不透明膜18形成于第一襯底10上。第一固定孔隙20形成于第一不透明膜18中。
[0036]第二襯底12經(jīng)布置以便與第一襯底10對置，兩者之間存在間隙。在第二襯底12的最接近第一襯底10的側(cè)上，提供由(例如)ITO制成的第二導(dǎo)電膜22。第二不透明膜24形成于第二襯底12上。第二固定孔隙26形成于第二不透明膜24中。第一固定孔隙20和第二固定孔隙26經(jīng)形成以便彼此對置。
[0037]多個快門28提供在第一襯底10上?？扉T28控制光的通過或阻擋?？扉T28提供在一組TFT、電線等(未說明)上方使得其可移動。
[0038]圖3為說明快門及其驅(qū)動器的斜視圖。快門28為具有驅(qū)動孔隙30的板。為增加強度，凹陷部32形成于快門28中，但凹陷部32并不穿透。光穿過驅(qū)動孔隙30，且在除驅(qū)動孔隙30外的部分中被阻擋。驅(qū)動孔隙30具有在一個方向中較長的形狀。此外，光從堆疊在第一襯底10或第二襯底12上的背光34(參看圖2)供應(yīng)。
[0039]快門28的驅(qū)動孔隙30以及第一不透明膜18的第一固定孔隙20和第二不透明膜24的第二固定孔隙26布置在對置位置中。如果其對準(zhǔn)，那么光穿透，且如果第一固定孔隙20和第二固定孔隙26歸因于快門28的移動而被阻擋，那么光被阻擋。