本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體檢測(cè)，尤其涉及一種光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)裝置及方法。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體技術(shù)是現(xiàn)代電子產(chǎn)業(yè)的基石，廣泛應(yīng)用于照明、通信、計(jì)算、醫(yī)療、軍事系統(tǒng)等多個(gè)領(lǐng)域。半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備在半導(dǎo)體制造過程中扮演著至關(guān)重要的角色，它們確保了從設(shè)計(jì)驗(yàn)證到最終產(chǎn)品測(cè)試的每一個(gè)環(huán)節(jié)的質(zhì)量和性能。半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備中光學(xué)系統(tǒng)為檢測(cè)過程提供所需光線，對(duì)檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性具有直接影響。光學(xué)元件調(diào)節(jié)裝置作為光學(xué)系統(tǒng)中的重要組成部分，通過精確控制光路和元件位置，對(duì)提高系統(tǒng)性能至關(guān)重要。

2、光學(xué)元件調(diào)節(jié)設(shè)備的原理基于光學(xué)和機(jī)械原理，通過調(diào)節(jié)元件的位置和角度來控制光路，在半導(dǎo)體制造過程中，光學(xué)元件調(diào)節(jié)設(shè)備可以輔助無圖晶圓檢測(cè)設(shè)備實(shí)現(xiàn)更高精度的檢測(cè)。例如，通過調(diào)節(jié)光學(xué)照明元件，可以優(yōu)化照明條件，增強(qiáng)對(duì)晶圓表面的照明均勻性，從而提高檢測(cè)系統(tǒng)的靈敏度和分辨率。這對(duì)于發(fā)現(xiàn)并分類納米級(jí)斷線、橋接等缺陷至關(guān)重要，尤其是在亞10納米級(jí)別的集成電路芯片制造中。

3、光學(xué)照明元件的調(diào)節(jié)中，針對(duì)光學(xué)透鏡的調(diào)節(jié)只有單向調(diào)節(jié)裝置，通常采用多個(gè)單向的調(diào)節(jié)裝置的疊加組合使用，以使得光學(xué)透鏡的調(diào)節(jié)具有靈活性，以使得光線投射準(zhǔn)確。各單向調(diào)節(jié)裝置占用空間大，安裝和使用均不便，結(jié)構(gòu)冗余，集成度不高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)裝置及方法，主要用于解決現(xiàn)有技術(shù)中光學(xué)透鏡調(diào)節(jié)裝置對(duì)光學(xué)透鏡調(diào)節(jié)方向單一的問題。

2、為達(dá)到上述目的，本申請(qǐng)主要提供如下技術(shù)方案：

3、一方面，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)裝置，包括：

4、固定支撐件(100)、安裝組件(200)、平面調(diào)節(jié)組件(300)和整平組件(400)；

5、安裝組件(200)通過整平組件(400)與平面調(diào)節(jié)組件(300)連接，平面調(diào)節(jié)組件(300)與固定支撐件(100)連接，安裝組件(200)用于連接光學(xué)鏡；

6、平面調(diào)節(jié)組件(300)用于調(diào)節(jié)安裝組件(200)在第一方向和第二方向上的位置，整平組件(400)用于調(diào)節(jié)安裝組件(200)相對(duì)基準(zhǔn)平面的俯仰角度；

7、第一方向和第二方向垂直，第一方向和第二方向均與基準(zhǔn)平面平行。

8、另一方面，本申請(qǐng)還提供了一種光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)方法，用于如上述中任一項(xiàng)的光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)裝置，包括：

9、將光學(xué)鏡安裝于安裝組件，向光學(xué)鏡投射檢測(cè)光；

10、通過平面調(diào)節(jié)組件調(diào)節(jié)安裝組件在第一方向和第二方向的位置；

11、通過整平組件調(diào)節(jié)安裝組件相對(duì)基準(zhǔn)平面的俯仰角度；

12、直到光學(xué)鏡的反射光線垂直投射至待檢測(cè)件的中心區(qū)域。

13、本申請(qǐng)?zhí)岢龅囊环N光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)裝置及方法，主要通過平面調(diào)節(jié)組件進(jìn)行平面內(nèi)位置的調(diào)節(jié)，整平組件進(jìn)行俯仰角度的調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)安裝組件連接的光學(xué)鏡的多方位的靈活調(diào)整，裝置集成度高，結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)省空間，使用方便?，F(xiàn)有技術(shù)中，針對(duì)光學(xué)透鏡的調(diào)節(jié)只有單向調(diào)節(jié)裝置，通常采用多個(gè)單向的調(diào)節(jié)裝置的疊加組合使用，以使得光學(xué)透鏡的調(diào)節(jié)具有靈活性，以適應(yīng)多種光照條件供給需求。各單向調(diào)節(jié)裝置占用空間大，安裝和使用均不便，結(jié)構(gòu)冗余，集成度不高。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本申請(qǐng)文件中，將俯仰調(diào)節(jié)和平面內(nèi)的調(diào)節(jié)集成在同一結(jié)裝置內(nèi)，裝置的集成度高，結(jié)構(gòu)緊密體積小，可以減少由于裝置分散導(dǎo)致的力矩增加而引起的誤差，同時(shí)可以縮減生產(chǎn)成本，減少調(diào)節(jié)難度，且避免多個(gè)單向調(diào)節(jié)裝置結(jié)合困難，以及結(jié)合時(shí)產(chǎn)生不可預(yù)見的誤差。

技術(shù)特征：

1.一種光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，

10.一種光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)方法，其特征在于，用于如上述權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)裝置，包括：

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)公開了一種光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)裝置及方法，主要通過平面調(diào)節(jié)組件進(jìn)行平面內(nèi)位置的調(diào)節(jié)，整平組件進(jìn)行俯仰角度的調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)安裝組件連接的光學(xué)鏡的多方位的靈活調(diào)整，裝置集成度高，結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)省空間，使用方便。本申請(qǐng)主要技術(shù)方案:一種光學(xué)鏡的調(diào)節(jié)裝置，包括：固定支撐件、安裝組件、平面調(diào)節(jié)組件和整平組件；安裝組件通過整平組件與平面調(diào)節(jié)組件連接，平面調(diào)節(jié)組件與固定支撐件連接，安裝組件用于連接光學(xué)鏡；平面調(diào)節(jié)組件用于調(diào)節(jié)安裝組件在第一方向和第二方向上的位置，整平組件用于調(diào)節(jié)安裝組件相對(duì)基準(zhǔn)平面的俯仰角度；第一方向和第二方向垂直，第一方向和第二方向均與基準(zhǔn)平面平行。本申請(qǐng)主要用于光學(xué)鏡位置調(diào)節(jié)。

技術(shù)研發(fā)人員：請(qǐng)求不公布姓名,請(qǐng)求不公布姓名,請(qǐng)求不公布姓名,請(qǐng)求不公布姓名,孫二東,李波音,李丹,張武杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中科慧遠(yuǎn)視覺技術(shù)（洛陽）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9