本發(fā)明涉及掩模和移動板的層疊體及其制造方法。更具體地，涉及一種掩模和移動板的層疊體及其制造方法，能夠無變形且穩(wěn)定地形成掩模，掩模上形成有高分辨率的掩模圖案。

背景技術(shù)：

1、作為oled(有機發(fā)光二極管)制造工藝中形成像素的技術(shù)，主要使用精細金屬掩模(fine?metal?mask，fmm)方法，該方法將薄膜形式的金屬掩模(shadow?mask，陰影掩模)緊貼于基板并且在所需位置上沉積有機物。

2、在現(xiàn)有的oled制造工藝中，將掩模制造成條狀、板狀等后，將掩模焊接固定到oled像素沉積框架并使用。一個掩模上可具備與一個顯示器對應的多個單元。另外，為了制造大面積oled，可將多個掩模固定于oled像素沉積框架，在固定于框架的過程中，拉伸各個掩模以使其變得平坦。調(diào)節(jié)拉伸力以使掩模的整體部分變得平坦是非常困難的作業(yè)。特別是，為了使各個單元全部變得平坦，同時對準尺寸僅為數(shù)μm至數(shù)十μm的掩模圖案，需要微調(diào)施加到掩模各側(cè)的拉伸力并且實時確認對準狀態(tài)的高難度作業(yè)要求。

3、盡管如此，在將多個掩模固定于一個框架過程中，仍然存在掩模之間以及掩模單元之間對準不好的問題。另外，在將掩模焊接固定于框架的過程中，掩模膜的厚度過薄且面積大，因此存在掩模因荷重而下垂或者扭曲的問題；由于焊接過程中在焊接部分產(chǎn)生的皺紋、毛邊等，導致掩模單元的對準不準的問題等。

4、在超高畫質(zhì)的oled中，現(xiàn)有的qhd畫質(zhì)為500-600ppi(pixel?per?inch，每英寸像素)，像素的尺寸達到約30-50μm，而4kuhd、8kuhd高畫質(zhì)具有比之更高的-860ppi，-1600ppi等的分辨率。汽車中使用的超出10英寸尺寸的大型oled為高畫質(zhì)，具有200～400ppi等的分辨率。如此，考慮到超高畫質(zhì)的oled的像素尺寸，需要將各單元之間的對準誤差縮減為數(shù)μm左右，超出這一誤差將導致產(chǎn)品的不良，所以收率可能極低。因此，需要開發(fā)能夠防止掩模的下垂或者扭曲等變形并且使對準精確的技術(shù)，以及將掩模固定于框架的技術(shù)等。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、技術(shù)問題

2、因此，本發(fā)明是為了解決如上所述的諸多現(xiàn)有技術(shù)問題而提出的，目的在于提供一種掩模和移動板的層疊體及其制造方法，在將掩模連接到框架時通過提供張力防止掩模下垂。

3、此外，本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠無變形且穩(wěn)定地對掩模進行支撐并移動，防止掩模下垂或者扭曲等變形并能夠準確地對齊的掩模和移動板的層疊體及其制造方法。

4、此外，本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠準確地控制掩模圖案的大小的掩模和移動板的層疊體及其制造方法。

5、但是，上述技術(shù)問題用于示例性的，本發(fā)明的范圍不受限于此。

6、技術(shù)方案

7、本發(fā)明的上述目的通過掩模和移動板的層疊體的制造方法得以實現(xiàn)，該掩模和移動板的層疊體于支撐oled像素形成用掩模并將掩模對應至框架上，該方法包括以下步驟：(a)將掩模金屬膜的第一面粘合到移動板上；(b)通過在所述第一面的相反面即掩模金屬膜的第二面上形成掩模圖案來制造掩模，所述(a)步驟包括以下步驟：(a1)在所述移動板上布置掩模金屬膜；(a2)沿著所述掩模金屬膜上的第一方向使所述移動板和所述掩模金屬膜通過相面對的一雙輥之間并進行壓合；(a3)沿著與所述第一方向不同的第二方向使所述移動板和所述掩模金屬膜通過所述一雙輥之間并進行壓合。

8、所述掩模金屬膜可為四邊形形狀。

9、所述掩模金屬膜可任意劃分為第一區(qū)域和第二區(qū)域，在所述(a2)步驟中，以通過所述一雙輥之間的方向為基準，所述第一區(qū)域位于相較于所述一雙輥靠前的位置，所述第二區(qū)域位于相較于所述一雙輥靠后的位置，并在所述第二區(qū)域進行壓合。

10、在所述(a3)步驟中，以通過所述一雙輥之間的方向為基準，所述第二區(qū)域位于相較于所述一雙輥靠前的位置，所述第一區(qū)域位于相較于所述一雙輥靠后的位置，并在所述第一區(qū)域進行壓合。

11、所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域分別對應所述掩模金屬膜中分后的各區(qū)域。

12、可進一步包括以下步驟：(a4)沿著不同于所述(a2)步驟或者所述(a3)步驟中所述掩模金屬膜通過所述一雙輥之間方向的第三方向，使所述移動板和所述掩模金屬膜通過所述一雙輥之間，并進行壓合。

13、所述掩模金屬膜可任意劃分為第三區(qū)域和第四區(qū)域，在所述(a4)步驟中，以所述第三方向為基準，所述第三區(qū)域位于相較于所述一雙輥靠前的位置，所述第四區(qū)域位于相較于所述一雙輥靠后的位置，并在所述第四區(qū)域進行壓合。

14、可進一步包括以下步驟：(a5)所述第四區(qū)域位于相較于所述一雙輥靠前的位置，所述第三區(qū)域位于相較于所述一雙輥靠后的位置，并在所述第三區(qū)域進行壓合。

15、所述第三區(qū)域和所述第四區(qū)域分別對應所述掩模金屬膜中分后的各區(qū)域，并且可以與所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域在不同的區(qū)域。

16、在所述(a1)步驟與所述(a2)步驟之間，可進一步包括以下步驟：(a1-2)使所述移動板和所述掩模金屬膜通過相面對的一雙輥之間并以相較于所述(a2)步驟或者(a3)步驟更小的強度值進行壓合。

17、在所述(a2)步驟之前，可進一步包括以下步驟：使所述掩模金屬膜的所述第二區(qū)域的至少一部分從所述移動板翹起。

18、在所述(a3)步驟之前，可進一步包括以下步驟：使所述掩模金屬膜的所述第一區(qū)域的至少一部分從所述移動板翹起。

19、在所述(a)步驟中，可通過夾設干膜抗蝕層并對所述移動板和所述掩模金屬膜進行粘合。

20、所述掩模圖案利用濕式蝕刻形成，在所述掩模圖案的形成過程中，所述干膜抗蝕層可提供粘合力以防止所述掩模金屬膜的第一面與所述干膜抗蝕層之間發(fā)生翹起。

21、在所述(a)步驟之前，可進一步包括以下步驟：在所述掩模金屬膜的第一面上形成凹口部。

22、在所述(a)步驟之后，所述掩模金屬膜在長邊方向和短邊方向上以相較于預先設計的區(qū)域被拉伸的狀態(tài)粘合在所述移動板上。

23、所述拉伸量可為所述掩模金屬膜的長邊長度的0.001％至0.05％。

24、所述拉伸量可至少大于10μm且小于100μm。

25、另外，本發(fā)明的上述目的通過掩模和移動板的層疊體得以實現(xiàn)，該掩模和移動板的層疊體根據(jù)所述掩模和移動板的層疊體的制造方法制成。

26、另外，本發(fā)明的上述目的通過掩模和移動板的層疊體得以實現(xiàn)，該掩模和移動板的層疊體用于支撐oled像素形成用掩模并將掩模對應至框架上，包括：移動板，其為平板形狀；掩模，其粘合在所述移動板上，包括第一面及與所述第一面相面對的第二面，并形成有從所述第一面貫通至所述第二面的多個掩模圖案，所述掩模在長邊方向和短邊方向上以相較于預先設計的區(qū)域被拉伸的狀態(tài)粘合在所述移動板上。

27、所述掩?？商幱谠谒鲱A先設計的區(qū)域中朝兩側(cè)面乃至四側(cè)面進一步被拉伸的狀態(tài)。

28、所述拉伸量可為所述掩模的長邊長度的0.001％至0.05％。

29、所述拉伸量可至少大于10μm且小于100μm。

30、在所述移動板與所述掩模之間夾設干膜抗蝕層(dry?film?resist?layer，dfrlayer)可對所述移動板與所述掩模金屬膜進行粘合。

31、技術(shù)效果

32、根據(jù)如上所述的構(gòu)成的本發(fā)明，將掩模連接到框架時具有可提供張力以防止掩模下垂的效果。

33、此外，根據(jù)本發(fā)明，能夠無變形且穩(wěn)定地支撐并移動掩模、能夠防止掩模下垂或者扭曲等變形且準確地進行對準。

34、此外，根據(jù)本發(fā)明，能夠精確地控制掩模圖案的尺寸。

35、此外，根據(jù)本發(fā)明，能夠顯著減少制造費用和制造時間并顯著提高產(chǎn)率。

36、當然，本發(fā)明的范圍并不受限于上述效果。