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對位鏡頭和曝光機(jī)的制作方法

文檔序號(hào):11179141閱讀:879來源:國知局
對位鏡頭和曝光機(jī)的制造方法與工藝

本實(shí)用新型涉及顯示器制備技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種對位鏡頭和曝光機(jī)。



背景技術(shù):

現(xiàn)有技術(shù)彩色濾光片的制作多采用接近式曝光機(jī)曝光的方式,通常在使用接近式曝光機(jī)時(shí),玻璃基板上的對位標(biāo)記(Work mark)與掩模板上的對位標(biāo)記(Mask mark)進(jìn)行對位時(shí),周圍環(huán)境內(nèi)的光線較暗,對位鏡頭很難找到兩種對位標(biāo)記,因此在對位鏡頭四周需要設(shè)置輔助光源。

如圖1所示,在對位進(jìn)行時(shí),輔助光源03向下方投射光線,便于對位鏡頭01找到對位標(biāo)記02并完成對位。而在現(xiàn)階段高色域彩膜基板的生產(chǎn)過程中,在滿足色度要求的前提下,光刻膠涂布的厚度不斷增大,單一顏色的輔助光源發(fā)出的光線在穿透掩模板與光刻膠后,大部分光線會(huì)被散射或吸收,反射的光線強(qiáng)度減弱,如圖2所示,這樣會(huì)導(dǎo)致聚焦清晰度過低(即聚焦得分值Score值低于閾值),進(jìn)而會(huì)造成對位失敗或?qū)ξ痪认陆惮F(xiàn)象的發(fā)生,在生產(chǎn)高分辨率彩膜基板時(shí),很容易造成像素漏光或混色,影響顯示裝置的顯示效果。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型提供了一種對位鏡頭和曝光機(jī),用以提高對位的準(zhǔn)確性和方便性,提高顯示裝置的成品率。

為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型提供以下技術(shù)方案:

本實(shí)用新型提供了一種對位鏡頭,用于曝光機(jī)中,包括:

鏡頭本體,所述鏡頭本體的周圍分布有至少兩種顏色的光源,且每種顏色的所述光源的亮度可調(diào);

與鏡頭本體信號(hào)連接的控制器,所述控制器用于當(dāng)所述鏡頭本體采集到的聚焦得分值小于預(yù)先設(shè)定的閾值時(shí)產(chǎn)生報(bào)警信號(hào);

與所述控制器信號(hào)連接的報(bào)警器,所述報(bào)警器根據(jù)接收到的報(bào)警信號(hào)產(chǎn)生告警。

本實(shí)用新型提供的對位鏡頭,通過設(shè)置至少兩種顏色的光源,并將光源的亮度設(shè)置的可以調(diào)節(jié),提高光源照射向掩模板和光刻膠后反射的光線的強(qiáng)度,可以提高對位標(biāo)記的亮度,同時(shí)通過設(shè)置的控制器和報(bào)警裝置,便于提醒操作人員調(diào)節(jié)每種顏色的光源的亮度,以使得對位鏡頭本體在最佳的亮度下對掩模板和基板進(jìn)行對位。

故本實(shí)用新型提供的對位鏡頭,可以提高對位的準(zhǔn)確性和方便性,提高顯示裝置的成品率。

在一些可選的實(shí)施方式中,每種顏色的所述光源均包括:多個(gè)圍繞所述鏡頭本體分布的發(fā)光單元。將光源選擇的顏色多一些,能夠更好的提高光源射向掩模板和光刻膠后反射的光線的強(qiáng)度。

在一些可選的實(shí)施方式中,每種顏色的所述光源內(nèi)的發(fā)光單元呈圓形分布或呈矩形分布。這樣可以使得光源發(fā)出的每種顏色的光分散些。

在一些可選的實(shí)施方式中,每個(gè)所述發(fā)光單元為發(fā)光二極管。

在一些可選的實(shí)施方式中,所述光源為四種顏色,沿所述鏡頭本體的半徑的延伸方向、四種顏色的所述光源依次排列。

在一些可選的實(shí)施方式中,四種顏色的所述光源分別為紅色光源、綠色光源、藍(lán)色光源和白色光源。

在一些可選的實(shí)施方式中,四種顏色的所述光源分別為紅色光源、綠色光源、藍(lán)色光源和黃色光源。

在一些可選的實(shí)施方式中,上述對位鏡頭,還包括:

記錄器,所述記錄器與所述鏡頭本體信號(hào)連接,當(dāng)對位成功時(shí),所述記錄器保存此時(shí)各個(gè)光源對應(yīng)的亮度值。記錄器的設(shè)置,可以便于操作人員下次再對同樣的基板進(jìn)行對位時(shí)可以直接控制光源輸出對應(yīng)的亮度,不需要再次調(diào)節(jié)光源的亮度,這樣可以提高制備效率。

在一些可選的實(shí)施方式中,上述對位鏡頭還包括:用于調(diào)節(jié)每種顏色的光源亮度的調(diào)節(jié)鈕。

本實(shí)用新型還提供了一種曝光機(jī),包括上述任一項(xiàng)所述的對位鏡頭。由于上述對位鏡頭可以提高對位的準(zhǔn)確性和方便性,提高顯示裝置的成品率。故本實(shí)用新型提供的曝光機(jī)具有較好的實(shí)用性和較好的曝光效率。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的對位鏡頭的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2為現(xiàn)有技術(shù)中的對位鏡頭采集到的對位標(biāo)記的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的對位鏡頭的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的對位鏡頭采集到的對位標(biāo)記的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖5為本實(shí)用新型提供的曝光機(jī)的一種結(jié)構(gòu)示意圖;

圖6為本實(shí)用新型提供的曝光機(jī)的一種使用流程圖。

附圖標(biāo)記:

01-對位鏡頭 02-對位標(biāo)記

03-輔助光源 1-對位鏡頭

11-鏡頭本體 12-光源

2-掩模板 3-掩模板支撐臺(tái)

4-光刻膠層 5-基板

6-基板支撐臺(tái) 7-對位標(biāo)記

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型專利保護(hù)的范圍。

接近式曝光機(jī)在進(jìn)行掩模板和基板對位時(shí),對位鏡頭需要在黑暗的環(huán)境中,通過鏡頭本體周圍的光源向?qū)ξ粯?biāo)記投射光線,以輔助對位鏡頭找到對位標(biāo)記并完成掩模板和基板的對位,但隨著顯示面板的分辨率不斷的提高,基板的色域不斷提高,光刻膠的厚度不斷增加,現(xiàn)有技術(shù)中的鏡頭本體周圍的單色的光源發(fā)出的光穿過掩模板和光刻膠層后,大部分光線會(huì)被吸收或散射,這樣經(jīng)過基板再反射向鏡頭本體的光線強(qiáng)度將較弱。

為解決上述問題,如圖3、圖4以及圖5所示,本實(shí)用新型提供了一種對位鏡頭1,用于曝光機(jī)中,包括:

鏡頭本體11,鏡頭本體11的周圍分布有至少兩種顏色的光源12,且每種顏色的光源12的亮度可調(diào);

與鏡頭本體11信號(hào)連接的控制器,控制器用于當(dāng)鏡頭本體11采集到的聚焦得分值小于預(yù)先設(shè)定的閾值時(shí)產(chǎn)生報(bào)警信號(hào);

與控制器信號(hào)連接的報(bào)警器,報(bào)警器根據(jù)接收到的報(bào)警信號(hào)產(chǎn)生告警。便于提醒操作人員調(diào)節(jié)每種顏色的光源12的亮度,以使得對位鏡頭1本體在最佳的亮度下對基板5進(jìn)行對位。

本實(shí)用新型提供的對位鏡頭1應(yīng)用于曝光機(jī)中,如圖5所示,將涂覆有光刻膠層4的基板5放置于基板支撐臺(tái)6上,放置有掩模板2的掩模板支撐臺(tái)3與基板5正對設(shè)置,對位鏡頭1位于掩模板背離基板5的一側(cè),打開對位鏡頭1內(nèi)的光源12,控制器根據(jù)鏡頭本體采集到的聚焦得分值與設(shè)定的閾值的比較結(jié)果控制報(bào)警器報(bào)警,提醒操作者調(diào)節(jié)光源12的亮度,使得鏡頭本體11采集到的對位標(biāo)記7的清晰度不斷提高,如圖4所示,當(dāng)對位鏡頭1達(dá)到對位所需要的聚焦清晰度時(shí)即對位完成。

可見,本實(shí)用新型提供的對位鏡頭1,通過設(shè)置至少兩種顏色的光源12,并將光源12的亮度設(shè)置的可以調(diào)節(jié),這樣可以提高光源12照射向掩模板和光刻膠后反射的光線的強(qiáng)度,可以提高對位標(biāo)記7的亮度,使得對位鏡頭1發(fā)出的光可以輔助鏡頭本體11更好的找到對位標(biāo)記7并完成對位。

故本實(shí)用新型提供的對位鏡頭1,可以提高對位的準(zhǔn)確性和方便性,提高顯示裝置的成品率。

本實(shí)用新型提供的實(shí)施例中,鏡頭本體11可以采用CCD攝像頭,CCD,英文全稱:Charge-coupled Device,中文全稱:電荷耦合元件??梢苑Q為CCD圖像傳感器,也叫圖像控制器。CCD是一種半導(dǎo)體器件,能夠把光學(xué)影像轉(zhuǎn)化為電信號(hào)。CCD上植入的微小光敏物質(zhì)稱作像素(Pixel)。一塊CCD上包含的像素?cái)?shù)越多,其提供的畫面分辨率也就越高。CCD的作用就像膠片一樣,但它是把光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電荷信號(hào)。CCD上有許多排列整齊的光電二極管,能感應(yīng)光線,并將光信號(hào)轉(zhuǎn)變成電信號(hào),經(jīng)外部采樣放大及模數(shù)轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換成數(shù)字圖像信號(hào)。

本實(shí)用新型實(shí)施例,每種顏色的光源12均包括:多個(gè)圍繞鏡頭本體11分布的發(fā)光單元。將光源12選擇的顏色多一些,能夠更好的提高光源12射向掩模板和光刻膠后反射的光線的強(qiáng)度。

上述光源12的發(fā)光單元的排列方式可以有多種,本實(shí)用新型提供的一種實(shí)施例中,每種顏色的光源12內(nèi)的發(fā)光單元呈圓形分布或呈矩形分布。這樣可以使得光源12發(fā)出的每種顏色的光分散些。

可選的,每個(gè)發(fā)光單元為發(fā)光二極管。

本實(shí)用新型提供的光源12的顏色種類可以有多種,可以根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定,一種可選的實(shí)施方式中,光源12為四種顏色,沿鏡頭本體11的半徑的延伸方向、四種顏色的光源12依次排列。

一種具體實(shí)施方式中,四種顏色的光源12分別為紅色光源、綠色光源、藍(lán)色光源和白色光源。

另一種具體實(shí)施方式中,四種顏色的光源12分別為紅色光源、綠色光源、藍(lán)色光源和黃色光源。

為了便于調(diào)節(jié)光源12的亮度,可以在對位鏡頭1內(nèi)設(shè)置一些控制光源12亮度的調(diào)節(jié)按鈕,操作人員可以旋動(dòng)調(diào)節(jié)按鈕調(diào)節(jié)光源12的亮度,也可以通過操作手柄控制光源12的亮度。

進(jìn)一步的,上述對位鏡頭1,還包括:

記錄器,記錄器與鏡頭本體11信號(hào)連接,當(dāng)對位成功時(shí),記錄器保存此時(shí)各個(gè)光源12對應(yīng)的亮度值。記錄器的設(shè)置,可以便于操作人員下次再進(jìn)行同樣的基板5對位時(shí)可以直接控制光源12輸出對應(yīng)的亮度,不需要再次調(diào)節(jié)光源12的亮度,這樣可以提高制備效率。

上述對位鏡頭還包括:用于調(diào)節(jié)每種顏色的光源亮度的調(diào)節(jié)鈕,該調(diào)節(jié)鈕可以設(shè)置于鏡頭本體上。

如圖5所示,本實(shí)用新型還提供了一種曝光機(jī),包括上述任一項(xiàng)所述的對位鏡頭1。由于上述對位鏡頭1可以提高對位的準(zhǔn)確性和方便性,提高顯示裝置的成品率。故本實(shí)用新型提供的曝光機(jī)具有較好的實(shí)用性和較好的曝光效率。

本實(shí)用新型提供的曝光機(jī)在使用時(shí),一種使用方式為:如圖5和圖6所示,將涂覆有光刻膠層4的基板5放置于基板支撐臺(tái)6上,放置有掩模板2的掩模板支撐臺(tái)3與基板5正對設(shè)置,對位鏡頭1位于掩模板背離基板5的一側(cè),執(zhí)行步驟S601:對位鏡頭1內(nèi)的光源12開啟,執(zhí)行步驟S602:鏡頭本體11搜索視野范圍內(nèi)的對位標(biāo)記7,執(zhí)行步驟S603:移動(dòng)基板支撐臺(tái)6或掩模板支撐臺(tái)3進(jìn)行基板5和掩模板2的對位,執(zhí)行步驟S604:采集對位標(biāo)記7處聚焦得分值并與預(yù)先設(shè)定的閾值對比,若該聚焦得分值小于預(yù)先設(shè)定的閾值,則執(zhí)行步驟S606:發(fā)出警報(bào)提醒操作人調(diào)節(jié)光源12的亮度、直至聚焦得分值大于預(yù)先設(shè)定的閾值;若該聚焦得分值大于預(yù)先設(shè)定的閾值,則執(zhí)行步驟S605:對位完成并開始曝光操作。

顯然,本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣,倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi),則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。

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