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一種新型曝光系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:11604845閱讀:540來源:國知局
一種新型曝光系統(tǒng)的制造方法與工藝

本實(shí)用新型本實(shí)用新型屬于電子技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種新型曝光系統(tǒng)。



背景技術(shù):

目前曝光設(shè)備使用于制造PCB、LCD、觸摸屏的工廠,為了提升生產(chǎn)效率與提高對位精度,往往會使用PIN釘作為輔助定位裝置替代傳統(tǒng)的人工對位方式,且PIN釘使用緊配合方式與被曝光件結(jié)合來確保對位精度(即PIN釘?shù)闹睆脚c被曝光件上的定位孔等大),因此也造成了卸下與更換被曝光件的難度,不僅加劇了定位PIN釘?shù)哪p甚至折斷,亦使得連續(xù)生產(chǎn)的被曝光件有對位偏移的隱患。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

針對現(xiàn)有技術(shù)不足,本實(shí)用新型公開一種具有新型PIN釘對位裝置和自動退板裝置的曝光系統(tǒng),PIN釘為固定在光罩工具上的T形釘,自動退板裝置,其特征在于由頂板設(shè)施、控制系統(tǒng)與安裝有PIN釘對位裝置的光罩工具組成;頂板設(shè)施安裝在光罩工具及被曝光件之間,由控制系統(tǒng)控制完成上頂或下縮動作,可將被曝光物件從定位裝置頂起或放下;

所述的T形釘,其特征為底座是平頭,形狀、直徑與光罩工具中菲林上的開孔相同,嵌入在光罩工具中,并通過光罩工具上菲林與底座之間的膠層固定,底座厚度不高于光罩工具所用菲林的厚度;

所述的T形釘,其特征為釘頭直徑與被曝光件上的定位孔等直徑,或略小于定位孔,能夠套入被曝光件。釘頭高度小于或等于被曝光件的厚度;丁的端頭可以有倒角;

所述的頂板設(shè)施,其特征為嵌入在被曝光件與光罩工具之間,在收到控制系統(tǒng)給出的“頂”信號后,能夠頂起壓在其上方的被曝光件;在收到控制系統(tǒng)給出的“縮”信號后,能夠收縮使其上方的被曝光件能夠順利的扣在定位裝置上;

所述的控制系統(tǒng),其特征為根據(jù)預(yù)設(shè)指令,配合曝光框的開合、在光罩工具上安裝與卸下被曝光件的動作,給予所述頂板設(shè)施頂起和脫板設(shè)施收縮信號的部件;

所述的頂板設(shè)施,其特征為氣動部件,通過控制壓力氣源,能夠頂起壓在其上方的被曝光件或收縮后貼附在曝光臺面上,同一個(gè)曝光臺面至少使用兩個(gè)上述的頂板裝置;

所述的頂板設(shè)施,其特征為電動部件,通過控制電動部件,能夠頂起壓在其上方的被曝光件或收縮后貼附在曝光臺面上,同一個(gè)曝光臺面至少使用一個(gè)上述的脫板裝置;

所述的頂板設(shè)施,其特征為當(dāng)其頂起狀態(tài)時(shí)的高度,大于所述PIN釘對位裝置的T形釘釘頭的高度,使得被曝光件能夠脫離定位的T形釘;當(dāng)其收縮狀態(tài)時(shí)的高度,小于所述光罩工具所用菲林的厚度,使得被曝光件安裝在所述光罩工具上時(shí),能夠緊密貼合。

自動退板裝置將氣動或電動的頂板設(shè)施安裝于所述光罩工具與被曝光件之間,在被曝光件套上定位PIN釘時(shí),頂板設(shè)施在控制系統(tǒng)預(yù)設(shè)程序的指揮下,貼附在光罩工具上,而不會影響到被曝光件與光罩工具的緊密貼合;在被曝光件完成曝光動作,并且打開曝光框準(zhǔn)備卸下與更換被曝光件時(shí),頂板設(shè)施在控制系統(tǒng)預(yù)設(shè)程序的指揮下,自動頂起其上方的被曝光件,使得被曝光件脫離定位PIN釘。同時(shí)使用多個(gè)頂板設(shè)施時(shí),可以將頂部設(shè)施采取對稱布局的方式安裝,這樣更有利于被曝光件脫離定位PIN釘時(shí)的力均衡,避免了PIN釘被折斷的可能;

該新型曝光系統(tǒng)用于PCB、LCD、觸摸屏等領(lǐng)域,可有效解決曝光機(jī)使用過程中產(chǎn)生的對位偏移、PIN釘對位時(shí)退板困難等問題,可大大提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

[附圖說明]

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施新型PIN釘對位裝置放大圖。

圖2是本實(shí)用新型實(shí)施氣動頂板設(shè)施的俯視圖。

圖3是本實(shí)用新型實(shí)施氣動頂板設(shè)施吸氣上板狀態(tài)的示意圖。

圖4是本實(shí)用新型實(shí)施氣動頂板設(shè)施充氣脫板狀態(tài)的示意圖。

圖5是本實(shí)用新型實(shí)施電動頂板設(shè)施的俯視圖。

圖6是本實(shí)用新型實(shí)施電動頂板設(shè)施上板狀態(tài)的示意圖。

圖7是本實(shí)用新型實(shí)施電動頂板設(shè)施脫板狀態(tài)的示意圖。

具體實(shí)施方式]

新型PIN釘對位裝置,如圖1所示,由復(fù)數(shù)顆T形釘組裝(本實(shí)施方案圖中使用了四顆所述的T形釘),底座為平頭,光罩工具的菲林上開有與底座等直徑、同形狀的孔,底座嵌入在所述的光罩工具中,并通過膠層固定在光罩工具上。T形釘?shù)尼旑^,直徑與被曝光件的定位孔一致,其高度小于等于被曝光件的厚度,這樣所述PIN釘對位裝置上安裝有被曝光件時(shí),所述的T形釘?shù)尼旑^,低于被曝光件。

所述的自動退板裝置,如圖2-4所示,包括:頂板設(shè)施、安裝有PIN釘定位裝置的光罩工具與控制系統(tǒng);所述的頂板設(shè)施為氣動部件(氣管),通過輸入的電源與高壓氣源,氣管能夠頂起壓在其上方的被曝光件或收縮后貼附在曝光臺面上,同一個(gè)曝光臺面按對向的對稱方式,使用兩條頂板氣管,這樣頂板時(shí)定位PIN的受力會均勻;所述的光罩工具由菲林層、膠層、透明托板與至少2顆以上的定位PIN釘組成,透明托板緊貼于曝光機(jī)的臺面,定位PIN釘緊密安裝在透明托板上,用于固定被曝光件與輔助對位;所述的控制系統(tǒng)根據(jù)預(yù)設(shè)指令,配合曝光框的開合、在光罩工具上安裝與卸下被曝光件的動作,給予所述頂板設(shè)施收縮或頂起的信號。

所述的頂板設(shè)施,其頂起狀態(tài)時(shí)的高度(即氣管充氣時(shí)的厚度),大于定位PIN釘?shù)母叨?,被曝光件才能夠脫離定位PIN釘;其收縮狀態(tài)時(shí)的高度(即氣管抽氣時(shí)的厚度),小于所述光罩工具所用菲林的厚度,使得被曝光件安裝在所述光罩工具上時(shí),能夠緊密貼合。

所述的自動退板裝置,如圖5-7所示,包括:頂板設(shè)施、光罩工具與控制系統(tǒng);所述的頂板設(shè)施為電動部件(頂針與簧片),通過輸入的電源和信號,頂針能夠頂起其上方的簧片(一側(cè)被固定在輔助平臺上),通過簧片的傳動,再頂起簧片上方的被曝光件;在收到收縮信息后,頂針則縮其,使得簧片成水平狀態(tài),曝光件能夠緊密的貼附在菲林上。同一個(gè)曝光臺面按對稱方式,使用2-4個(gè)頂板頂針,這樣頂板時(shí)定位PIN的受力會均勻;所述的光罩工具由菲林層、膠層、透光基板與至少2顆以上的定位PIN釘及其配套的簧片組成,透明托板緊貼于曝光機(jī)的臺面,定位PIN釘緊密安裝在透明托板上,用于固定被曝光件與輔助對位;所述的控制系統(tǒng)根據(jù)預(yù)設(shè)指令,配合曝光框的開合、在光罩工具上安裝與卸下被曝光件的動作,給予所述頂板設(shè)施收縮或頂起的信號。

所述的頂板設(shè)施,其頂起狀態(tài)時(shí)的高度(即簧片彈起的高度),大于定位PIN釘?shù)母叨?,被曝光件才能夠脫離定位PIN釘;其頂針收縮后的高度,小于所述光罩工具所用菲林的厚度,使得被曝光件安裝在所述光罩工具上時(shí),能夠緊密貼合。

雖然上述結(jié)合附圖描述了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例,但本實(shí)用新 型并不限于上面所示和所描述的實(shí)施例,而是可在所附的權(quán)利要求的 范圍內(nèi)以各種方式實(shí)現(xiàn)。

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