1.一種光罩檢測裝置，其特征在于，包含：
檢測基座，其一面上設(shè)有支架；
沿所述檢測基座作第一方向位移的移動平臺，其設(shè)于所述檢測基座的一面上，且位于所述檢測基座及所述支架之間；
沿所述移動平臺作與所述第一方向垂直的第二方向位移的轉(zhuǎn)動平臺，其設(shè)于所述移動平臺之上；
承載平臺，其設(shè)于所述轉(zhuǎn)動平臺的一面上，所述承載平臺承載光罩，所述光罩包含基板、框架及防塵膜，所述框架設(shè)于所述基板的一面上，所述防塵膜設(shè)于所述框架上；
對應(yīng)所述防塵膜的其中一個檢測區(qū)域產(chǎn)生測距信號的激光測距模塊，其設(shè)于所述支架的一側(cè)；
垂直位移模塊，其設(shè)于所述支架的一側(cè)；
根據(jù)所述測距信號控制所述垂直位移模塊升降的處理模塊，其連結(jié)所述激光測距模塊及所述垂直位移模塊；以及
于所述垂直位移模塊升降后，采集由所述激光測距模塊所測量的所述檢測區(qū)域的檢測影像的影像采集模塊，其連結(jié)所述處理模塊，且相鄰所述激光測距模塊并設(shè)置于所述垂直位移模塊上；
其中，當(dāng)所述影像采集模塊采集其中一個所述檢測區(qū)域的所述檢測影像后，所述移動平臺將下一個所述檢測區(qū)域移至對應(yīng)所述激光測距模塊及所述影像采集模塊的位置，以產(chǎn)生下一個所述檢測區(qū)域的所述測距信號及所述檢測影像，所述處理模塊根據(jù)多個所述測距信號產(chǎn)生防塵膜高度信息，且根據(jù)各所述檢測影像產(chǎn)生檢測信息。
2.如權(quán)利要求1所述的光罩檢測裝置，其特征在于，所述移動平臺包含所述轉(zhuǎn)動平臺沿著位移的導(dǎo)軌。
3.如權(quán)利要求1所述的光罩檢測裝置，其特征在于，所述檢測信息包含微粒位置、微粒尺寸或其組合。