本發(fā)明涉及一種位置校正裝置及位置校正方法，尤其是用于對(duì)顯示面板的放置位置進(jìn)行校正并可防止校正過(guò)程中顯示面板產(chǎn)生裂紋甚至破片的位置校正裝置及位置校正方法。

背景技術(shù)：

液晶顯示裝置具有機(jī)身薄、省電、無(wú)輻射等眾多優(yōu)點(diǎn)，得到了廣泛的應(yīng)用。制作液晶顯示裝置時(shí)，需要在玻璃基板的表面上形成電性微結(jié)構(gòu)，為了確保電性微結(jié)構(gòu)形成于正確的位置上，需要將玻璃基板放置于操作臺(tái)面上的指定位置。實(shí)際操作中，玻璃基板放置于操作臺(tái)面上時(shí)不一定準(zhǔn)確地放置于上述指定位置，故需要在玻璃基板放置于操作臺(tái)面后對(duì)其位置進(jìn)行校正。請(qǐng)參考圖1，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中位置校正裝置的局部俯視圖。如圖1所示，位置校正裝置1000’包含第一校正組1100’以及第二校正組1200’，第一校正組1100’和第二校正組1200’分別從基板2000’的相對(duì)兩側(cè)施力(施力方向如圖1中箭頭所示)，以將基板2000’夾緊并推送至指定位置。一般的，玻璃基板的邊緣受到撞擊發(fā)生破裂的臨界值約為100Mpa，若第一校正組1100’和/或第二校正組1200’在夾緊及推送基板2000’的過(guò)程中對(duì)基板2000’的撞擊力過(guò)大，則可能導(dǎo)致基板2000’產(chǎn)生裂紋，增加后續(xù)制程過(guò)程中基板2000’發(fā)生破片的風(fēng)險(xiǎn)。

因此，如何在對(duì)基板進(jìn)行位置校正的過(guò)程中防止其產(chǎn)生裂紋，成為業(yè)界研究的方向之一。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種位置校正裝置及位置校正方法，其可防止在對(duì)基板進(jìn)行位置校正的過(guò)程中產(chǎn)生裂紋，從而降低基板發(fā)生破片的風(fēng)險(xiǎn)。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提出一種位置校正裝置，用于將放置于操作臺(tái)面上的基板校正至指定位置，該基板具有相對(duì)的第一側(cè)及第二側(cè)，該基板位于該指定位置時(shí)，該第一側(cè)位于第一預(yù)定位置，該第二側(cè)位于該第二預(yù)定位置，該位置校正裝置包含第一校正組及第二校正組。第一校正組鄰近該基板的該第一側(cè)設(shè)置，該第一校正組包含第一校正單元，該第一校正單元包含第一彈性件，該第一彈性件具有第一彈性系數(shù)；第二校正組鄰近該基板的該第二側(cè)設(shè)置，該第二校正組包含第二校正單元，該第二校正單元包含第二彈性件，該第二彈性件具有第二彈性系數(shù)，該第二彈性系數(shù)小于該第一彈性系數(shù)；使用時(shí)，先驅(qū)動(dòng)該第一校正組沿第一方向移動(dòng)至該第一預(yù)定位置，該第一方向?yàn)樵摰谝粋?cè)指向該第二側(cè)的方向，然后驅(qū)動(dòng)該第二校正組沿第二方向移動(dòng)至該第二預(yù)定位置，該第二方向與該第一方向相反，從而將該基板夾持于該第一校正組與該第二校正組之間。

作為可選的技術(shù)方案，該位置校正裝置還包含第一氣缸，該第一氣缸連接該第一校正組，該第一氣缸用于驅(qū)動(dòng)該第一校正組移動(dòng)。

作為可選的技術(shù)方案，該第一校正單元還包含與該第一彈性件相連接的第一抵擋部，該第一抵擋部具有第一抵擋弧面，該第二校正組移動(dòng)至該第二預(yù)定位置時(shí)，該第一抵擋弧面抵接該基板的該第一側(cè)。

作為可選的技術(shù)方案，該第一抵擋部包含相連接的第一連接部及第一抵接部，該第一連接部的兩端分別連接該第一彈性件及該第一抵接部，該第一抵接部具有該第一抵擋弧面，該第一連接部的硬度大于該第一抵接部的硬度。

作為可選的技術(shù)方案，該第一校正組還包含第三校正單元，該第二校正組還包含第四校正單元，該第一校正單元與該第二校正單元相對(duì)，該第三校正單元與該第四校正單元相對(duì)。

作為可選的技術(shù)方案，該第一連接部的材質(zhì)為聚醚醚酮，該第一抵接部的材質(zhì)為聚四氟乙烯。

作為可選的技術(shù)方案，該第一預(yù)定位置為單一位置；或者該第一預(yù)定位置為一段區(qū)域范圍。

此外，本發(fā)明還提出一種位置校正方法，用于將放置于操作臺(tái)面上的基板校正至指定位置，該基板具有相對(duì)的第一側(cè)及第二側(cè)，該基板位于該指定位置時(shí)，該第一側(cè)位于第一預(yù)定位置，該第二側(cè)位于第二預(yù)定位置，該位置校正方法包含：

步驟a：提供位置校正裝置，該位置校正裝置包含第一校正組以及第二校正組。第一校正組鄰近該基板的該第一側(cè)設(shè)置，該第一校正組包含第一校正單元，該第一校正單元包含第一彈性件，該第一彈性件具有第一彈性系數(shù)；第二校正組鄰近該基板的該第二側(cè)設(shè)置，該第二校正組包含第二校正單元，該第二校正單元包含第二彈性件，該第二彈性件具有第二彈性系數(shù)，該第二彈性系數(shù)小于該第一彈性系數(shù)；

步驟b：驅(qū)動(dòng)該第一校正組沿第一方向移動(dòng)至該第一預(yù)定位置，該第一方向?yàn)樵摰谝粋?cè)指向該第二側(cè)的方向；以及

步驟c：驅(qū)動(dòng)該第二校正組沿第二方向移動(dòng)至該第二預(yù)定位置，該第二方向與該第一方向相反，從而將該基板夾持于該第一校正組與該第二校正組之間。

作為可選的技術(shù)方案，該操作臺(tái)面上具有多個(gè)真空吸附孔，該方法還包含步驟d：校正完畢后，該多個(gè)真空吸附孔吸附該基板，以將該基板定位于該指定位置。

作為可選的技術(shù)方案，校正前該第一校正組位于第一原始位置，該第二校正組位于第二原始位置，該方法還包含步驟e：校正完畢后，先驅(qū)動(dòng)該第二校正組移動(dòng)回該第二原始位置，再驅(qū)動(dòng)該第一校正組移動(dòng)回該第一原始位置。

本發(fā)明的位置校正裝置及位置校正方法，校正過(guò)程中，先作動(dòng)的第一校正組的彈性系數(shù)較大，可保證校正的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，后作動(dòng)的第二校正組的彈性系數(shù)較小，可保證施加于基板上的作用力增加曲線平緩，降低基板產(chǎn)生裂紋的風(fēng)險(xiǎn)，減小基板發(fā)生破片的幾率。

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。

附圖說(shuō)明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的位置校正裝置的局部俯視圖；

圖2為本發(fā)明的位置校正方法的流程圖；

圖3A為本發(fā)明的基板放置于操作臺(tái)面時(shí)的局部俯視圖；

圖3B為本發(fā)明的第一校正組移動(dòng)至第一預(yù)定位置時(shí)的局部俯視圖；

圖3C為本發(fā)明的第二校正組移動(dòng)至第二預(yù)定位置時(shí)的局部俯視圖；

圖4A為本發(fā)明的第一校正單元的局部正視圖；

圖4B為本發(fā)明的第一校正單元的局部俯視圖；

圖4C為本發(fā)明的第一校正單元的局部左視圖。

具體實(shí)施方式

以下各實(shí)施例的說(shuō)明是參考附加的圖式，用以例示本發(fā)明可用以實(shí)施的特定實(shí)施例。本發(fā)明所提到的方向用語(yǔ)，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「?jìng)?cè)面」等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語(yǔ)是用以說(shuō)明及理解本發(fā)明，而非用以限制本發(fā)明。

在以下實(shí)施例中，在不同的圖中，相同部分是以相同標(biāo)號(hào)表示。

請(qǐng)參考圖2至圖4C，圖2為本發(fā)明的位置校正方法的流程圖；圖3A為本發(fā)明的基板放置于操作臺(tái)面時(shí)的局部俯視圖；圖3B為本發(fā)明的第一校正組移動(dòng)至第一預(yù)定位置時(shí)的局部俯視圖；圖3C為本發(fā)明的第二校正組移動(dòng)至第二預(yù)定位置時(shí)的局部俯視圖；圖4A為本發(fā)明的第一校正單元的局部正視圖；圖4B為本發(fā)明的第一校正單元的局部俯視圖；圖4C為本發(fā)明的第一校正單元的局部左視圖。

本發(fā)明用于將放置于操作臺(tái)面(未繪示)上的基板2000校正至指定位置P，以確保電性微結(jié)構(gòu)或者其他結(jié)構(gòu)可形成于基板2000上的正確位置。如圖3A所示，基板2000具有相對(duì)的第一側(cè)2100及第二側(cè)2200。當(dāng)基板2000位于指定位置P時(shí)，其第一側(cè)2100將位于第一預(yù)定位置A，第二側(cè)2200將位于第二預(yù)定位置B。換句話說(shuō)，第一預(yù)定位置A和第二預(yù)定位置B確定了校正后基板2000的位置。實(shí)際操作中，第一預(yù)定位置A可為單一位置或者一段區(qū)域范圍(通常為較小的區(qū)域范圍，區(qū)域范圍的大小可視實(shí)際精度需求而確定)。當(dāng)?shù)谝活A(yù)定位置A為單一位置時(shí)，第一側(cè)2100位于第一預(yù)定位置A意味著第一側(cè)2100對(duì)齊第一預(yù)定位置A；當(dāng)?shù)谝活A(yù)定位置A為一段區(qū)域范圍時(shí)，第一側(cè)2100位于第一預(yù)定位置A意味著第一側(cè)2100位于該區(qū)域范圍內(nèi)。同樣的，第二預(yù)定位置B可為單一位置或者一段區(qū)域范圍，當(dāng)?shù)诙A(yù)定位置B為單一位置時(shí)，第二側(cè)2200位于第二預(yù)定位置B意味著第二側(cè)2200對(duì)齊第二預(yù)定位置B；當(dāng)?shù)诙A(yù)定位置B為一段區(qū)域范圍時(shí)，第二側(cè)2200位于第二預(yù)定位置B意味著第二側(cè)2200位于該區(qū)域范圍內(nèi)。

以下介紹本發(fā)明的位置校正方法，其包含：

步驟a(S100)：提供位置校正裝置1000。如圖3A所示，位置校正裝置1000包含第一校正組1100以及第二校正組1200。第一校正組1100鄰近基板2000的第一側(cè)2100設(shè)置，第一校正組1100包含第一校正單元1110，第一校正單元1110包含第一彈性件1120，該第一彈性件1120具有第一彈性系數(shù)k1。第二校正組1200鄰近基板2000的第二側(cè)2200設(shè)置，第二校正組1200包含第二校正單元1210，第二校正單元1210包含第二彈性件1220，第二彈性件1220具有第二彈性系數(shù)k2，第二彈性系數(shù)k2小于第一彈性系數(shù)k1。

步驟b(S200)：如圖3B所示，驅(qū)動(dòng)第一校正組1100沿第一方向X移動(dòng)至第一預(yù)定位置A，第一方向X為第一側(cè)2100指向第二側(cè)2200的方向。本實(shí)施例中，第一校正組1100移動(dòng)至第一預(yù)定位置A指的是第一校正組1100的最前端到達(dá)第一預(yù)定位置A。

步驟c(S300)：如圖3C所示，驅(qū)動(dòng)第二校正組1200沿第二方向Y移動(dòng)至第二預(yù)定位置B，第二方向Y與第一方向X相反，從而將基板2000夾持于第一校正組1100與第二校正組1200之間。本實(shí)施例中，第二校正組1200移動(dòng)至第二預(yù)定位置B指的是第二校正組1200的最前端到達(dá)第二預(yù)定位置B。

本發(fā)明的位置校正方法及位置校正裝置，第一彈性件1120的第一彈性系數(shù)k1大于第二彈性件1220的第二彈性系數(shù)k2，且在校正過(guò)程中，具有第一彈性件1120的第一校正組1100先作動(dòng)，具有第二彈性件1220的第二校正組后作動(dòng)，亦即本發(fā)明中彈性系數(shù)較大的第一校正組1100先作動(dòng)，彈性系數(shù)較小的第二校正組1200后作動(dòng)。

由于第一校正組1100中第一彈性件1120的第一彈性系數(shù)k1較大，若施加于第一彈性件1120上的作用力較小，則其不會(huì)發(fā)生形變，即，第一校正組1100的最前端不會(huì)發(fā)生位移。這樣一來(lái)，當(dāng)?shù)谝恍ＵM1100先移動(dòng)至第一預(yù)定位置A后，在后續(xù)第二校正組1200沿第二方向Y朝向第二預(yù)定位置B移動(dòng)的過(guò)程中，于第二校正組1200藉由基板2000傳遞至第一校正組1100的作用力不足以使得第一彈性件1120發(fā)生形變，保證了與第一校正組1100抵接的基板2000的第一側(cè)2100不會(huì)因?yàn)榈诙ＵM1200的推擠而移離第一預(yù)定位置A，確保基板2000的第一側(cè)2100的最終位置位于第一預(yù)定位置A，從而提高了校正的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

實(shí)際操作中，較佳的，將第一預(yù)定位置A及第二預(yù)定位置B均設(shè)定為一段區(qū)域范圍。原因之一為：第一校正組1100需藉由其他驅(qū)動(dòng)裝置(例如馬達(dá))來(lái)驅(qū)動(dòng)至指定位置，驅(qū)動(dòng)完成時(shí)第一校正組1100的位置取決于驅(qū)動(dòng)裝置的運(yùn)動(dòng)精度水平，將第一預(yù)定位置A設(shè)定為一小段區(qū)域范圍，既可以降低驅(qū)動(dòng)裝置的運(yùn)動(dòng)精度要求，又可以滿(mǎn)足產(chǎn)品精度要求。第二預(yù)定位置B的情況與第一預(yù)定位置A類(lèi)似，不另贅述。

原因之二為：當(dāng)?shù)谝恍ＵM1100移動(dòng)至第一預(yù)定位置A，然后驅(qū)動(dòng)第二校正組1200移動(dòng)至第二預(yù)定位置B的過(guò)程中，第二校正組1200藉由基板2000傳遞作用力至第一校正組1100，若第一預(yù)定位置A為單一位置，同時(shí)第一校正組1100在上述作用力下發(fā)生了位移，則基板2000的第一側(cè)2100將跟隨第一校正組1100亦發(fā)生位移，導(dǎo)致最終移離第一預(yù)定位置A。若第一預(yù)定位置A為一段區(qū)域范圍，即使第二校正組1200藉由基板2000傳遞至第一校正組1100的作用力使得第一彈性件1120發(fā)生了些微形變，而使得與第一校正組1100抵接的基板2000的第一側(cè)2100發(fā)生了些微位移，但由于第一預(yù)定位置A為一段區(qū)域范圍，故仍可保證基板2000的第一側(cè)2100位于第一預(yù)定位置A。

上述區(qū)域范圍的大小，可根據(jù)實(shí)際的產(chǎn)品精度要求以及驅(qū)動(dòng)裝置的精度水平來(lái)確定，并根據(jù)此區(qū)域范圍挑選彈性系數(shù)合適的第一校正組1100及第二校正組1200，以確保校正的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

此外，在第二校正組1200受到外力驅(qū)使，沿第二方向Y朝向第二預(yù)定位置B移動(dòng)的過(guò)程中，第二校正組1200逐漸接觸基板2000的第二側(cè)2200，由于第二彈性件1220的彈性系數(shù)k2較小，故其施加于基板2000的第二側(cè)2200上的作用力增加曲線較為平緩，減小了第二校正組1200對(duì)基板2000的撞擊力，減小基板2000產(chǎn)生裂紋的風(fēng)險(xiǎn)，降低基板2000發(fā)生破片的幾率。

實(shí)際操作中，操作臺(tái)面(未繪示)上可具有多個(gè)真空吸附孔(未繪示)，本發(fā)明的位置校正方法還可包含：

步驟d：校正完畢后，上述多個(gè)真空吸附孔吸附基板2000，以將基板2000定位于指定位置P。由于基板2000被固定于指定位置P，使得基板2000上形成電性結(jié)構(gòu)微結(jié)構(gòu)或其他微結(jié)構(gòu)的過(guò)程中不會(huì)發(fā)生位移，從而確保電性微結(jié)構(gòu)或其他微結(jié)構(gòu)形成于基板2000上的正確位置。當(dāng)然，校正完畢后，亦可通過(guò)其他方式來(lái)將基板2000的位置進(jìn)行固定，以確保后續(xù)制程的質(zhì)量，不以上述真空吸附為限。

實(shí)際操作中，如圖3A所示，校正前第一校正組1100鄰近基板2000的第一側(cè)2100，并位于第一原始位置A’，第二校正組1200鄰近基板2000的第二側(cè)2200，并位于第二原始位置B’，本發(fā)明的位置校正方法還包含：

步驟e：校正完畢后，先驅(qū)動(dòng)第二校正組1200移動(dòng)回第二原始位置B’，再驅(qū)動(dòng)第一校正組1100移動(dòng)回第一原始位置A’。

實(shí)際操作中，步驟d和步驟e的執(zhí)行順序可調(diào)換，兩者不分先后，使用者可根據(jù)實(shí)際需要自行確定兩者的順序。

本發(fā)明的位置校正方法，在校正過(guò)程中，先作動(dòng)具有較大彈性系數(shù)的第一校正組1100，再作動(dòng)具有較小彈性系數(shù)的第二校正組1200；當(dāng)校正完畢后，先作動(dòng)具有較小彈性系數(shù)的第二校正組1200，再作動(dòng)具有較大彈性系數(shù)的第一校正組1100。校正過(guò)程中先后作動(dòng)順序的有益效果已于上文中闡述。以下說(shuō)明校正完畢后作動(dòng)順序的有益效果。

校正完畢后，先移離第二校正組1200，則此時(shí)基板2000的第一側(cè)2100抵靠于第一校正組1100而位于第一預(yù)定位置A，若此時(shí)有不受控制的外力作用于基板2000，由于第一校正組1100的彈性系數(shù)較大，其不會(huì)發(fā)生形變，使得基板2000的第一側(cè)2100不會(huì)發(fā)生位移，從而確?；?000可穩(wěn)定地位于指定位置P，確保了校正效果。當(dāng)?shù)谝活A(yù)定位置A為一小段區(qū)域范圍時(shí)，即使第一校正組1100在外力的作用下發(fā)生些微形變，使得基板2000的第一側(cè)2100一起發(fā)生了些微位移，但由于第一預(yù)定位置A為一小段區(qū)域范圍，故仍可保證基板2000的第一側(cè)2100位于第一預(yù)定位置A，從而確保基板2000可穩(wěn)定地位于指定位置P。

若在校正完畢后先移離第一校正組1100，則會(huì)影響校正效果。原因是：移離第一校正組1100后，基板2000的第二側(cè)2200抵靠于第二校正組1200而位于第二預(yù)定位置B，若此時(shí)有不受控制的外力作用于基板2000，由于第二校正組1200的彈性系數(shù)較小，其較容易發(fā)生形變，使得基板2000的第二側(cè)2200跟隨第二彈性件1220的形變而發(fā)生位移，導(dǎo)致基板2000移離指定位置P，校正效果受到影響。

如圖3A所示，位置校正裝置1000還包含第一氣缸1300，第一氣缸1300連接第一校正組1100，第一氣缸1300用于驅(qū)動(dòng)第一校正組1100移動(dòng)。實(shí)際操作中，位置校正裝置1000亦可還包含第二氣缸1400，第二氣缸1400連接第二校正組1100，第二氣缸1400用于驅(qū)動(dòng)第二校正組1200移動(dòng)。本實(shí)施例中，第一氣缸1300和第二氣缸1400為兩個(gè)獨(dú)立的結(jié)構(gòu)，實(shí)際操作上，第一氣缸1300和第二氣缸1400可為一體結(jié)構(gòu)，即利用同一氣缸來(lái)驅(qū)動(dòng)第一校正組1100及第二校正組1200。當(dāng)然，實(shí)際操作中，亦可通過(guò)其他方式來(lái)驅(qū)動(dòng)第一校正組1100及第二校正組1200的移動(dòng)，不以上述氣缸為限。

如圖4A及圖4B所示，本實(shí)施例中，第一彈性件1120為彈簧，且本實(shí)施例中第一彈性件1120包含三根相同的彈簧，三根彈簧呈等腰三角形排布，以確定第一校正組1100能夠較為均勻地施加作用力于基板2000上，而不致在夾緊基板2000的過(guò)程中出現(xiàn)第一校正組1100歪斜的現(xiàn)象。實(shí)際操作中，亦可將第一彈性件1120設(shè)置為對(duì)稱(chēng)的兩根彈簧、四根彈簧、五根彈簧等(優(yōu)選大于等于兩根彈簧)，亦或者第一彈性1120為一個(gè)實(shí)心橡膠柱或空心橡膠圈等，保證第一校正組1100能夠施加均勻作用力即可。

本實(shí)施例中，第一彈性件1220的彈性系數(shù)為0.25N/mm～0.4N/mm，第二彈性件1320的彈性系數(shù)為0.15N/mm～0.25N/mm。實(shí)際操作中，使用者可根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行選擇，不以上述為限。

如圖4A、圖4B及圖4C所示，第一校正單元1110還包含與第一彈性件1120相連接的第一抵擋部1130，第一抵擋部1130具有第一抵擋弧面1101，第一校正組1100與第二校正組1200夾緊基板2000時(shí)，第一抵擋弧面1101抵接基板2000的第一側(cè)2100。第二校正單元1210與第一校正單元1110相比較，除了彈性件的彈性系數(shù)不同之外，其余結(jié)構(gòu)類(lèi)似，故不另贅述。

本發(fā)明中，第一抵擋弧面1101的曲率較小，例如介于100mm～200mm之間，這樣的設(shè)計(jì)，可使得第一抵擋弧面1101抵接基板2000時(shí)兩者的接觸面積較大，從而在基板2000受到同樣大小的推力時(shí)，由于本發(fā)明中第一抵擋弧面1101與基板2000的接觸面積較大，從而減小了單位面積的壓強(qiáng)，降低了基板2000局部受到過(guò)強(qiáng)沖擊力導(dǎo)致產(chǎn)生裂紋的風(fēng)險(xiǎn)。

本發(fā)明中，由于第一氣缸1300先于第一彈性件1120的一端連接，再藉由第一彈性件1120的另一端與第一抵擋部1130連接。即，第一氣缸1300藉由柔性的第一彈性件1120間接與第一抵擋部1130連接。這樣一來(lái)，在夾緊基板2000的過(guò)程中，第一氣缸1300施加的作用力不是直接作用于第一抵擋部1130上，而是藉由第一彈性件1120的形變緩沖，使得第一抵擋部1130接收到逐漸增加的作用力，并將該逐漸增加的作用力施加于基板2000上的作用力，這樣一來(lái)，在第一抵擋部1130夾緊基板2000上的過(guò)程中，基板2000接收到的不是瞬間較大的沖擊力，而是逐漸增加的作用力，從而降低了基板2000產(chǎn)生裂紋的風(fēng)險(xiǎn)。實(shí)際操作中，該作用力的最大值可通過(guò)實(shí)際需要調(diào)節(jié)第一彈性件1120的壓縮量和彈性系數(shù)來(lái)調(diào)整，以適應(yīng)不同強(qiáng)度的基板2000。

如圖4A及圖4B所示，第一抵擋部1130包含相連接的第一連接部1140及第一抵接部1150，第一連接部1140的兩端分別連接第一彈性件1120及第一抵接部1150，第一抵接部1150具有上述第一抵擋弧面1101，第一連接部1140的硬度大于第一抵接部1150的硬度。由于第一連接部1140的硬度較高，耐磨損，將其與第一彈性件1120相連接，可確保第一校正組1100的使用壽命及穩(wěn)定性。當(dāng)?shù)谝恍ＵM1100及第二校正組1200夾緊基板2000時(shí)，由于第一抵接部1150的硬度相對(duì)較低，即校正過(guò)程中與基板2000相接觸的部分較軟，可在夾緊過(guò)程中依靠第一抵接部1150的自身形變產(chǎn)生緩沖，從而可防止校正過(guò)程中基板2000被夾傷。本實(shí)施例中，第一連接部1140的材質(zhì)為聚醚醚酮(PEEK)，第一抵接部1150的材質(zhì)為聚四氟乙烯(PTFE，俗稱(chēng)鐵氟龍)。實(shí)際操作中，第一抵接部1150優(yōu)選摩擦系數(shù)較低的材質(zhì)，從而使得第一抵接部1150不易與基板2000粘連，可避免校正完畢后移離第一校正組1100時(shí)由于第一抵接部1150與基板2000的粘連而使基板2000隨著第一抵接部1150的移離而發(fā)生位移，確保校正效果。實(shí)際操作中，使用者依靠根據(jù)實(shí)際需要自行選擇第一連接部1140及第一抵接部1150的材質(zhì)，不以上述為限。

如圖3A、圖3B及圖3C所示，第一校正組1100還包含第三校正單元1160，第二校正組1200還包含第四校正單元1260，第一校正單元1110與第二校正單元1210相對(duì)，第三校正單元1160與第四校正單元1260相對(duì)。這樣的設(shè)置可使得夾緊過(guò)程中，基板2000的四個(gè)角落可受到較為均勻的作用力，有利于將基板2000校正至指定位置P。校正組的數(shù)量可根據(jù)實(shí)際需要求而定，較佳的，校正組成對(duì)設(shè)置。

本發(fā)明的位置校正裝置及位置校正方法，校正過(guò)程中，先作動(dòng)的第一校正組的彈性系數(shù)較大，可保證校正的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，后作動(dòng)的第二校正組的彈性系數(shù)較小，可保證施加于基板上的作用力增加曲線平緩，降低基板產(chǎn)生裂紋的風(fēng)險(xiǎn)，減小基板發(fā)生破片的幾率。

藉由以上較佳具體實(shí)施例的詳述，是希望能更加清楚描述本發(fā)明的特征與精神，而并非以上述所揭露的較佳具體實(shí)施例來(lái)對(duì)本發(fā)明的保護(hù)范圍加以限制。相反地，其目的是希望能涵蓋各種改變及具相等性的安排于本發(fā)明所欲申請(qǐng)的權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。因此，本發(fā)明所申請(qǐng)的權(quán)利要求的保護(hù)范圍應(yīng)該根據(jù)上述的說(shuō)明作最寬廣的解釋?zhuān)灾率蛊浜w所有可能的改變以及具相等性的安排。