本發(fā)明屬于光刻工藝的技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種光阻回收利用裝置。

背景技術(shù)：

光阻被稱為半導(dǎo)體制造里面的黃金，可見光阻在半導(dǎo)體里面的重要性。它的重要性體現(xiàn)在一是價格上，非常昂貴。二是地位性，沒有光阻就生產(chǎn)不出來芯片。從這兩點上我們也可以看出每一滴光阻對芯片的代工廠何等重要。因此，本發(fā)明已此為契機，通過對可再利用光阻實現(xiàn)回收，這樣長時間下來會帶來很大的經(jīng)濟效益。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種光阻回收利用裝置。該裝置通過將排泡時排出的光阻通過本裝置回收利用，減少光阻的浪費，將可利用光阻量大大提升，達到同是一瓶光阻情況下產(chǎn)生更大的效益。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種光阻回收利用裝置，包括光阻瓶、緩存罐、回收盒、泵及過濾器，其中，所述光阻瓶與氮氣管路連通，所述緩存罐通過供膠管路與所述光阻瓶連通，所述緩存罐通過排膠管路依次與泵、過濾器和涂膠單元連通；所述回收盒通過排泡管路i和排泡管路ii分別與所述緩存罐的頂部及所述過濾器的頂部連通；所述回收盒通過回收管路與所述光阻瓶連通；所述氮氣管路、排泡管路i、排泡管路ii及回收管路上均設(shè)有通斷閥。

所述回收盒的頂部設(shè)有回收盒排氣口，該回收盒排氣口通過排氣管路與廢液收集盒連通，所述排氣管路上設(shè)有通斷閥。

所述氮氣管路、排泡管路i及排氣管路上的通斷閥均與控制器i連接、并通過控制器i的控制實現(xiàn)同時打開或關(guān)閉；所述排泡管路ii和回收管路上的通斷閥均與控制器ii連接、并且通過控制器ii的控制實現(xiàn)同時打開或關(guān)閉。

所述回收盒的底部設(shè)有回收盒出液口，所述回收盒出液口與回收管路連 通。

所述回收盒的上端設(shè)有回收盒進液口，所述排泡管路i和排泡管路ii匯聚到一起后與所述回收盒進液口連通。

所述光阻瓶的頂部設(shè)有供氣口、供液口及回收口，所述供氣口與氮氣管路連通，所述供液口與所述供膠管路連通，所述回收口與回收管路連通。

所述光阻瓶內(nèi)設(shè)有插入底部的出液管，所述出液管的上端由所述供膠口伸出、并且與供膠管路連接。

所述緩存罐的上、下端分別設(shè)有上液位傳感器和下液位傳感器，所述上液位傳感器和下液位傳感器用于監(jiān)測緩存罐內(nèi)的光阻量。

所述緩存罐的頂部設(shè)有緩存罐進液口和緩存罐排泡口，底部設(shè)有緩存罐排液口，所述緩存罐進液口和緩存罐排泡口分別與供膠管路和排泡管路i連通，所述緩存罐排液口通過管路與泵的吸入口連通。

所述過濾器的頂部設(shè)有過濾器進液口、過濾器排液口及過濾器排泡口，所述過濾器進液口通過管路與泵的排出口連通，所述過濾器排液口通過管路與涂膠單元連通，所述過濾器排泡口與排泡管路ii連通。

本發(fā)明的優(yōu)點及有益效果是：

1.本發(fā)明回收盒內(nèi)的光阻可自動回到膠瓶，實現(xiàn)重新利用。

2.本發(fā)明的傳感器a可實現(xiàn)無光阻報警但不停機和傳感器b報警停機功能。

3.針對光刻工藝中用到的光阻，有一些步驟中能用的光阻被當廢光阻排到廠務(wù)，而本發(fā)明就是要避免這種浪費。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的原理示意圖；

圖2是本發(fā)明的緩存罐加液示意圖；

圖3是本發(fā)明的光阻回收示意圖。

其中：a為光阻瓶，b為緩存罐，c為回收盒，d為泵，e為過濾器，f為廢液收集盒，g為涂膠單元，a為上液位傳感器，b為下液位傳感器，1為通斷閥i，2為通斷閥ii，3為通斷閥iii，4為通斷閥iv，5為通斷閥v，6為供 膠管路，7為排泡管路i，8為排氣管路，9為排泡管路ii，10為回收管路。

具體實施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明進行詳細描述。

如圖1所示，本發(fā)明提供的一種光阻回收利用裝置，包括光阻瓶a、緩存罐b、回收盒c、泵d及過濾器e，其中，所述光阻瓶a的頂部與氮氣管路連通，所述緩存罐b通過供膠管路6與所述光阻瓶a連通，所述緩存罐b通過排膠管路依次與泵d、過濾器e和涂膠單元g連通；所述回收盒c通過排泡管路i7和排泡管路ii9分別與所述緩存罐b的頂部及所述過濾器e的頂部連通；所述回收盒c通過回收管路10與所述光阻瓶a連通；所述氮氣管路、排泡管路i7、排泡管路ii9及回收管路10上均設(shè)有通斷閥。

所述光阻瓶a的頂部設(shè)有供氣口、供液口及回收口，所述供氣口與氮氣管路連通，用n2加壓方式實現(xiàn)光阻進入緩存罐b內(nèi)。所述供液口與所述供膠管路6連通，所述回收口與回收管路10連通。所述光阻瓶a內(nèi)設(shè)有插入底部的出液管，所述出液管的上端由所述供膠口伸出、并且與供膠管路6連接。

所述緩存罐b的頂部設(shè)有緩存罐進液口和緩存罐排泡口，底部設(shè)有緩存罐排液口。所述緩存罐進液口和緩存罐排泡口分別與供膠管路6和排泡管路i7連通，所述緩存罐排液口通過管路與泵d的吸入口連通。

所述緩存罐b的上、下端分別設(shè)有上液位傳感器a和下液位傳感器b，所述上液位傳感器a和下液位傳感器b用于監(jiān)測緩存罐b內(nèi)的光阻量。當上液位傳感器a報警，則預(yù)示光阻瓶a內(nèi)膠液已空，需要更換新光阻；當下液位傳感器b報警，則預(yù)示緩存罐b內(nèi)膠液已空，需要機臺停止工作。

所述回收盒c的頂部設(shè)有回收盒排氣口，該回收盒排氣口通過排氣管路8與廢液收集盒f連通。所述排氣管路8上設(shè)有通斷閥，所述排氣管路8可以減小回收盒c內(nèi)的壓力。所述回收盒c的上端還設(shè)有回收盒進液口，所述排泡管路i7和排泡管路ii9匯聚到一起后與所述回收盒進液口連通。所述回收盒c的底部設(shè)有回收盒出液口，所述回收盒出液口與回收管路10連通，可將可回收光阻通過回收管路10返回到所述光阻瓶a內(nèi)。

所述過濾器e的頂部設(shè)有過濾器進液口、過濾器排液口及過濾器排泡口，所述過濾器進液口通過管路與泵d的排出口連通，所述過濾器排液口通過管路與涂膠單元g連通，所述過濾器排泡口與排泡管路ii9連通。用泵d實現(xiàn)過濾器e內(nèi)的空氣排出，并將一起排出的光阻回收。

所述氮氣管路、排泡管路i7及排氣管路8上的通斷閥均與控制器i連接、并通過控制器i的控制實現(xiàn)同時打開或關(guān)閉；所述排泡管路ii9和回收管路10上的通斷閥均與控制器ii連接、并且通過控制器ii的控制實現(xiàn)同時打開或關(guān)閉。

各管路上的通斷閥的具體設(shè)置為：所述氮氣管路上設(shè)有通斷閥i1，所述回收管路10上設(shè)有通斷閥ii2，所述排氣管路8上設(shè)有通斷閥iii3，所述排泡管路ii9上設(shè)有通斷閥iv4，所述排泡管路i7上設(shè)有通斷閥v5，其中通斷閥i1、通斷閥iii3及通斷閥v5均與控制器i連接、并通過控制器i的控制實現(xiàn)同時打開或關(guān)閉；所述通斷閥ii2和通斷閥iv4均與控制器ii連接、并且通過控制器ii的控制實現(xiàn)同時打開或關(guān)閉。

當緩存罐b內(nèi)充滿光刻膠，則控制通斷閥i1使n2斷開，同時通過通斷閥v5將排泡管路i7也斷開；當過濾器e內(nèi)充滿光刻膠，通過通斷閥iv4將排泡管路ii9斷開。

本實施例中，所述控制器i和控制器ii采用兩路cda(壓縮空氣)，其中一路cda控制通斷閥i1、通斷閥iii3及通斷閥v5同時打開或關(guān)閉，另一路cda控制通斷閥ii2和通斷閥iv4同時打開或關(guān)閉。

本發(fā)明的工作原理是：

通過回收緩存罐b和過濾器e排出的光阻到回收盒c，將回收的光阻通過回收管路10再次返回到光阻瓶a內(nèi)，實現(xiàn)可用光阻的重復(fù)利用。

本發(fā)明的工作過程是：

第一次管路上膠

a、緩存罐b上液及排泡管路將可用光阻回收：

光阻瓶a放上之后，操作通斷閥i1、通斷閥iii3及通斷閥v5同時打開，光阻瓶a內(nèi)的光阻被n2壓到緩存罐b內(nèi)部。當光阻充滿緩存罐b時，多余的 光阻會通過上邊的排泡管路i7送到回收盒c內(nèi)部，此時上液位傳感器a被觸發(fā)，通斷閥i1、通斷閥iii3及通斷閥v5經(jīng)過幾秒延遲后關(guān)閉。這樣排出的可再利用的光阻被全部收集到回收盒c內(nèi)，如圖2所示。

b、過濾器e上液及回收管路將可用光阻回收：

當緩存罐b充滿光阻之后，通過泵d要將光阻送到涂膠單元g內(nèi)的出口，要實現(xiàn)光阻出口處的流量穩(wěn)定，必須保障整條管路沒有氣泡，所以泵d出口處安有過濾器e。當泵d工作后將光阻充滿整條管路，但過濾器e內(nèi)可能沒全部充滿，光阻里面有空氣，通過過濾器e上部的排泡管路ii9將內(nèi)部空氣排出。此時，通斷閥ii2和通斷閥iv4打開，和空氣一起排出的光阻順著過濾器e上部的排泡管路ii9進入回收盒c，并通過壓力將回收盒c內(nèi)的光阻送回到光阻瓶a內(nèi)，實現(xiàn)可用光阻的重復(fù)利用，如圖3所示。

后期換光阻

a、緩存罐b上液及排泡管路將可用光阻回收：

當緩存罐b上的上液位傳感器a被觸發(fā)報警，預(yù)示光阻瓶a內(nèi)膠液已空，需換新光阻。當新光阻換上之后，通斷閥i1、通斷閥iii3及通斷閥v5同時打開，光阻瓶a內(nèi)的光阻被n2壓到緩存罐b內(nèi)部。當光阻充滿緩存罐b，多余的光阻會通過上邊的排泡管路i7送到回收盒c內(nèi)部，此時上液位傳感器a被觸發(fā)解除報警，通斷閥i1、通斷閥iii3及通斷閥v5經(jīng)過幾秒延遲后關(guān)閉。這樣排出的可再利用的光阻被全部收集起來。

b、過濾器e上液及回收管路將可用光阻回收：

后期給過濾器e排泡時，通過排泡管路ii9排出的光阻會被送到回收盒c內(nèi)、并把回收盒內(nèi)c內(nèi)的光阻送回到光阻瓶a內(nèi)。

上述的兩種過程會很頻繁，光阻在半導(dǎo)體內(nèi)堪比黃金，本發(fā)明可以很好的將可再利用光阻收回到膠瓶內(nèi)再利用，避免不必要的浪費，達到相同光阻產(chǎn)出更多效益的目的。

以上所述僅為本發(fā)明的實施方式，并非用于限定本發(fā)明的保護范圍。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換、改進、擴展等，均包含在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。