專利名稱：彩色濾光片的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及可輕易制造作為液晶顯示裝置時(shí)顯示品質(zhì)良好的彩色濾光片的彩色濾光片的制造方法。
背景技術(shù)：
近年，隨個(gè)人電腦的發(fā)達(dá)(特別是行動(dòng)用個(gè)人電腦的發(fā)達(dá))，液晶顯示器的需求正增加中。另外，最近的狀況是，家庭用液晶電視的普及率亦正提高中，液晶顯示器的市場(chǎng)呈日益擴(kuò)大。另外，近年普及的液晶顯示器有大畫面化的趨勢(shì)，特別是與家庭用液晶電視有關(guān)是，此傾向正逐漸增強(qiáng)。在這樣的狀況下，對(duì)于構(gòu)成液晶顯示器的構(gòu)件期待能以更低成本制造高品質(zhì)產(chǎn)品。特別是使液晶顯示器具有彩色顯示化機(jī)能的彩色濾光片，因?yàn)橐酝鶎儆诟叱杀?，因而這樣的期待更加高。在此，一般液晶顯示器中使用的彩色濾光片，通常具備:基板、形成在上述基板上且設(shè)有多個(gè)開口部的遮光部、以及在上述開口部?jī)?nèi)所形成紅色(R)、綠色(G)及藍(lán)色(B)的各色著色層。然后，通過使這樣的彩色濾光片的R、G、B各色所對(duì)應(yīng)電極進(jìn)行ON、OFF動(dòng)作，而使液晶當(dāng)作背光的快門進(jìn)行動(dòng)作，使光穿過R、G、B各個(gè)像素而進(jìn)行彩色顯示。作為制造上述彩色濾光片的方法，作為以往方法，可舉出使用染色法、顏料分散法等的制造方法，與這些方法相比，作為可以高生產(chǎn)性且低成本制造彩色濾光片的方法，近年有著眼于使用噴墨法的彩色濾光片的制造方法(專利文獻(xiàn)I)。這樣的使用噴墨法的彩色濾光片的制造方法，首先在基板上的遮光部的開口部，使用噴墨裝置涂布含有溶劑的著色層形成用涂布液，由此形成干燥前的著色層。然后，將上述干燥前著色層中所含的溶劑予以干燥除去后，經(jīng)加熱形成著色層。此外，近年就上述干燥除去的工序，使用了使上述著色層在減壓環(huán)境下進(jìn)行干燥的減壓干燥裝置(專利文獻(xiàn)2 6)。然而，在以上述噴墨法形成的彩色濾光片中，根據(jù)著色層形成用涂布液與遮光部表面間的親和性、以及遮光部高度、從噴墨裝置噴出的著色層形成用涂布液量等關(guān)系，被遮光部所包圍的開口部中的著色層形狀，會(huì)有成為上述著色層端部膜厚變小、且上述著色層中心部膜厚變大的形狀的情況。當(dāng)上述著色層的最大膜厚與最小膜厚的膜厚差較大時(shí)，在當(dāng)作液晶顯示裝置時(shí)，會(huì)有對(duì)顯示品質(zhì)造成不良影響的可能性的問題。解決這樣的問題的方法，研究了以下方法:當(dāng)使用在減壓環(huán)境下進(jìn)行干燥的減壓干燥裝置時(shí)，并非使上述著色層完全干燥，而是在干燥中途階段便中止干燥，通過使在減壓干燥處理后的著色層(以下有稱“干燥后著色層”進(jìn)行說明的情況)中具有某程度流動(dòng)性的狀態(tài)下進(jìn)行加熱，從而減少上述膜厚差而使其達(dá)平坦化。然而，對(duì)于上述干燥后著色層中所含有溶劑的含量，以減壓干燥處理的程度而有所差異，在上述干燥后著色層中的溶劑含量過多的情況、或過少的情況下:均會(huì)有產(chǎn)生如下述問題的可能性。當(dāng)上述干燥后著色層中的溶劑含量較多的情況下，在屬于加熱工序的預(yù)烘烤處理時(shí)，會(huì)有因上述干燥后著色層中所含有溶劑的暴沸，而跨越利用遮光部分別區(qū)隔的開口部，導(dǎo)致著色層彼此間出現(xiàn)混色的可能性。另外，在解決此問題時(shí)，以往有考慮使在預(yù)烘烤處理時(shí)的溫度以更低溫施行長(zhǎng)時(shí)間處理，但此時(shí)會(huì)有導(dǎo)致彩色濾光片的制造效率大幅降低的問題。此外，當(dāng)上述干燥后著色層中的溶劑含量較少時(shí)，存在有時(shí)難以對(duì)所形成著色層賦予所需平坦性的問題。因此，渴求能對(duì)所形成著色層賦予所需平坦性，且可以短時(shí)間進(jìn)行預(yù)烘烤處理的減壓干燥處理?xiàng)l件。此外，當(dāng)以上述方法同時(shí)形成不同膜厚的多色著色層時(shí)，會(huì)有發(fā)生如下述問題的可能性。S卩，彩色濾光片通常如上述，由紅色、綠色及藍(lán)色等3色著色層形成，但根據(jù)所使用液晶顯示裝置的種類，會(huì)有必需將各色的單元間隙施行最佳化的必要，特別是會(huì)有要求提高藍(lán)色著色層膜厚的情況。這樣的情況下，當(dāng)施行如上述平坦化時(shí)，因?yàn)楸匦柙黾铀{(lán)色著色層形成用涂布液的盛液量，因而當(dāng)以與其他顏色著色層的同樣條件，施行減壓干燥處理與預(yù)烘烤處理時(shí)，因?yàn)樗{(lán)色干燥后著色層中所含有的溶劑比其他顏色的干燥后著色層中所含有的溶劑多，因而在預(yù)烘烤處理時(shí)，藍(lán)色干燥后著色層中所含有的溶劑會(huì)暴沸，導(dǎo)致存在與其他顏色著色層出現(xiàn)混色問題的可能性。另外，一般在為了形成藍(lán)色著色層使用的藍(lán)色著色層形成用涂布液中，會(huì)使用顏料濃度較低的高流動(dòng)性物質(zhì)，此情況時(shí)亦是同樣地，當(dāng)施行上述平坦化處理時(shí)，會(huì)有與其他顏色著色層出現(xiàn)混色問題的可能性。鑒于上述問題，以往使用噴墨法很難同時(shí)形成不同高度的多色著色層，對(duì)于不同膜厚的著色層必需分別形成，因而上述使用噴墨法的著色層形成工序必需至少施行2次以上，導(dǎo)致很難提高制造效率。所以，渴求當(dāng)使用噴墨法同時(shí)形成不同高度的多色著色層時(shí)，可對(duì)所形成的多色著色層分別賦予所需平坦性，且各色著色層不會(huì)出現(xiàn)混色的減壓干燥處理?xiàng)l件。[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)]專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2000-187111號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本專利特開2000-111252號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3:日本專利特開平10-2665號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4:日本專利特開平9-320949號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5:日本專利特開平7-8704號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)6:日本專利特開平6-97061號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
(發(fā)明所欲解決的問題)。本發(fā)明鑒于述實(shí)情而完成，主要目的在于提供:即便在使用噴墨法的情況下，仍可有效率地形成高平坦性著色層的彩色濾光片的制造方法。
(解決問題的方法)本發(fā)明人等為解決上述問題經(jīng)深入鉆研，結(jié)果發(fā)現(xiàn)能夠?qū)⒏稍锖笾珜又械娜軇┑暮吭O(shè)定為對(duì)所形成著色層賦予所需平坦性且可以短時(shí)間實(shí)施預(yù)烘烤處理的最小極限含量的減壓干燥處理?xiàng)l件。 此外，本發(fā)明人等發(fā)現(xiàn)通過使用上述減壓干燥處理?xiàng)l件，即便在使用噴墨法同時(shí)形成不同膜厚多色著色層的情況，仍可形成對(duì)各著色層賦予所需平坦性、且各色著色層不會(huì)發(fā)生混色的彩色濾光片，結(jié)果發(fā)現(xiàn)使用噴墨法的著色層形成工序僅需施行I次，就可形成不同膜厚的多個(gè)著色層，因此可大幅提升彩色濾光片的制造效率，以至于完成本發(fā)明。S卩，本發(fā)明所提供的彩色濾光片的制造方法，包括:噴墨工序，在具備透明基板和形成在上述透明基板上且設(shè)有開口部的遮光部的黑矩陣基板的上述開口部中，利用噴墨法涂布著色層形成用涂布液，形成干燥前著色層；減壓干燥處理工序，對(duì)上述干燥前著色層施行減壓干燥處理，形成已形成有干燥后著色層的彩色濾光片用基板；以及烘烤處理工序，對(duì)上述彩色濾光片用基板施行預(yù)烘烤處理之后，再施行后烘烤處理，獲得已形成有著色層的彩色濾光片。其中，上述減壓干燥處理工序中，以上述干燥后著色層的端部膜厚不小于上述遮光部膜厚的方式，對(duì)上述干燥前著色層施行減壓干燥處理。根據(jù)本發(fā)明，上述減壓干燥處理工序中，通過以上述干燥后著色層的端部膜厚不小于上述遮光部膜厚的方式，對(duì)上述干燥前著色層施行減壓干燥處理，可使以本發(fā)明制造方法所制造彩色濾光片的著色層平坦性較高。另外，因?yàn)榭梢远虝r(shí)間進(jìn)行預(yù)烘烤處理，所以可提高彩色濾光片的制造效率。本發(fā)明所提供的彩色濾光片的制造方法，包括:噴墨工序，在具備透明基板和形成在上述透明基板上且設(shè)有開口部的遮光部的黑矩陣基板的上述開口部中，利用噴墨法涂布著色層形成用涂布液，形成干燥前著色層；減壓干燥處理工序，對(duì)上述干燥前著色層施行減壓干燥處理，形成已形成有干燥后著色層的彩色濾光片用基板；以及烘烤處理工序，對(duì)上述彩色濾光片用基板施行預(yù)烘烤處理之后，再施行后烘烤處理，獲得已形成有著色層的彩色濾光片。其中，上述減壓干燥處理工序中，以上述干燥后著色層最大膜厚與上述開口部寬度的比率，將上述開口部寬度設(shè)為I時(shí)，處于7.8X 10_3 2.3 X KT1范圍內(nèi)的方式，對(duì)上述干燥前著色層施行減壓干燥處理。根據(jù)本發(fā)明，在上述減壓干燥處理工序中，通過以上述干燥后著色層最大膜厚與上述開口部寬度的比率在上述范圍內(nèi)的方式，對(duì)上述干燥前著色層施行減壓干燥處理，而可使以本發(fā)明制造方法所制造彩色濾光片的著色層平坦性較高。另外，因?yàn)榭捎枚虝r(shí)間實(shí)施預(yù)烘烤處理，而可提高彩色濾光片的制造效率。本發(fā)明所提供的彩色濾光片的制造方法，是具備黑矩陣基板與多色著色層的彩色濾光片的制造方法，該黑矩陣基板包括透明基板與形成在上述透明基板上且設(shè)有開口部的遮光部；所述多色著色層形成在上述黑矩陣基板上的上述開口部中；而上述多色著色層中，至少I色的著色層的膜厚以小于其他顏色著色層膜厚的方式形成，所述方法包括:噴墨工序，在具備透明基板和形成在上述透明基板上且設(shè)有開口部的遮光部的黑矩陣基板的上述開口部中，利用噴墨法涂布著色層形成用涂布液，形成干燥前著色層；減壓干燥處理工序，對(duì)上述干燥前著色層施行減壓干燥處理，形成已形成有干燥后著色層的彩色濾光片用基板；以及烘烤處理工序，對(duì)上述彩色濾光片用基板施行預(yù)烘烤處理之后，再施行后烘烤處理，獲得已形成有著色層的彩色濾光片。其中，在上述減壓干燥處理工序中，以膜厚最小的上述干燥后著色層端部膜厚，不小于上述遮光部膜厚的方式，對(duì)上述多色干燥前著色層施行減壓干燥處理。根據(jù)本發(fā)明，可將多色著色層中，膜厚最小的干燥后著色層中的溶劑含量控制在可對(duì)所形成著色層賦予所需平坦性且能以短時(shí)間實(shí)施預(yù)烘烤處理的最小極限含量。所以，對(duì)于具有其他膜厚的著色層，可通過以形成具有在上述預(yù)烘烤處理?xiàng)l件下干燥后著色層中的溶劑不會(huì)出現(xiàn)暴沸程度的膜厚的干燥后著色層方式，將著色層形成用涂布液涂布形成為厚膜，所以即便以噴墨法同時(shí)形成不同膜厚多色著色層的情況下，仍可對(duì)各著色層賦予所需平坦性，且各色著色層不會(huì)發(fā)生混色。本發(fā)明所提供的彩色濾光片的制造方法，是具備黑矩陣基板與多色著色層的彩色濾光片的制造方法，該黑矩陣基板包括透明基板與形成在上述透明基板上且設(shè)有開口部的遮光部；所述多色著色層形成在上述黑矩陣基板上的上述開口部中；而上述多色著色層中，至少I色的著色層的膜厚以小于其他顏色著色層膜厚的方式形成，所述方法包括:噴墨工序，在具備透明基板和形成在上述透明基板上且設(shè)有開口部的遮光部的黑矩陣基板的上述開口部中，利用噴墨法涂布著色層形成用涂布液，形成干燥前著色層；減壓干燥處理工序，對(duì)上述干燥前著色層施行減壓干燥處理，形成已形成有干燥后著色層的彩色濾光片用基板；以及烘烤處理工序，對(duì)上述彩色濾光片用基板施行預(yù)烘烤處理之后，再施行后烘烤處理，獲得已形成有著色層的彩色濾光片。其中，上述減壓干燥處理工序中，以膜厚最小的上述干燥后著色層的最大膜厚、與上述開口部寬度的比率，將上述開口部寬度設(shè)為I時(shí)，處于
7.8X 10_3 2.3 X KT1范圍內(nèi)的方式，對(duì)上述多色干燥前著色層施行減壓干燥處理。根據(jù)本發(fā)明，通過包括上述減壓干燥處理工序，可以將多色著色層中，膜厚最小的干燥后著色層中的溶劑含量控制在可對(duì)所形成著色層賦予所需平坦性、且能以短時(shí)間實(shí)施預(yù)烘烤處理的最小極限含量。所以，對(duì)于具有其他膜厚的著色層，可通過成為具有在上述預(yù)烘烤處理?xiàng)l件下干燥后著色層中的溶劑不會(huì)出現(xiàn)暴沸程度的膜厚的干燥后著色層的方式，將著色層形成用涂布液涂布形成為厚膜，所以即便以噴墨法同時(shí)形成不同膜厚多色著色層的情況，仍可對(duì)各著色層賦予所需平坦性，且各色著色層不會(huì)發(fā)生混色。本發(fā)明中，優(yōu)選上述多色著色層具有紅色著色層、綠色著色層、及藍(lán)色著色層，上述紅色著色層與上述綠色著色層具有同等膜厚，且較小于上述藍(lán)色著色層膜厚。通過設(shè)為上述構(gòu)造，用于液晶顯示裝置時(shí)，便可成為藍(lán)色像素區(qū)域的亮度較高的彩色濾光片。本發(fā)明中，優(yōu)選上述烘烤處理工序中:上述預(yù)烘烤處理在70°C 110°C范圍內(nèi)進(jìn)行。通過上述預(yù)烘烤處理以上述范圍溫度實(shí)施，可以使著色層平坦性更高。(發(fā)明效果)本發(fā)明彩色濾光片的制造方法可對(duì)所形成著色層賦予所需平坦性，且可以短時(shí)間進(jìn)行預(yù)烘烤處理，故可實(shí)現(xiàn)提供高制造效率彩色濾光片的制造方法的作用效果。


圖1是表示本發(fā)明彩色濾光片的制造方法一例的工序圖。圖2是表示本發(fā)明彩色濾光片的制造方法中形成的彩色濾光片基板一例的示意剖面圖。
圖3是表示利用本發(fā)明彩色濾光片的制造方法所制造彩色濾光片一例的示意俯視圖。圖4是表示本發(fā)明彩色濾光片的制造方法中的預(yù)烘烤處理一例的工序圖。圖5是表示彩色濾光片的制造方法中的預(yù)烘烤處理一例的工序圖。圖6是表示本發(fā)明彩色濾光片的制造方法另一例的工序圖。
具體實(shí)施例方式以下，針對(duì)本發(fā)明彩色濾光片的制造方法進(jìn)行詳細(xì)說明。本發(fā)明的彩色濾光片的制造方法，其特征在于:在減壓干燥處理工序中，使用能將干燥后著色層中的溶劑含量控制在可對(duì)所形成著色層賦予所需平坦性、且以短時(shí)間進(jìn)行預(yù)烘烤處理的最小極限含量的減壓干燥處理?xiàng)l件，對(duì)干燥前著色層施行減壓處理。利用本發(fā)明制造方法所制造的彩色濾光片中，所謂“著色層具有所需平坦性”是指具有上述彩色濾光片使用于液晶顯示裝置時(shí)，可實(shí)現(xiàn)良好影像顯示的程度的平坦性，具體而言，著色層最大膜厚與著色層最小膜厚的膜厚差在0.6μπι以下。另外，所謂“著色層最大膜厚”是指在遮光部的開口部中形成的著色層膜厚中最大的膜厚；所謂“著色層最小膜厚”是指在遮光部的開口部中形成的著色層膜厚中最小的膜厚。另外，本發(fā)明的最大膜厚與最小膜厚是使用利用光干涉方式三維非接觸表面形狀測(cè)定裝置(例如美國(guó)Micromap制制品名Micromap557N)所測(cè)定的值。此外，本發(fā)明中，所謂“可以短時(shí)間實(shí)施預(yù)烘烤處理”是指當(dāng)以制造一般彩色濾光片時(shí)所施行預(yù)烘烤處理的處理溫度與處理時(shí)間施行預(yù)烘烤處理時(shí)，干燥后著色層中的溶劑不暴沸。此處所謂“干燥后著色層中的溶劑不暴沸”是指彩色濾光片的著色層形成用涂布液中使用的溶劑的沸點(diǎn)在150°C 300°C范圍內(nèi)時(shí)，當(dāng)將預(yù)烘烤處理的處理溫度設(shè)為70V 110°C范圍內(nèi)的溫度施行預(yù)烘烤處理的情況下，不致發(fā)生干燥后著色層中的溶劑出現(xiàn)暴沸而導(dǎo)致相鄰著色層彼此間發(fā)生混色的情形。另外，對(duì)于預(yù)烘烤處理溫度在后詳述，因而在此省略敘述。上述減壓干燥處理的條件，具體而言，可舉出:設(shè)定成減壓干燥后的著色層的端部膜厚不小于遮光部膜厚的干燥狀態(tài)，或者減壓干燥后的著色層最大膜厚、與形成著色層的開口部寬度的比率在規(guī)定范圍內(nèi)的干燥狀態(tài)等2個(gè)減壓干燥處理?xiàng)l件。以下，對(duì)于本發(fā)明彩色濾光片的制造方法:因?yàn)樯鲜鰷p壓干燥處理的條件不同，所以分為2個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說明。1.第I實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法對(duì)本發(fā)明彩色濾光片的制造方法的第I實(shí)施方式進(jìn)行說明。本實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法，其特征在于，其包括:噴墨工序，在具備透明基板和形成在所述透明基板上且設(shè)有開口部的遮光部的黑矩陣基板的所述開口部中，利用噴墨法涂布著色層形成用涂布液，形成干燥前著色層；減壓干燥處理工序，對(duì)所述干燥前著色層施行減壓干燥處理，形成已形成有干燥后著色層的彩色濾光片用基板；以及烘烤處理工序，對(duì)所述彩色濾光片用基板施行預(yù)烘烤處理之后，再施行后烘烤處理，獲得已形成有著色層的彩色濾光片。其中，所述減壓干燥處理工序中，以所述干燥后著色層的端部膜厚不小于所述遮光部膜厚的方式，對(duì)所述干燥前著色層施行減壓干燥處理。對(duì)本實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法，使用附圖進(jìn)行說明。圖1是表示本實(shí)施方式彩色濾光片的制造方法一例的工序圖。在此，圖1中，示出同時(shí)形成膜厚同等的紅色著色層、綠色著色層、及藍(lán)色著色層的例子。如圖1所示，本實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法中，首先執(zhí)行噴墨工序(圖1 (a))，即通過在具有透明基板I及形成在透明基板I上且具備設(shè)有開口部的遮光部2的黑矩陣基板IOa的上述開口部中，利用噴墨法涂布著色層形成用涂布液，形成干燥前著色層3a(圖1(a)中為紅色干燥前著色層3Ra、綠色干燥前著色層3Ga、藍(lán)色干燥前著色層3Ba)。接著，執(zhí)行減壓干燥處理工序(圖1 (b))，即對(duì)干燥前著色層3a施行減壓干燥處理，形成已形成有干燥后著色層3b (圖1(b)中為紅色干燥后著色層3Rb、綠色干燥后著色層3Gb、藍(lán)色干燥后著色層3Bb)的彩色濾光片用基板10b。接著，執(zhí)行烘烤處理工序(圖1(d))，即對(duì)彩色濾光片用基板IOb施行預(yù)烘烤處理后(圖1(c))，再施行后烘烤處理，從而獲得已形成著色層3(圖1(d)中為紅色著色層3R、綠色著色層3G、藍(lán)色著色層3B)的彩色濾光片10。本實(shí)施方式中，經(jīng)由以上工序而制造彩色濾光片10。此外，本實(shí)施方式制造方法的特征在于:在減壓干燥處理工序中，以上述干燥后著色層的端部膜厚不小于上述遮光部膜厚的方式，對(duì)上述干燥前著色層施行減壓干燥處理。此處所謂“上述干燥后著色層的端部膜厚”是指在被遮光部所區(qū)隔的開口部中形成的干燥后著色層中，鄰接遮光部的部分的膜厚。此外，所謂“遮光部的膜厚”是指烘烤處理工序前的遮光部膜厚。

此外，所謂“上述干燥后著色層的端部膜厚不小于上述遮光部膜厚”，是指上述干燥后著色層的端部膜厚、與上述遮光部膜厚的膜厚差在0.1 μ m以下、優(yōu)選為0.05 μ m以下、更優(yōu)選為O μ m。另外，上述干燥后著色層的端部膜厚、與遮光部膜厚，是使用利用光干涉方式三維非接觸表面形狀測(cè)定裝置(例如美國(guó)Mieromap制制品名Micromap557N)所測(cè)定的值。上述干燥后著色層的端部膜厚根據(jù)減壓干燥處理的程度即上述干燥后著色層的溶劑含量的不同而確定。在此，在由一定開口部寬度所規(guī)定的恒定面積的開口部中形成的干燥后著色層中的溶劑含量，與干燥后著色層最大膜厚間存在某種程度的關(guān)聯(lián)，干燥后著色層中的溶劑含量越多，則最大膜厚越大，若上述溶劑的含量越少，則最大膜厚越小。所以，對(duì)于本實(shí)施方式中的“上述干燥后著色層的端部膜厚不小于上述遮光部膜厚”，也能夠使用上述干燥后著色層最大膜厚與上述開口部寬度的比率來表示。這樣的干燥后著色層最大膜厚與上述開口部寬度的比率，在將上述開口部寬度設(shè)為I時(shí)，設(shè)為7.8X10_3 2.3X KT1范圍內(nèi)、優(yōu)選處于1.3Χ1(Γ2 1.8X KT1范圍內(nèi)、更優(yōu)選處于1.8Χ1(Γ2 1.6 X KT1范圍內(nèi)。另外，上述干燥后著色層最大膜厚與上述開口部寬度的比率，是將上述干燥后著色層最大膜厚設(shè)為t、上述開口部寬度設(shè)為u時(shí)，以t/u表示的值。此外，對(duì)于干燥后著色層最大膜厚t、與開口部寬度U而言，是使用利用光干涉方式三維非接觸表面形狀測(cè)定裝置(例如美國(guó)Micromap制制品名Micromap557N)所測(cè)定的值。作為上述比率的計(jì)算方法具體例，將烘烤處理工序前的熱收縮前的遮光部膜厚設(shè)定為2.7 μ m，將圖3所示開口部寬度ul設(shè)定為ΙΟΟμπι 480μπι范圍內(nèi)，且將開口部寬度u2設(shè)為130 μ m 600 μ m范圍內(nèi)，且將減壓干燥后的干燥后著色層最大膜厚以遮光部膜厚為基準(zhǔn)設(shè)為+2 μ m +20 μ m、優(yōu)選為+5 μ m +15 μ m、更優(yōu)選為+8 μ m +13 μ m的情況，能夠計(jì)算出上述數(shù)值范圍。另外，對(duì)于圖3，在后敘述。這里，本實(shí)施方式中所謂“干燥后著色層最大膜厚”，是指減壓干燥處理后的干燥后著色層的最大膜厚，指圖2中以t表示的距離。此外，所謂“開口部寬度”是指由遮光部所區(qū)隔的開口部寬度，指圖2中以U表示的距離。另外，本實(shí)施方式中的所謂“開口部寬度”是指當(dāng)彩色濾光片中遮光部的開口部形狀為如圖3所示矩形狀的情況下，指短邊ul、或長(zhǎng)邊u2，在上述遮光部的開口部還具有缺口部的情況下，是指由不具有缺口部的區(qū)域處的距離。此外，本發(fā)明中，對(duì)于干燥后著色層最大膜厚t、與開口部寬度u的比率t/u，設(shè)為t/u I與t/u2 二者均滿足上述數(shù)值范圍。另外，圖2是表示本實(shí)施方式的減壓干燥處理工序中所形成彩色濾光片用基板一例的示意剖面圖，圖3是表示利用本實(shí)施方式的制造方法所制造彩色濾光片一例的概略俯視圖。另外，對(duì)于圖2與圖3中沒有說明的元件符號(hào)，與圖1同樣，因而在此不再贅述。在此，本實(shí)施方式的特征在于，發(fā)現(xiàn)了通過設(shè)定為使上述干燥后著色層中的溶劑含量為可對(duì)所形成著色層賦予所需平坦性的最小極限含量的減壓干燥處理?xiàng)l件，可以使干燥后著色層的端部膜厚不小于遮光部膜厚。對(duì)于通過上述干燥后著色層的端部膜厚不小于遮光部膜厚，而能夠?qū)λ纬傻闹珜淤x予所需平坦性的理由雖尚未明朗，但可認(rèn)為是如下理由。圖4與圖5是表示彩色濾光片的制造方法中預(yù)烘烤處理一例的工序圖。另外，圖4(a)與圖5(a)表示預(yù)烘烤處理前的彩色濾光片用基板，圖4(b)與圖5(b)表示預(yù)烘烤處理后的彩色濾光片用基板。另外，圖4與圖5中未說明的元件符號(hào)與圖1相同，因而在此不再贅述。在此，如圖4(a)所示，當(dāng)以干燥后著色層3b的端部膜厚tl不小于遮光部2膜厚的方式形成時(shí)，可認(rèn)為在鄰接于干燥后著色層3b的遮光部2上面，形成具有微小膜厚的微小干燥后著色層(以下稱“遮光部上面微小著色層”)。另外，此情況下，在預(yù)烘烤處理時(shí)，通過溶劑的揮發(fā)，即便在干燥后著色層3b膜厚減少的過程中，因?yàn)樵卩徑佑诟稍锖笾珜?b的遮光部2上面存在有上述遮光部上面微小著色層，因而干燥后著色層3b的端部會(huì)位于遮光部2上，可認(rèn)為經(jīng)預(yù)烘烤處理后最終所獲得干燥后著色層3b，如圖4 (b)所示，成為干燥后著色層3b的端部膜厚tl與遮光部2膜厚間幾乎沒有膜厚差的形狀。另一方面，如圖5 (a)所示，當(dāng)干燥后著色層3b的端部膜厚tl形成為小于遮光部2的情況，可認(rèn)為在鄰接于干燥后著色層3b的遮光部2上面不會(huì)形成上述遮光部上面微小著色層。此情況，在預(yù)烘烤處理時(shí)，因溶劑的揮發(fā)而導(dǎo)致干燥后著色層3b的膜厚減少過程中，鄰接于干燥后著色層3b的遮光部2上面并不會(huì)存在上述遮光部上面微小著色層，因而對(duì)于干燥后著色層3b的端部亦出現(xiàn)膜厚減少，經(jīng)預(yù)烘烤處理后最終獲得的干燥后著色層3b，如圖5(b)所示，干燥后著色層3b的端部膜厚tl會(huì)變小，可認(rèn)為會(huì)成為干燥后著色層3b的端部膜厚tl與遮光部2的膜厚間的膜厚差較大的形狀。在此，向由遮光部2所區(qū)隔的開口部中噴出的著色層形成用涂布液，含有一定量的固體成分，即便在減壓干燥處理后溶劑被某程度除去的情況下，干燥后著色層所含有的上述固體成分量仍不會(huì)有變化。所以，當(dāng)干燥后著色層的體積相同時(shí)，如圖4(b)所示，干燥后著色層3b的端部膜厚與遮光部的膜厚膜厚差越小，即干燥后著色層3b的端部膜厚tl越大，由遮光部所區(qū)隔的干燥后著色層膜厚會(huì)越均勻，故成為平坦性較高的著色層。如圖5 (b)所示，干燥后著色層3b的端部膜厚與遮光部2的膜厚膜厚差越大，即干燥后著色層3b的端部tl膜厚越小，則干燥后著色層3b的中心部膜厚會(huì)越大，干燥后著色層的中心部與端部會(huì)出現(xiàn)膜厚差，推測(cè)會(huì)成為平坦性較低狀態(tài)。所以，根據(jù)本實(shí)施方式，通過在上述減壓干燥處理工序中，以上述干燥后著色層的端部膜厚不小于上述遮光部膜厚的方式，對(duì)上述干燥前著色層施行減壓干燥處理，即可使利用本實(shí)施方式制造方法所制造彩色濾光片的著色層平坦性較高。另外，因?yàn)榭梢远虝r(shí)間實(shí)施預(yù)烘烤處理，所以可提高彩色濾光片的制造效率。以下，針對(duì)本實(shí)施方式彩色濾光片的制造方法的各工序分別進(jìn)行說明。(I)噴墨工序本工序是在具備透明基板和形成在上述透明基板上且設(shè)有開口部的遮光部的黑矩陣基板的上述開口部中，利用噴墨法涂布著色層形成用涂布液，形成干燥前著色層的工序。以下，針對(duì)本工序中使用的黑矩陣基板、著色層形成用涂布液、及由本工序所形成的干燥前著色層，分別進(jìn)行說明。(a)黑矩陣基板上述黑矩陣基板具備:透明基板、及形成在上述透明基板上且設(shè)有開口部的遮光部。(i)透明基板上述透明基板可使用與一般彩色濾光片中使用的相同的透明基板。具體可舉出，在石英玻璃、Pyrex (注冊(cè)商標(biāo))玻璃、合成石英板等無撓性的透明無機(jī)基板表面、及在透明樹脂薄膜、光學(xué)用樹脂板等具有撓性的透明樹脂基板表面上，形成SiO2等無機(jī)膜而成的基板等。其中，本工序優(yōu)選使用無機(jī)基板。上述黑矩陣基板中，優(yōu)選遮光部具有疏液性，而對(duì)上述遮光部施行疏液化的方法優(yōu)選采取使用氟等離子處理，對(duì)樹脂制遮光部施行疏液化的方法。此外，本工序中，上述無機(jī)基板中優(yōu)選使用玻璃基板，而上述玻璃基板中優(yōu)選使用無堿式玻璃基板。這是因?yàn)?，上述無堿式玻璃基板的尺寸安定性及高溫加熱處理時(shí)的作業(yè)性優(yōu)異，且玻璃中未含有堿成分，所以很適和用于利用有源矩陣方式所構(gòu)成彩色液晶顯示裝置用的彩色濾光片。(ii)遮光部上述遮光部形成于上述透明基板上，且設(shè)有開口部。本工序中使用的上述遮光部，通常使用以等間隔呈規(guī)則性形成開口部的遮光部。在此，就上述開口部的具體形狀等、及配置實(shí)施方式均無特別的限定，可以根據(jù)本實(shí)施方式所制造彩色濾光片的用途等而可任意決定。本實(shí)施方式中，上述開口部的形狀更優(yōu)選為矩形狀。另外，當(dāng)上述開口部的形狀為矩形狀的情況，如圖3所示，亦可具有缺口部。上述開口部的寬度可根據(jù)所制造彩色濾光片的用途等而適當(dāng)選擇，當(dāng)上述開口部為矩形狀，且如圖3所示，將短邊ul設(shè)為開口部寬度時(shí)，優(yōu)選處于100 μ m 480 μ m范圍內(nèi)、更優(yōu)選在120 μ m 350 μ m范圍內(nèi)、特別優(yōu)選在145 μ m 250 μ m范圍內(nèi)。另一方面，當(dāng)上述開口部為矩形狀，且如圖3所示，將長(zhǎng)邊u2設(shè)為開口部寬度時(shí)。優(yōu)選處于130μπι 600μπι范圍內(nèi)、更優(yōu)選處于150μπι 520μπι范圍內(nèi)、特別優(yōu)選處于170 μ m 450 μ m范圍內(nèi)。當(dāng)上述開口部寬度小于上述范圍時(shí)、或超過上述范圍時(shí)，即便使用本實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法，仍難以制造出可執(zhí)行良好影像顯示的彩色濾光片的可能性。上述遮光部的膜厚只要能區(qū)隔上述開口部，且可使用噴墨法形成所需膜厚著色層的程度的膜厚即可，其余并無特別的限定，為了不會(huì)因后述烘烤處理工序而引發(fā)遮光部膜厚發(fā)生熱收縮，優(yōu)選處于Ι.Ομηι 3.5μηι范圍內(nèi)、更優(yōu)選在1.5μηι 3.Ομπι范圍內(nèi)、特別優(yōu)選在2.0ym 2.5μπι范圍內(nèi)。這時(shí)因?yàn)?，?dāng)上述遮光部的膜厚小于上述范圍時(shí)，有難以使用噴墨法形成著色層的可能性，而若上述遮光部的膜厚超過上述范圍時(shí)，便會(huì)有彩色濾光片較難形成為薄膜的可能性。另外，為了得到不會(huì)有因后述烘烤處理工序而引發(fā)遮光部膜厚發(fā)生熱收縮的遮光部時(shí)，烘烤處理工序前的遮光部膜厚優(yōu)選設(shè)為上述數(shù)值范圍。這樣的上述遮光部只要具有所需遮光性，則其余并無特別的限定，具體可使用包含遮光性材料及樹脂的遮光部。上述遮光性材料可采用一般彩色濾光片的樹脂制遮光部中使用的材料。這樣的遮光性材料可舉出:碳微粒、金屬氧化物、無機(jī)顏料、有機(jī)顏料等遮光性粒子等等。此外，上述樹脂可使用例如:乙烯-醋酸乙烯酯共聚物、乙烯-氯乙烯共聚物、乙烯-乙烯醇共聚物、聚苯乙烯、丙烯腈-苯乙烯共聚物、ABS樹脂、聚甲基丙烯酸樹脂、乙烯-甲基丙烯酸樹脂、聚氯乙烯樹脂、氯化氯乙烯、聚乙烯醇、纖維素醋酸酯丙酸酯、纖維素醋酸酯丁酸酯、尼龍6、尼龍66、尼龍12、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯、聚對(duì)苯二甲酸丁二酯、聚碳酸酯、聚乙烯縮醛、聚醚醚酮、聚醚砜、聚苯硫醚、聚芳酯、聚乙烯縮丁醛、環(huán)氧樹脂、苯氧樹月旨、聚酰亞胺樹脂、聚酰胺酰亞胺樹脂、聚酰胺酸樹脂、聚醚酰亞胺樹脂、酚樹脂、脲樹脂等，作為形成上述遮光部的方法，只要能夠形成上述開口部以所需的形態(tài)配置的遮光部的方法，就并無特別的限定?？膳e出使用含有遮光性粒子的樹脂組合物的光刻法、及使用上述樹脂組合物的熱轉(zhuǎn)印法等。形成這樣的遮光部的具體方法，可采取與形成一般彩色濾光片所使用的遮光部的方法為同樣方法，故在此省略詳細(xì)說明。(iii)疏液化方法上述遮光部?jī)?yōu)選施行疏液化。由此，當(dāng)利用噴墨法將著色層形成用涂布液涂布在黑矩陣基板上，而形成干燥前著色層時(shí)，可防止相鄰干燥前著色層彼此間發(fā)生混色。本工序的疏液化方法只要是可對(duì)上述黑矩陣基板的遮光部施行疏液化的方法，就并無特別的限定。例如:以僅在遮光部上形成具有疏液性的疏液層的方式，利用光刻法等以圖案狀形成疏液層的方法；或使用金屬掩模等施行等離子處理，僅對(duì)遮光部上施行疏液化的方法等。本實(shí)施方式中，從可容易且高精度地對(duì)遮光部施行疏液化的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選利用作為將氟作為導(dǎo)入氣體使用的等離子處理的氟等離子處理，施行遮光部的疏液化的氟等離子工序。這是因?yàn)?，該氟等離子處理可使氟選擇性地附著于有機(jī)物。這樣的氟等離子處理中，上述導(dǎo)入氣體中使用的氟化合物可舉例如:CF4、SF6, CHF3> C2F6, C3H8, C5F8等。此外，作為上述導(dǎo)入氣體，也可為上述氟類氣體與其他氣體進(jìn)行混合的氣體。上述其他氣體例如可舉出氮、氧、氫、氦等，其中優(yōu)選使用氮。另外，當(dāng)上述其他氣體使用氮時(shí)，氮的混合比率優(yōu)選達(dá)到50%以上。此外，作為實(shí)施上述等離子照射的方法，只要是提升上述遮光部的疏液性的方法，就并無特別的限定，例如可在減壓下施行等離子照射，或亦可在大氣壓下施行等離子照射。其中，本工序中特別優(yōu)選在大氣壓下施行等離子照射。這是因?yàn)?，由此可不需要減壓用的裝置等，就從成本與制造效率等觀點(diǎn)而言有利。另外，經(jīng)施行上述等離子照射后在上述遮光部等中的氟的存在，可從利用X射線光電子能譜分析裝置(XPS:例如V.G.Scientific公司制ESCALAB2201-XL)進(jìn)行的分析中，通過測(cè)定從遮光部表面所檢測(cè)到所有元素中的氟元素比例來確認(rèn)。另外，上述所謂“疏液性”是指與后述著色層形成用涂布液間的接觸角較大的意思。具體而言，只要能將上述著色層形成用涂布液，與上述遮光部表面間的接觸角，設(shè)為大于與上述基板表面的接觸角即可。其中，本工序優(yōu)選上述遮光部表面與40mN/m液體間的接觸角成為10°以上的程度，更優(yōu)選與表面張力30mN/m液體間的接觸角成為10°以上的程度，特別優(yōu)選與表面張力20mN/m液體間的接觸角成為10°以上的程度。另外，優(yōu)選與純水間的接觸角成為11°以上的程度。(b)著色層形成用涂布液以下，針對(duì)本工序中使用的著色層形成用涂布液進(jìn)行說明。作為本工序中使用的著色層形成用涂布液，只要能利用噴墨裝置噴出，則其余并無特別的限定。通常使用紅色著色層形成用涂布液、綠色著色層形成用涂布液、及藍(lán)色著色層形成用涂布液等，但亦可使用除上述顏色以外的著色層形成用涂布液。上述著色層形成用涂布液通常使用含有溶劑、著色劑、及固化成分等的涂布液。作為上述溶劑可為單一溶劑、亦可由2種以上溶劑相混合的混合溶劑。作為上述溶劑，只要是可以溶劑所需濃度的油墨中所含有的著色劑與固化成分的溶劑，則其余并無特別的限定。在此，本實(shí)施方式對(duì)于上述溶劑的沸點(diǎn)，只要在后述減壓干燥處理工序中，能以上述干燥后著色層的端部膜厚不小于遮光部膜厚的方式，對(duì)上述干燥前著色層施行減壓干燥處理的程度的沸點(diǎn)即可，其余并無特別的限定，通常選擇后述可以短時(shí)間實(shí)施預(yù)烘烤處理的溶劑。這樣的溶劑的沸點(diǎn)，具體處于150°C 300°C范圍內(nèi)、其中優(yōu)選處于180°C 280°C范圍內(nèi)、更優(yōu)選在200°C 250°C范圍內(nèi)。這是因?yàn)?，若上述溶劑的沸點(diǎn)小于上述范圍時(shí)，后述預(yù)烘烤處理的處理時(shí)間便會(huì)拉長(zhǎng)，通常不會(huì)使用上述溶劑沸點(diǎn)超過上述范圍的溶劑。若考慮上述溶劑的沸點(diǎn)，作為這樣的溶劑，優(yōu)選使用:二乙二醇單丁醚醋酸酯、二乙二醇單乙醚醋酸酯、二丙二醇單甲醚醋酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、丙二酸二甲酯等。作為上述著色劑，只要能吸收所需波長(zhǎng)的光，則其余并無特別的限定。這樣的著色劑可為染料系材料、或者亦可為顏料系材料。因?yàn)檫@樣的著色劑的具體例與一般彩色濾光片中使用的著色劑相同，故在此省略詳細(xì)說明。上述固化成分是形成著色層時(shí)會(huì)使上述著色劑固化的成分，通常使用能交聯(lián)的單體等。作為這樣的固化成分，例如可舉出:具有羥基、羧基、烷氧基、環(huán)氧基、酰胺基等取代基的丙烯酸樹脂；或硅酮樹脂、環(huán)氧樹脂或羥丙基纖維素、羥乙基纖維素、甲基纖維素、羧甲基纖維素等纖維素衍生物、或它們的改性物；或聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯醇、聚乙烯縮醛等聚乙烯系聚合物等等。此外，本工序中，這樣的固化成分亦可使用2種以上。此外，本工序中使用的著色層形成用涂布液，除上述溶劑、著色劑、及固化成分之夕卜，尚可適當(dāng)選擇追加必要的成分。作為這樣的成分，可舉出反應(yīng)引發(fā)劑、表面活性劑等。作為上述著色層形成用涂布液的固體成分濃度，可設(shè)為與一般使用的噴墨法形成著色層時(shí)所使用的著色層形成用涂布液的固體成分濃度相同，所以在此省略說明。另外，所謂“固體成分濃度”表示著色層形成用涂布液中除溶劑以外的其他成分的濃度。作為上述著色層形成用涂布液的粘度，只要是使用噴墨法能在上述黑矩陣基板上的開口部形成具有規(guī)定厚度的干燥前著色層的粘度，則其余并無特別的限定，因?yàn)榭膳c使用噴墨法的一般彩色濾光片的制造方法中所使用的著色層形成用涂布液的粘度相同，故在此省略說明。作為上述著色層形成用涂布液的表面張力，只要使用噴墨法能在上述黑矩陣基板上形成具有規(guī)定膜厚的干燥前著色層的表面張力，則其余并無特別的限定，因?yàn)榭膳c使用噴墨法的一般彩色濾光片的制造方法中所使用的著色層形成用涂布液的表面張力相同，故在此省略說明。(C)干燥前著色層作為本工序所形成的干燥前著色層的平均膜厚，根據(jù)由本實(shí)施方式制造方法所制造彩色濾光片的用途而適當(dāng)選擇決定。上述干燥前著色層的平均膜厚，只要是可以后述減壓干燥處理工序后的干燥后著色層的端部膜厚不小于上述遮光部膜厚的程度的膜厚即可，其余并無特別的限定，優(yōu)選為
4.7 μ m以上、更優(yōu)選為7.6 μ m以上、特別優(yōu)選8.9 μ m以上。這是因?yàn)?，?dāng)上述干燥前著色層的平均膜厚小于上述范圍時(shí)，存在后述減壓干燥處理工序后的干燥后著色層的端部最大膜厚小于上述遮光部膜厚的可能性。另外，對(duì)于上述干燥前著色層的平均膜厚上限，根據(jù)形成干燥前著色層的開口部的大小、所使用的著色層形成用涂布液等而適當(dāng)選擇，設(shè)定為形成于上述開口部的干燥前著色層不會(huì)潰決程度的膜厚。另外，所謂“干燥前著色層的平均膜厚”是指涂布于上述開口部中的著色層形成用涂布液的涂布量，除以開口部面積而的值。作為上述干燥前著色層的形成方法，只要使用噴墨法的形成方法，則余并無特別的限定。作為本工序所使用的噴墨法，只要可對(duì)上述開口部正確地噴出著色層形成用涂布液的方法即可，通常使用設(shè)有多個(gè)能涂布上述著色層形成用涂布液的噴嘴的噴墨頭。本工序中使用的噴墨頭噴出著色層形成用涂布液的噴出方式，只要是能噴出規(guī)定量著色層形成用涂布液的方式，則其余并無特別的限定。作為這樣的噴出方式，可舉出:連續(xù)噴出帶電的著色層形成用涂布液，并利用磁場(chǎng)進(jìn)行噴出量控制的方式；或使用壓電元件間歇性噴出著色層形成用涂布液的方式；或加熱著色層形成用涂布液并利用其發(fā)泡現(xiàn)象進(jìn)行間歇性噴出的方式等。其中，本工序中，作為上述噴出方式優(yōu)選采取使用壓電元件間歇性噴出著色層形成用涂布液的方式。這是因?yàn)?，這樣的噴出方式可精度較高地控制微量噴出量。(2)減壓干燥處理工序本工序?qū)ι鲜龈稍锴爸珜邮┬袦p壓干燥處理，形成已形成有干燥后著色層的彩色濾光片用基板的工序，以上述干燥后著色層的端部膜厚不小于上述遮光部膜厚的方式，對(duì)上述干燥前著色層施行減壓干燥處理的工序。另外，本實(shí)施方式的所謂“彩色濾光片用基板”，是指已形成施行了減壓干燥處理的干燥后著色層的黑矩陣基板，在本工序中，有時(shí)對(duì)于減壓干燥處理前與減壓干燥處理中的黑矩陣基板，都稱為彩色濾光片用基板而進(jìn)行說明。以下，針對(duì)減壓干燥處理的條件、及減壓干燥處理時(shí)所使用的減壓干燥處理裝置分別進(jìn)行說明。(a)減壓干燥處理的條件本工序中，只要能以上述干燥后著色層的端部膜厚不小于上述遮光部膜厚的方式，對(duì)上述干燥前著色層施行減壓干燥處理，則其余并無特別的限定。更具體而言，以上述干燥后著色層的端部膜厚與上述遮光部膜厚間的膜厚差在0.1 μ m以下、優(yōu)選在0.05 μ m以下、更優(yōu)選成為O μ m的方式，對(duì)干燥前著色層施行減壓干燥處理。這是因?yàn)?，?dāng)上述膜厚差超越上述范圍時(shí)，即難以對(duì)所形成著色層賦予所需平坦性。此外，本工序中，以上述干燥后著色層最大膜厚、與上述開口部寬度間的比率成為上述范圍內(nèi)的方式，對(duì)干燥前著色層施行減壓干燥處理。另外，如上所述，本發(fā)明的干燥后著色層最大膜厚與開口部寬度的比率，是能使在利用圖3所示開口部寬度ul與u2所計(jì)算出的兩個(gè)數(shù)值都得到滿足的數(shù)值。通過本工序中形成的干燥后著色層的最大膜厚，只要是使上述干燥后著色層的端部膜厚不小于上述遮光部膜厚的程度的膜厚，則其余并無特別的限定，具體而言，當(dāng)遮光部的開口部寬度處于上述數(shù)值范圍的情況，優(yōu)選處于4.7 μ m 22.7 μ m范圍內(nèi)、更優(yōu)選為
4.7 μ m 17.7 μ m范圍內(nèi)。當(dāng)上述干燥后著色層的最大膜厚不滿足上述范圍時(shí)，因?yàn)樯鲜龈稍锖笾珜拥亩瞬磕ず翊嬖谛∮谏鲜稣诠獠磕ず竦目赡苄裕蚨鴷?huì)有難以對(duì)形成的著色層賦予所需平坦性的可能性。此外，本工序中，對(duì)于上述干燥后著色層的最大膜厚上限，只要是上述干燥后著色層中的溶劑不會(huì)在后述預(yù)烘烤處理中發(fā)生暴沸的程度的厚膜，則其余并無特別的限定，本實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法中，對(duì)于上述預(yù)烘烤處理的處理時(shí)間優(yōu)選為短時(shí)間，所以對(duì)于上述干燥后著色層的最大膜厚最好不要超過上述范圍。作為本工序的減壓干燥處理的處理溫度，只要是能夠以減壓干燥處理后的干燥后著色層的端部膜厚不小于上述遮光部膜厚的方式，對(duì)上述干燥前著色層施行減壓干燥處理的溫度，則其余并無特別的限定，若為低溫便會(huì)有減壓干燥處理較耗時(shí)間，因而有可能會(huì)導(dǎo)致制造效率降低，反之，若為高溫則會(huì)出現(xiàn)一下子便將溶劑除去的情況，因而最好避免。所以，本工序的優(yōu)選處理溫度，優(yōu)選為30°C 60°C范圍內(nèi)、更優(yōu)選處于35°C 55°C范圍內(nèi)、特別優(yōu)選處于40°C 50°C范圍內(nèi)。作為上述減壓干燥處理的處理時(shí)間，根據(jù)利用本實(shí)施方式制造方法所制造彩色濾光片的大小等而適當(dāng)決定。作為本工序中使用的減壓干燥處理?xiàng)l件的確定方法，只要是能夠確定以由本工序形成的干燥后著色層的端部膜厚不小于上述遮光部膜厚的方式對(duì)干燥前著色層施行減壓干燥處理的條件的方法，則其余并無特別的限定。例如預(yù)先在設(shè)計(jì)用黑矩陣基板上形成干燥前著色層，通過對(duì)其施行減壓干燥處理，設(shè)定能使干燥后著色層的端部膜厚與遮光部膜厚的膜厚差滿足上述關(guān)系的各種條件，再將其應(yīng)用于本工序的方法等均可適當(dāng)采用。(b)減壓干燥處理裝置其次，針對(duì)本工序中使用的減壓干燥處理裝置進(jìn)行說明。本工序中使用的減壓干燥處理裝置，可使用在彩色濾光片制造時(shí)一般所使用的裝置。具體而言，可舉出具備加熱上述彩色濾光片的加熱機(jī)構(gòu)、收納上述加熱機(jī)構(gòu)的腔室、以及將上述腔室內(nèi)減壓至所需壓力的減壓機(jī)構(gòu)的裝置。⑴加熱機(jī)構(gòu)上述加熱機(jī)構(gòu)只要可將上述彩色濾光片用基板加熱至所需溫度即可。作為這樣的加熱機(jī)構(gòu)，可舉出:加熱板、電熱線、燈、紅外線放射裝置等。本實(shí)施方式中優(yōu)選加熱板。這是因?yàn)?，因?yàn)榧訜岚迦w均被加熱，因而不會(huì)有如其他加熱機(jī)構(gòu)那樣出現(xiàn)存在溫度較低的特定位置而導(dǎo)致?lián)]發(fā)的溶劑在該部分處急劇冷卻并發(fā)生結(jié)露，而該結(jié)露滴下至彩色濾光片用基板，造成在上述開口部中所形成著色層發(fā)生潰決而引發(fā)混色等不良情況。另外還因?yàn)?，可輕易地平面性均勻加熱彩色濾光片用基板，使將上述干燥前著色層干燥而形成的著色層形成為平坦性優(yōu)異的著色層。減壓干燥處理裝置中使用的加熱機(jī)構(gòu)的加熱能力，只要可將上述彩色濾光片用基板加熱至所需溫度即可。具體而言，優(yōu)選將上述彩色濾光片用基板加熱至30°C 60°C范圍內(nèi)、更優(yōu)選35°C 55°C范圍內(nèi)、特別優(yōu)選40°C 50°C范圍內(nèi)。這是因?yàn)?，通過在上述范圍內(nèi)，便可高效去除上述溶劑。另外，上述溫度并非表示彩色濾光片用基板自身的溫度，而是表示利用加熱機(jī)構(gòu)進(jìn)行的處理溫度。此外，作為上述加熱機(jī)構(gòu)相對(duì)于上述彩色濾光片用基板的配置，可以是將上述彩色濾光片用基板從下方進(jìn)行加熱的方式，將上述加熱機(jī)構(gòu)配置在上述彩色濾光片用基板的下方，亦可以是將上述彩色濾光片用基板從上方進(jìn)行加熱的方式，將上述加熱機(jī)構(gòu)配置在上述彩色濾光片用基板的上方。本實(shí)施方式中，其中優(yōu)選以將上述彩色濾光片用基板從上下雙面進(jìn)行加熱的方式，配置于上述彩色濾光片用基板的下方與上方。這是因?yàn)?，如上所述，不?huì)有著色層發(fā)生潰決導(dǎo)致引發(fā)混色等不良情況發(fā)生，且通過可平面性均勻加熱上述彩色濾光片用基板，即可使著色層的平坦性呈優(yōu)異。(ii)腔室作為上述腔室，只要是內(nèi)部能收容上述加熱機(jī)構(gòu)，且在干燥時(shí)能呈高密閉性的結(jié)構(gòu)即可。上述腔室的形狀與尺寸根據(jù)要進(jìn)行干燥的彩色濾光片用基板尺寸等而適當(dāng)設(shè)定。(iii)減壓機(jī)構(gòu)減壓干燥處理裝置中的減壓機(jī)構(gòu)對(duì)上述腔室內(nèi)進(jìn)行減壓。這樣的減壓機(jī)構(gòu)可使用
真空泵等一般的減壓裝置。作為減壓干燥處理裝置中使用的減壓機(jī)構(gòu)的減壓能力，只要可將上述腔室內(nèi)形成可對(duì)上述彩色濾光片用基板以所需速度進(jìn)行干燥的壓力即可。具體而言，優(yōu)選能夠?qū)⑸鲜銮皇覂?nèi)在減壓下的穩(wěn)定壓力形成小于4Pa范圍、更優(yōu)選小于IPa范圍的減壓能力。這是因?yàn)?，通過在上述范圍，即可輕易地去除上述溶劑。另外，“減壓下穩(wěn)定壓力”是指上述減壓干燥裝置的腔室內(nèi)呈空腔狀態(tài)(即，完全沒有彩色濾光片用基板、及結(jié)露溶劑的狀態(tài))下，達(dá)到進(jìn)行減壓干燥時(shí)的平衡壓力。另外，所謂“平衡壓力”是指呈一定狀態(tài)的壓力，更具體而言，90秒鐘的壓力是指以90秒鐘的平均壓力為基準(zhǔn)，包括上述平均壓力的上下10 %以內(nèi)的狀態(tài)均稱可為上述平均壓力。(3)烘烤處理工序本工序?qū)ι鲜霾噬珵V光片用基板施行預(yù)烘烤處理之后，再施行后烘烤處理，從而獲得已形成著色層的彩色濾光片。以下，針對(duì)本工序的預(yù)烘烤工序及后烘烤工序分別進(jìn)行說明。(a)預(yù)烘烤處理本工序所謂“預(yù)烘烤處理”是指將干燥后著色層內(nèi)殘存的溶劑予以除去的同時(shí)，如上述那樣施行著色層的平坦化的處理。在此，所謂“干燥后著色層中的溶劑不會(huì)暴沸”，是指當(dāng)彩色濾光片的著色層形成用涂布液所使用的溶劑沸點(diǎn)在150°C 300°C范圍內(nèi)時(shí)，作為預(yù)烘烤處理的處理溫度，以70V 110°C范圍內(nèi)的溫度施行預(yù)烘烤處理的情況下，不會(huì)有干燥后著色層中的溶劑出現(xiàn)暴沸導(dǎo)致相鄰著色層彼此間發(fā)生混色的情形。上述預(yù)烘烤處理的溫度更優(yōu)選80°C 100°C范圍內(nèi)。這是因?yàn)?，?dāng)處理溫度低于上述溫度范圍時(shí)，會(huì)因著色層中的溶劑除去不足，導(dǎo)致后烘烤處理工序時(shí)容易發(fā)生暴沸混色，而且當(dāng)高于上述處理溫度時(shí)，會(huì)因著色層中的溶劑急劇揮發(fā)，導(dǎo)致容易在預(yù)烘烤處理工序發(fā)生暴沸而造成混色情形，且著色層形狀亦會(huì)有惡化的傾向。此外，上述預(yù)烘烤處理的處理時(shí)間根據(jù)彩色濾光片基板的大小等而適當(dāng)選擇，優(yōu)選處于5分鐘 60分鐘范圍內(nèi)。本實(shí)施方式優(yōu)選在上述預(yù)烘烤處理的溫度及處理時(shí)間范圍內(nèi)，以更低溫歷時(shí)更長(zhǎng)時(shí)間施行預(yù)烘烤處理。這是因?yàn)?，通過以更低溫更長(zhǎng)時(shí)間實(shí)施預(yù)烘烤處理，可使所形成著色層實(shí)現(xiàn)更高的平坦性。對(duì)于其理由雖尚未明朗，但可認(rèn)為如下述?？烧J(rèn)為原因是，預(yù)烘烤處理時(shí)，在開口部中所形成的干燥后著色層中，可通過使干燥后著色層從膜厚較大的干燥后著色層中心部向著膜厚較小的干燥后著色層端部流動(dòng)，由此進(jìn)行著色層的平坦化。所以，降低預(yù)烘烤處理時(shí)處理溫度，處理時(shí)間越長(zhǎng)，則可以使干燥后著色層流動(dòng)的時(shí)間越長(zhǎng)，故可認(rèn)為可提升所形成著色層的平坦性。這樣的預(yù)烘烤處理通常使用無塵烘箱等。(b)后烘烤處理. 本工序中的烘烤處理是為了使經(jīng)上述預(yù)烘烤處理而完全去除溶劑的著色層固化而實(shí)施的，該處理亦會(huì)進(jìn)行某程度的平坦化。本工序中的后烘烤處理與通常的后烘烤處理相同，具體而言，優(yōu)選在160°C 250°C范圍內(nèi)、更優(yōu)選在200°C 240°C范圍內(nèi)。另外，處理時(shí)間優(yōu)選在10分鐘 120分鐘范圍內(nèi)、更優(yōu)選在20分鐘 80分鐘范圍內(nèi)。這樣的后烘烤處理通常使用無塵烘箱等。
利用本工序形成的著色層的平均膜厚，根據(jù)利用本實(shí)施方式制造方法所制造彩色濾光片的用途而適當(dāng)選擇，優(yōu)選在1.5μηι 3.Ομπι范圍內(nèi)、更優(yōu)選在1.8μηι 2.7μηι范圍內(nèi)。這是因?yàn)椋羯鲜鲋珜拥哪ず裥∮谏鲜龇秶?，即便使用本?shí)施方式彩色濾光片的制造方法，仍難以形成平坦性較高的著色層，反之，若上述著色層的膜厚超過上述范圍，則難以將彩色濾光片形成為薄膜。另外，著色層的平均膜厚使用利用光干涉方式三維非接觸表面形狀測(cè)定裝置(例如美國(guó)，Micromap制制品名Micromap557N)所測(cè)定的值。(4)其他的工序本實(shí)施方式中，視需要亦可施行其他的工序。具體而言，在上述疏液化處理工序之前亦可施行水洗工序。另外，在上述烘烤工序之后，亦可施行用于形成透明電極的ITO膜形成工序。另外，亦可施行在著色層上形成保護(hù)層或形成柱狀間隙的工序等。(5)彩色濾光片的制造方法本實(shí)施方式彩色濾光片的制造方法所制造的彩色濾光片，只要至少I個(gè)顏色的著色層是經(jīng)由上述各工序而形成，則其余并無特別的限定，亦可均由上述各工序形成彩色濾光片所具有的全部著色層。此外，亦可在制造例如紅色著色層、綠色著色層、及藍(lán)色著色層的彩色濾光片中，紅色著色層與綠色著色層的膜厚以小于藍(lán)色著色層的方式形成且具有半多間隙(semimultigap)結(jié)構(gòu)的彩色濾光片；或者紅色著色層、綠色著色層、及藍(lán)色著色層的膜厚全部不同的具有多間隙(multigap)結(jié)構(gòu)的彩色濾光片時(shí)亦可使用本實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法。這里，當(dāng)制造具有膜厚不同的多色著色層的彩色濾光片時(shí)使用本實(shí)施方式彩色濾光片的制造方法時(shí)，因?yàn)槔靡淮涡纬晒ば虮憧赏瑫r(shí)形成膜厚不同的多色著色層，因而可大幅提升彩色濾光片的制造效率，故很有效。以下，針對(duì)本實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法，對(duì)于在制造具有膜厚不同的多色著色層的彩色濾光片時(shí)的實(shí)施方式(以下稱“A實(shí)施方式”)進(jìn)行說明。(A實(shí)施方式)本實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法:是具備黑矩陣基板與多色著色層的彩色濾光片的制造方法，該黑矩陣基板包括透明基板與形成在上述透明基板上且設(shè)有開口部的遮光部；所述多色著色層形成于上述黑矩陣基板上的上述開口部中；而上述多色著色層中，至少I個(gè)顏色的著色層的膜厚以小于其他顏色著色層膜厚的方式形成，其特征在于:噴墨工序，在所述黑矩陣基板的所述開口部中，利用噴墨法涂布著色層形成用涂布液，形成多色的干燥前著色層；減壓干燥處理工序，對(duì)所述多色的干燥前著色層施行減壓干燥處理，形成已形成有多色的干燥后著色層的彩色濾光片用基板；以及烘烤處理工序，對(duì)所述彩色濾光片用基板施行預(yù)烘烤處理后，再施行后烘烤處理，獲得已形成有所述多色的著色層的彩色濾光片，其中，在所述減壓干燥處理工序中，以膜厚最小的所述干燥后著色層的端部膜厚，不小于所述遮光部膜厚的方式，對(duì)所述多色的干燥前著色層施行減壓干燥處理。針對(duì)本實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法，使用附圖進(jìn)行說明。圖6是表示本實(shí)施方式彩色濾光片的制造方法一例的工序圖。另外，圖6中，針對(duì)制造以紅色著色層與綠色著色層小于藍(lán)色著色層的方式形成的具有半多間隙結(jié)構(gòu)的彩色濾光片例子。本實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法中，首先，執(zhí)行噴墨工序(圖6(a))，即在由透明基板I與遮光部2構(gòu)成的黑矩陣基板IOa的上述開口部中，利用噴墨法涂布著色層形成用涂布液，由此形成多色干燥前著色層3a (圖6 (a)中為紅色干燥前著色層3Ra、綠色干燥前著色層3Ga、及藍(lán)色干燥前著色層3Ba)。接著，執(zhí)行減壓干燥處理工序(圖6(b))，即對(duì)多色干燥前著色層3a施行減壓干燥處理，獲得形成了多色干燥后著色層3b(圖6(b)中為紅色干燥后著色層3Rb、綠色干燥后著色層3Gb、及藍(lán)色干燥后著色層3Bb)的彩色濾光片用基板10b。接著，執(zhí)行烘烤處理工序(圖6(c) (d))，即對(duì)彩色濾光片用基板IOb在施行預(yù)烘烤處理后(圖6(c))，再施行后烘烤處理，從而獲得形成了多色著色層3(圖6(d)中為紅色干燥后著色層3R、綠色干燥后著色層3G、及藍(lán)色干燥后著色層3B)的彩色濾光片10。另外，減壓干燥處理工序中，如圖6(b)所示，以紅色干燥后著色層3Rb與綠色干燥后著色層3Gb的膜厚不小于遮光部2膜厚的方式，對(duì)紅色干燥前著色層3Ra與綠色干燥前著色層3Ga施行減壓干燥處理。根據(jù)本發(fā)明，多色著色層中，可將膜厚最小的干燥后著色層中的溶劑含量，控制為能夠?qū)λ纬芍珜淤x予所需平坦性且可以短時(shí)間實(shí)施預(yù)烘烤處理的最小極限含量。所以，對(duì)于具有其他膜厚的著色層，能夠以成為具有在上述預(yù)烘烤處理?xiàng)l件下干燥后著色層中的溶劑不會(huì)暴沸程度的膜厚的干燥后著色層的方式，將著色層形成用涂布液涂布為厚膜而形成，所以即便同時(shí)形成不同膜厚的多色著色層的情況下，仍可對(duì)各著色層賦予所需平坦性，且不會(huì)發(fā)生各色著色層混色。因此，不同膜厚的多個(gè)著色層不需要以各自分開的形成工序形成，而是以單次的形成工序即可形成，所以可大幅提升制造效率。在此，本實(shí)施方式中，對(duì)于膜厚最小的著色層，可以使用上述彩色濾光片的制造方法來形成。另外，本實(shí)施方式中，在與形成上述膜厚最小的著色層時(shí)所施行減壓干燥處理工序與烘烤處理工序相同的環(huán)境下，對(duì)于其他膜厚的著色層，也必需使其具有所需平坦性、且各色著色層不會(huì)發(fā)生混色。以下，針對(duì)形成上述其他膜厚著色層的方法進(jìn)行說明。另外，對(duì)于以下未說明的形成條件，與上述膜厚最小的著色層形成方法相同，故不再贅述。作為上述噴墨工序中形成的干燥前著色層的平均膜厚，只要在減壓干燥處理工序后的干燥后著色層最大膜厚在預(yù)烘烤處理時(shí)上述干燥后著色層中的溶劑不會(huì)出現(xiàn)暴沸的膜厚，則其余并無特別的限定，優(yōu)選為7.7 μ m以上、更優(yōu)選為10.0 μ m以上。這是因?yàn)?，若上述干燥前著色層的膜厚小于上述范圍，?huì)有所形成著色層、與上述膜厚最小的著色層很難形成所需膜厚差的可能性，反之，若上述干燥前著色層的膜厚超過上述范圍，則有時(shí)難以形成著色層。本實(shí)施方式的減壓干燥處理工序中，作為形成的干燥后著色層的最大膜厚，只要在預(yù)烘烤處理時(shí)不會(huì)發(fā)生干燥后著色層中的溶劑暴沸，導(dǎo)致著色層彼此間發(fā)生混色的膜厚即可，則其余并無特別的限定，具體而言，優(yōu)選為7.7 μ m 22.7 μ m范圍內(nèi)。這是因?yàn)椋舾稍锖笾珜拥哪ず癫粷M足上述范圍，則有時(shí)形成的著色層、與上述膜厚最小的著色層難以形成所需膜厚差，反之，若上述干燥后著色層的膜厚超過上述范圍，因?yàn)楦稍锖笾珜又械娜軇┖科啵蚨陬A(yù)烘烤處理時(shí)會(huì)有發(fā)生著色層彼此間混色的可能性。作為利用A實(shí)施方式的制造方法所制造的彩色濾光片，只要具有不同膜厚的多色著色層，則其余并無特別的限定，優(yōu)選以紅色著色層與綠色著色層的膜厚小于藍(lán)色著色層膜厚的方式形成的具有半多間隙結(jié)構(gòu)的彩色濾光片。這是因?yàn)?，為使用上述?gòu)造的彩色濾光片的液晶顯示裝置時(shí)，可使藍(lán)色像素區(qū)域的亮度較高，因而可實(shí)現(xiàn)良好的影像顯示。2.第2實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法其次，針對(duì)本發(fā)明彩色濾光片的制造方法的第2實(shí)施方式進(jìn)行說明。本實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法的特征在于:在上述減壓干燥處理工序中，以上述干燥后著色層最大膜厚與上述開口部寬度的比率，將上述開口部寬度設(shè)為I時(shí)，處于7.8X 10_3 2.3X IO-1范圍內(nèi)的方式，對(duì)上述干燥前著色層施行減壓干燥處理。此處。如上述“1.第I實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法”項(xiàng)中所說明，對(duì)于干燥后著色層的端部膜厚，與上述干燥后著色層最大膜厚與上述開口部寬度的比率相關(guān)聯(lián)。因此，本實(shí)施方式中，使用上述干燥后著色層最大膜厚與上述開口部寬度的比率，表示能將上述干燥后著色層中的溶劑含量控制為可對(duì)所形成著色層賦予所需平坦性的最小極限含量的減壓干燥處理?xiàng)l件。另外，對(duì)于本實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法中的各工序，可與上述第I實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法相同，故在此省略說明。本實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法亦是與上述第重實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法同樣，在制造具有不同膜厚多色著色層的彩色濾光片時(shí)很適合使用。以下，針對(duì)將本實(shí)施方式彩色濾光片的制造方法應(yīng)用于制造具有不同膜厚多色著色層的彩色濾光片的實(shí)施方式(以下稱“B實(shí)施方式”)的情況進(jìn)行說明。(B實(shí)施方式)本實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法是具備黑矩陣基板與多色著色層的彩色濾光片的制造方法，該黑矩陣基板包括透明基板和形成在上述透明基板上且設(shè)有開白部的遮光部；這些多色著色層形成在上述黑矩陣基板上的上述開口部中，上述多色著色層中，以至少I個(gè)顏色的著色層膜厚小于其他顏色著色層膜厚方式形成，該方法包括:噴墨工序，在所述黑矩陣基板的所述開口部中，利用噴墨法涂布著色層形成用涂布液，形成多色的干燥前著色層；減壓干燥處理工序，對(duì)所述多色的干燥前著色層施行減壓干燥處理，形成已形成有多色的干燥后著色層的彩色濾光片用基板；以及烘烤處理工序，對(duì)所述彩色濾光片用基板施行預(yù)烘烤處理后，再施行后烘烤處理，獲得已形成有所述多色的著色層的彩色濾光片，其中，所述減壓干燥處理工序中，以膜厚最小的所述干燥后著色層的最大膜厚、與所述開口部寬度的比率，在將所述開口部寬度設(shè)為I時(shí)，處于7.8X10_3 2.3 X KT1范圍內(nèi)的方式，對(duì)所述多色的干燥前著色層施行減壓干燥處理。在此，本實(shí)施方式中，對(duì)于膜厚最小的著色層，也可使用上述彩色濾光片的制造方法形成。另外，對(duì)于其他膜厚著色層的形成方法，可使用與上述A實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法項(xiàng)中說明的形成最小膜厚著色層以外的著色層的方法同樣方法，故在此省略說明。另外，本實(shí)施方式中，優(yōu)選制造紅色著色層與綠色著色層的膜厚以小于藍(lán)色著色層膜厚的方式形成的半多間隙結(jié)構(gòu)彩色濾光片。另外，此時(shí)，優(yōu)選以膜厚最小的上述干燥后著色層最大膜厚與上述開口部寬度的比率，在將上述開口部寬度設(shè)為I時(shí)，處于
7.8X 10_3 2.3 X KT1范圍內(nèi)的方式，對(duì)上述多色干燥前著色層施行減壓干燥處理。另外，對(duì)于上述數(shù)值范圍例如可以如下述進(jìn)行計(jì)算。當(dāng)將烘烤處理工序前的熱收縮前的遮光部膜厚設(shè)為2.7 μ m，將圖3所示開口部寬度ul設(shè)為ΙΟΟμπι 480μπι范圍內(nèi)，將開口部寬度u2設(shè)為130 μ m 600 μ m范圍內(nèi)，經(jīng)減壓干燥后的干燥后著色層最大膜厚，在以遮光部膜厚為基準(zhǔn)設(shè)為+2 μ m +15 μ m時(shí)，便可計(jì)算出上述數(shù)值范圍。本發(fā)明并不僅局限于上述實(shí)施形態(tài)。上述實(shí)施形態(tài)僅為例示，只要與本發(fā)明申請(qǐng)專利范圍所記載的技術(shù)思想具有實(shí)質(zhì)相同構(gòu)造，并可達(dá)同樣作用效果的技術(shù)方案，都包含在本發(fā)明技術(shù)范疇內(nèi)。[實(shí)施例]以下，使用實(shí)施例與比較例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體說明。1.對(duì)于減壓干燥處理的條件1.黑矩陣基板(BM基板)的制作(遮光部的形成)在玻璃基板(橫長(zhǎng)2850mmX縱長(zhǎng)3050mmX厚度0.7mm Corning Japan公司制)(透明基板)上，使用含遮光性黑色顏料的感光性樹脂組合物，利用光刻法形成遮光部，而形成18面40英寸尺寸的畫面。在每I面中，形成按照以下方式配置的像素圖案(芯片):I個(gè)像素以橫向間距115 μ m、縱向間距465 μ m、開口部尺寸為100 μ mX 450 μ m、遮光部線寬為15 μ m狀態(tài)形成，橫向以115 μ m間距形成5525像素、縱向以465 μ m間距形成1070像素排列。另外，上述遮光部的厚度以不會(huì)引起烘烤處理工序前的熱收縮狀態(tài)設(shè)定為2.7 μ m，形成彩色濾光片時(shí)最終所獲得遮光部的厚度，以20個(gè)像素的平均計(jì)為2.4μ m。另外，對(duì)于上述開口部的寬度，圖3的ul為100ym、u2為450 μ m。(水洗工序)一邊將已形成上述遮光部的透明基板進(jìn)行搬送，一邊使用利用高壓噴淋吹出純水的清洗裝置施行噴水后，再使用氣刀將上述透明基板上的水吹掉。(疏水化處理工序)接著，對(duì)上述透明基板的遮光部側(cè)表面，利用施行導(dǎo)入了氟氣的大氣壓等離子處理，將遮光部層表面形成疏液性，而玻璃表面部分則為親液性。大氣壓等離子處理通過以下的條件實(shí)施。這樣即制得BM基板。另外，所獲得彩色濾光片形成用基板與40mN/m液體間的接觸角，在遮光層表面20處的測(cè)定值平均為60°，在玻璃表面上為10°。另外，該接觸角使用接觸角測(cè)定器(協(xié)和界面科學(xué)(株)制CA-Z型)進(jìn)行測(cè)定(從微量注射器滴下液滴且經(jīng)30秒后)，再由結(jié)果中獲得的數(shù)值。(等離子照射條件).導(dǎo)入氣體:CF4............17.lL/min、N2............97.3L/min.頻率:29Hz.電源輸出:420V_5a2.噴墨工序及減壓干燥處理工序(著色層形成用涂布液的制備)紅色、綠色、及藍(lán)色的著色層形成用涂布液以下述處方進(jìn)行制備。(紅色著色層形成用涂布液).顏料:R254/R242/Y150..............................7.04 質(zhì)量份.分散劑:AJISPER Pb821 (Ajinomoto Fine-Techno)......4.22 質(zhì)量份
.主溶劑:二乙二醇單丁醚醋酸酯............73.20質(zhì)量份.副溶劑:3-乙氧基丙酸乙酯............10.00質(zhì)量份.粘合劑:GMA丙烯酸系樹脂............5.54質(zhì)量份.流平劑:LHP-90 (楠本化成)............0.09質(zhì)量份P/V此為0.73，固體成分濃度為16.8%，粘度為9.8CPS。另外，粘度使用落球式粘度計(jì)，在室溫(23°C )進(jìn)行測(cè)定的值。(綠色著色層形成用涂布液>.顏料:G36/Y150/R254............8.11 質(zhì)量份.分散劑:AJISPER Pb821 (Ajinomoto Fine-Techno)......4.87 質(zhì)量份.主溶劑:二乙二醇單丁醚醋酸酯............65.30質(zhì)量份.副溶劑:3-乙氧基丙酸乙酯............15.00質(zhì)量份.粘合劑:GMA丙烯酸系樹脂............6.72質(zhì)量份.流平劑:LHP_90 (楠本化成)............0.09質(zhì)量份P/V此為0.70，固體成分濃度為21.0%，粘度為9.8CPS。另外，粘度使用落球式粘度計(jì)，在室溫(23°C )進(jìn)行測(cè)定的值。(藍(lán)色著色層形成用涂布液).顏料:B156/V23............2.85 質(zhì)量份.分散劑:AJISPER Pb821 (Ajinomoto Fine-Techno)...1.71 質(zhì)量份.主溶劑:二乙二醇單丁醚醋酸酯............69.00質(zhì)量份.副溶劑:3-乙氧基丙酸乙酯............10.00質(zhì)量份.粘合劑:GMA丙烯酸系樹脂............16.45質(zhì)量份.流平劑:LHP_90 (楠本化成)............0.06質(zhì)量份P/V比為0.20，固體成分濃度為21.0%，粘度為10.0CPS。另外，粘度使用落球式粘度計(jì)，在室溫(23°C )進(jìn)行測(cè)定的值。(噴墨工序及減壓干燥處理工序)以下，如實(shí)施例1 13與比較例I 6所示，在上述BM基板上使用噴墨裝置噴出各色的著色層形成用涂布液而形成干燥前著色層，再通過使用加熱板的加熱減壓干燥裝置，以各自的減壓干燥處理?xiàng)l件施行減壓干燥處理。另外，以下所示各色著色層形成用涂布液的涂布量，都是使紅色著色層與綠色著色層的膜厚成為2.1 μ m、藍(lán)色著色層的膜厚成為
2.4 μ m作為經(jīng)后烘烤處理后的著色層膜厚的涂布量。此外，減壓干燥處理的溫度均為40°C。[實(shí)施例1]使用紅色著色層形成用涂布液形成紅色干燥前著色層，對(duì)紅色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的干燥后著色層高度，以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)，為+2 μ m聞度(最大I吳厚4.7 μ m)為止。由此便獲得彩色濾光片基板。[實(shí)施例2]對(duì)紅色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的干燥后著色層高度以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)為+6 μ m高度(最大膜厚8.7 μ m)為止，除此以外，其余均與實(shí)施例1同樣地獲得彩色濾光片基板。
[實(shí)施例3]對(duì)紅色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的干燥后著色層高度，以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)成為+8 μ m高度(最大膜厚10.7 μ m)為止，除此以外，其余均與實(shí)施例I同樣地獲得彩色濾光片基板。[實(shí)施例4]對(duì)紅色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的干燥后著色層高度，以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)成為+15 μ m高度(最大膜厚17.7 μ m)為止，除此以外，其余均與實(shí)施例1同樣地獲得彩色濾光片基板。[實(shí)施例5]使用綠色著色層形成用涂布液形成綠色干燥前著色層。對(duì)綠色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的干燥后著色層高度，以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)成為+2 μ m(最大膜厚4.7 μ m)的高度為止。由此獲得彩色濾光片基板。[實(shí)施例6]對(duì)綠色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的干燥后著色層高度，以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)成為+6 μ m高度(最大膜厚8.7 μ m)為止，除此以外，其余均與實(shí)施例5同樣地獲得彩色濾光片基板。[實(shí)施例7]對(duì)綠色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的干燥后著色層高度，以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)成為+8 μ m高度(最大膜厚10.7 μ m)為止，除此以外，其余均與實(shí)施例5同樣地獲得彩色濾光片基板。[實(shí)施例8]對(duì)綠色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的干燥后著色層高度，以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)成為+15 μ m高度(最大膜厚重7.7 μ m)為止，除此以外，其余均與實(shí)施例5同樣地獲得彩色濾光片基板。[實(shí)施例9]使用藍(lán)色著色層形成用涂布液形成藍(lán)色干燥前著色層。對(duì)藍(lán)色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的藍(lán)色干燥后著色層高度，以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)成為+5 μ m(最大膜厚7.7 μ m)的高度為止。由此獲得彩色濾光片基板。[實(shí)施例10]使用藍(lán)色著色層形成用涂布液形成藍(lán)色干燥前著色層。對(duì)藍(lán)色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的藍(lán)色干燥后著色層高度，以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)成為+7 μ m(最大膜厚9.7 μ m)的高度為止。由此獲得彩色濾光片基板。[實(shí)施例11]對(duì)藍(lán)色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的藍(lán)色干燥后著色層高度，以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)成為+12 μ m(最大膜厚14.7 μ m)的高度為止，除此以外，其余均與實(shí)施例9同樣地獲得彩色濾光片基板。[實(shí)施例12]對(duì)藍(lán)色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的藍(lán)色干燥后著色層高度，以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)成為+15 μ m(最大膜厚17.7 μ m)的高度為止，除此以外，其余均與實(shí)施例9同樣地獲得彩色濾光片基板。[實(shí)施例13]對(duì)藍(lán)色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的藍(lán)色干燥后著色層高度，以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)成為+20 μ m(最大膜厚22.7 μ m)的高度為止，除此以外，其余均與實(shí)施例9同樣地獲得彩色濾光片基板。需要說明的是，實(shí)施例1 13中，任一者均為干燥前著色層的端部膜厚不小于遮光部膜厚。[比較例I]對(duì)紅色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的紅色干燥后著色層高度，以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)成為-0.2μπι高度(最大膜厚2.5 μ m)為止，除此以外，其余均與實(shí)施例1同樣地獲得彩色濾光片基板。[比較例2]對(duì)綠色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的綠色干燥后著色層高度，以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)成為-0.2μπι高度(最大膜厚2.5 μ m)為止，除此以外，其余均與實(shí)施例5同樣地獲得彩色濾光片基板。[比較例3]對(duì)藍(lán)色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的藍(lán)色干燥后著色層高度，以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)成為+0.5 μ m高度(最大膜厚3.2 μ m)為止的外，其余均與實(shí)施例9同樣地獲得彩色濾光片基板。另外，藍(lán)色干燥后著色層的端部膜厚成為較小于遮光部膜厚。[比較例4]對(duì)紅色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的紅色干燥后著色層高度，以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)成為+21 μ m(最大膜厚23.7 μ m)的高度為止，除此以外，其余均與實(shí)施例1同樣地獲得彩色濾光片基板。[比較例5]對(duì)綠色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的綠色干燥后著色層高度，以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)成為+21 μ m(最大膜厚23.7 μ m)的高度為止，除此以外，其余均與實(shí)施例5同樣地獲得彩色濾光片基板。[比較例6]對(duì)藍(lán)色干燥前著色層施行減壓干燥處理，直到經(jīng)減壓干燥處理后的藍(lán)色干燥后著色層高度，以遮光部為基準(zhǔn)時(shí)成為+24 μ m(最大膜厚26.7 μ m)的高度為止，除此以外，其余均與實(shí)施例9同樣地獲得彩色濾光片基板。3.烘烤處理工序?qū)?shí)施例1 13與比較例I 6所獲得彩色濾光片用基板，利用無塵烘箱以100°C施行20分鐘預(yù)烘烤處理，接著，利用無塵烘箱以230°C施行40分鐘后烘烤處理，獲得彩色濾光片。4.評(píng)價(jià)針對(duì)實(shí)施例1 13與比較例I 6所獲得彩色濾光片，分別調(diào)查著色層有無潰決混色、以及著色層的最大膜厚與最小膜厚的差。結(jié)果如表I所示。另外，所謂“潰決混色”指各色著色層跨越遮光部發(fā)生混色。另外，相關(guān)上述著色層的最大膜厚與最小膜厚之差，利用光干涉方式三維非接觸表面形狀計(jì)測(cè)裝置(美國(guó)Micromap制制品名Micromap557N)進(jìn)行測(cè)定。結(jié)果如表I所示。另外，表I中，t(ym)指干燥后著色層的最大膜厚，t/u指干燥后著色層的最大膜厚與上述開口部寬度的比率(將開口部寬度設(shè)為I時(shí))。[表 I]
權(quán)利要求
1.一種彩色濾光片的制造方法，其特征在于，其包括: 噴墨工序，黑矩陣基板具備透明基板和形成在所述透明基板上且設(shè)有開口部的遮光部，在所述黑矩陣基板的所述開口部中，利用噴墨法涂布著色層形成用涂布液，從而形成干燥前著色層； 減壓干燥處理工序，對(duì)所述干燥前著色層施行減壓干燥處理，從而形成已形成有干燥后著色層的彩色濾光片用基板；以及 烘烤處理工序，對(duì)所述彩色濾光片用基板施行預(yù)烘烤處理之后，再施行后烘烤處理，從而獲得已形成有著色層的彩色濾光片， 其中，所述減壓干燥處理工序中，以所述干燥后著色層的端部膜厚不小于所述遮光部膜厚的方式，對(duì)所述干燥前著色層施行減壓干燥處理。
2.一種彩色濾光片的制造方法，其特征在于，包括: 噴墨工序，黑矩陣基板具備透明基板和形成在所述透明基板上且設(shè)有開口部的遮光部，在所述黑矩陣基板的所述開口部中，利用噴墨法涂布著色層形成用涂布液，從而形成干燥前著色層； 減壓干燥處理工序，對(duì)所述干燥前著色層施行減壓干燥處理，從而形成已形成有干燥后著色層的彩色濾光片用基板；以及 烘烤處理工序，對(duì)所述彩色濾光片用基板施行預(yù)烘烤處理之后，再施行后烘烤處理，從而獲得已形成有著色層的彩色濾光片， 其中，所述減壓干燥處理工序中，以所述干燥后著色層最大膜厚與所述開口部寬度的比率，將所述開口部寬度設(shè)為I時(shí)，處于7.8 X 10_3 2.3 X IO-1范圍內(nèi)的方式，對(duì)所述干燥前著色層施行減壓干燥處理。
3.一種彩色濾光片的制造方法，其特征在于， 其為具備黑矩陣基板和多色著色層的彩色濾光片的制造方法，所述黑矩陣基板包括透明基板與形成在所述透明基板上且設(shè)有開口部的遮光部；所述多色著色層形成于所述黑矩陣基板上的所述開口部；而所述多色著色層中，至少I色的著色層的膜厚以小于其他顏色的著色層膜厚的方式形成， 所述制造方法包括: 噴墨工序，在所述黑矩陣基板的所述開口部中，利用噴墨法涂布著色層形成用涂布液，從而形成多色的干燥前著色層； 減壓干燥處理工序，對(duì)所述多色的干燥前著色層施行減壓干燥處理，從而形成已形成有多色的干燥后著色層的彩色濾光片用基板；以及 烘烤處理工序，對(duì)所述彩色濾光片用基板施行預(yù)烘烤處理后，再施行后烘烤處理，從而獲得已形成有所述多色的著色層的彩色濾光片， 其中，在所述減壓干燥處理工序中，以膜厚最小的所述干燥后著色層的端部膜厚，不小于所述遮光部膜厚的方式，對(duì)所述多色的干燥前著色層施行減壓干燥處理。
4.一種彩色濾光片的制造方法，其 特征在于， 其為具備黑矩陣基板和多色著色層的彩色濾光片的制造方法，所述黑矩陣基板包括透明基板與形成在所述透明基板上且設(shè)有開口部的遮光部；所述多色著色層形成于所述黑矩陣基板上的所述開口部；而所述多色著色層中，至少I色的著色層的膜厚以小于其他顏色的著色層膜厚的方式形成， 所述制造方法包括: 噴墨工序，在所述黑矩陣基板的所述開口部中，利用噴墨法涂布著色層形成用涂布液，從而形成多色的干燥前著色層； 減壓干燥處理工序，對(duì)所述多色的干燥前著色層施行減壓干燥處理，從而形成已形成有多色的干燥后著色層的彩色濾光片用基板；以及 烘烤處理工序，對(duì)所述彩色濾光片用基板施行預(yù)烘烤處理后，再施行后烘烤處理，從而獲得已形成有所述多色的著色層的彩色濾光片， 其中，所述減壓干燥處理工序中，以膜厚最小的所述干燥后著色層的最大膜厚、與所述開口部寬度的比率，將所述開口部寬度設(shè)為I時(shí)處于7.8 X 10_3 2.3 X KT1范圍內(nèi)的方式，對(duì)所述多色的干燥前著色層施行減壓干燥處理。
5.如權(quán)利要求3或4所述的彩色濾光片的制造方法，其中，所述多色的著色層具有紅色著色層、綠色著色層、及藍(lán)色著色層；所述紅色著色層與所述綠色著色層具有同等膜厚，且該膜厚小于所述藍(lán)色著色層膜厚。
6.如權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的彩色濾光片的制造方法，其中，所述烘烤處理工序中，所述預(yù)烘烤 處理在70°C 110°C范圍內(nèi)進(jìn)行。
全文摘要
本發(fā)明主要目的在于提供即便在使用噴墨法的情況下，亦可有效率地形成高平坦性著色層的彩色濾光片的制造方法。本發(fā)明通過提供下述彩色濾光片的制造方法而達(dá)成上述目的。該彩色濾光片的制造方法包括噴墨工序，在具備透明基板和形成在所述透明基板上且設(shè)有開口部的遮光部的黑矩陣基板的所述開口部中，利用噴墨法涂布著色層形成用涂布液，形成干燥前著色層；減壓干燥處理工序，對(duì)所述干燥前著色層施行減壓干燥處理，形成已形成有干燥后著色層的彩色濾光片用基板；以及烘烤處理工序，對(duì)所述彩色濾光片用基板施行預(yù)烘烤處理之后，再施行后烘烤處理，獲得已形成有著色層的彩色濾光片，其中，所述減壓干燥處理工序中，以所述干燥后著色層的端部膜厚不小于所述遮光部膜厚的方式，對(duì)所述干燥前著色層施行減壓干燥處理。
文檔編號(hào)G02B5/20GK103210324SQ20118005228
公開日2013年7月17日 申請(qǐng)日期2011年10月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月4日
發(fā)明者倉(cāng)重美穗子, 西田知?jiǎng)t, 手塚正人, 白土真紀(jì)子, 大城玲美, 原田龍?zhí)? 田崎貴之 申請(qǐng)人:大日本印刷株式會(huì)社