專利名稱：光學元件的制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及彩色濾光片、有機EL顯示元件、有機TFT陣列等具有由間隔壁劃分的多個像素的光學元件的制造方法。
背景技術：
近年來，作為彩色濾光片、有機EL(Electro-Luminescence 電致發(fā)光)顯示元件和有機TFTCThin Film Transistor 薄膜晶體管)陣列等的制造方法，為了實現(xiàn)制造工藝的低成本化，漸漸地開始采用噴墨法。例如，已知在彩色濾光片的制造中，使用樹脂組合物形成間隔壁圖案(還具有黑色矩陣的作用)后，采用噴墨法在間隔壁的開口部涂布R(紅)、G(綠)和B(藍)的油墨而形成像素的方法。此外，已知還有在有機EL元件的制造中，使用樹脂組合物形成間隔壁圖案后，采用噴墨法在間隔壁的開口部涂布空穴傳輸材料、發(fā)光材料等的溶液，從而形成具有空穴傳輸層、發(fā)光層等的像素的方法；以及在有機TFT陣列的制造中，同樣地使用樹脂組合物形成間隔壁圖案后，采用噴墨法在間隔壁的開口部涂布有機半導體的溶液，從而形成有機TFT 元件的方法。對于上述間隔壁，要求有耐熱性、不被油墨等溶解的耐溶劑性等特性；并且在用上述噴墨法制造光學元件時，為了防止發(fā)生彩色濾光片或有機EL元件的鄰接的像素間的油墨的混色，還要求間隔壁的上部表面具有排拒作為噴墨的涂出液的水或有機溶劑等的性質(zhì) (拒油墨性)。此外，在用噴墨法制造光學元件時，需要形成油墨層的膜厚均勻性良好的像素。油墨層的均勻性較差時，即，如果間隔壁附近的油墨層的膜厚變薄，則在間隔壁的周邊會發(fā)生呈現(xiàn)白色的被稱為“露白”的現(xiàn)象，或像素的周邊發(fā)暗而中央部明亮等不良情形。因此，間隔壁的開口部對于油墨需要具有浸潤的性質(zhì)(親油墨性)。為了獲得所述的間隔壁所需的特性，在專利文獻1中，公開了通過光刻法制造帶有由樹脂組合物形成的間隔壁圖案的基板的方法。更具體而言，示出了后烘焙(顯影處理形成的間隔壁的加熱處理)的溫度為200°C的例子(實施例的例2 例7)。此外，在專利文獻1中，通過對比實施例的例2 例7和比較例的例11，在形成間隔壁后且在通過噴墨法注入油墨之前實施用超高壓汞燈等的光曝光的工序(以下簡稱為“后曝光工序”)時，顯示出具有提高油墨層均勻性的效果。另一方面，在專利文獻2中，例示了進行顯像處理后形成帶有間隔壁圖案的基板， 在不進行后曝光的情況下，在氧濃度為10%的氮氣氛下于溫度230°C加熱處理20分鐘來制造帶有間隔壁圖案的基板的方法(實施例幻。此外，例示了通過顯像處理形成帶有間隔壁圖案的基板，在不進行后曝光的情況下，在減壓真空的狀態(tài)下于溫度160°C加熱處理20分鐘來制造帶有間隔壁圖案的基板的方法(實施例3)。然而，導入專利文獻1中所示的后曝光工序雖然在提高油墨層均勻性方面有效，可是由于曝光工序的增加導致生產(chǎn)性的下降，因此需要無后曝光工序的可提高油墨層均勻性的技術。此外，在專利文獻2的實施例2中記載的制造方法是在氮氣氛中進行，不僅工序繁雜，油墨層還不能獲得足夠的均勻性。專利文獻2的實施例3中記載的制造方法是在減壓工序下進行，工序上繁雜。專利文獻1 國際公開第2007/61115號文本專利文獻2 國際公開第2007/148689號文本

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為解決上述問題而完成的發(fā)明，以提供一種光學元件的制造方法為目的，該方法可在不降低間隔壁的耐溶劑性的前提下防止通過噴墨法注入油墨時油墨相互間的混色，可通過確保對像素內(nèi)的油墨的良好的浸潤性以形成均勻的油墨層，并且，可使得到的光學元件保持有足夠的耐熱性，還可通過簡化的低成本的工序來實施。本發(fā)明的光學元件的制造方法中，該光學元件具有支承基板、在上述支承基板的主表面上形成的將該主表面劃分成多個單元的由樹脂固化物構成的間隔壁、和在上述支承基板上的由上述間隔壁劃分的區(qū)域內(nèi)各自形成的多個像素；該制造方法依次包括在上述支承基板的主表面上形成由樹脂組合物構成且上部表面具有拒油墨性的間隔壁的工序，加熱上述間隔壁以促進上述樹脂組合物固化的第1加熱工序，通過噴墨法向由上述支承基板上的上述間隔壁劃分的區(qū)域內(nèi)注入油墨以形成油墨層的工序，和加熱上述間隔壁和上述油墨層、在形成像素的同時使上述樹脂組合物完成固化的第2加熱工序；將上述間隔壁形成工序后的間隔壁的高度記為H0、將上述第1加熱工序后的間隔壁的高度記為HI、將上述第2加熱工序后的間隔壁的高度記為H2時，H0、H1和H2具有以下的關系用H0/H1表示的比值為1.05彡H0/H1 ( 1. 18 ；用H1/H2表示的比值為1. 02彡Hl/ H2 彡 1. 30。根據(jù)本發(fā)明的光學元件的制造方法，可在不降低間隔壁的耐溶劑性的前提下防止通過噴墨法注入油墨時油墨相互間的混色，可通過確保對像素內(nèi)的油墨的良好的浸潤性以形成均勻的油墨層，并且，可使得到的光學元件保持有足夠的耐熱性，還可通過簡化的低成本的工序實施光學元件的制造。


圖1是模式地表示本發(fā)明的光學元件的制造方法的一例的剖視圖。圖2是由本發(fā)明的制造方法的實施方式之一得到的間隔壁和油墨層的剖視圖(a) 及俯視圖(b)。
具體實施例方式以下，對本發(fā)明的實施方式進行說明，但本發(fā)明并不局限于以下的實施方式。作為本發(fā)明的制造方法的對象的光學元件是具有支承基板、在上述支承基板的主表面上形成的將該主表面劃分成多個單元的由樹脂固化物構成的間隔壁、和在上述支承基
4板上的由上述間隔壁劃分的區(qū)域內(nèi)各自形成的多個像素的光學元件。在該光學元件的制造中，本發(fā)明的制造方法依次包括以下(1) (4)的工序，且對于各工序后的間隔壁的高度的關系具有以下特征。(1)在上述支承基板的主表面上形成由樹脂組合物構成且上部表面具有拒油墨性的間隔壁的工序(以下，也簡稱為“間隔壁形成工序”)。并且，將間隔壁形成工序(1)后的間隔壁的高度記為H0。(2)加熱上述間隔壁以促進上述樹脂組合物固化的第1加熱工序。并且，將第1加熱工序(2)后的間隔壁的高度記為HI。(3)通過噴墨法向上述支承基板上的由上述間隔壁劃分的區(qū)域內(nèi)注入油墨以形成油墨層的工序(以下，也簡稱為“噴墨(IJ)工序”)。(4)加熱上述間隔壁和上述油墨層，使上述油墨固化形成像素的同時使上述樹脂組合物完成固化的第2加熱工序。并且，將第2加熱工序后的間隔壁的高度記為H2。[各工序后的間隔壁的高度的關系]H0/H1(即，上述間隔壁形成工序后的間隔壁的高度與上述第1加熱工序后的間隔壁的高度的比值)為1.05彡HO/HI ^ 1. 18 ；Hl/H2(即，上述第1加熱工序后的間隔壁的高度與上述第2加熱工序后的間隔壁的高度的比值)為1.02彡H1/H2 ( 1.30。在這里，本說明書中，術語“樹脂固化物”是指由完成固化的狀態(tài)的樹脂形成的定形物(成形物)，術語“樹脂組合物”是指由固化性樹脂組合物的固化完全未進行的狀態(tài)或者未完成固化的狀態(tài)的樹脂形成的定形物或者無定形物。此外，本說明書中，無特別說明的情況下，“％”表示“質(zhì)量％”。(1)間隔壁形成工序本發(fā)明的制造方法中，作為在支承基板的主表面形成由樹脂組合物構成且上部表面具有拒油墨性的間隔壁(以下，根據(jù)需要稱為“拒油墨性間隔壁”)的方法，只要是在支承基板的主表面上得到上述構成的間隔壁、即拒油墨性間隔壁的方法即可，無特別限定，具體而言，可例舉下述(A) (D)的方法。(A)在支承基板的主表面上形成含有拒油墨劑的感光性樹脂組合物層，通過光刻法形成拒油墨性間隔壁的方法。(B)在支承基板的主表面上依次形成感光性樹脂組合物層和含拒油墨劑層，通過光刻法形成拒油墨性間隔壁的方法。(C)通過光刻法或者印刷法在支承基板的主表面上形成由感光性樹脂組合物或者熱固化性樹脂組合物構成的間隔壁后，通過賦予間隔壁的上部表面以拒油墨性從而形成拒油墨性間隔壁的方法。(D)在支承基板的主表面上依次形成可溶于有機溶劑但不溶于堿性顯影液的非感光性樹脂組合物層，例如，熱固化性樹脂組合物層，和含有拒油墨劑的感光性層，通過光刻法及隨后的利用有機溶劑的蝕刻處理，得到拒油墨性間隔壁的方法。在這里，對于在形成拒油墨性間隔壁中使用的樹脂組合物，即本發(fā)明的制造方法中使用的樹脂組合物，可使用通常用于形成光學元件的間隔壁的樹脂組合物，無特別限制， 例如在上述(A) (D)的方法中使用的通過印刷法或者光刻法等在支承基板上成形為間隔壁，并通過加熱促進、完成固化的樹脂組合物。具體而言，可例舉感光性樹脂組合物、熱固化性樹脂組合物等，對于這些樹脂組合物在以下的(A) (D)的方法中進行詳細說明。以下，對(A) ⑶的方法進行詳細說明。(A)的方法是在支承基板的主表面上形成含有拒油墨劑的感光性樹脂組合物層， 通過光刻法形成拒油墨性間隔壁。(支承基板)作為本發(fā)明的制造方法所用的支承基板，對其材質(zhì)無特別限定，通常用于光學元件用支承基板的材質(zhì)可以例舉例如各種玻璃板；聚酯(聚對苯二甲酸乙二酯等)、聚烯烴 (聚乙烯、聚丙烯等)、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚砜、聚酰亞胺、聚(甲基)丙烯酸類樹脂等熱塑性塑料片；環(huán)氧樹脂、不飽和聚酯等熱固化性塑料的固化物形成的片等。此外， 可例舉預先在上述基材上形成有氮化硅或聚酰亞胺等絕緣膜的基板。特別是從耐熱性的角度考慮，優(yōu)選玻璃板、聚酰亞胺等耐熱性塑料。(含拒油墨劑的感光性樹脂組合物)(i)感光性樹脂組合物上述感光性樹脂組合物可以是負型感光性樹脂組合物，也可以是正型感光性樹脂組合物。為負型感光性樹脂組合物時，根據(jù)固化的種類還可再分為若干類型，例如可例舉自由基固化型、酸固化型等類型。為正型感光性樹脂組合物時，還可再分為若干類型，例如可例舉含鄰萘醌二疊氮(日文0-少7卜7 > 0 7· 7 F )的類型、含嵌段化(日文y 口 7 夂化)的酸性基團的類型等。以下，對于感光性樹脂組合物，對負型感光性樹脂組合物、正型感光性樹脂組合物按類型以優(yōu)選形態(tài)分別例示并進行說明，但本發(fā)明的制造方法所用的感光性樹脂組合物并不受此限定。負型感光性樹脂組合物(自由基固化型)至少含有光自由基聚合性粘合劑樹脂和光聚合引發(fā)劑，根據(jù)需要含有交聯(lián)劑等其他成分，也可以使用用于形成光學元件的間隔壁的目前公知的負型感光性樹脂組合物(自由基固化型)。另外，作為這種負型感光性樹脂組合物(自由基固化型)的具體例子，可例舉在日本專利特開平8-2786 號公報、日本專利特開2000-1522號公報、日本專利特開 2002-40650號公報、日本專利特開2002-83688號公報、專利文獻W02008-133312中公開的負型感光性樹脂組合物(自由基固化型)。作為上述光自由基聚合性粘合劑樹脂，較好是如下樹脂光刻中的曝光時在光照射的部分通過光聚合引發(fā)劑的作用進行自由基聚合以促進固化；在沒有被光照射的部分 (未曝光部分)曝光后進行的顯影時可溶于所用的顯影液中，通常為堿性顯影液。作為這樣的光自由基聚合性粘合劑樹脂的一個優(yōu)選形態(tài)，可例舉具有乙烯性雙鍵和酸性基團的樹脂。作為所述乙烯性雙鍵，可例舉例如丙烯?；?、甲基丙烯?；⑾┍?、乙烯基、乙烯基醚基等加成聚合性不飽和基團，以及這些加成聚合性不飽和基團的氫原子的一部分或全部被烴基取代了的基團等；作為酸性基團，具體而言可例舉羧基、酚性羥基、磺酸基及磷酸基等。在粘合劑樹脂中，樹脂通過上述乙烯性雙鍵部分進行光自由基聚合以形成間隔壁。此外，通過上述酸性基團，可以將含有該酸性基團的負型感光性樹脂組合物的涂膜的未曝光部分在堿顯影液中除去。
此外，上述光自由基聚合性粘合劑樹脂的酸值較好是10 300mgK0H/g，更好是 30 150mgK0H/g。如果為該范圍，則所得感光性組合物的顯影性良好。此外，術語“酸值” 是指將Ig試樣中的樹脂酸等中和所必需的氫氧化鉀的毫克數(shù)。上述光自由基聚合性粘合劑樹脂的數(shù)均分子量較好為500以上且不足20000，更好為2000以上且不足15000。如果在該范圍內(nèi)，則所得感光性組合物的堿溶性和顯影性良好。另外，本說明書中，術語“數(shù)均分子量”是指通過凝膠滲透色譜法以聚苯乙烯為標準物質(zhì)測得的值。作為上述光自由基聚合性粘合劑樹脂的優(yōu)選形態(tài)，更具體而言可例舉將具有酸性基團的乙烯性不飽和單體或具有能與反應性基團結合的官能團的乙烯性不飽和單體等的共聚物的官能團改性而得到的樹脂、包含具有酸性基團的側鏈和具有乙烯性雙鍵的側鏈的聚合物、在環(huán)氧樹脂中引入乙烯性雙鍵和酸性基團而得的樹脂等。作為負型感光性樹脂組合物(自由基固化型)所含有的光聚合引發(fā)劑，只要是具有作為光聚合引發(fā)劑的功能的化合物即可，無特別限定，較好是由通過光而產(chǎn)生自由基的化合物形成。具體而言，可例舉α-二酮類、偶姻類、偶姻醚類、噻噸酮類、乙酰苯類、醌類、 二苯酮類、氨基苯甲酸類、鹵化物類、過氧化物、肟酯類等。在本發(fā)明的制造方法所用的負型感光性樹脂組合物(自由基固化型)中的上述光聚合引發(fā)劑的配比雖然取決于所使用的光學元件的種類或用途，可是相對于上述自由基聚合性粘合劑樹脂，較好為2 40質(zhì)量％，更好為5 20質(zhì)量％。如果在這個范圍時，則感光性組合物的固化性和顯影性良好。負型感光性樹脂組合物(酸固化型)至少含有可溶于堿的粘合劑樹脂、三聚氰胺化合物、光產(chǎn)酸劑，可以使用用于形成光學元件的間隔壁的目前公知的負型感光性樹脂組合物(酸固化型)。另外，作為這種負型感光性樹脂組合物(酸固化型)的具體例子，可例舉在日本專利特開2002-83687號公報、日本專利特開2002-40659號公報、日本專利特開 2005-315986號公報中公開的負型感光性樹脂組合物(酸固化型)。作為上述可溶于堿的粘合劑樹脂，較好是如下樹脂光刻中的曝光時在光照射的部分通過光產(chǎn)酸劑的作用與三聚氰胺化合物反應以促進固化；在沒有被光照射的部分(未曝光部分)曝光后進行的顯影時可溶于所用的顯影液中，通常為堿性顯影液。作為這樣的可溶于堿的粘合劑樹脂的一個優(yōu)選形態(tài)，可例舉具有羧基和/或酚性羥基的樹脂?？扇苡趬A的粘合劑樹脂的酸值較好是10 600mgK0H/g，更好是50 300mgK0H/ go如果在該范圍內(nèi)，則感光性樹脂組合物的顯影性良好?？扇苡趬A的粘合劑樹脂的數(shù)均分子量較好是200 20000，更好是2000 15000。如果在該范圍內(nèi)，則感光性樹脂組合物的
堿溶性、顯影性良好。負型感光性樹脂組合物(酸固化型)包含的光產(chǎn)酸劑是通過光而產(chǎn)生酸的化合物。作為光產(chǎn)酸劑，可例舉例如二芳基碘錫鹽、三芳基锍鹽、三嗪類化合物、磺?；衔?、磺酸酯類等。在本發(fā)明的制造方法所用的負型感光性樹脂組合物(酸固化型)中的上述可溶于堿的粘合劑樹脂、三聚氰胺化合物、光產(chǎn)酸劑的配比雖然取決于所使用的光學元件的種類或用途，可是相對于上述可溶于堿的粘合劑樹脂，三聚氰胺化合物的配比較好為10 100 質(zhì)量％，更好為20 60質(zhì)量％ ；光產(chǎn)酸劑的配比較好為0. 01 30質(zhì)量％，更好為0. 1 20質(zhì)量％。如果在這個范圍時，則負型感光性樹脂組合物的固化性和顯影性良好。正型感光性樹脂組合物(包含鄰萘醌二疊氮化合物的類型)至少含有鄰萘醌二疊氮化合物、粘合劑樹脂，可以使用用于形成光學元件的間隔壁的目前公知的正型感光性樹脂組合物(包含鄰萘醌二疊氮化合物的類型)。作為這樣的正型感光性樹脂組合物(包含鄰萘醌二疊氮化合物的類型)的具體例子，可例舉在日本專利特開平11-327131號公報、日本專利特開平11-M6738號公報中公開的正型感光性樹脂組合物。另外，粘合劑樹脂較好為熱固化性樹脂、或者通過并用交聯(lián)劑進行熱固化而得的樹脂。正型感光性樹脂組合物(包含嵌段化的酸性基團的類型)至少含有具有嵌段化的酸性基團的粘合劑樹脂、光產(chǎn)酸劑，可使用用于形成光學元件的間隔壁的目前公知的正型感光性樹脂組合物(包含嵌段化的酸性基團的類型)。作為這樣的正型感光性樹脂組合物(包含嵌段化的酸性基團的類型)的具體例子，可例舉在日本專利特開平9-6002號公報、日本專利特開2001-296662號公報、日本專利特開2001-35(^64號公報、日本專利特開 2002-6499號公報、日本專利特開2002-155118號公報中公開的正型感光性樹脂組合物。另外，粘合劑樹脂較好為熱固化性樹脂、或者通過并用交聯(lián)劑進行熱固化而得的樹脂。(ii)拒油墨劑本發(fā)明的制造方法所用的感光性樹脂組合物中含有拒油墨劑，在使用該樹脂組合物形成間隔壁時，該拒油墨劑賦予間隔壁的上部表面以拒油墨性。在這里，術語“拒油墨性”是指根據(jù)油墨的組成具有拒水性或拒油性的性質(zhì)，或者同時具有拒水性和拒油性的性質(zhì)。更具體而言，是指排拒油墨中使用的水或有機溶劑等溶劑的性質(zhì)。一般可以分別通過與水或合適的有機溶劑，例如1-甲氧基-2-乙酰氧基丙烷或丙二醇-1-單甲醚-2-乙酸酯 (PGMEA)等通常在噴墨法中使用的油墨中含有的有機溶劑的接觸角進行評價。本發(fā)明的制造方法中所用的拒油墨劑是可以在含有該拒油墨劑的感光性樹脂組合物形成間隔壁時賦予間隔壁的上部表面以期望的拒油墨性，即賦予排拒油墨中使用的水或有機溶劑等溶劑的性質(zhì)的化合物。以下，對于拒油墨劑，按照負型感光性樹脂組合物、正型感光性樹脂組合物的類型，對與此分別相對應的優(yōu)選形態(tài)進行例示并加以說明，但本發(fā)明的制造方法中所用的拒油墨劑，并不受此限定。作為所述的通過摻入感光性樹脂組合物而形成間隔壁時賦予間隔壁的上部表面以拒油墨性的拒油墨劑，較好可例舉含氟化合物、含硅化合物、兼有氟原子和硅原子的化合物等。作為上述用作拒油墨劑的含氟化合物，無特別限制，可例舉目前公知的拒油墨劑用含氟化合物，例如氟代烯烴類樹脂(參考日本專利特開2004-053897號公報(第 0011段))、側鏈上具有氟代烷基的聚合物(參考日本專利特開平7-35915號公報、 W02004/042474、W02006/129800, W02007/069703、日本專利特開平 11-281815 號公報(第 0042段、第0062段、第0073 0075段)、日本專利特開2005-315984號公報、日本專利特開2005-036160號公報、日本專利特開2004-277493號公報、日本專利特開平11-327131號公報(第0036段))等。此外，作為上述用作拒油墨劑的含硅化合物，無特別限制，可例舉目前公知的拒油墨劑用含硅化合物，例如含有二甲基硅氧烷基的聚合物(參考日本專利特開2004-149699號公報、日本專利特開2005-134439號公報)等。作為上述用作拒油墨劑的兼有氟原子和硅原子的化合物，無特別限制，可例舉目前公知的拒油墨劑用含氟硅化合物，例如含氟硅烷偶聯(lián)劑(參考日本專利特開平9-203803 號公報(第0030 0034段))、兼有氟代烷基和二甲基硅氧烷基的化合物(參考日本專利特開昭61-275365號公報、日本專利特開2003-82042號公報(第0070段、0072段)、 W02004/079454、日本專利特開2005-315983號公報、日本專利特開2005-300759號公報、 W02008/123122)等。在這樣的拒油墨劑中，由于具有較高的賦予拒油墨性的能力，還可例舉將側鏈上具有氟代烷基的聚合物作為優(yōu)選形態(tài)。作為上述拒油墨劑的優(yōu)選形態(tài)之一的側鏈上具有氟代烷基的聚合物的制造方法， 可以參考日本專利特開2000-102727號公報、日本專利特開2002-249706號公報等中公開的方法。作為負型感光性樹脂組合物(自由基型)中的拒油墨劑的優(yōu)選形態(tài)，可例舉側鏈上具有氟代烷基和乙烯性雙鍵的聚合物。其理由在于如果使用側鏈上具有氟代烷基和乙烯性雙鍵的聚合物作為拒油墨劑，則在后述的本發(fā)明的制造方法中的第1加熱工序中，上述拒油墨劑與負型感光性樹脂組合物中的其他摻入成分發(fā)生反應，從而被固定于間隔壁上部表面。作為這樣的側鏈上具有氟代烷基和乙烯性雙鍵的聚合物的一個優(yōu)選形態(tài)，可例舉包含具有至少1個氫原子、較好地全部氫原子被氟原子取代的碳數(shù)為20以下的直鏈狀或分支狀的烷基(烷基可具有醚性氧原子)的聚合單元，以及具有丙烯?；⒓谆；?、烯丙基、乙烯基、乙烯基醚基等乙烯性雙鍵的聚合單元的聚合物。作為拒油墨劑使用的上述聚合物的數(shù)均分子量較好為500以上且不足15000，更好為1000以上且不足10000。如果在該范圍內(nèi)，則堿溶性和顯影性良好。此外，從拒油墨性和間隔壁成形性的角度出發(fā)，該聚合物中的氟含量較好為5 25質(zhì)量％，更好為12 20 質(zhì)量％。還有，作為該聚合物的側鏈上所具有的乙烯性雙鍵的數(shù)量，較好為3 100個/分子，更好為6 30個。如果在該范圍內(nèi)，則顯影性良好。在上述聚合物的側鏈上還可以具有硅原子數(shù)約為200以下的聚硅氧烷鏈(直鏈)。 此外，從拒油墨性和間隔壁成形性的角度出發(fā)，該聚合物中的硅含量較好為0. 5 30質(zhì)量％，更好為0.5 10質(zhì)量％。在這里，作為拒油墨劑使用的上述聚合物較好是具有酸性基團，例如選自羧基、酚性羥基和磺酸基的至少1種酸性基團。其理由是因為通過具有堿溶性，在支承基板上的由間隔壁劃分的區(qū)域(以下，也簡稱為“像素點(dot)”)內(nèi)拒油墨劑不易殘留，用噴墨法注入油墨時油墨的浸潤擴散性良好。從這樣的角度出發(fā)，聚合物的酸值較好為10 400mgK0H/ g,更好為 20 300mgK0H/g。上述的側鏈上具有氟代烷基、乙烯性雙鍵和任意地含有的聚硅氧烷鏈、較好是還具有酸性基團的聚合物的制造方法，具體而言在W02004/042474、W02007/069703、 W02008/149776中進行了公開。作為負型感光性樹脂組合物(酸固化型)中的拒油墨劑的優(yōu)選形態(tài)，可例舉側鏈上具有氟代烷基和羧基和/或酚性羥基的聚合物。其理由在于與上述相同，在本發(fā)明的制
9造方法中的第1加熱工序中，該拒油墨劑與其他組合物成分發(fā)生反應，從而被固定于間隔壁上部表面。并且，具有堿溶性時，拒油墨劑不易殘留在像素內(nèi)，用噴墨法注入油墨時油墨的浸潤擴散性良好。此外，作為負型感光性樹脂組合物(酸固化型)中的拒油墨劑的其他優(yōu)選形態(tài)，可例舉由以下聚合物形成的拒油墨劑，即，該聚合物為側鏈上具有至少1個氫原子、較好是全部氫原子被氟原子取代的碳數(shù)為20以下的直鏈狀或分支狀的氟代烷基(烷基包括具有醚性氧原子的烷基)、較好是還具有羧基和/或酚性羥基的聚合物。在上述聚合物的側鏈上還可以具有硅原子數(shù)約為200以下的聚硅氧烷鏈(直鏈)。酸固化型中的拒油墨劑聚合體中的氟含量和硅含量的優(yōu)選范圍與自由基固化型中的拒油墨劑聚合物中的所述的優(yōu)選范圍相同。這些拒油墨劑的制造方法，具體而言，對于側鏈上具有氟代烷基和羧基和/或酚性羥基的聚合物，在日本專利特開2005-315984號公報中進行了公開；對于將上述的具有氟代烷基的聚合物和具有聚硅氧烷鏈的聚合物組合而得到的拒油墨劑，在日本專利特開 2005-300759號公報中進行了公開。作為正型感光性樹脂組合物(含有鄰萘醌二疊氮化合物的組合物)中的拒油墨劑的優(yōu)選形態(tài)，可例舉側鏈上具有氟代烷基和酸性基團的聚合物。其理由是因為具有堿溶性時，拒油墨劑不易殘留在像素點內(nèi)，用噴墨法注入油墨時油墨的浸潤擴散性良好。作為上述酸性基團，可例舉例如羧基、酚性羥基、磷酸基、磺酸基等。作為正型感光性樹脂組合物(含有嵌段化的酸性基團的類型)中的拒油墨劑的優(yōu)選形態(tài)，可例舉側鏈上具有氟代烷基和嵌段化的酸性基團的聚合物。其理由是因為當曝光而產(chǎn)生酸性基團時，拒油墨劑不易殘留在像素點內(nèi)，用噴墨法注入油墨時油墨的浸潤擴散性良好。作為嵌段化的酸性基團，可例舉目前公知的基團，例如日本專利特開2004-277493 號公報(第OOM 00 段)中公開的基團，對于側鏈上具有氟代烷基和嵌段化的酸性基團的聚合物的制造方法，也在日本專利特開2004-277493號公報中進行了公開。相對于上述含有拒油墨劑的負型感光性樹脂組合物、正型感光性樹脂組合物中的任一種組合物的固體成分總量，拒油墨劑的含有比例較好在0.01% 30%的范圍內(nèi)。其理由是因為得到的間隔壁的拒油墨性良好，通過噴墨法注入的油墨在像素內(nèi)的浸潤擴散性良好，且被注入的油墨層的均勻性良好。(iii)感光性組合物含有的任意成分對于用于本發(fā)明的制造方法的感光性樹脂組合物，除了上述各種成分外，在上述的感光性樹脂組合物的各個類型中還可適當?shù)?、根?jù)需要摻入用于增加涂膜固化物的交聯(lián)密度的自由基交聯(lián)劑或熱交聯(lián)劑、用于獲得基材密合性的硅烷偶聯(lián)劑、固化促進劑、增稠齊U、增塑劑、消泡劑、均化劑、防凹陷劑、紫外線吸收劑等。這些化合物中，特好的是在本發(fā)明的制造方法中向感光性樹脂組合物摻入熱交聯(lián)劑。熱交聯(lián)劑是具有2個以上的可與被添加的感光性樹脂組合物中含有的感光性樹脂所具有的官能團反應的基團的化合物，通過與上述感光性樹脂反應使涂膜固化物的交聯(lián)密度增大，藉此可達到提高耐熱性的目的。作為這樣的熱交聯(lián)劑，可例舉例如氨基樹脂、具有2個以上的環(huán)氧基的化合物、具有2個以上的胼基的化合物、聚碳二亞胺化合物、具有2個以上的噪唑啉基的化合物、具有2個以上的氮丙啶基的化合物、多價金屬類、具有2個以上的巰基的化合物、多異氰酸酯化合物等。它們可單獨使用，也可2種以上并用。這些化合物中，從耐溶劑性的角度出發(fā)，在本發(fā)明的制造方法中作為添加入感光性樹脂組合物的熱交聯(lián)劑，較好是氨基樹脂和具有2個以上的環(huán)氧基的化合物，特好是具有2個以上的環(huán)氧基的化合物。作為具有2個以上的環(huán)氧基的化合物，具體可例舉雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂、苯酚·線型酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、甲酚·線型酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、三苯酚甲烷型環(huán)氧樹脂、溴化環(huán)氧樹脂等縮水甘油醚類；3，4-環(huán)氧環(huán)己基甲基-3，4-環(huán)氧環(huán)己烷羧酸酯、 二(2，3_環(huán)氧環(huán)戊基)醚等脂環(huán)式環(huán)氧樹脂；六氫鄰苯二甲酸二縮水甘油酯、四氫鄰苯二甲酸二縮水甘油酯、鄰苯二甲酸二縮水甘油酯等縮水甘油酯類；四縮水甘油基二氨基二苯基甲烷、三縮水甘油基對氨基苯酚等縮水甘油基胺類；三縮水甘油基異氰脲酸酯等雜環(huán)式環(huán)氧樹脂等。作為氨基樹脂，可例舉三聚氰胺系化合物、胍胺系化合物、尿素系化合物等氨基的一部分或全部被羥甲基化了的化合物或該羥甲基化了的化合物的羥基的一部分或全部被甲醇、乙醇、正丁醇、2-甲基-1-丙醇等醚化了的化合物。具體來講，可例舉六羥甲基三聚氰胺及烷基醚化六羥甲基三聚氰胺(六甲氧基甲基三聚氰胺、丁基醚化六羥甲基三聚氰胺等)、部分羥甲基化三聚氰胺及其烷基醚化物、四羥甲基苯胍胺及烷基醚化四羥甲基苯胍胺；部分羥甲基化苯胍胺及其烷基醚化物等。在本發(fā)明的制造方法所用的感光性樹脂組合物中的上述熱交聯(lián)劑的配比雖然取決于所使用的光學元件的種類或用途，可是相對于上述感光性樹脂組合物的總量，較好為 0. 5 30質(zhì)量％，更好為3 20質(zhì)量％。如果在該范圍時，則得到的感光性組合物的顯影性良好。在本發(fā)明的光學元件的制造方法中，當間隔壁是有遮光性的遮光層時，即作為黑色矩陣使用時則本發(fā)明的效果會更為顯著。因而，本發(fā)明的制造方法優(yōu)選應用于間隔壁為遮光層的光學元件的制造。像這樣將由感光性樹脂組合物形成的間隔壁作為黑色矩陣使用時，在感光性樹脂組合物中優(yōu)選含有黑色著色劑。作為這樣的黑色著色劑，具體可以例舉炭黑、苯胺黑、蒽醌類黑色顏料，鈦黑等金屬氧化物的粒子，銀錫合金等合金的粒子，作為茈類黑色顏料的例如 C. I.顏料黑1、6、7、12、20、31等。此外，作為黑色著色劑，也可以使用紅色顏料、藍色顏料、 綠色顏料等有機顏料或無機顏料的混合物。還有，作為上述黑色著色劑，從價格高低、遮光性的強弱來看，較好是炭黑，炭黑可以用樹脂等進行表面處理。此外，為了調(diào)整色調(diào)，可以并用藍色顏料或紫色顏料。黑色著色劑的摻入量雖然取決于所使用的光學元件的種類或用途，可是例如使用間隔壁作為彩色濾光片的黑色矩陣時，較好是相對于構成間隔壁的感光性樹脂組合物的總量摻入10 50質(zhì)量％的黑色著色劑并根據(jù)需要同時摻入適當?shù)姆稚⒔橘|(zhì)、分散劑來制成分散液。如果黑色著色劑的摻入量在該范圍內(nèi)，則得到的感光性組合物的靈敏度良好，且所形成的間隔壁的遮光性優(yōu)良。此外，為了在支承基板上的涂布順暢地進行，可根據(jù)需要在感光性樹脂組合物中添加作為稀釋劑的與組合物成分或支承基板無反應性的各種溶劑。作為稀釋劑的具體例子，可例舉醇類、酮類、溶纖劑類、卡必醇類、酯類、醚類、鏈烴、環(huán)式飽和烴、芳烴等。它們可以單獨使用，也可以2種以上并用。作為上述稀釋劑的添加量，相對于感光性樹脂組合物的總量，從感光性樹脂組合物的涂裝性的角度來看，作為優(yōu)選的量可例舉50 95質(zhì)量％、較好為70 90質(zhì)量％。本發(fā)明中，對感光性樹脂組合物無特別限制，但當使用負型感光性樹脂組合物 (自由基固化型)作為感光性樹脂組合物時，較好是使用含有可溶于堿顯影液的樹脂粘合劑、拒油墨劑、光聚合物引發(fā)劑及黑色著色劑的感光性樹脂組合物。接著，對于使用所述的含拒油墨劑的感光性樹脂組合物在支承基板的主表面上形成間隔壁的方法，根據(jù)需要參照圖1(a) 圖1(c)所示的模式地表示的負型感光性樹脂組合物的間隔壁形成方法進行說明。(在基板上的感光性樹脂組合物層的形成)為了在支承基板的主表面上形成含有拒油墨劑的感光性樹脂組合物層，可例舉在支承基板上涂布含有拒油墨劑的感光性樹脂組合物或者含有該組合物的涂布液的方法。作為涂布的方法，可例舉旋涂法、噴涂法、狹縫涂布法、輥涂法、旋轉涂布法、棒涂法等。此外，含有拒油墨劑的感光性樹脂組合物層的膜厚，或者為含有該組合物和稀釋劑的涂布液時涂布液的膜厚取決于所使用的感光性樹脂的種類或者如下所述的間隔壁形成方法、為涂布液時涂布液中的稀釋劑的量等，但為了使最終得到的間隔壁的高度達到期望值，可設定為例如上述期望值的2 20倍左右。S卩，在通過本發(fā)明的制造方法得到的光學元件中，上述最終得到的間隔壁的高度， 換言之，第2加熱工序(4)后的間隔壁的高度H2雖然取決于光學元件的種類，但較好為 0. 05 50 μ m,更好為0. 2 10 μ m，特好為0. 5 5 μ m，格外好為2 4 μ m，最好為2. 2 4 μ m。因此，含有拒油墨劑的感光性樹脂組合物或者含有該組合物的涂布液的涂布按照使 H2達到該值的要求來實施。(干燥)接著，根據(jù)需要優(yōu)選將在支承基板的主表面上形成的含拒油墨劑的感光性樹脂組合物層進行干燥。通過干燥該層，根據(jù)需要添加入感光性樹脂組合物中的稀釋劑(溶劑) 揮發(fā)，得到粘著性較小的涂膜。當感光性樹脂組合物中沒有添加作為稀釋劑的溶劑時，不必進行干燥。在進行感光性樹脂組合物中添加的作為稀釋劑的溶劑的干燥時，較好是進行真空干燥或加熱干燥。此外，為了在不發(fā)生涂膜外觀斑駁的情況下高效地進行干燥，更好是并用真空干燥和加熱干燥。雖然根據(jù)各成分的種類、配比等而不同，優(yōu)選在如下條件下進行真空干燥以500 IOPa進行約10 300秒，加熱干燥以50 120°C進行約10 2000秒。圖1 (a)為支承基板1和負型感光性樹脂組合物層2的剖視圖，表示在支承基板的主表面上涂布含拒油墨劑的負型感光性樹脂組合物或者含有該組合物的涂布液的層并根據(jù)需要進行干燥后的狀態(tài)。(曝光)接著，對感光性樹脂組合物層的一部分進行曝光。曝光較好是隔著規(guī)定圖案的掩模進行。作為照射的光，可以例舉可見光，紫外線，遠紫外線，KrF準分子激光、ArF準分子激光、F2準分子激光、Kr2準分子激光、KrAr準分子激光、Ar2準分子激光等準分子激光，X射線，電子射線等。較好是波長為100 600nm的電磁波，更好是在300 500nm的范圍具有分布的光線，特好是i線(365nm)、h線(405nm)、g線(436nm)。圖1(b)是表示曝光工序的剖視圖，該曝光工序為介以規(guī)定圖案的掩模4對支承基板1上的干燥后的負型感光性樹脂組合物層2照射光5，光5只能透過被上述掩模4切出的規(guī)定圖案的部分并到達支承基板1上的負型感光性樹脂組合物層，只有這部分曝光固化。另外，為正型時，光到達感光性樹脂組合物層的部分可溶于堿。作為照射裝置，可以使用公知的超高壓汞燈或遠紫外線燈等。曝光量較好在5 1000mJ/cm2的范圍內(nèi)，更好為10 200mJ/cm2。如果曝光量過低，為負型時則間隔壁的固化不充分，在其后的顯影中可能會發(fā)生溶解或剝離。為正型時則間隔壁的堿溶性不足，可能會產(chǎn)生顯影殘渣。如果曝光量過高，則無論是負型還是正型，都會有得不到高析像度的傾向。在曝光后、顯影之前，特別是采用負型感光性樹脂組合物(酸固化型)、正型感光性樹脂組合物時，優(yōu)選進行為促進反應的加熱處理。采用以50 140°C的加熱溫度進行 10 2000秒左右的加熱的條件。這通常被稱為PEB (Post Exposure Bake:后烘焙)處理。 在負型(酸固化型)、正型中該PEB是為了使通過曝光所產(chǎn)生的酸擴散而進行的加熱處理。(顯影)曝光工序后使用顯影液顯影，為負型時除去未曝光部分，為正型時除去曝光部分。 作為顯影液，可使用包含例如氫氧化鉀等堿金屬氫氧化物、碳酸鉀等堿金屬碳酸鹽、胺類、 醇胺類、季銨鹽類等堿類的堿性水溶液。顯影時間(與顯影液接觸的時間)較好是5 180秒。此外，顯影方法可以是液浸法(日語液盛”法)、浸漬法、噴淋法等中的任一種。顯影后，進行高壓水洗或流水清洗， 通過用壓縮空氣或壓縮氮氣使其風干，從而可以除去基材上的水分。在該曝光工序后，通過使用顯影液進行顯影，除去圖1(b)中所示的支承基板1上的未曝光部分2，可獲得圖1(c)的剖視圖所示的由支承基板1和在上述支承基板上的由負型感光性樹脂組合物形成的間隔壁6的組成的結構。此外，由間隔壁6和支承基板1圍成的部分是表示通過注入油墨等而形成油墨層、即像素的像素點7的部分。圖1(c)所示的間隔壁6的上部表面層8是偏多存在拒油墨劑的層。這是由于在間隔壁形成工序的初期均勻地溶解在感光性樹脂組合物中的拒油墨劑由于其所具有的特性，經(jīng)過在上述涂布至曝光期間根據(jù)需要而實施的干燥等工序而轉移到感光性樹脂組合物層的上部，并通過曝光而被固定在層上部表面。如此通過上述(A)的方法可實施本發(fā)明的間隔壁形成工序(1)，在本發(fā)明的制造方法中，通過該間隔壁形成工序(1)得到形成有由樹脂組合物構成且上部表面具有拒油墨性的間隔壁的支承基板，并將該支承基板供于接下來后述的本發(fā)明的第1加熱工序O)。在這里，在本發(fā)明的制造方法中，由HO表示的間隔壁形成工序(1)后的間隔壁的高度與由Hl表示的第1加熱工序(2)后的間隔壁的高度具有以下關系1.05 ( HO/ Hl ^ 1. 18，較好為1. 08 ^ H0/H1 ^ 1. 17 ；此外，上述Hl與由H2表示的第2加熱工序(4)后的間隔壁的高度之間構成以下關系1. 02 ^ H1/H2 ^ 1. 30、較好為1. 05 ^ H1/H2 ^ 1. 20。 此外，在通過本發(fā)明的制造方法得到的光學元件中，上述最終得到的間隔壁的高度，即第2 加熱工序(4)后的間隔壁的高度H2雖然取決于光學元件的種類，但較好為0. 05 50 μ m，更好為0. 2 10 μ m，特好為0. 5 5 μ m，格外好為2 4 μ m，最好為2. 2 4 μ m。通過綜合考慮該H2的優(yōu)選值和上述HO、HI、H2間的關系來算出HO的值。該HO (間隔壁形成工序后的間隔壁的高度)的值也可以在考慮使用間隔壁的裝置的種類、間隔壁的形成性等因素后進行適當設定。作為HO的值，大約在0. 3 20 μ m的范圍，較好在0. 5 10 μ m的范圍，特好在2 8 μ m的范圍，最好在2. 4 5 μ m的范圍。以下，對于本發(fā)明的制造方法中可以作為間隔壁形成工序(1)使用的方法，即在支承基板的主表面上依次形成感光性樹脂組合物層和含拒油墨劑層，通過光刻法形成拒油墨性間隔壁的方法(B)進行說明。作為該(B)的拒油墨性間隔壁形成方法使用的感光性樹脂組合物，除了在上述 (A)的方法中說明的感光性樹脂組合物中拒油墨劑的摻入不是必需的以外，可以直接使用與(A)的方法中說明的完全相同的感光性樹脂組合物。此外，作為拒油墨劑，可以使用與上述(A)的方法中使用的相同的拒油墨劑。作為在支承基板上形成感光性樹脂組合物層和含拒油墨劑層的方法，可例舉以下的(B-I)和(B-2)的方法。(B-I)在支承基板上涂布感光性樹脂組合物或者含有該組合物的涂布液，并根據(jù)需要進行干燥，形成感光性樹脂組合物層，然后在該層上涂布拒油墨劑或者含有拒油墨劑的涂布液，根據(jù)需要進行干燥以形成含拒油墨劑層，經(jīng)曝光、顯影而形成拒油墨性間隔壁的方法。含拒油墨劑層可具有感光性也可不具有感光性。當含拒油墨劑層具有感光性時， 感光性樹脂組合物層和含拒油墨劑層可同時為正型，或者同時為負型?？刹捎?A)中記載的方法來實施干燥、曝光、顯影工序。另外，作為表示該B-I的方法的更具體的例子，可例舉在日本專利特開平 9-203803號公報中公開的方法。(B-2)在與支承基板不同的臨時支承體上形成由含拒油墨劑層和感光性樹脂組合物層構成的轉印層，并將轉印層轉印至支承基板的方法。在與支承基板不同的臨時支承體上涂布拒油墨劑或者含有拒油墨劑的涂布液并根據(jù)需要進行干燥以形成含拒油墨劑層的方法中，含拒油墨劑層可具有感光性也可不具感光性。此外，也可以對臨時支承體實施前處理以形成平滑且均勻的含拒油墨劑層，也可以層疊熱塑性樹脂組合物層或氧阻斷層等?？墒?，它們在之后的顯影工序等中應可以被除去。在上述形成的含拒油墨劑層上涂布感光性樹脂組合物或者含該組合物的涂布液， 并根據(jù)需要進行干燥以形成感光性樹脂組合物層。此外，根據(jù)需要也可以用保護膜保護表面。貼有保護膜時，在剝?nèi)ケＷo膜、層壓在支承基板上后，剝離臨時支承體，以使在支承基板上形成感光性樹脂組合物層和含拒油墨劑層，再經(jīng)曝光、顯影工序以形成拒油墨性間隔壁。 另外，當含拒油墨劑層具有感光性時，感光性樹脂組合物層和含拒油墨劑層可同時為正型， 或者同時為負型。可采用(A)中記載的方法來實施干燥、曝光、顯影工序。另外，作為表示該B-2的方法的更具體的例子，可例舉在W02008/078707、日本專利特開平2002-139612號公報中公開的方法。對在本發(fā)明的制造方法中可用作間隔壁形成工序(1)的方法(C)進行以下說明， (C)的方法是通過光刻法或者印刷法在支承基板的主表面上形成由感光性樹脂組合物或者熱固化性樹脂組合物構成的間隔壁后，通過賦予間隔壁的上部表面以拒油墨性而形成拒油墨性間隔壁。在用光刻法形成由感光性樹脂組合物層構成的間隔壁時，可以使用在上述(A)的方法中所示的負型感光性樹脂組合物，也可以使用正型感光性樹脂組合物?？墒?，(C)的方法中，為了使含拒油墨劑層的形成與該感光性樹脂組合物層的形成不同，在(C)的方法使用的感光性樹脂組合物中上述(A)所示的拒油墨劑不是必需成分。另一方面，當通過印刷法形成間隔壁時，例如，可以通過使用熱固化性樹脂組合物印刷間隔壁圖案以形成由樹脂組合物構成的間隔壁。(C-I)在形成了由樹脂組合物構成的黑色的間隔壁(黑色矩陣)的透明基板上涂裝含拒油墨劑的正型感光性樹脂組合物，并根據(jù)需要進行干燥，經(jīng)過從透明基材的里面進行曝光、顯影而形成拒油墨性間隔壁。另外，在使用該方法形成拒油墨性間隔壁時，可采用 (A)中記載的方法來實施干燥、曝光、顯影工序。此外，對于該方法中使用的拒油墨劑，也可以使用與上述(A)的方法中使用的相同的拒油墨劑。另外，作為表示該C-I的方法的更具體的例子，可例舉在日本專利特開 2008-165092號公報(第0102段、實施例12)中公開的方法。(C-2)在與支承基板不同的臨時支承體上涂布拒油墨劑或含拒油墨劑的涂布液， 并根據(jù)需要進行干燥，從而形成含拒油墨劑層。另外，拒油墨劑或含拒油墨劑的涂布液可具有感光性也可不具有感光性。將形成了由樹脂組合物構成的間隔壁的支承基板和形成有上述含拒油墨劑層的臨時支承體層疊后，剝離臨時支承體，從而在支承基板上形成拒油墨性間隔壁。此外，對于該方法中使用的拒油墨劑，也可以使用與上述㈧的方法中使用的相同的拒油墨劑。另外，作為表示該C-2的方法的更具體的例子，可例舉在日本專利特開 2008-139378號公報中公開的方法。(C-3)在形成了由樹脂組合物構成的間隔壁的支承基板上，將氟化合物用作導入氣體進行等離子體照射。作為用作導入氣體的氟化合物可例舉CF4、C2F6, C3F6, SF6, NF3等。 此外，等離子體照射可在減壓下進行，也可以在大氣壓下進行。另外，作為表示該C-3的方法的更具體的例子，可例舉在日本專利特開 2002-062422號公報、日本專利特開2003-344640號公報、日本專利特開2003-1M210號公報、W02006/035621中公開的方法。除此之外，還可以通過凹版涂布機或噴墨裝置，僅賦予間隔壁表面以拒油墨性 (參考日本專利特開2008-76651(實施例1、實施例11))。還對在本發(fā)明的制造方法中可用作間隔壁形成工序(1)的方法(D)進行以下說明，(D)的方法為在支承基板的主表面上依次形成可溶于有機溶劑但不溶于堿性顯影液的非感光性樹脂組合物層、例如熱固化性樹脂組合物層和含有拒油墨劑的感光性層，通過光刻法及隨后的有機溶劑的蝕刻處理，得到拒油墨性間隔壁。在支承基板上涂布可溶于有機溶劑但不溶于堿性顯影液的非感光性樹脂組合物或者含有該組合物的涂布液，并根據(jù)需要進行干燥，從而形成非感光性樹脂組合物層，然后在該層上涂布含有拒油墨劑的感光性樹脂組合物或者含有該組合物的涂布液，并根據(jù)需要進行干燥，從而形成含拒油墨劑層。
作為可溶于有機溶劑但不溶于堿性顯影液的非感光性樹脂組合物，只要是無酸性基團的樹脂組合物且重均分子量為10萬以下就可以使用。并且，優(yōu)選為熱固化性的樹脂組合物。可例舉例如環(huán)氧樹脂、丙烯酸共聚物等。含拒油墨劑層可以是正型，也可以是負型。經(jīng)曝光、顯影，僅對含拒油墨劑層進行圖案形成。此時，所形成的含拒油墨劑層不溶于有機溶劑。根據(jù)需要進行干燥，用有機溶劑蝕刻非感光性樹脂組合物層，從而形成拒油墨性間隔壁?？刹捎?A)中記載的方法來實施干燥、曝光、顯影工序。此外，對于該方法中使用的拒油墨劑，也可以使用與上述(A)的方法中使用的相同的拒油墨劑。另外，作為表示該⑶的方法的更具體的例子，可例舉在日本專利特開 2008-165092號公報(第0079段、實施例1)中公開的方法。在本發(fā)明的光學元件的制造方法中，在上述說明的間隔壁形成工序(1)之后，實施以下說明的第1加熱工序O)。另外，構成(1)中形成的間隔壁的樹脂組合物例如在間隔壁形成時即使通過曝光等進行了光固化處理，但仍處于未充分固化的狀態(tài)，更具體地說， 仍處于僅間隔壁的表面固化而間隔壁的內(nèi)部未充分固化的狀態(tài)，于是通過以下的第1加熱工序( 促進固化，并進一步通過第2加熱工序(4)完成固化。另外，在本發(fā)明的光學元件的制造方法中，以如下所述的間隔壁的高度的變化為基準來調(diào)整該第1加熱工序( 及第 2加熱工序中的樹脂組合物的固化程度。此外，在上述的間隔壁形成工序(1)中，雖然對可應用于本發(fā)明的制造方法的各種樹脂組合物及與其相適應的間隔壁形成工序進行了說明，但它們當中，本發(fā)明的制造方法優(yōu)選采用的樹脂組合物為感光性樹脂組合物，且間隔壁形成工序由依次進行在支承基板上形成感光性樹脂組合物的涂膜、曝光及顯影操作而構成。本發(fā)明的制造方法更為優(yōu)選采用的是感光性樹脂組合物為負型感光性樹脂組合物的情況。還有，在本發(fā)明的制造方法中， 當使用感光性樹脂組合物時，從耐溶劑性、耐熱性的角度出發(fā)，該組合物較好是含有熱固化劑、優(yōu)選含有2個以上的環(huán)氧基的化合物。此外，為了形成由樹脂組合物構成的、上部表面具有拒油墨性的間隔壁，在間隔壁形成時采用使用拒油墨劑賦予間隔壁上部表面以拒油墨性的方法，作為該拒油墨劑，如上所述較好是使用含氟拒油墨劑。另外，在本發(fā)明的制造方法中，間隔壁形成后的樹脂組合物的固化可以通過該第1 加熱工序與第2加熱工序的組合來充分實現(xiàn)，而無需在間隔壁形成后為促進樹脂固化而實施照射與上述曝光相同的光進行曝光，即，用250nm 450nm的電磁波進行曝光的目前公知的后曝光之類的高成本工序，因而，本發(fā)明的制造方法為有利于成本控制的制造方法。S卩，在本發(fā)明的光學元件的制造方法中，在上述間隔壁形成工序(1)后，無需對得到的間隔壁照射250nm 450nm的電磁波，優(yōu)選依次進行以下詳細說明的第1加熱工序 (2)、油墨層形成工序C3)及第2加熱工序(4)。此外，對于本發(fā)明的制造方法的上述間隔壁的加熱一次也未進行且將通過加熱進行的樹脂組合物的固化分為噴墨工序(3)的前后2個階段來進行的效果，與間隔壁的高度的變化一起在下述關于各工序的記載中進行說明。(2)第1加熱工序本發(fā)明的光學元件的制造方法中的第1加熱工序O)為以下工序加熱通過上述間隔壁形成工序(1)在支承基板上形成的上述間隔壁，促進上述樹脂組合物的固化，藉此
16使間隔壁形成工序后的間隔壁的高度記為H0、第1加熱工序后的間隔壁的高度記為Hl時的間隔壁形成工序后的間隔壁的高度與第1加熱工序后的間隔壁的高度的比值H0/H1形成 1. 05 ^ HO/HI ^ 1. 18的關系。另外，在本發(fā)明的制造方法中，較好是進行第1加熱工序(2) 以使上述H0/H1的關系達到1. 08 ^ HO/HI ^ 1. 17。使間隔壁形成工序后的間隔壁的高度與上述第1加熱工序后的間隔壁的高度的比值H0/H1形成1. 05 ( H0/H1 ( 1. 18的關系的加熱條件雖然取決于所使用的樹脂組合物， 具體而言可例舉150°C 215°C的溫度條件作為優(yōu)選條件。作為加熱的方法，可例舉將間隔壁和支承基板一起用加熱板、加熱爐等加熱裝置加熱處理5 90分鐘的方法。此外，加熱時無需減壓，較好在氧濃度為通常的20 21%的條件下加熱。此外，第1加熱工序的加熱溫度較好為185 210°C。在這樣的加熱條件下加熱通過間隔壁形成工序(1)在支承基板上形成的上述間隔壁，藉此可以使第1加熱工序( 后的間隔壁的高度達到一定值以使上述H0/H1形成 1. 05 ( H0/H1 ( 1. 18 的關系。在這里，當?shù)?加熱工序在上述H0/H1不足1. 05的條件下進行時，由于不能充分促進構成間隔壁的樹脂組合物的固化，因此間隔壁不能得到足夠的耐溶劑性。如果耐溶劑性不足夠，則在下述的噴墨(IJ)工序(3)中涂布油墨時，會有因該油墨中含有的溶劑而引起間隔壁的溶脹、將間隔壁的成分溶入油墨等的問題。此外，在拒油墨劑存在偏多的間隔壁表面的上層部也會發(fā)生因樹脂組合物的固化不充分而引起的例如由于油墨導致的間隔壁的溶脹等而使得拒油墨性表現(xiàn)不足夠、發(fā)生油墨漫溢在間隔壁上的所謂的“溢出”的現(xiàn)象， 從而發(fā)生油墨間的混色。另一方面，當?shù)?加熱工序在使上述H0/H1超過1. 18的條件下進行時，則必然是在高溫下進行處理，因此會招致弊病，也就是因油墨層均勻性降低而導致油墨層變得不均勻。在本發(fā)明的制造方法的第1加熱工序( 中，在使第1加熱工序( 后的H0/H1達到1. 05 ^ HO/HI ^ 1. 18的條件下進行加熱處理時，構成間隔壁的樹脂組合物在保持耐溶劑性的同時還在固化收縮的過程中。這里，在接下來進行的噴墨(IJ)工序(3)中，在防止油墨的混色方面，保持較高的間隔壁的高度是有利的。作為最終得到的光學元件的間隔壁的高度只要能在后續(xù)的第2加熱工序(4)達到就足夠了，因此，在該第1加熱工序O)中， 使加熱后的間隔壁的高度保持在一定程度上稍高的上述范圍。即，該第1加熱工序(2)后的間隔壁的高度Hl還會通過如后所述的第2加熱工序(4)進一步減小，最終將第2加熱工序后的間隔壁的高度記為H2時，使得第1加熱工序后的間隔壁的高度與第2加熱工序后的間隔壁的高度的比值H1/H2達到1. 02 ( H1/H2 ( 1. 30。另外，對于具體的Hl的值來說，從以下的必要條件來算出該Hl值。S卩，上述Hl與由H2表示的第2加熱工序(4)后的間隔壁的高度之間構成1. 02 ( H1/H2 ( 1. 30的關系、 較好是構成1. 05 ^ H1/H2 ^ 1. 20的關系；此外，在通過本發(fā)明的制造方法而得到的光學元件中，最終得到的間隔壁的高度，即第2加熱工序(4)后的間隔壁的高度H2雖然取決于光學元件的種類，但較好為0. 05 50 μ m,更好為0. 2 10 μ m，特好為0. 5 5 μ m，格外好為 2 4μπι，最好為2.2 4μπι。該Hl (第1加熱工序⑵后的間隔壁的高度)的值也可以在考慮使用間隔壁的裝置的種類、間隔壁的形成性等因素后進行適當設定。作為Hl的值， 大約在0. 2 15μπι的范圍，較好在0. 4 8μπι的范圍，特好在2 6μπι的范圍，最好在2. 3 4. 5μπι的范圍。此外，將第1加熱工序( 后的間隔壁的高度保持在較高水平有利于使接下來進行的IJ工序(3)中在像素點內(nèi)形成的油墨層具有均勻性。即，間隔壁上拒油墨性高的部分是間隔壁的上層部分，在上層部分的油墨浸潤性低，不僅在需要拒油墨性的間隔壁上、在間隔壁的側面的上層部分也排拒油墨。通過將間隔壁的膜厚保持在較高水平，拒油墨性高的間隔壁上層部分也保持在較高位置，即間隔壁側面可以在一定的位置下具有親油墨性，因此，認為在IJ工序C3)注入的油墨即使是在間隔壁的邊緣時，也可以與在像素點中央幾乎同樣地浸潤擴散至較為靠上的部位。此外，從防止油墨的溢出的角度來看，認為將第1加熱工序( 后的間隔壁的高度Hl保持在較高的高度也是有效的。還有，在第1加熱工序(2)中，在使第1加熱工序(2)后的H0/H1達到1. 05 ( HO/ Hl ^ 1. 18的條件下，換句話說，在上面例示的溫度條件等加熱條件下進行加熱處理時，間隔壁不易發(fā)生熱流掛。如果是在上述的溫度范圍時，則在間隔壁上部形成的拒油墨層不易因第1加熱工序的加熱而在間隔壁的側面發(fā)生熱流掛，而間隔壁側面易于保持親油墨性。 因而，認為與上述相同，在IJ工序(3)的油墨層均勻性增加。換句話說，當?shù)?加熱工序在使H0/H1超過1. 18的高溫加熱條件下進行時，油墨層均勻性的下降被認為是熱流掛而導致間隔壁側面具有拒油墨性所造成的。另外，對于油墨層的均勻性，以下示出的并不是注入時的油墨層的均勻性的優(yōu)選值，而是最終得到的光學元件中的油墨層、即像素的均勻性的優(yōu)選值。另外，作為拒油墨性，通?？衫e拒水性和拒油性，可分別用與水及1-甲氧基-2-乙酰氧基丙烷、丙二醇-1-單甲醚-2-乙酸酯(PGMEA)等油性成分的接觸角進行評價。為了使以下說明的IJ工序C3)順暢地進行，經(jīng)過本發(fā)明的制造方法的第1加熱工序 (2)后的間隔壁的上表面與水的接觸角較好是在90°以上，更好是在95°以上。此外，間隔壁的上表面與丙二醇-1-單甲醚-2-乙酸酯的接觸角較好是在20°以上，更好是在25°以上。另外，實際的光學元件的間隔壁的寬度通常在ΙΟΟμπι以下，難以測定間隔壁的上表面的接觸角。這種情況下，通過與實際的光學元件的間隔壁的形成方法相同的方法，形成寬度為5mm以上的膜，再測定其上表面的接觸角即可。(3)噴墨(IJ)工序本發(fā)明的制造方法中，在上述第1加熱工序O)結束后，進行噴墨(IJ)工序(3)， 即通過噴墨法向上述支承基板上的由上述間隔壁劃分的區(qū)域(像素點)內(nèi)注入油墨以形成油墨層。另外，圖1(d)是模式地表示本發(fā)明的制造方法中的IJ工序的一例的剖視圖。如上所述，在以圖1(a) 圖1(c)表示的模式圖為例的本發(fā)明的制造方法中的間隔壁形成工序⑴后，經(jīng)上述第1加熱工序O)(未圖示)進行的圖1(d)所示的IJ工序(3)的一例中， 從噴墨裝置(未圖示)的油墨供給噴嘴9向支承基板1上的由間隔壁6圍成的區(qū)域內(nèi)，即像素點7內(nèi)供給油墨10，從而形成油墨層11。在這里，上述第1加熱工序( 后的間隔壁具有足夠的耐溶劑性，確保了上部表面具有足夠的拒油墨性，并確保了高膜厚和側面的上層以外的區(qū)域具有親油墨性，在通過上述噴墨法注入油墨時，不會發(fā)生因溢出而導致的油墨的混色等問題，可以形成均勻的油墨層。另外，在本發(fā)明的制造方法中，在進行噴墨(IJ)工序C3)時，在支承基板的主表面上的形成油墨層的部分，可以根據(jù)需要實施親油墨化處理。噴墨(IJ)工序(3)可使用噴墨法中常用的噴墨裝置與常規(guī)方法同樣地實施。作為用于形成這樣的油墨層的噴墨裝置，沒有特別限定，可采用利用連續(xù)噴射帶電油墨并通過磁場進行控制的方法、用壓電元件間歇地噴射油墨的方法、加熱油墨并利用其發(fā)泡來間歇地進行噴射的方法等各種方法的噴墨裝置。另外，本說明書中的“油墨”是指具有例如光學功能、電學功能的物質(zhì)(也可以是通過固化等反應變成該物質(zhì)的前體)或含有該物質(zhì)的組合物(固化性化合物與無固化性的該物質(zhì)的組合物等)，以及其本身為液體的物質(zhì)或者含有溶劑的液體組合物的總稱。本說明書中的“油墨”不限定于一直以來使用的著色用油墨，如染料或顏料等著色物質(zhì)和粘合劑和溶劑的混合物，著色物質(zhì)和固化性粘合劑和溶劑的混合物，著色物質(zhì)和液體固化性粘合劑的混合物等。當油墨含有溶劑時，可通過往由間隔壁圍成的開口部中注入油墨并通過干燥除去溶劑來形成油墨層。當油墨含有固化性的粘合劑樹脂成分等固化性化合物時，在除去溶劑后，使固化性化合物固化。含有干燥后的油墨或者干燥后使其固化的油墨的1個開口部形成為1個表示具有光學功能、電學功能的區(qū)域(日文區(qū)分)的“像素”。在本發(fā)明的制造方法中，作為該IJ工序中使用的油墨，可使用通過噴墨法制造光學元件時通常使用的油墨，無特別限制。另外，在每制造一個光學元件時，可基于油墨所需的功能對油墨進行適當設計與制備。對于這樣的油墨的具體構成，在后述的優(yōu)選采用本發(fā)明的制造方法的各光學元件的記載中進行說明。在這里，對于通過噴墨法注入像素點的油墨量來說，例如，在制造彩色濾光片時， 后述的第2加熱工序(4)結束后的油墨體積(L)相對于像素點的體積(V)較好在以下的范圍。1/10XV < L < 3/2XV另外，由于油墨中含有溶劑或經(jīng)干燥加熱等而收縮，所以在該IJ工序中通過噴墨法注入的油墨量須是比油墨體積(L)更大的量。在該工序中，注入像素點的油墨的量因油墨組成、組成成分而異，但可根據(jù)最終得到的油墨體積(L)、所用的油墨的溶劑含有率、收縮率等適當?shù)厮愠?。此外，當油墨為固化性的油墨時，由于油墨固化時有收縮，因此還需考慮該固化收縮率。此外，在該噴墨(IJ)工序中，向像素點中注入油墨后，根據(jù)需要，為了干燥油墨中含有的溶劑而進行加熱。該加熱與第2加熱工序不同，其是以使溶劑干燥為目的，加熱干燥可在約50 120°C、10 2000秒的寬范圍內(nèi)進行。此外，也可并用真空干燥。此時，可采用壓力約為500 10Pa、干燥時間約為10 300秒的真空干燥條件。(4)第2加熱工序本發(fā)明的制造方法中，在上述噴墨(IJ)工序(3)結束后，對上述間隔壁和上述油墨層進一步加熱，為了在形成像素的同時使上述樹脂組合物完成固化，進行第2加熱工序 (4)，以使將上述第1加熱工序( 后的間隔壁高度記為HI、將第2加熱工序(4)后的間隔壁的高度記為H2時，第1加熱工序后的間隔壁的高度與第2加熱工序后的間隔壁的高度的比值H1/H2形成1. 02 ^ H1/H2 ^ 1. 30的關系。另外，在本發(fā)明的制造方法中，較好是進行第2加熱工序⑷以使上述H1/H2的關系形成為1. 05 ( H1/H2彡1. 20。作為制造彩色濾光片使用的油墨，較好為固化性的油墨。作為固化性的油墨，較好是含有染料或顏料等著色物質(zhì)、固化性的粘合樹脂成分和溶劑的油墨。作為粘合性樹脂成分，較好是固化性的化合物或組合物(具有乙烯性雙鍵的聚合性化合物和聚合引發(fā)劑的組合、具有2個以上環(huán)氧基團的聚環(huán)氧化物和固化劑的組合等)。當使用固化性的油墨時，在上述第2加熱工序中可將固化性的樹脂固化。另外，在本發(fā)明的光學元件的制造方法中，該第2加熱工序是為了提高間隔壁和油墨層的耐熱性、抑制產(chǎn)生氣體、得到可靠性高的光學元件的最終的加熱工序。此外，在本發(fā)明的制造方法的上述第1加熱工序和第2加熱工序的各自的加熱中，通過將間隔壁的高度的關系維持為上述關系而將構成間隔壁的樹脂組合物的固化的程度調(diào)整至適當?shù)臓顟B(tài)。使第1加熱工序后的間隔壁的高度與上述第2加熱工序后的間隔壁的高度的比值 H1/H2形成1. 02 ( H1/H2 ( 1. 30的關系的加熱條件雖然取決于所使用的樹脂組合物，但具體而言，可例舉220°C 250°C的溫度條件作為優(yōu)選條件。作為加熱的方法，可例舉將間隔壁和支承基板一起用加熱板、加熱爐等加熱裝置加熱處理5 90分鐘的方法。此外，也可并用真空干燥。作為此時的條件，可例舉壓力約為10 150000Pa、時間約為1 60分鐘。 此外，第2加熱工序的加熱溫度較好為225 245°C。在這樣的加熱條件下，在加熱油墨層的同時加熱噴墨(IJ)工序后的上述間隔壁，藉此，可以使第2加熱工序(4)后的間隔壁的高度達到一定值以使上述H1/H2形成1. 02 ( H1/H2 ( 1. 30的關系。在這里，當在上述H1/H2不足1. 02的條件下進行第2加熱工序時，間隔壁的固化和油墨層的固化變得不充分，進一步加熱會發(fā)生膜減少的情況。在這樣的固化不充分的情況下，得到的光學元件會有耐熱性的問題，從而損害可靠性。另一方面，當?shù)?加熱工序在使上述H1/H2超過1. 30的條件下進行時，則必然是在高溫下進行處理，從而引起間隔壁和油墨層的分解。當分解變得明顯時，色濃度發(fā)生變化而不能達到所需的色調(diào)。在本發(fā)明的光學元件的制造方法中，通過依次進行上述(1) (4)的工序，可得到具有支承基板、在上述支承基板的主表面上形成的將該主表面劃分成多個單元的由樹脂固化物構成的間隔壁、以及在上述支承基板上的由上述間隔壁劃分的區(qū)域內(nèi)各自形成的多個像素的光學元件。在通過本發(fā)明的制造方法得到的光學元件中，由樹脂固化物構成的間隔壁雖然取決于光學元件的種類，可是寬度(平均值)較好為100 μ m以下，更好為50 μ m以下。此外， 鄰接的間隔壁間的距離，即開口部(像素點)的寬度(平均值)較好是在IOOOym以下，更好是在500 μ m以下。還有，間隔壁的高度，即上述的H2 (平均值)較好為0. 05 50 μ m，更好為0. 2 10 μ m，最好為0. 5 5 μ m。特別是在TFT陣列側制作彩色濾光片時的所謂的 COA (color filter on array 彩色濾光片陣列)或 BOA (black matrix on array 黑矩陣陣列)方式中，最佳為2.2 4μπι。用于噴墨法的油墨的固體成分通常為10 30質(zhì)量％，含有大量溶劑的情況較多。 因而，當間隔壁的高度較高時，通過噴墨法吐出的油墨，填充開口部以使油墨大大高于以間隔壁的上表面為基準面而假想形成的面。其結果是油墨變得易于溢出。特別是在彩色過濾片的情況下，較好是間隔壁的上表面與油墨層的上表面大致構成一平面。將開口部的面積視為相同而進行討論時，隨著間隔壁的高度的增高，填充的油墨量也增多，從開口部往上高出的油墨量有顯著增加的傾向。像這樣在間隔壁的高度較高時(特別是H2(平均值)在 2. 2 μ m以上時)，本發(fā)明的制造方法有效，抑制溢出的效果明顯。每一開口部的面積較好為5000 μ m2以上、300000 μ m2以下，更好為IOOOOym2以上、200000 μ m2以下，特好為15000 μ m2以上、IOOOOOym2以下，尤其好為2000 μ m2以上、 75000μπι2以下。如果開口部的面積過小，則難以用噴墨法將油墨噴入期望的像素點內(nèi)。另一方面，如果開口部的面積過大，則噴入的油墨會不易在像素點內(nèi)均勻地浸潤擴散。每一開口部的體積(即，每一開口部的面積X間隔壁的高度)較好為500μπι3 以上、3000000 μ m3以下，更好為1500 μ m3以上、1500000 μ m3以下，特好為3000 μ m3以上、 500000 μ m3以下，尤其好為6000 μ m3以上、300000 μ m3以下。如果開口部(像素點)的體積過小，則難以用噴墨法將油墨填充到期望的像素點內(nèi)。另一方面，如果像素點的體積過大， 則填充的油墨將難以在像素點內(nèi)均勻地填充。用于噴墨法的油墨的固體成分通常為10 30質(zhì)量％，含有大量溶劑的情況較多。 因而，當開口部的面積較小時或者開口部的體積較小時，通過噴墨法吐出的油墨填充開口部以使油墨大大高于以間隔壁的上表面為基準面而假想形成的面。其結果是油墨變得易于溢出。因而，當開口部的面積較小(特別是在75000 μ m2以下)時或者開口部的體積較小 (特別是在300000 μ m3以下)時，本發(fā)明的制造方法有效，抑制油墨溢出的效果明顯。還有，如前所述在上述間隔壁的上表面與油墨層的上表面大致構成一平面時，由于開口部的油墨的高出的情況在間隔壁的高度較高時變得明顯，因此，本發(fā)明的制造方法在間隔壁的高度較高時(特別是Η2(平均值)在2.2μπι以上時)更加有效。另外，光學元件中的間隔壁和像素的尺寸因光學元件的種類而異。例如，42英寸電視的像素面積大約為75000 μ m2，32英寸電視的像素面積大約為30000μπι2。彩色濾光片的膜厚大致為1 3 μ m，有機EL的膜厚大致為0. 1 1 μ m?？紤]到這些時，開口部的體積范圍則為上述的約500 3000000 μ m3。此外，在由本發(fā)明的制造方法得到的光學元件中，通過IJ工序C3)涂布在由間隔壁劃分的區(qū)域(像素點)內(nèi)、且進一步通過第2加熱工序(4)進行加熱處理的油墨層、即像素的均勻性優(yōu)選通過如下的評價方法取得以下的值。即，測定如圖2所示的經(jīng)IJ工序、第 2加熱工序后在像素點內(nèi)形成的油墨層的間隔壁的邊緣部分的4處(圖2(b)所示的yl y4位置)的平均膜厚(M)和中央(圖2 (b)所示的χ位置)的膜厚(N)，間隔壁的邊緣部分的4處的平均膜厚(M)與中央的膜厚(N)的百分比、即M/NX 100較好為70 150，更好為 75 120。在這樣制造的光學元件中，間隔壁具有足夠的耐溶劑性和耐熱性，通過噴墨法注入油墨時也不會發(fā)生油墨間的混色，并通過確保對像素點內(nèi)的油墨的良好的浸潤性而形成均勻的油墨層。還有，在本發(fā)明的光學元件的制造方法中，即使不包括在間隔壁形成后為了促進樹脂組合物的固化而進行的后曝光等高成本的工序，也可以通過2個階段的加熱工序使樹脂組合物完成固化，能夠用簡化和低成本的工序來實施光學元件的制造。作為優(yōu)選采用上述本發(fā)明的光學元件的制造方法的光學元件，具體可例舉彩色濾光片、有機EL顯示元件、有機TFT陣列等。下面對本發(fā)明的制造方法在上述3種光學元件中的應用進行說明。[彩色濾光片的制造]
在彩色濾光片中，上述間隔壁較好是被稱為“黑色矩陣(BM) ”的遮光層。此外， 當彩色濾光片的間隔壁是BM時，需要高遮光性，作為表示該遮光性的值的0D(0ptical Density 光密度)值通常被設計為1. 5 6的范圍。另外，OD值的調(diào)整可通過適當選擇上述間隔壁形成工序⑴記載的黑色著色劑的種類、摻入量等來進行。當黑色矩陣(BM)以負型感光性樹脂組合物為原料來制作時，特別是在間隔壁形成工序(1)的曝光中負型感光性樹脂組合物的固化不充分時，本發(fā)明的制造方法中的第1加熱工序( 和第2加熱工序(4) 對于負型感光性樹脂組合物的固化發(fā)揮有效作用。彩色濾光片中所形成的像素的形狀可以是條紋型、馬賽克型、三角型、4像素配置型等公知的任一種排列。用于像素形成的油墨主要包含著色成分、粘合劑樹脂成分和溶劑。作為著色成分， 優(yōu)選使用耐熱性、耐光性等良好的顏料及染料。作為粘合劑樹脂成分，優(yōu)選透明且耐熱性良好的樹脂，可例舉丙烯酸類樹脂、三聚氰胺樹脂、聚氨酯樹脂等。水性的油墨含有作為溶劑的水及根據(jù)需要使用的水溶性有機溶劑、作為粘合劑樹脂成分的水溶性樹脂或水分散性樹脂以及根據(jù)需要使用的各種助劑。此外，油性的油墨含有作為溶劑的有機溶劑、作為粘合劑樹脂成分的可溶于有機溶劑的樹脂以及根據(jù)需要使用的各種助劑。此外，如上所述，粘合劑樹脂成分較好是具有固化性。像素形成后，根據(jù)需要形成保護膜層。較好是以提高表面平坦性以及阻斷來自間隔壁或像素部的油墨的溶出物到達液晶層為目的而形成保護膜層。形成保護膜層時，最好事先除去間隔壁的拒油墨性。當未除去拒油墨性時，會排斥保護膜層用涂布液而無法獲得均勻的膜厚，因此不理想。作為除去間隔壁的拒油墨性的方法，可例舉等離子灰化處理和光灰化處理等。另外，為了實現(xiàn)用彩色濾光片制造的液晶面板的高品質(zhì)化，較好是根據(jù)需要在由間隔壁構成的黑色矩陣上形成感光性間隔物(photo-spacer)。此外，本發(fā)明的光學元件的制造方法在間隔壁較高時有效，由于開口率提高等原因，特別適合應用于在TFT陣列側制作彩色濾光片的方式的彩色濾光片(所謂的COA方式或BOA方式的彩色濾光片)。[有機EL顯示元件的制造]形成間隔壁前，在玻璃等透明基材上通過濺射法等制成氧化銦錫(ITO)等透明電極的膜，根據(jù)需要將透明電極蝕刻成所需的圖案。接著，按照本發(fā)明的制造方法形成間隔壁，在實施上述說明的第1加熱工序后，采用噴墨法依次在像素點內(nèi)涂布空穴傳輸材料、發(fā)光材料的溶液并干燥后，再實施上述說明的本發(fā)明的制造方法的第2加熱處理，從而形成空穴傳輸層、發(fā)光層。然后，通過蒸鍍法等形成鋁等的電極，從而得到有機EL顯示元件的像
ο[有機TFT陣列的制造]有機TFT陣列通常通過以下的(1) (3)的工序制造。(1)在玻璃等透明基材上形成間隔壁。用噴墨法在像素點內(nèi)涂布柵極電極材料的溶液，形成柵極電極。(2)形成柵極電極后，在其上形成柵極絕緣膜。在柵極絕緣膜上形成間隔壁，用噴墨法在像素點內(nèi)涂布源極·漏極電極材料的溶液，從而形成源極·漏極電極。
(3)形成源極·漏極電極后，形成間隔壁，使其圍住包含一對源極·漏極電極的區(qū)域，用噴墨法在像素點內(nèi)涂布有機半導體的溶液，在源極·漏極電極間形成有機半導體層。另外，在上述(1) C3)的各工序中，可分別進行隔膜的形成和通過噴墨法注入油墨，也可以僅在這些工序中的一個工序中，在采用噴墨法注入油墨的前后利用分別進行上述說明的第1加熱處理和第2加熱處理的本發(fā)明的制造方法，還可以在2個以上的工序中利用上述本發(fā)明的制造方法。實施例以下，基于實施例對本發(fā)明進行說明，但本發(fā)明并不限定于這些實施例。此外，在以下的各實施例及比較例中，“份”表示“質(zhì)量份”。首先，在下述各實施例及比較例中使用的化合物的縮寫如下所示?！椿衔锏目s寫〉(i)用于制備拒油墨劑的化合物X-8201 含二甲基聚硅氧烷鏈的甲基丙烯酸酯(商品名X-M-8201，信越化學工業(yè)株式會社制)C6FMA =CH2 = C (CH3) COOCH2CH2 (CF2) 6FMAA:甲基丙烯酸IBMA 甲基丙烯酸異丁酯CHMA 甲基丙烯酸環(huán)己酯2-HEMA 甲基丙烯酸_2_羥基乙酯V-70 :V-70(商品名，和光純藥工業(yè)株式會社(和光純薬社)制，2，2’ -偶氮二 (4-甲氧基-2，4-二甲基戊腈))AOI =Karenz AOI (商品名力 > > 文AOI，昭和電工株式會社(昭和電工社)制，
2-丙烯酰氧基乙基異氰酸酯)BEI =Karenz BEI (商品名力> X BEI，昭和電工株式會社制，1，1_ 二(丙烯酰氧基甲基)乙基異氰酸酯)DBTDL 二月桂酸二丁錫BHT 2,6- 二叔丁基對甲酚MEK :2-丁酮(ii)用于制備感光性樹脂組合物涂布液的成分(光聚合引發(fā)劑)0XE02 :0XE02 (商品名，汽巴精化公司(千M、《〉弋瓜亍^夕S力 > 文)制，乙酮1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?；?-9H-咔唑-3-基]-1-(0-乙酰肟))(增稠劑)BOT 2-巰基苯并嚼唑(感光性樹脂)EX1010 :EX_1010 (商品名，長瀨化學技術株式會社(少力 A歹？夕7社)制， 在環(huán)氧樹脂中引入了乙烯性雙鍵和酸性基團的樹脂的溶液；固體成分70%，重均分子量 3020)ZCR1569 :ZCR_1569 (商品名，日本化藥株式會社制，在具有聯(lián)苯骨架的環(huán)氧樹脂中引入了乙烯性雙鍵和酸性基團的樹脂的溶液；固體成分70%，重均分子量4710)(自由基交聯(lián)劑)DPHA :KAYARAD DPHA (商品名，日本化藥株式會社制，二季戊四醇五丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯的混合物)A9300 :NK酯A-9300 (商品名=NK ^ r A A-9300，新中村化學工業(yè)株式會社(新中村化學工業(yè)社)制，環(huán)氧化異氰脲酸三丙烯酸酯)(稀釋劑)PGMEA 丙二醇-1-單甲醚-2-乙酸酯(著色劑·微粒)CB:炭黑分散液(平均二次粒徑120nm，分散介質(zhì)PGMEA，炭黑20%，胺值為 18mgK0H/g的聚氨酯類高分子分散劑5% )二氧化硅二氧化硅分散液(平均粒徑20nm，分散介質(zhì)PGMEA，固體成分30%，二氧化硅帶負電)(熱交聯(lián)劑)NC3000H :NC-3000_H(商品名，日本化藥株式會社制，具有聯(lián)苯骨架的環(huán)氧樹脂， 軟化點690C )(硅烷偶聯(lián)劑)KBM503 :KBM_503 (商品名，信越化學工業(yè)株式會社制，3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷)KBM403 :KBM_403 (商品名，信越化學工業(yè)株式會社制，3_環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷)首先，以下對于在下述各實施例及比較例中使用的拒油墨劑的合成進行說明。[拒油墨劑化合物(A-I)的合成]向具備攪拌機的內(nèi)容積IL的高壓釜中加入MEK (420. Og)、X-8201 (27. Og)、 C6FMA(66. 6g)、MAA (14. 4g)、2_HEMA(72. Og)和聚合引發(fā)劑 V_70(l. 4g)，在氮氣氣氛下攪拌的同時，使其在30°C聚合M小時，合成粗共聚物。向所得的粗共聚物的溶液中加入庚烷進行再沉淀純化后，真空干燥，獲得共聚物1(148. 7g)。共聚物1的數(shù)均分子量為25980，重均分子量為64000。還有，數(shù)均分子量和重均分子量通過凝膠滲透色譜法以聚苯乙烯為標準物質(zhì)來測定。另外，以下對各化合物(聚合物)的數(shù)均分子量和重均分子量使用完全相同的方法進行測定。向具備溫度計、攪拌機、加熱裝置的內(nèi)容量300mL的玻璃制燒瓶中加入共聚物 1 (40. 0g)、BEI (30. 5g) ,DBTDL (0. 12g) ,BHT (1. 5g)和 MEK (109. 4g)，攪拌的同時使其在 40°C 反應48小時，合成粗聚合物。向所得的粗聚合物的溶液中加入庚烷進行再沉淀純化后，真空干燥，獲得化合物(A-I) (60. Ig)?；衔?A-I)的數(shù)均分子量為36150，重均分子量為 114000。[拒油墨劑化合物(A-2)的合成]向具備攪拌機的內(nèi)容積IL的高壓釜中加入MEK (420. Og)、C6FMA (81. Og)、 MAA (18. 0g)、2-HEMA(72. Og)、IBMA (9. Og)和聚合引發(fā)劑 V_70 (2. 9g)，在氮氣氣氛下攪拌的同時，使其在30°C聚合M小時，合成粗共聚物。向所得的粗共聚物的溶液中加入庚烷進行再沉淀純化后，真空干燥，獲得共聚物2(160. Og)。共聚物2的數(shù)均分子量為18560，重均分子量為47080。向具備溫度計、攪拌機、加熱裝置的內(nèi)容量300mL的玻璃制燒瓶中加入共聚物 2(50. 0g), AOI (21. 7g)、DBTDL (0. 087g)、BHT(1. Ig)和 MEK (128. lg)，攪拌的同時使其在 40°C反應48小時，合成粗聚合物。向所得的粗聚合物的溶液中加入庚烷進行再沉淀純化后，真空干燥，獲得化合物(A-2) (63. 8g)?；衔?A-2)的數(shù)均分子量為27690，重均分子量為61110。[拒油墨劑化合物(A-3)的合成]向具備攪拌機的內(nèi)容積IL的高壓釜中加入MEK (420. Og)、C6FMA (68. Og)、 MAA (18. 0g)、2-HEMA (72. Og)、CHMA (22. Og)和聚合引發(fā)劑 V_70 (2. 9g)，在氮氣氣氛下攪拌的同時，使其在30°C聚合M小時，合成粗共聚物。向所得的粗共聚物的溶液中加入庚烷進行再沉淀純化后，真空干燥，獲得共聚物3(160. 5g)。共聚物3的數(shù)均分子量為19030，重均分子量為49200。向具備溫度計、攪拌機、加熱裝置的內(nèi)容量300mL的玻璃制燒瓶中加入共聚物 3(50. 0g), AOI (21. 7g)、DBTDL (0. 087g)、BHT(1. Ig)和 MEK (128. lg)，攪拌的同時使其在 40°C反應48小時，合成粗聚合物。向所得的粗聚合物的溶液中加入庚烷進行再沉淀純化后，真空干燥，獲得化合物(A-3) (64. 2g)?；衔?A-3)的數(shù)均分子量為觀討0，重均分子量為63800。[實施例1](負型感光性樹脂組合物的涂布液的制備)將上述獲得的作為拒油墨劑的化合物(A-I) (0. 10份)、作為光聚合引發(fā)劑的0XE02Q.0份)、作為感光性樹脂的溶液的EX1010(12.5份)、作為黑色著色劑的分散液的CB 08.0份)、作為自由基交聯(lián)劑的DPHA (3.5份)、作為熱交聯(lián)劑/環(huán)氧樹脂的 NC3000H(1. 65份)、作為硅烷偶聯(lián)劑的KBM503 (2. 0份)和作為溶劑的PGMEA (30. 25份)混合，獲得負型感光性樹脂組合物的涂布液。相對于負型感光性樹脂組合物的涂布液中的全部固體成分，拒油墨劑的含量，換言之，負型感光性樹脂組合物中的拒油墨劑的含量，即化合物(A-I)的含量為0.33%。接著，使用該負型感光性樹脂組合物的涂布液，用以下的方法制作試驗用光學元件，該光學元件具有支承基板、在上述支承基板的主表面上形成的將該主表面劃分成多個單元的由樹脂固化物構成的間隔壁、和在上述支承基板上的由上述間隔壁劃分的區(qū)域內(nèi)各自形成的多個像素。(1)間隔壁形成工序采用旋轉式涂布機將上述制備的負型感光性樹脂組合物的涂布液涂布在作為支承基板的玻璃基板AN100 (旭硝子株式會社制，100mmX 100mm、厚0. 7mm)上后，在加熱板上于100°C干燥2分鐘，形成膜厚為2. 4 μ m的負型感光性樹脂組合物的涂膜。使用超高壓汞燈透過掩模對上述得到的在玻璃基板上的負型感光性樹脂組合物的涂膜照射以i線(365nm)為基準的30mW/cm2的光1. 7秒，以50mJ/cm2的曝光量進行曝光。另外，掩模是遮光部分為100 μ mX 200 μ m、光透過部分為20 μ m的格子狀圖案，使在玻璃基板上形成的由間隔壁劃分的區(qū)域的容積，即開口部(像素點)的容積設計為40pL。
將上述曝光后的帶有涂膜的玻璃基板浸漬于無機堿型顯影液kmi Clean DL-A4(商品名七S夕U — > DL-A4，橫濱油脂工業(yè)株式會社(橫浜油脂工業(yè)社)制)的10 倍稀釋水溶液來顯影，用水洗去未曝光部分后，在常溫下干燥，得到形成了上部表面具有拒油墨性的膜厚(HO)為2. 40 μ m的間隔壁的玻璃基板。(2)第1加熱工序將上述得到的帶有上部表面具有拒油墨性、由感光性樹脂組合物構成的間隔壁的玻璃基板設置在加熱板上，于160°C加熱20分鐘。該第1加熱后的間隔壁的膜厚(Hl)為 2. 25 μ m。(3)噴墨(IJ)工序接著，采用以下的方法制備彩色濾光片試驗用油墨(雖未摻合顏料，但制成粘度、 固體成分、表面張力與實際的彩色濾光片用油墨相同的試驗用的油墨)，通過噴墨法將其注入上述第1加熱工序后的玻璃基板上的開口部，形成油墨層。SP，將液狀環(huán)氧樹脂ME_562(日本朋諾株式會社(日本《> 7 ^夕^社)制) (6. 25g)、固化劑HV-562 (日本朋諾株式會社制)(6. 25g)、己二酸二乙酯(12. 5g)和丙二酸二乙酯(25. Og)用攪拌器攪拌混合1小時，制成油墨。該油墨的固體成分為25質(zhì)量％。采用噴墨法，向上述玻璃基板的各開口部分別涂布約160pL (各開口部體積的4倍量)上述得到的油墨。涂布油墨后，在加熱板上于100°C進行2分鐘的干燥，在玻璃基板上的由間隔壁劃分的各區(qū)域內(nèi)形成油墨層。(4)第2加熱工序將在上述基板上的由間隔壁劃分的各區(qū)域內(nèi)形成了油墨層的玻璃基板置于加熱板上，于240°C加熱20分鐘。測定該第2加熱處理后的間隔壁的膜厚(H2)，結果為2. 00 μ m。 該光學元件形成為間隔壁上表面與油墨層上表面大致呈一平面的構成，在以下的例子中也一樣。如此，得到了試驗用的光學元件，其具有將玻璃基板上表面劃分成多個單元的由樹脂固化物構成的間隔壁、和在基板上的由上述間隔壁劃分的區(qū)域內(nèi)形成的多個油墨層構成的像素。此外，還進行了在上述噴墨工序(3)中將涂布于各開口部的油墨的量改為約 M0pL(開口部體積的6倍量)的實驗。[實施例2、3]將負型感光性樹脂組合物涂布液含有的各成分的摻入量改為如表1所示的量，將上述第1加熱工序O)以及/或者第2加熱工序中的加熱溫度在本發(fā)明的優(yōu)選范圍內(nèi)改為如表1所示的溫度，除此以外，與實施例1進行相同操作，得到試驗用光學元件，其具有將玻璃基板上表面劃分成多個單元的由樹脂固化物構成的間隔壁、和在基板上的由上述間隔壁劃分的區(qū)域內(nèi)形成的多個油墨層構成的像素。[比較例1、2]將負型感光性樹脂組合物涂布液含有的各成分的摻入量改為如表1所示的量，將上述第1加熱工序( 或者第2加熱工序中的加熱溫度改為如表1所示的在本發(fā)明的優(yōu)選范圍以外的條件，除此以外，與實施例1進行相同操作，得到試驗用光學元件，其具有將玻璃基板上表面劃分成多個單元的由樹脂固化物構成的間隔壁、和在基板上的由上述間
26隔壁劃分的區(qū)域內(nèi)形成的多個油墨層構成的像素。[實施例4 7、比較例3]使用表2所示的摻入的負型感光性樹脂組合物涂布液，按照如下方法制作間隔壁。另外，在各例中，H0、H1、H2的值以及開口部的體積都示于表2中。(1)間隔壁形成工序與實施例1相同，在玻璃基板AN100上形成膜厚為2. 4 μ m的負型感光性樹脂組合物的涂膜。使用超高壓汞燈透過掩模對上述得到的在玻璃基板上的負型感光性樹脂組合物的涂膜照射以i線(365nm)為基準的30mW/cm2的光1. 7秒，以50mJ/cm2的曝光量進行曝光。另外，掩模是遮光部分為150 μ mX 300 μ m、光透過部分為20 μ m的格子狀圖案，使在玻璃基板上形成的由間隔壁劃分的區(qū)域的體積，即開口部(像素點)的體積設計為90pL。用無機堿型顯影液kmi Clean DL-A4 (商品名七彡夕1J 一 > DL-A4，橫濱油脂工業(yè)株式會社制)的10倍稀釋水溶液淋洗曝光后的帶有涂膜的玻璃基板來進行顯影，除去未曝光部分后，用水沖洗。再在常溫下干燥，得到形成了上部表面具有拒油墨性的膜厚(HO) 為2. 4 μ m的間隔壁的玻璃基板。(2)第1加熱工序將上述得到的帶有上部表面具有拒油墨性、由感光性樹脂組合物構成的間隔壁的玻璃基板設置在加熱板上，于180°C加熱20分鐘。該第1加熱后的間隔壁的膜厚(Hl)為 2. 2 μ m0(3)噴墨(IJ)工序與實施例1相同，在玻璃基板上的開口部形成了油墨層。對油墨的注入量為開口部體積的4倍量、6倍量的兩種情況進行了實驗。(4)第2加熱工序將在上述基板上的由間隔壁劃分的各區(qū)域內(nèi)形成了油墨層的玻璃基板置于加熱板上，于230°C加熱20分鐘。測定該第2加熱處理后的間隔壁的膜厚(H2)，結果為2 μ m。如此，得到了試驗用的光學元件，其具有將玻璃基板上表面劃分成多個單元的由樹脂固化物構成的間隔壁、和在基板上的由上述間隔壁劃分的區(qū)域內(nèi)形成的多個油墨層構成的像素。<評價方法及評價結果>使用上述各實施例及各比較例中得到的試驗用光學元件，用以下所示的方法對露白、溢出、良元件率(日語良力 >率)(％)、耐溶劑性、間隔壁形成工序后的間隔壁膜厚 (HO)、第1加熱工序后的間隔壁膜厚(Hl)、第2加熱工序后的間隔壁膜厚(H2)、H0/H1、H1/ H2、油墨層間隔壁邊緣膜厚、油墨層中央膜厚、油墨層均勻性進行了評價。評價結果示于表 1的下欄中。[露白]使用超景深形狀測定顯微鏡VK-8500 (基恩士公司(* 一- > ^社)制，下同)觀測各試驗用光學元件是否有露白。以試驗用光學元件的縱IcmX橫Icm的區(qū)域作為代表樣品進行觀察，將完全沒有露白的情況判定為〇，將即使有1處露白的情況也判定為X。[溢出]使用超景深形狀測定顯微鏡對在各試驗用光學元件中的油墨的溢出狀態(tài)進行觀察。以試驗用光學元件的縱IcmX橫Icm的區(qū)域作為代表樣品進行觀察，將完全沒有油墨漫溢在間隔壁上之處的判定為〇，將即使有1處油墨漫溢在間隔壁上之處的也判定為X。[良元件率(％)]第1加熱工序結束后，與實施例1相同，通過噴墨法將所得油墨涂布在各開口部。 改變油墨的涂布量，進行涂布開口部體積的4倍量、6倍量油墨的實驗。在該實驗中，無需特意將油墨的液滴噴入開口部的中央，可進行調(diào)整以使油墨噴在靠近間隔壁的地方。涂布后， 經(jīng)第2加熱工序，得到形成了間隔壁的玻璃基板。對于該玻璃基板，將無溢出的開口部中注入了油墨的元件數(shù)除以總元件數(shù)的值作為良品率(％ )進行評價。[耐溶劑性]使用超景深形狀測定顯微鏡觀察了在各試驗用光學元件中油墨對間隔壁的侵蝕狀況。將間隔壁沒有受到油墨的侵蝕、且間隔壁上未變粗糙的判定為〇；將間隔壁受到油墨的一些侵蝕、且間隔壁上變得有些粗糙的判定為Δ ；將間隔壁受到了油墨的侵蝕、且間隔壁上變得粗糙的判定為X。[間隔壁形成工序后的間隔壁膜厚(HO)]使用超景深形狀測定顯微鏡測定間隔壁形成工序后的間隔壁膜厚(Η0)。另外，膜厚是在間隔壁的5個部位測定的厚度的平均值。[第1加熱工序后的間隔壁膜厚(Hl)]使用超景深形狀測定顯微鏡測定第1加熱工序后的間隔壁膜厚(Hl)。另外，膜厚是在間隔壁的5個部位測定的厚度的平均值。[第2加熱工序后的間隔壁膜厚(Η2)]使用超景深形狀測定顯微鏡測定第2加熱工序后的間隔壁膜厚0 )。另外，膜厚是在間隔壁的5個部位測定的厚度的平均值。[Η0/Η1]根據(jù)上述測定的HO及Hl的值算出的值。[Η1/Η2]根據(jù)上述測定的Hl及Η2的值算出的值。當油墨的涂布量采用開口部體積的4倍量時，進行以下的評價。[油墨層間隔壁邊緣膜厚(Mave)]使用超景深形狀測定顯微鏡VK-8500 (基恩士公司制)，在各試驗用光學元件的3 處像素、即油墨層上測定間隔壁邊緣部分的膜厚。對于各像素，測定部位為如圖2(a)及圖 2(b)所示的各邊的中央部間隔壁邊緣的4點，即圖2(b)所示的yl y4的部位，將它們的平均值作為該像素中油墨層間隔壁邊緣的膜厚(M)，再將測定的3處像素的平均值作為油墨層間隔壁邊緣的膜厚(Mave)。[油墨層中央膜厚(Nave)]使用超景深形狀測定顯微鏡VK-8500 (基恩士公司制)，在各試驗用光學元件的3 個像素、即油墨層上測定中央的膜厚。對于各像素，測定部位如圖2(a)及圖2(b)所示，將該測定值作為該像素中油墨層中央、即圖2(b)所示的χ位置的膜厚(N)。并將測定的3處像素的平均值作為油墨層間隔壁邊緣的膜厚(Nave)。[油墨層均勻性]
根據(jù)上述得到的Mave和Nave的值并按照以下的計算式算出的值。Mave/NaveX100[表1]
權利要求
1.一種光學元件的制造方法，該光學元件具有支承基板、在所述支承基板的主表面上形成的將該主表面劃分成多個單元的由樹脂固化物構成的間隔壁、和在所述支承基板上的由所述間隔壁劃分的區(qū)域內(nèi)各自形成的多個像素，其特征在于，依次包括在所述支承基板的主表面上形成由樹脂組合物構成且上部表面具有拒油墨性的間隔壁的間隔壁形成工序，加熱所述間隔壁以促進所述樹脂組合物固化的第1加熱工序，通過噴墨法向所述支承基板上的由所述間隔壁劃分的區(qū)域內(nèi)注入油墨以形成油墨層的工序，和加熱所述間隔壁和所述油墨層，在形成像素的同時使所述樹脂組合物完成固化的第2加熱工序；將所述間隔壁形成工序后的間隔壁的高度記為H0、將所述第1加熱工序后的間隔壁的高度記為HI、將所述第2加熱工序后的間隔壁的高度記為H2時，HO、Hl和H2具有以下的關系用H0/H1表示的比值為1.05 ( H0/H1 ( 1. 18 ；用H1/H2表示的比值為1.02 ( Hl/ H2 彡 1. 30。
2.如權利要求1所述的光學元件的制造方法，其特征在于，所述第2加熱工序后的間隔壁的高度H2為0. 05 μ m 50 μ m。
3.如權利要求1或2所述的光學元件的制造方法，其特征在于，所述第1加熱工序中的加熱溫度為150°C 215°C，所述第2加熱工序中的加熱溫度為220°C 250°C。
4.如權利要求1 3中任一項所述的光學元件的制造方法，其特征在于，在所述間隔壁形成工序后，無需對所述間隔壁照射250nm 450nm的電磁波，依次進行所述第1加熱工序、所述油墨層形成工序和所述第2加熱工序。
5.如權利要求1 4中任一項所述的光學元件的制造方法，其特征在于，所述樹脂組合物為感光性樹脂組合物，所述間隔壁形成工序是由依次進行在支承基板上形成感光性樹脂組合物層、曝光和顯影的操作構成。
6.如權利要求5所述的光學元件的制造方法，其特征在于，所述感光性樹脂組合物是負型感光性樹脂組合物。
7.如權利要求5或6所述的光學元件的制造方法，其特征在于，所述感光性樹脂組合物含有熱交聯(lián)劑。
8.如權利要求1 7中任一項所述的光學元件的制造方法，其特征在于，在所述間隔壁形成工序中，賦予間隔壁上部表面以拒油墨性的方法包括使用含氟拒油墨劑。
9.如權利要求1 8中任一項所述的光學元件的制造方法，其特征在于，所述間隔壁是具有遮光性的遮光層。
10.如權利要求1 9所述的光學元件的制造方法，其特征在于，所述光學元件是彩色濾光片、有機EL顯示元件或有機TFT陣列。
全文摘要
本發(fā)明提供一種光學元件的制造方法，該方法可在不有損間隔壁的耐溶劑性的前提下防止通過噴墨法注入油墨時油墨的混色，可通過確保對像素內(nèi)的油墨的良好的浸潤性以形成均勻的油墨層，并且可使得到的光學元件保持有足夠的耐熱性，還可通過簡化的低成本的工序來實施。該光學元件的制造方法為在支承基板上形成由表面有拒油墨性的樹脂組合物形成的間隔壁后通過噴墨向該間隔壁間注入油墨的方法；形成間隔壁后，在噴墨工序的前后，通過實施加熱處理以使各間隔壁的厚度按規(guī)定的比例減小，藉此將構成間隔壁的樹脂組合物制成固化物。
文檔編號G02B5/20GK102428395SQ20108002258
公開日2012年4月25日 申請日期2010年5月19日 優(yōu)先權日2009年5月20日
發(fā)明者川島正行, 石関健二, 高橋秀幸 申請人:旭硝子株式會社