專利名稱：等離子去膠臺(tái)可調(diào)式載片體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于機(jī)械領(lǐng)域，用于半導(dǎo)體外延片的去膠 或清洗，特別是指一 種用于等離子去膠臺(tái)可調(diào)式載片 體。
景技術(shù)
半導(dǎo)體工業(yè)，作為2l世紀(jì)信息社會(huì)的高新技術(shù) 產(chǎn)業(yè)的重要支柱，對(duì)世界經(jīng)濟(jì)產(chǎn)生著強(qiáng)有力的驅(qū)動(dòng)作 用。近些年，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展，各種半導(dǎo) 體工藝設(shè)備的研制和開發(fā)也應(yīng)運(yùn)而生。比較有代表性 的產(chǎn)品有等離子去膠臺(tái)、光刻機(jī)、快速合金爐(4英 寸和6英寸)、探針臺(tái)、擴(kuò)散爐和退火爐、清洗機(jī)以及 正在開發(fā)的芯片倒裝焊機(jī)等。等離子去膠臺(tái)設(shè)備具有 去膠工藝簡(jiǎn)單、可靠、徹底、速率快、成品率高、無 酸氣廢水、且電磁兼容性能優(yōu)良、高頻輻射小等特點(diǎn) 而在半導(dǎo)體工藝線上發(fā)揮著重要的作用。
現(xiàn)在等離子去膠臺(tái)普遍使用的載片體是一長(zhǎng)方體石英平板，其上無任何固定裝置。這種載片體的特點(diǎn) 是片子的取放比較方便，比較適合面積較小的襯底。
但這種載片體也存在很大的欠缺即片子在被去膠的
過程中由于震動(dòng)或反應(yīng)室的氣流等原因,，m 常常使片子
位置發(fā)生變化，甚至掉落，使片子碎裂尤其是對(duì)于
面積較大的片子，從而在人力、物力和財(cái)力上造成很
大的損失0 本發(fā)明提供種等離子去膠厶可調(diào)式載片
體，該載片體可以l門 根雜片子的不同形狀、大小做出相
應(yīng)的調(diào)整, 再進(jìn)行固定，從而避免由于震動(dòng)或其他原
因引起的片子碎裂,且裝卸靈活制作簡(jiǎn)'便,

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種等離子去膠臺(tái)
可調(diào)式載片體，該載片體可以根據(jù)片子的不同形狀大
小而做出相應(yīng)的調(diào)整再進(jìn)行固定，且裝卸靈活制
作簡(jiǎn)便。
本發(fā)明的百的是由以下的技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
本發(fā)明—種等離子去膠臺(tái)可調(diào)式載片體，用于等
離子去膠臺(tái)中承載并固定待清洗或去膠的外延片，其
特征在于，包括
承載體，該承載體為一矩形，該承載體的上面
中間兩側(cè)分別有一螺孔
兩探針架，該兩探針架類似于套管天線的結(jié)構(gòu)， 其長(zhǎng)度可以伸縮調(diào)節(jié)，該兩探針架的一 端分別用螺絲
固定在承載體上面的螺孔上；
兩探針，該探針為細(xì)絲狀，該兩探針的 一 端分別 固定在兩探針架的另一端。
其中所述的探針架包括多節(jié)可以伸縮調(diào)節(jié)的桿 體，該桿體的一端為金屬片，該金屬片上有一螺絲孔。
其中所述的多節(jié)可以伸縮調(diào)節(jié)的桿體的節(jié)數(shù)為兩 至五節(jié)。
其中所述的承載體為絕熱耐溫的聚四氟乙烯材料。
其中所述的兩探針架為金屬材料。
其中所述的兩探針為金屬材料。
本發(fā)明的有益幾果是-
1、該等離子去膠臺(tái)可調(diào)式載片體可以固定待清
洗或去膠的外延片，從而避免由于震動(dòng)等原因引起的
片子碎裂。
2、該等離子去膠臺(tái)可調(diào)式載片體可以根據(jù)外延
片的形狀大小而做出相應(yīng)的調(diào)整，尤其對(duì)于面積較大
的外延片，且裝卸方便靈活。
3、該等離子去膠臺(tái)可調(diào)式載片體制作方法簡(jiǎn)單，
成本低廉。


為了進(jìn)—?dú)i說明本發(fā)明的結(jié)構(gòu)和特征，以下結(jié)合
實(shí)施例及附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說明，其中
圖1是本發(fā)明可調(diào)式載片體的立體分解圖。
圖2是該可調(diào)式載片體在工作狀態(tài)下的立體圖。
具體實(shí)施例方式
請(qǐng)參閱圖1所示，本發(fā)明一種等離子去膠臺(tái)可調(diào) 式載片體，用于等離子去膠臺(tái)中承載并固定待清洗或 去膠的外延片，包括
—承載體l0，該承載體l0為一矩形，該承載 體l 0的上面中間兩側(cè)分別有一螺孔l 1,所述的承 載體lO為絕熱耐溫的聚四氟乙烯材料；
兩探針架2 0,該兩探針架2 O類似于套管天線 的結(jié)構(gòu)，其長(zhǎng)度可以伸縮調(diào)節(jié)，該兩探針架2 O的一-端分別用螺絲固定在承載體l0上面的螺孔1l上， 所述的探針架2 O包括多節(jié)可以伸縮調(diào)節(jié)的桿體2 1，該桿體2 1的一端為金屬片2 2,其中所述的多 節(jié)可以伸縮調(diào)節(jié)的桿體2l的節(jié)數(shù)為兩至五節(jié)，該金
屬片2 2上有一螺絲孔2 3，所述的兩探針架2 0為 金屬材料；
兩探針3 0,該探針3 0為細(xì)絲狀，該兩探針3 0的一端分別固定在兩棵針架2 0的另一端，所述的 兩探針3 0為金屬材料。
請(qǐng)參閱圖2所示，本發(fā)明等離子去膠臺(tái)可調(diào)式載 片體的工作過程為-
首先將承載體l0放置于等離子去膠臺(tái)反應(yīng)室的 支架上(未圖示)，將兩探針架2 0上的螺絲孔2 3和 承載體l0上的螺孔1l對(duì)準(zhǔn)，然后用螺絲穿過螺絲 孔2 3擰入承載體1 0上的螺孔1 l中，但不要擰緊。
其次，您 付可調(diào)式固定裝置和承載體1 0之間留有一定
的空隙，JUL* 放入外延片1 00然后根據(jù)外延片1 o 0
的形狀大小調(diào)節(jié)兩探針架20的長(zhǎng)度，直至兩探針架
2 0的長(zhǎng)厪與外延片1 00的大小形狀合適，直至將
兩探*，— ft軀20上的探針30放在外延片1 o o的邊緣端。眾后嫫兩探針架2 0固定,這樣外延片1 o 0就
被固定在/山 載體10之上了然后關(guān)閉等離子去膠臺(tái)
的反應(yīng)室內(nèi), 頭施清洗或去膠過程。清洗或去膠結(jié)束
后，將兩探針架20上的螺絲松開，調(diào)節(jié)兩探針架2
0的長(zhǎng)度至最紐，外延片100便可以方便的取出。
本發(fā)明等離去膠臺(tái)可調(diào)式載片體與現(xiàn)有的技術(shù)
相比具有如下的優(yōu)點(diǎn)-
1、 該等離子去膠臺(tái)可調(diào)式載片體可以固定待清 洗或去膠的外延片，從而避免由于震動(dòng)等原因引起的 片子碎裂。
2、 該等離子去膠臺(tái)可調(diào)式載片體可以根據(jù)外延 片的形狀大小而做出相應(yīng)的調(diào)整，尤其對(duì)于面積較大 的外延片，且裝卸方便靈活。
3、 該等離子去膠臺(tái)可調(diào)式載片體制作方法簡(jiǎn)單， 成本低廉。
權(quán)利要求
1、一種等離子去膠臺(tái)可調(diào)式載片體，用于等離子去膠臺(tái)中承載并固定待清洗或去膠的外延片，其特征在于，包括一承載體，該承載體為一矩形，該承載體的上面中間兩側(cè)分別有一螺孔；兩探針架，該兩探針架類似于套管天線的結(jié)構(gòu)，其長(zhǎng)度可以伸縮調(diào)節(jié)，該兩探針架的一端分別用螺絲固定在承載體上面的螺孔上；兩探針，該探針為細(xì)絲狀，該兩探針的一端分別固定在兩探針架的另一端。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的等離子去膠臺(tái)可調(diào)式 載片體，其特征在于，其中所述的探針架包括多節(jié) 可以伸縮調(diào)節(jié)的桿體，該桿體的一端為金屬片，該金 屬片上有一螺絲孔。
3、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的等離子去膠臺(tái)可調(diào)式 載片體，其特征在于，其中所述的多節(jié)可以伸縮調(diào)節(jié) 的桿體的節(jié)數(shù)為兩至五節(jié)。
4 、根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子去膠臺(tái)可調(diào)式 載片體，其特征在于，其中所述的承載體為絕熱耐溫的聚四氟乙烯材料。
5、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的等離子去膠臺(tái)可調(diào)式 載片體，其特征在于，其中所述的兩探針架為金屬材 料。
6、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的等離子去膠臺(tái)可調(diào)式 載片體，其特征在于，其中所述的兩探針為金屬材料。
全文摘要
本發(fā)明一種等離子去膠臺(tái)可調(diào)式載片體，用于等離子去膠臺(tái)中承載并固定待清洗或去膠的外延片，其特征在于，包括一承載體，該承載體為一矩形，該承載體的上面中間兩側(cè)分別有一螺孔；兩探針架，該兩探針架類似于套管天線的結(jié)構(gòu)，其長(zhǎng)度可以伸縮調(diào)節(jié)，該兩探針架的一端分別用螺絲固定在承載體上面的螺孔上；兩探針，該探針為細(xì)絲狀，該兩探針的一端分別固定在兩探針架的另一端。
文檔編號(hào)G03F7/42GK101201558SQ200610165109
公開日2008年6月18日 申請(qǐng)日期2006年12月13日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月13日
發(fā)明者俊 王, 白一鳴 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所