專利名稱：有機薄膜、其制造方法及其制造裝置、液晶取向膜、其制造方法及其制造裝置以及使用液 ...的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及在玻璃、陶瓷等基材上形成的有機薄膜、其制造方法及其制造裝置。另外，還涉及對于液晶具有取向能力的液晶取向膜、其制造方法及其制造裝置以及具有該以及取向膜的液晶顯示裝置及其制造方法。
所述公報中記載的方法是將膜形成分子吸附固定在基材表面上之后，進行洗滌，除去未吸附的分子，通過在該洗滌步驟中達到適當?shù)南磧舫潭瓤梢孕纬沙∧ぃ磫畏肿幽ぁ?br> 而且，迄今為止這種洗滌，在所述任何公報記載的洗滌步驟中，均使用氯仿作其洗滌劑。其理由是由于氯仿具有如下所述2大特征。即1．對有機化合物的溶解能力強。
2．由于沸點低，僅為61℃，可以通過蒸發(fā)簡單地除去。
但是，已知所述氯仿毒性高。另外，已知它是破壞臭氧層的原因，是環(huán)境負荷非常大的物質。
另一方面，在特開平6-45142號公報、特開平6-187692號公報、特開平6-312477號公報等中，作為氯仿的代用洗滌劑公開了醚類、內酯類、酯類、腈類、酰胺類等，但是這些洗滌劑在洗滌能力方面均存在問題。實際上這些代用洗滌劑沒有被使用，作為洗滌劑并不優(yōu)良。
如上所述，期望確立一種采用對環(huán)境負荷小、與氯類溶劑具有同等洗滌能力的代用洗滌劑的有機薄膜制造方法。
另一組本發(fā)明為解決所述現(xiàn)有技術中的課題，其第2目的在于提供一種包括除去步驟的液晶取向膜的制造方法，它是用氯類溶劑以外的洗滌劑除去，以及該采用方法成膜得到的液晶取向膜，該方法中使用的制造裝置。
另外，第3目的在于提供一種具有所述液晶取向膜的液晶顯示裝置及其制造方法?！灿袡C薄膜、其制造方法及其制造裝置〕本發(fā)明人為了解決所述現(xiàn)有的問題，對有機薄膜的制造方法進行了悉心的研究。結果發(fā)現(xiàn)對于基材表面結合分子簇構成的有機薄膜，如果用含有酮類、亞烷基二醇類或烷氧基醇類的洗滌劑進行洗滌等，可以除去沒有與所述基材結合的所述分子，具有與采用氯類溶劑作洗滌劑時同樣的效果，從而完成了本發(fā)明。(1)有機薄膜為了解決所述問題，本發(fā)明涉及的有機薄膜是基材上結合分子簇形成的有機薄膜，所述有機薄膜特征在于，使具有下述官能團的分子簇與該基材表面接觸使之結合，所述官能團對具有活潑氫的官能團顯示反應活性，之后用含有選自酮、亞烷基二醇類以及烷氧基醇類中至少一種的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子簇，得到該有機薄膜。
如上所述構成的有機薄膜一端與基材表面結合，另一端由沿著基材表面排列的分子簇構成，突向從基材表面分離的方向。而且，采用所述洗滌劑除去未結合在基材上的分子(以下有時也稱為未固定分子)得到的有機薄膜，其分子簇在基材表面不會達到混亂的狀態(tài)，而是形成均一的膜結構。
另外，所述對具有活潑氫的官能團顯示反應活性的官能團可以是選自下述通式(1)所示官能團中的1種官能團。 和-AX3…(1)(式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。)另外，所述“基材上”不僅僅限于所述分子簇直接固定在基材表面的場合，也包括通過其它物質層固定的場合。(2)有機薄膜的制造方法為了解決所述課題，本發(fā)明涉及的有機薄膜的制造方法特征在于，包括被膜形成步驟和除去步驟，所述被膜形成步驟是通過使具有下述官能團的分子簇與該基材表面接觸，所述官能團對具有活潑氫的官能團顯示反應活性，使之結合在該基材上，由該分子簇形成被膜；所述除去步驟是用含有選自酮、亞烷基二醇類以及烷氧基醇類中至少一種的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子。
所述分子可以具有選自下述通式(1)所示官能團中的1種官能團。 和-AX3…(1)(式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。)在所述被膜形成步驟中，使所述具有選自通式(1)所示官能團中1種官能團的分子簇固定在基材表面，形成被膜，這時在該被膜表面殘留有未結合在基材上的分子(未固定分子)。該未固定分子在除去步驟中通過使用含有選自酮類、亞烷基二醇類和烷氧基醇類中至少1種的洗滌劑可以容易地除去。這是由于酮類等對于未固定分子具有優(yōu)良的溶解能力。因此，在基材表面至少可以形成由固定在該基材上的所述分子簇構成的有機薄膜，可以制造具有均一膜厚的有機薄膜。
所述酮類可以使用選自丙酮、甲基乙基酮、二乙基酮、甲基異丁基酮以及乙酰丙酮中的至少1種化合物。
這些化合物對于具有選自所述通式(1)所示官能團中1種官能團的分子簇具有優(yōu)良的溶解能力。因此，按照使用洗滌能力優(yōu)良的所述化合物的所述方法，考察所述分子的種類和洗滌條件等，根據(jù)需要選自最適的酮類，可以除去未固定分子，形成膜厚均一的有機薄膜。
另外，所述亞烷基二醇類可以使用聚乙二醇。
所述聚乙二醇對于具有選自所述通式(1)所示官能團中1種官能團的化合物具有優(yōu)良的溶解能力。因此，按照使用洗滌能力優(yōu)良的聚乙二醇的所述方法，未固定分子的除去變得更容易，可以除去該未固定分子形成有機薄膜。
而且，所述聚乙二醇的分子量可以在100以上、300以下的范圍內。
如上所述，由于使用低分子量的聚乙二醇作為洗滌劑成分，可以得到粘性小、容易處理的洗滌劑。
另外，所述洗滌劑可以使用不含氯類溶劑的物質。
如上所述，在除去步驟中，使用含有選自酮類、亞烷基二醇類和烷氧基醇類中至少1種的洗滌劑，即不含氯類溶劑的洗滌劑，可以減小對環(huán)境的負荷。而且，該洗滌劑與現(xiàn)有的氯類溶劑構成的洗滌劑相比，對于被洗滌物，即未固定分子，可以發(fā)揮相同程度的洗滌作用，因此可以形成具有均一膜厚的有機薄膜。因而，即使不使用氯類溶劑也可以形成具有同樣膜厚的有機薄膜，提供一種可以減小環(huán)境負荷的有機薄膜的制造方法。
而且，在所述除去步驟之后，可以進行洗滌劑除去步驟，除去附著在所述基材上的所述洗滌劑。
這樣，可以防止洗滌劑殘留在形成的有機薄膜上給膜的質量帶來不良影響。特別是形成具有防水作用或親水性等功能的功能膜時，如果除去所述洗滌劑，可以防止各種功能的劣化。
所述洗滌劑除去步驟也可以包括用水沖洗附著在所述基材上的所述洗滌劑的沖洗步驟，以及使附著在所述基材上的所述水干燥的干燥步驟。
如果采用所述方法，可以用水洗滌除去基材表面形成的被膜上附著的所述洗滌劑。結果，例如分子上具有AX基的場合，該被膜上殘留的AX基與水之間發(fā)生縮合反應，可以在構成被膜的分子上引入羥基。而且，通過在干燥步驟中使基材干燥，可以除去附著在該基材上的水。另一方面，通過進行該干燥步驟，也可以促進結合在基材表面的分子之間發(fā)生脫水反應，結果形成交聯(lián)結構，可以制造耐磨損性、耐擦傷性等優(yōu)良的有機薄膜。
所述基材可以使用其表面存在具有活潑氫的官能團的物質。
按照所述方法，分子上具有所述通式(1)所示官能團的場合，在該官能團與基材表面上具有活潑氫的官能團之間可以脫去HX分子發(fā)生縮合反應。這樣，可以使該具有通式(1)所示官能團的分子結合在基材表面。
而且，所述被膜形成步驟和除去步驟可以在干燥氣體中進行。
通過在干燥氣體中進行所述被膜形成步驟，可在基材表面形成單分子膜，而且該單分子膜上可以累積幾層單分子膜狀的分子層，形成累積膜。這是由于在干燥氣體中可以防止氣體中的水分與所述通式(1)所示官能團反應發(fā)生交聯(lián)。對于這樣形成的被膜，由于除去步驟也在干燥氣體中進行，可以容易地除去所有所述累積膜，或該累積膜中的幾層分子膜。這是由于即使是除去步驟也仍在干燥氣體中進行，可以防止形成累積膜的分子中所述通式(1)所示官能團與氣體中的水分之間脫去HX分子發(fā)生縮合反應。因此，可以防止基材表面固定的分子或未固定的分子發(fā)生交聯(lián)，可以形成單分子膜狀有機薄膜或單分子膜狀的分子層數(shù)層累積的有機薄膜。
使具有選自所述通式(1)所示官能團中1種官能團的分子簇固定在所述基材表面，形成單分子膜狀，可以形成這種有機薄膜。
按照所述方法，由于可以形成單分子膜狀的有機薄膜，因此通過控制具有所述通式(1)所示官能團的分子的分子設計，可以容易地在分子水平控制膜厚。結果，可以制造非常薄的有機薄膜，達到所需的厚度。(3)有機薄膜的制造裝置為了解決所述課題，本發(fā)明涉及的有機薄膜的制造裝置特征在于，包括被膜形成手段和除去手段，所述被膜形成手段是通過使具有下述官能團的分子簇與該基材接觸，所述官能團對具有活潑氫的官能團顯示反應活性，使之結合在該基材上，由該分子簇形成被膜；所述除去手段是用含有選自酮類、亞烷基二醇類以及烷氧基醇類中至少1種的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子。
所述分子可以具有選自下述通式(1)所示官能團中的1種官能團。 和-AX3…(1)(式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。)〔液晶取向膜、其制造方法及其制造裝置〕(1)液晶取向膜為了解決所述課題，本發(fā)明涉及的液晶取向膜是由基板上結合的分子簇構成的，使液晶分子沿特定方向排列的液晶取向膜，所述液晶取向膜的特征在于通過使具有下述官能團的分子簇與該基板表面接觸使之結合，所述官能團對具有活潑氫的官能團顯示反應活性，之后用含有選自酮類、亞烷基二醇類以及烷氧基醇類中至少1種的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子。
如上所述構成的液晶取向膜一端與基板側結合，另一端由沿著基板表面排列的分子簇構成，向從基板分離的方向突出。而且，由于是采用所述洗滌劑進行洗滌得到的有機薄膜，可以除去沒有結合在基板上的未固定分子，具有均一的膜厚。
另外，以前采用由氯類溶劑構成的洗滌劑(氯類洗滌劑)洗滌固定有分子簇的基板時，有時會形成這些分子簇以混亂狀態(tài)固定的膜結構。對此相對，如上所述構成的液晶取向膜由于不是用氯類溶劑構成的洗滌劑洗滌得到的薄膜，因此可以防止形成分子簇以混亂狀態(tài)固定在基板表面的膜結構，可以形成分子簇均一排列、膜結構整齊的有機薄膜。
因此，如上所述構成的液晶取向膜是單分子膜時，通過附近的液晶分子與構成膜的分子之間相互作用，可以規(guī)定相對于基板的某種斜度和／或取向方位。
因此，如上所述如果各個分子均一排列、膜結構整齊，則具有優(yōu)良的取向能力，具體的說沒有打亂排列狀態(tài)可以使液晶分子取向。
另外，所述“基板上”不僅僅限于所述分子簇直接結合在基板表面的場合，也包括通過電極等其它物質層結合的場合。
另外，所述對具有活潑氫的官能團顯示反應活性的官能團可以是選自下述通式(1)所示官能團中的1種官能團。 和-AX3…(1)(式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。)(2)液晶取向膜的制造方法為了解決所述課題，本發(fā)明涉及的液晶取向膜的制造方法特征在于，包括被膜形成步驟和除去步驟，所述被膜形成步驟是通過使具有下述官能團的分子簇與該基材表面接觸，所述官能團對具有活潑氫的官能團顯示反應活性，使之結合在該基材上，由該分子簇形成被膜；所述除去步驟是用含有選自酮類、亞烷基二醇類以及烷氧基醇類中至少1種的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子。
所述分子可以具有選自下述通式(1)所示官能團中的1種官能團。 和-AX3…(1)(式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。)在所述被膜形成步驟中，使所述具有選自通式(1)所示官能團中1種官能團的分子簇固定在基板表面，形成被膜，這時在該被膜表面殘留有未固定分子。由于酮類等對于未固定分子具有優(yōu)良的溶解能力，通過使用所述洗滌劑進行洗滌可以容易地除去。因此，在基板表面至少可以形成由固定在該基板上的所述分子簇構成的有機薄膜，并減少對環(huán)境的負荷。另外，采用所述方法形成的液晶取向膜具有均一的膜厚，而且分子簇不是混亂地固定，可以形成均一的膜結構。(3)液晶取向膜的制造裝置為了解決所述課題，本發(fā)明涉及的液晶取向膜的制造裝置特征在于，包括被膜形成手段和除去手段，所述被膜形成手段是通過使具有下述官能團的分子簇與該基板接觸，所述官能團對具有活潑氫的官能團顯示反應活性，使之結合在該基板表面，由該分子簇形成被膜；所述除去手段是用含有選自酮、亞烷基二醇類以及烷氧基醇類中至少一種的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子。
所述分子可以具有選自下述通式(1)所示官能團中的1種官能團。 和-AX3…(1)(式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。)〔液晶顯示裝置及其制造方法〕(1)液晶顯示裝置為了解決所述課題，本發(fā)明涉及的液晶顯示裝置是基板上具有使液晶分子沿規(guī)定方向取向的液晶取向膜的液晶顯示裝置，所述液晶取向膜特征在于，是使具有下述官能團的分子簇結合到所述基板上形成的薄膜，所述官能團對具有活潑氫的官能團顯示反應活性，而且是使所述分子構成的簇與所述基板接觸并結合之后，用含有選自酮、亞烷基二醇類以及烷氧基醇類中至少一種的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子得到的物質。
如上所述構成的液晶顯示裝置具有的液晶取向膜由于是用所述洗滌劑進行洗滌得到的薄膜，可以除去沒有結合在基板上的分子，具有均一的膜厚。另外，由于所述液晶取向膜不是用現(xiàn)有氯類溶劑構成的洗滌劑洗滌得到的薄膜，因此分子簇均一排列，膜結構整齊。也就是說，通過使之具備如上所述的液晶取向膜，如上所述構成的液晶顯示裝置可以忽視液晶的取向缺陷等，顯示質量優(yōu)良。(2)液晶顯示裝置的制造方法為了解決所述課題，本發(fā)明涉及的液晶顯示裝置的制造方法是具有液晶取向膜的液晶顯示裝置的制造方法，所述液晶取向膜由結合在基板上的分子簇構成，能使液晶分子沿規(guī)定方向取向，其特征在于，包括被膜形成步驟和除去步驟，所述被膜形成步驟是通過使具有下述官能團的分子簇與所述基板接觸，所述官能團對具有活潑氫的官能團顯示反應活性，使之結合在該基板表面，由該分子簇形成被膜；所述除去步驟是用含有選自酮、亞烷基二醇類以及烷氧基醇類中至少一種的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子。
按照所述方法，可以制造具備膜厚均一、取向能力優(yōu)良的液晶取向膜的液晶顯示裝置。也就是說，通過使用所述洗滌劑作為氯類洗滌劑的代用洗滌劑，可以減小對環(huán)境的負荷，同時可以制造顯示質量優(yōu)良的液晶顯示裝置。
本發(fā)明的其它目的、特征及優(yōu)點應當可以通過以下的記載充分理解。另外，也應當通過參照附圖的下述說明清楚本發(fā)明的優(yōu)點。
圖2是用來說明所述有機薄膜制造工藝中，洗滌劑除去步驟涉及的第1洗滌劑除去方法的流程圖。
圖3是用來說明所述有機薄膜制造工藝中，洗滌劑除去步驟涉及的第2洗滌劑除去方法的流程圖。
圖4是表示所述有機薄膜吸附在基材上的主要部分放大示意圖。
圖5是表示所述有機薄膜吸附在基材上的剖面示意圖，圖5(a)表示吸附分子層狀吸附的狀態(tài)，圖5(b)表示吸附分子絡合同時吸附在基材上的狀態(tài)。
圖6是表示所述有機薄膜吸附在基材上的主要部分放大示意圖，圖6(a)表示在吸附分子上引入羥基的狀態(tài)，圖6(b)表示吸附分子交聯(lián)的狀態(tài)。
圖7是表示本發(fā)明涉及的有機薄膜制造裝置的示意圖，圖7(a)表示被膜形成手段與除去手段為密閉系統(tǒng)的場合，圖7(b)表示被膜形成手段與除去手段為獨立系統(tǒng)的場合，圖7(c)是表示洗滌劑除去手段的示意圖。
圖8是表示本發(fā)明涉及的除去手段的側視圖，圖8(a)表示分批處理式的場合，圖8(b)表示流水線處理式的場合。
圖9是表示本發(fā)明涉及的液晶顯示裝置的剖面圖。


圖10是表示本發(fā)明實施例1-1涉及的單分子膜的主要部分放大示意圖。
圖11是所述實施例1-1涉及的單分子膜的FT-IR光譜圖。
圖12是比較例1-1涉及的單分子膜的FT-IR光譜圖。
圖13是表示本發(fā)明實施例1-3涉及的單分子膜的主要部分放大示意圖。
圖14是所述實施例1-3涉及的單分子膜的FT-IR光譜圖。
圖15是比較例1-2涉及的單分子膜的FT-IR光譜圖。
圖16是比較例1-4涉及的單分子膜的FT-IR光譜圖。
圖17是比較例1-5涉及的單分子膜的FT-IR光譜圖。
圖18是表示本發(fā)明實施例2-1涉及的單分子膜的主要部分放大示意圖。
圖19是所述實施例2-1涉及的單分子膜的FT-IR光譜圖。
圖20是比較例2-1涉及的單分子膜的FT-IR光譜圖。
圖21是表示本發(fā)明實施例2-2涉及的單分子膜的主要部分放大示意圖。
圖22是所述實施例2-2涉及的單分子膜的FT-IR光譜圖。
圖23是比較例2-2涉及的單分子膜的FT-IR光譜圖。
圖24是本發(fā)明實施例2-3涉及的單分子膜的FT-IR光譜圖。
圖25是比較例2-3涉及的單分子膜的FT-IR光譜圖。
圖26是比較例2-4涉及的單分子膜的FT-IR光譜圖。
發(fā)明的最佳實施方式〔有機薄膜〕對于本發(fā)明的實施方式，參照圖1至圖8進行如下說明。但是，省略了不需說明的部分，另外為了容易說明有的部分用放大或縮小的圖表示。所述內容對于以下的附圖是同樣的。
本發(fā)明涉及的有機薄膜的制造方法特征在于，包括被膜形成步驟和除去步驟，所述被膜形成步驟是通過使具有下述官能團的分子簇與該基材接觸，所述官能團對具有活潑氫的官能團顯示反應活性，使之固定在該基材表面上，由該分子簇形成被膜；所述除去步驟是用含有選自酮類、亞烷基二醇類以及烷氧基醇類中至少1種的洗滌劑除去未固定在所述基材上的所述分子。
所述分子可以具有選自下述通式(1)所示官能團中的1種官能團。 和-AX3…(1)(式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。)另外，所述鹵素例如F、Cl、Br或I等，從與基材的反應活性考慮優(yōu)選Cl。
具有所述通式(1)所示官能團的分子可以由以下列舉的官能團與通式(1)所示官能團連接構成。
(a)甲基、乙基、正丙基、正丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基、正十三烷基、正十四烷基、正十五烷基、正十六烷基、正十七烷基、正十八烷基、正十九烷基、正二十烷基、苯基等烴基。
(b)所述(a)所示烴基中一部分具有碳-碳雙鍵或碳-碳三鍵的烴基。
(c)所述(a)和(b)所示烴基中氫被其它官能團(例如甲基、鹵代甲基、羥基、氰基、氨基、亞氨基、羧基、酯基、硫醇基、醛基等)和／或原子(例如F、Cl、Br、I等)取代的官能團。
(d)所述(a)和(b)所示烴基中C-C鍵的一部分被C-O-C(醚)鍵、C-CO-C(羰基)鍵或C=N鍵取代的官能團。
另外，本發(fā)明中與所述通式(1)所示官能團連接的官能團并不僅限于所述物質。
以下，參照圖1對本發(fā)明涉及的有機膜制造方法進行詳細敘述。首先，在非水系有機溶劑中溶解具有所述通式(1)所示官能團的分子簇(以下有時簡稱為吸附分子或分子)，制備吸附溶液(吸附溶液制備步驟，S1)。制備該吸附溶液時，優(yōu)選在相對濕度為35％以下的干燥氣體中進行，例如干燥空氣、干燥氮氣或干燥氦氣。
其次，如果使所述吸附溶液制備步驟中制得的吸附溶液與預先充分洗滌脫脂后的基材1接觸(被膜形成步驟，S2)，具有所述通式(1)所示官能團的分子簇通過化學吸附固定在該基材1的表面(參照圖4)。更詳細的說，是具有所述通式(1)所示官能團的分子與所述基材表面存在的具有活潑氫的官能團之間發(fā)生縮合反應。例如，吸附分子為具有-AX3基的分子，具有活潑氫的官能團為羥基時，發(fā)生下述化學反應式(2)所示的反應。 (式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。)這種縮合反應的結果是脫去HX，具有所述通式(1)所示官能團的分子簇吸附在基材1表面。另外，進行所述脫脂是為了提高吸附溶液對基材1表面的附著性能，也可以采用其它現(xiàn)有公知方法進行表面處理。
如果在通常濕度的氣體環(huán)境中進行所述被膜形成步驟，會在基材1的表面形成圖5(a)所示的薄膜3。更詳細的說，吸附在基材1表面的吸附分子與未吸附在該基材1上的未吸附分子結合，另外該未吸附分子與其它未吸附分子結合形成鏈，形成聚合物樣的結構。而且，該鏈由基材1表面向上方(大氣中)延長并彎曲，與其它彎曲的鏈發(fā)生3元聚合，形成所述薄膜3。形成具有這種膜結構的薄膜3的理由如下。也就是，未吸附在基材1表面的未吸附分子與氣體中的水分發(fā)生反應，脫去HX。結果在該未吸附分子上引入了OH基。而且，該OH基與其它未吸附分子的所述通式(1)所示官能團(吸附部位)反應發(fā)生交聯(lián)。因此，形成具有所述結構的薄膜。這里，如圖所示的薄膜其膜厚相對于由吸附分子構成的單分子膜層疊3層的厚度，這時在本說明書中簡稱為3分子層。另一方面，如果在干燥氣體中(例如相對濕度在35％以下)進行，如圖5(b)所示，在基材1表面形成單分子膜2，而且在該單分子膜2表面附著未吸附分子4，形成薄膜。這是由于在干燥氣體中，未吸附分子4的吸附部位與水分不發(fā)生反應，仍具有所述通式(1)所示的官能團，附著在基材上。
另外，使具有所述通式(1)所示官能團的分子與基材1表面接觸的方法沒有特別的限定，例如將基材1浸漬于預先制備的吸附溶液中的方法、將該吸附溶液涂敷在基材1上的方法等。
另外，所述基材1表面存在的具有活潑氫的官能團除所述羥基外，還可以舉出羧基、亞磺酸基、磺酸基、磷酸基、亞磷酸基、硫醇基、氨基等。而且，也可以是所述官能團的活潑氫分別被堿金屬或堿土金屬取代的官能團。另外，所述基材1表面不存在具有活潑氫的官能團，或具有活潑氫的官能團少場合，優(yōu)選進行UV／臭氧處理、氧等離子體處理、高錳酸鉀溶液等化合物氧化劑處理，對該基材1的表面進行改質，引入所述官能團，或增加其數(shù)量。
然后，用含有選自酮類、亞烷基二醇類或烷氧基醇類中至少1種的洗滌劑進行除去步驟(S3)。該步驟中洗滌的主要對象是具有所述通式(1)所示官能團的分子中沒有通過化學鍵固定在基材1表面、殘留的未吸附分子。更詳細的說，圖5(a)中洗滌對象不是基材1，而是該基材1上形成的網(wǎng)狀分子層3中作為其構成分子的吸附分子上結合的未吸附分子。另外，圖5(b)中洗滌對象是單分子膜2表面附著的未吸附分子4構成的累積膜5。通過用所述洗滌劑溶解這些未吸附分子簇將其除去，可以形成具有均一膜厚的單分子膜狀有機薄膜。
所述洗滌劑中含有的作為洗滌成分的酮類對于具有所述通式(1)所示官能團的分子具有優(yōu)良的溶解性能。所述酮類具體可以舉出丙酮、甲基乙基酮、二乙基酮、甲基異丁基酮、乙酰丙酮等。
另外，所述洗滌劑中含有的作為洗滌成分的亞烷基二醇，具體可以舉出乙二醇類、丙二醇類、丁二醇類等，其中乙二醇類最合適。這是由于所述乙二醇類具有少味、無色，容易與多種有機溶劑、水和表面活性劑等混合的特征。因此，適于洗滌劑的設計。所述乙二醇類具體的說優(yōu)選使用乙二醇單乙基醚、一縮二乙二醇單乙基醚、一縮二乙二醇單乙基醚醋酸酯、乙二醇單乙基醚醋酸酯、乙二醇單甲基醚、乙二醇單甲基醚醋酸酯、乙二醇單正丁基醚、乙二醇單苯基醚等。
而且，所述亞烷基二醇類也可以是聚乙二醇類、聚丙二醇類、聚丁二醇類等聚合物。所述聚乙二醇類具體的說優(yōu)選使用聚乙二醇、聚乙二醇單乙基醚、聚一縮二乙二醇單乙基醚、聚一縮二乙二醇單乙基醚醋酸酯、聚乙二醇單乙基醚醋酸酯、聚乙二醇單甲基醚、聚乙二醇單甲基醚醋酸酯、聚乙二醇單正丁基醚、聚乙二醇單苯基醚等。
所述亞烷基二醇類為聚合物時，其分子量優(yōu)選為2000以下，更優(yōu)選100～300的范圍內。分子量大于2000時，粘性變得過大，不易處理。但是，使用分子量為約300以上的聚合物時，最好使之溶解于水或醇等，使用溶液作為洗滌劑。例如聚合物使用聚乙二醇，使之溶解于水時，聚乙二醇的濃度優(yōu)選10～50wt％，另一方面使之溶解于醇時，優(yōu)選10～50wt％。
另一方面，所述烷氧基醇類沒有特別的限定，具體可以舉出甲氧基醇、乙氧基乙醇等。
這里，本發(fā)明涉及的洗滌劑也可以是單獨使用所述酮類、亞烷基二醇類或烷氧基醇類中任意一種的非水系洗滌劑。
另外，所述除去步驟也可以在干燥氣體中(相對濕度在35％以下)進行。例如，洗滌圖5(b)所示單分子膜2上累積膜5形成的被膜時，由于是在干燥氣體中，因而可以防止氣體中的水分與未吸附分子4的所述通式(1)所示官能團之間發(fā)生脫去HX分子的反應等造成交聯(lián)。因此，通過洗滌劑的洗滌作用可以除去累積膜5，形成單分子膜狀的有機薄膜。另外，所述除去步驟在干燥氣體中進行時，優(yōu)選洗滌劑也使用含水率低的物質。具體的說，含水率低于1．0％時雖實用上沒有問題，但優(yōu)選含水率低于0．1％，更優(yōu)選低于0．01％。含水率如果超過所述數(shù)值范圍，未吸附分子或吸附分子的AX基就會與洗滌劑中所含的水反應形成交聯(lián)結構，因此這時也不能形成單分子膜。
所述除去步驟中進行的具體洗滌方法例如將基材1靜靜地浸漬在裝滿洗滌劑的洗滌槽中的方法，或將基材1浸漬在該洗滌劑中并照射超聲波等賦予機械力的方法，或為了提高該洗滌劑自身的洗滌能力將洗滌劑加熱的方法等。另外，基材1受到超聲波等的應力時，有必要使應力不會對基材1產生不良影響。
另外，所述除去步驟中的洗滌條件沒有特別的限定，可以考慮未吸附分子對被洗滌物的附著程度、被洗滌物的材料、形狀、對后續(xù)工藝的影響等，根據(jù)需要適當設定。而且，通過改變洗滌劑濃度、洗滌時間、洗滌次數(shù)等，例如不僅可以形成單分子膜狀的有機薄膜，也可以形成具有相當于2分子層膜厚的有機薄膜，使膜厚的控制成為可能。也就是說，通過控制未吸附分子的殘留程度可以控制膜厚。例如將裝有規(guī)定濃度洗滌劑的洗滌槽設計成3個槽，在各洗滌槽中洗滌一定時間，通過提高洗滌程度，幾乎可以除去未吸附分子，得到單分子膜狀的有機薄膜。另一方面，洗滌槽為1個槽，在洗滌時間比所述規(guī)定時間短的輕柔洗滌中，殘留有多數(shù)未吸附分子。如果以這種狀態(tài)暴露在大氣中，該未吸附分子與大氣中的水分反應而被固定，例如形成相當于2分子層等數(shù)分子層膜厚的有機薄膜。
而且，為了控制形成單分子膜狀的有機薄膜的膜厚，也可以通過改變吸附在基材1上的吸附分子的分子設計，高精度地控制。
其次，所述除去步驟之后，也可以進行除去洗滌劑的洗滌劑除去步驟(S4)。該洗滌劑除去步驟主要可以分為用漂洗劑沖洗洗滌劑的第1洗滌劑除去方法以及將洗滌劑干燥使之蒸發(fā)的第2洗滌劑除去方法。而且，第1洗滌劑除去方法可以用于洗滌劑中含有選自酮類亞烷基二醇類和烷氧基醇類中至少1種的場合。另一方面，第2洗滌劑除去方法，主要用于洗滌劑中含有酮類的場合。
所述第1洗滌劑除去方法包括用漂洗劑沖洗洗滌劑的沖洗步驟(S5)以及使該漂洗劑蒸發(fā)將其除去的漂洗劑干燥步驟(S6)(參照圖2)。該第1洗滌劑除去方法優(yōu)選用于殘留有AX基的分子簇吸附在基材1表面的場合，或從安全等觀點考慮使用沸點比較高的溶劑作為洗滌劑的場合。前者的情況下，進行沖洗步驟的目的在于在除去殘留洗滌劑的同時，使未反應的AX基與水之間發(fā)生脫去HX的反應，在吸附分子中引入OH基(參照圖6(a))。因此，漂洗劑優(yōu)選使用水。而且，通過進行漂洗劑干燥步驟(S6)，OH基之間發(fā)生脫水反應，可以形成圖6(b)所示具有交聯(lián)結構的有機薄膜。另一方面，后者的情況下，由于附著在被洗滌物上的高沸點溶劑(洗滌劑)在常溫下難以干燥蒸發(fā)，其主要目的在于用低沸點的漂洗劑取代該高沸點溶劑。這時使用的低沸點漂洗劑可以采用丙酮或醇等。另外，所述沖洗步驟與所述除去步驟同樣，如果付與超聲波等機械力，可以提高沖洗效果。
另外，所述第2洗滌劑除去方法包括使洗滌劑蒸發(fā)將其除去的洗滌劑干燥步驟(S7)、使基材1與水分接觸的接觸步驟(S8)以及使水分干燥的干燥步驟(S9)(參照圖3)。該第2洗滌劑除去方法優(yōu)選用于例如使用丙酮或甲基乙基酮等在常溫下蒸發(fā)的低沸點洗滌劑的場合。進行所述接觸步驟是為了使吸附在基材1表面的分子簇上殘留的AX基與水分反應，在吸附分子中引入OH基。因此使之與水分接觸的方法可以采用放置在空氣中使之與空氣中的水分反應或直接與水反應的方法。之后，通過進行干燥步驟，使OH基之間發(fā)生脫水反應，可以形成具有交聯(lián)結構的有機薄膜。
另外，除所述洗滌劑除去方法之外，當吸附在基材1上的吸附分子不存在AH基，而且使用常溫下可蒸發(fā)的低沸點洗滌劑時，在除去步驟之后只將洗滌劑簡單干燥即可。
另外，所述基材1可以采用由選自玻璃、金屬、金屬氧化物、陶瓷、塑料、木材、石材、纖維、紙以及高分子樹脂等任意1種材料構成的物質。另外，基材1的表面即使涂敷有涂料等也沒有關系。由這些材料構成的基材由于其表面存在具有活潑氫的官能團，因而具有類似的物性。另外，特別是采用塑料等作為基材1的材料時，有時根據(jù)塑料的種類會使基材1改質，或由于溶解等帶來損傷。因此，有必要在預先確認洗滌劑不會對塑料構成的基材1產生所述作用，然后再使用。
以下，根據(jù)本發(fā)明可以適用的用途列舉具體實例，但是本發(fā)明并不受其任何限定。
(a)刀具的例子菜刀、剪子、小刀、切刀、雕刻刀、剃刀、理發(fā)推子、鋸、刨刀、鑿子、錐子、能扎透多層紙的錐子、刀頭、鉆頭的刃、混合機的刃、壓榨器的刃、制粉機的刃、割草機的刃、鉆孔機、鍘刀、訂書機的刃、罐頭起子的刃或手術用解剖刀等。
(b)針的例子針刺療法用的針、縫衣針、縫紉機針、縫被針、榻榻米針、注射針、手術用針、安全別針、圖釘?shù)取?br> (c)陶瓷工業(yè)制品的例子包括陶瓷器制、玻璃制、陶瓷制或搪瓷制品。例如衛(wèi)生陶器(如便器、面盆、浴缸等)、餐具(如茶碗、器皿、大碗、茶碗、玻璃杯、瓶、煮咖啡容器、鍋、研缽、茶杯等)、花瓶(如水盤、花盆、小花瓶等)、水槽(例如養(yǎng)殖用水槽、鑒賞用水槽等)、化學試驗器具(例如燒杯、反應容器、試管、燒瓶、培養(yǎng)皿、冷凝管、攪拌棒、攪拌器、乳缽、瓷盤、注射器等)、瓦、瓷磚、搪瓷餐具、搪瓷面盆、搪瓷鍋等。
(d)鏡的例子手鏡、化妝用小型附屬鏡、穿衣鏡、浴室用鏡、洗臉用鏡、汽車用鏡(例如后視鏡、側鏡等)、交通用鏡(例如曲線鏡、反射鏡等)、half mirror、櫥窗用鏡、商場的商品柜臺鏡等。
(e)形成用部件的例子沖壓成型金屬模、鑄造成型金屬模、射出成型金屬模、傳遞模塑金屬模、真空成型金屬模、鼓風成型金屬模、擠出成型金屬模、吹制成型金屬模、纖維紡絲用噴絲頭、壓光用輥筒等。
(f)裝飾品的例子手表、寶石、珍珠、藍寶石、紅寶石、綠寶石、石榴石、貓眼、鉆石、黃玉、血石、海藍寶石、Thirdnicks、綠松石、翡翠、大理石、紫水晶、浮雕玉石、蛋白石、水晶、玻璃、戒指、手鐲、項鏈、腳鐲、胸針、領帶別針、耳環(huán)、耳釘、貴金屬裝飾制品、白金、金、銀、銅、鋁、鈦、錫或它們的合金或不銹鋼制眼鏡架等。
(g)食品成型用模的例子蛋糕烤制用模、家常小甜餅烤制用模、面包烤制用模、巧克力烤制用模、果凍成型用模、冰淇淋成型用模、烘箱盤、制冰盤等。
(h)烹調器具的例子鍋、蒸鍋、水壺、壺、碗、平底鍋、電熱板(hot plate)、燒烤烹調用網(wǎng)、甩油環(huán)、蛸烤盤、面包烤箱用鍋、搗制粘糕用鍋、電飯煲、小勺、起泡器等。
(i)紙的例子凹印用紙、防水防油用紙、廣告紙、高級小冊子紙等。
(j)樹脂的例子聚丙烯、聚乙烯等聚烯烴、聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚酰胺-酰亞胺、聚酯、aramide、聚苯乙烯、聚砜、聚醚砜、聚苯硫醚、酚樹脂、呋喃樹脂、尿素樹脂、環(huán)氧樹脂、聚氨基甲酸酯、硅樹脂、ABS樹脂、甲基丙烯酸樹脂、甲基丙烯酸酯樹脂、丙烯酸樹脂、丙烯酸酯樹脂、聚縮醛樹脂、聚亞苯醚等。
(k)家用電器的例子電視、收音機、錄音機、音響(audio)、個人計算機、鐳射唱片(CD)、小型磁盤(MD)、數(shù)字影碟(DVD)、與冷凍有關的機器中的冰箱、冷凍箱、空氣調節(jié)器、榨汁機、攪拌器、粉碎機、洗衣機、吸塵器、照明器具、干燥機、洗碗機、剃須刀、天線、電風扇的扇葉、文字板、卷發(fā)干燥機等。
(1)體育用品的例子滑雪橇、滑雪板、滑冰板、魚竿、釣魚線、漁網(wǎng)、浮子、撐桿跳用竿、球、快艇、噴氣式雪橇、碎浪艇、高爾夫球、保齡球等。
(m)適用于交通工具部件的例子(1)ABS樹脂燈罩、儀表盤、內裝部件、摩托車的護板(2)纖維素塑料汽車的標志、把手(3)FRP(纖維強化樹脂)外板保險杠、發(fā)動機殼(4)酚樹脂制動器(5)聚縮醛刮水器、氣體測溫儀、化油器部件(6)聚酰胺散熱器風扇(7)聚丙烯酸酯方向指示鏡、儀表盤透鏡、繼電器殼(8)聚丁烯對苯二甲酸酯后部、汽車前翼子板(9)聚氨基二馬來酰亞胺發(fā)動機部件、齒輪箱、齒輪、懸置驅動系統(tǒng)(10)甲基丙烯酸樹脂燈罩鏡、儀表盤、儀表盤殼、中心標記(11)聚丙烯減振器(12)聚亞苯醚散熱器格柵、齒輪蓋(13)聚氨基甲酸酯減振器、防護板、機械控電盤、風扇(14)不飽和聚酯樹脂車身、燃料罐、加熱器殼、儀表盤等。
(n)辦公用品的例子鋼筆、圓珠筆、自動鉛筆(sharp pencil)、筆筒、夾子、桌子、椅子、書架、擱物架、字母盤、電話座、尺子、繪圖工具等。
(o)建材的例子屋頂材料、外壁材料、內裝材料。屋頂材料如窯瓦、石板瓦、白鐵皮(鍍鋅鐵板)等。外壁材料如木材(包括加工木材)、灰漿、混凝土、陶瓷涂料、金屬涂料、磚、石材、塑料材料、鋁等金屬材料等。內裝材料如木材(包括加工木材)、鋁等金屬材料、塑料材料、紙、纖維等。
(p)石材的例子花崗巖、大理石、花崗巖(御影石)等。如建筑物、建筑材料、藝術品、裝飾品、浴盆、墓石、紀念碑、門柱、石墻、鋪路石等。
(q)樂器以及音響器械的例子打擊樂器、弦樂器、鍵盤樂器、管樂器等樂器，以及擴音器、揚聲器等音響器械等。例如鼓、銅鈸、打擊樂器、小提琴、大提琴、吉它、琴、鋼琴、風琴、手風琴、口琴、長笛、尺八、圓號等。
(r)其它如暖水瓶、真空機、輸電用絕緣子或火花塞等防水防油效果好的高耐電壓性絕緣子等。
另外，本申請發(fā)明人等在日本特許第2598867號中公開了膜密度高的化學吸附膜及其制造方法。該公報中公開的化學吸附膜的制造方法是通過吸附反應以及用于除去未反應吸附分子的洗滌反復交替操作，使化學吸附劑固定在基體以及化學吸附膜上，從而形成膜密度高的化學吸附膜。另外，洗滌時采用非水系溶液，形成的化學吸附膜與本發(fā)明的有機薄膜和膜結構存在以下幾點不同。
也就是說，采用所述方法形成的化學吸附膜即使是基材表面上不存在具有活潑氫的官能團的部分，也會由于使化學吸附接枝分子與基材上最初吸附的化學吸附干分子結合，構成化學吸附膜的分子間距離縮短，得到膜密度高的結構。而且，化學吸附接枝分子上結合有羥基，該羥基在與化學吸附干分子等結合時并沒有使用，因此化學吸附膜的膜中殘留有大量羥基。
另一方面，本發(fā)明的有機薄膜幾乎所有形成膜的分子都吸附在基材表面，因此膜密度較所述化學吸附膜低。另外，制造工藝中進行干燥，使膜中存在的羥基之間進行脫水反應發(fā)生交聯(lián)，因此與所述化學吸附膜相比羥基的存在率低。
由此可知，本發(fā)明涉及與所述公報記載的化學吸附膜在膜結構上實質不同的有機薄膜，并確立了制造工藝。
另外，本發(fā)明涉及的有機薄膜的制造裝置具有被膜形成手段以及除去手段(參照圖7)。而且，被膜形成手段與除去手段之間也可以設置例如由現(xiàn)有公知輸送裝置構成的基材交接手段52。
所述被膜形成手段具有將吸附溶液涂敷在基材上，使該吸附溶液中含有的吸附分子簇吸附固定在基材上形成被膜的功能。該被膜形成手段具體例如旋轉式或滾筒式等涂敷裝置。
所述除去手段具有用含有選自酮類、亞烷基二醇類和烷氧基醇類中至少1種的洗滌劑洗滌被洗滌物的功能。因此，作為洗滌對象的是基材上附著殘留的未吸附的吸附分子(未固定分子)。
另外，所述被膜形成手段與除去手段可以處于同一密閉系統(tǒng)中，也可以分別獨立地設置。
如所述結構，當被膜形成手段與除去手段處于同一密閉系統(tǒng)時，可以與外界空氣隔開。結果，可以在干燥氣體中進行被膜形成步驟和除去步驟(圖7(a))。這里，被膜形成手段與除去手段處于同一密閉系統(tǒng)是指有機被膜制造裝置具有可以將被膜形成手段和除去手段設置在內部的外界空氣隔開手段51的場合等。所述外界空氣隔開手段51只要是可以將外界空氣從其內部隔開即可，沒有特別的限定，例如可以控制溫度、濕度等的容器或處理室等。另外，所述外界空氣隔開手段51也可以設置能夠在常溫常壓下控制濕度，并且能夠控制內部對流的對流控制手段。這樣，可以控制內部的濕度和對流狀態(tài)，能夠確保操作的安全性。必須確保安全性是由于使用所述酮類、亞烷基二醇類或烷氧基醇類中分子量小的化合物時，含有它們的洗滌劑具有易燃性，因此需要注意。
另外，被膜形成手段和除去手段也可以如上所述成為相互分離、獨立的處理單位(圖7(b))。另外，欲在干燥氣體中進行被膜形成步驟和除去步驟時，為了能夠與外界空氣隔開并控制濕度等，也可以在各處理單位上設置外界空氣隔開手段。
另外，所述除去手段可以是分批處理式，也可以是流水線處理式。
分批處理式例如浸漬作為被洗滌物的基材的浸漬法等。該浸漬法具體如圖8(a)所示，在洗滌槽31中裝滿所述洗滌劑32，同時將基材34載放于貯片盒33中，將該貯片盒33在洗滌槽31中浸漬一定時間洗滌。
流水線處理式例如圖8(b)所示的洗滌裝置，它由輸送基材34的輸送部41和噴射洗滌劑的多個噴射裝置42構成。而且，所述噴射裝置42設有拱門狀的本體部43以及將洗滌劑噴射成霧狀或液滴狀的噴嘴44。另外，將噴嘴44設置成洗滌劑的噴射方向與垂直方向相同。另一方面，輸送部41設置在拱門狀本體部43的內側。具有所述結構的洗滌裝置中，輸送部41上載放的基材34沿箭頭A所示方向輸送，同時由噴嘴44噴射洗滌劑，從而進行洗滌。這里，不用說所述分批處理式和流水線處理式都是舉出的例子，因而并不限定于所述手段，具有與本發(fā)明權利要求書記載的技術思想實質上相同的結構并發(fā)揮同樣作用效果的方案也均包括在本發(fā)明的技術范圍內。
另外，本發(fā)明涉及的有機薄膜的制造裝置必要時也可以設有洗滌劑除去手段，用于進行洗滌劑除去步驟，除去基材上附著的洗滌劑(圖7(a)和圖7(b))。而且，所述洗滌劑除去手段如圖7(c)所示也可以具有沖洗手段和干燥手段。所述沖洗手段沒有特別的限定，可以使用現(xiàn)有公知的各種沖洗裝置。另外，所述干燥手段也沒有特別的限定，可以使用現(xiàn)有公知的各種干燥裝置。其中所述干燥手段優(yōu)選采用吹常溫風或熱風。
另外，使用紙或纖維等構成的物質作為基材，在上面形成有機薄膜時，有必要根據(jù)需要適當選擇洗滌劑的種類和洗滌方法等?！惨壕∠蚰ひ约耙壕э@示裝置〕另外，將本發(fā)明的有機薄膜作為液晶取向膜用于液晶顯示裝置時，該有機薄膜可以采用下述方法制造。
首先，按照與所述相同的順序，例如使ITO(錫酸銦)構成的形成電極等的基板與所述吸附溶液接觸，使吸附分子吸附在上面(S2，參照圖1)。吸附分子可以吸附在ITO表面是由于該ITO表面存在OH基，而且吸附分子具有對OH基等有活潑氫的官能團顯示反應活性的官能團。這樣，可以形成耐剝離性等優(yōu)良的薄膜。
另外，ITO表面OH基少的場合，優(yōu)選通過實施Exima UV處理、等離子體處理等，對該ITO表面進行改質增加OH基等，或在基板上形成其它物質層(例如蒸鍍的SiO層等)，通過該物質層形成液晶取向膜。
然后在S3中，洗滌、除去基板表面殘留的未吸附分子。這樣可以除去殘留的未吸附分子(子低分子)，形成膜厚均一的薄膜。因此，可以抑制殘留的未吸附分子引起液晶排列狀態(tài)混亂，即取向缺陷。另外，采用現(xiàn)有的氯仿等洗滌劑進行洗滌時，會出現(xiàn)這種洗滌引起吸附分子的吸附狀態(tài)發(fā)生混亂的問題。但是，在所述除去步驟中，由于用含有選自酮類、亞烷基二醇類和烷氧基醇類中至少1種的洗滌劑進行洗滌，難以發(fā)生吸附分子的吸附狀態(tài)混亂，吸附分子簇可以均一排列，得到整齊的膜結構。
然后，與所述有機薄膜制造方法的情況相同，在S4中進行洗滌劑的除去等，這樣可以制得本發(fā)明涉及的液晶取向膜。另外，必要時還可以對液晶取向膜實施摩擦處理等取向處理。
由所述可知，本發(fā)明涉及的液晶取向膜的制造方法不使用氯類洗滌劑可以形成具有同樣膜厚的液晶取向膜，而且可以減小對環(huán)境的負荷。
如上所述得到的液晶取向膜可以用于例如圖9所示的液晶顯示裝置。也就是說，本發(fā)明涉及的液晶顯示裝置可以具有第1基板61，與之成對的第2基板62以及介于第1基板61和第2基板62之間液晶層63。第1基板61的內側面形成TFT(薄膜晶體管)組64以及第1電極65，在該第1電極65上形成液晶取向膜66。所述第2基板62的內側面形成濾色器67，并在第2基板62和濾色器67上設有第2電極68。該第2電極68上形成液晶取向膜69。另外，所述第1基板61以及第2基板62通過密封材料70連接貼合，將液晶封入儀表板內。所述第1基板61的外側設有偏振片71，第2基板62的外側設有偏振片72。
所述第1基板61和第2基板62是由例如玻璃等構成的透明基板。另外，所述第1電極65和第2電極68是由例如ITO構成的透明導電膜。所述液晶層63含有向列液晶。所述濾色器67含有R(紅)、G(綠)、B(藍)各種點。
如上所述構成的液晶顯示裝置可以忽視液晶的取向缺陷等，顯示質量優(yōu)良。這是由于如上所述液晶取向膜具有膜厚均一而且吸附分子簇均一整齊吸附的膜結構，結果可以發(fā)揮優(yōu)良的取向能力，排列狀態(tài)不混亂，可以使液晶分子取向。
另外，具有所述結構的液晶顯示裝置除可以采用所述方法制造液晶取向膜66、69之外，也可以采用現(xiàn)有公知的方法制造。
另外，本發(fā)明涉及的液晶取向膜的制造裝置可以具有與所述有機薄膜的制造裝置相同的結構。因此，省略了其詳細說明。
以下，參照附圖，結合本發(fā)明的優(yōu)選實施例詳細說明。這里，實施例中記載的構成要素的材料、制備條件等只要沒有特別的限定性記載，就不能將本發(fā)明的范圍僅僅限定于此，這只不過是用于說明的例子?！驳?實施例〕(實施例1-1)首先，將正十八烷基三氯甲硅烷溶解于十六烷中，達到約1重量％，配制吸附溶液A。
其次，將充分脫脂洗滌后的玻璃基板11(2cm×5cm，厚1．1mm)在吸附溶液A中浸漬1小時。這樣，玻璃基板11表面存在的羥基與三氯甲硅烷基發(fā)生下述化學反應式所示的脫鹽酸反應，通過硅氧烷鍵化學吸附在該玻璃基板11上。

然后，在相對濕度為35％的空氣中，向洗滌槽中加入足夠量(50ml～10ml)的作為洗滌劑的丙酮，在約45℃下加熱。在該洗滌槽中充分洗滌玻璃基板11。而且，為了沖洗玻璃基板11表面附著聚乙二醇，用水充分洗滌。這樣，在沖洗洗滌劑的同時，可以用OH基取代玻璃基板11上化學吸附的分子中未反應的Cl基。然后，干燥玻璃基板11。這樣，OH基之間發(fā)生脫水反應交聯(lián)，在玻璃基板11上形成圖10所示的單分子膜12。
這里，如果采用傅里葉變換紅外分光法(以下簡稱為FT-IR)測定單分子膜12，如圖11所示，在2930～2840cm-1(歸屬CH3以及-CH2-)、1470cm-1(歸屬-CH2-)、1080cm-1(歸屬-Si-O-)處得到特征信號。這樣，可以確認形成了圖10所示的單分子膜12。
另外，本實施例中的除去步驟優(yōu)選在相對濕度5％以下的干燥空氣或氮氣中進行，但是只要相對濕度在35％以下的空氣中進行，就可以得到良好的結果。(比較例1-1)本比較例1-1中，除使用氯仿作為洗滌劑之外，按照與所述實施例1-1同樣的步驟在玻璃基板11上形成單分子膜12。對該單分子膜12進行FT-IR測定后，如圖12所示，在與所述圖11所示吸收光譜圖幾乎相同的吸收位置得到吸收強度幾乎相同的信號。
而且，對實施例1-1與比較例1-1進行詳細比較研究，結果發(fā)現(xiàn)兩者的膜結構存在下述不同點。也就是說，圖11和圖12所示的吸收光譜圖中，如果比較2920cm-1處來源于CH2不對稱伸縮振動的吸收以及2860cm-1處來源于CH2對稱伸縮振動的吸收，其吸收比在實施例1-1的圖11中為2．2∶1，比較例1-1的圖12中為2．0∶1這表明實施例1-1的單分子膜與比較例1-1的單分子膜相比具有均一、整齊的膜結構。這是由于在FT-IR測定方法中可以判斷出CH2的吸收比越接近1∶1，形成膜的分子(吸附分子)的吸附狀態(tài)越混亂(T．Ohtake等，Langmuir，2081，8，1992)。(實施例1-2)本實施例1-2中，除使用甲基乙基酮(50ml～100ml)作為洗滌劑之外，按照與所述實施例1-1相同的步驟，在玻璃基板11上形成單分子膜12。對該單分子膜12進行FT-IR測定后，在與所述圖11幾乎相同的位置得到吸收強度幾乎相同的信號。(實施例1-3)首先，將下述化學式(4)所示化合物溶解于硅氧烷類溶劑(商品名KF96L，信越化學(株)生產)／甲苯(=10／1)中，達到約1重量％，配制吸附溶液B。 其次，在氮氣環(huán)境中，將充分脫脂洗滌后的玻璃基板11在吸附溶液B中浸漬1小時。這樣，所述化學式(4)表示的分子如下述化學式(5)所示化學吸附到玻璃基板11上。 然后，在相對濕度為35％的空氣中，向洗滌槽中加入足夠量(50ml～10ml)的作為洗滌劑的丙酮，在該洗滌槽中充分洗滌玻璃基板11。而且，為了沖洗玻璃基板11表面附著的丙酮，用水充分洗滌。這樣，在沖洗洗滌劑的同時，可以用OH基取代玻璃基板11上化學吸附的分子中未反應的Cl基。然后，干燥玻璃基板11。這樣，OH基之間發(fā)生脫水反應交聯(lián)，在玻璃基板11上形成圖13所示的單分子膜13。
這里，如果采用FT-IR進行測定，如圖14所示，在2920～2840cm-1(歸屬-CH2-)、1650cm-1(歸屬C=0)、1600cm-1(歸屬苯骨架)、1345cm-1(歸屬苯骨架)、1080cm-1(歸屬-Si-O-)處得到特征信號。這樣，可以確認膜的形成。(比較例1-2)本比較例1-2中，除使用氯仿作為洗滌劑之外，按照與所述實施例1-3同樣的步驟在玻璃基板11上形成單分子膜13。對該單分子膜13進行FT-IR測定后，如圖15所示，在與所述圖14所示吸收光譜圖幾乎相同的吸收位置得到吸收強度幾乎相同的信號。
而且，對實施例1-3與比較例1-2進行詳細比較研究，結果發(fā)現(xiàn)兩者的膜結構存在下述不同點。也就是說，圖14和圖15所示的吸收光譜圖中，如果比較2920cm-1處來源于CH2不對稱伸縮振動的吸收以及2860cm-1處來源于CH2對稱伸縮振動的吸收，其吸收比在實施例1-3的圖14中為2．1∶1，比較例1-2的圖15中為1．9∶1。這表明實施例1-3的單分子膜與比較例1-2的單分子膜相比具有均一、整齊的膜結構。(比較例1-3)本比較例1-3中，除使用乙酸乙酯或甲酸乙酯作為洗滌劑之外，按照與所述實施例1-3相同的步驟，在玻璃基板11上形成單分子膜13。該單分子膜13形成后，如果暴露在空氣中，玻璃基板11表面瞬間變成白色混濁，不可能形成具有透明性的薄膜。另外，所述乙酸乙酯以及甲酸甲酯是特開平6-45142號公報、特開平6-312477號公報、特開平6-187692號公報等記載的具有羰基的酯類。(比較例1-4)本比較例1-4中，除使用甲苯作為洗滌劑之外，按照與所述實施例1-3相同的步驟，在玻璃基板11上形成單分子膜13。
對玻璃基板11上形成的單分子膜13進行觀察，發(fā)現(xiàn)懸浮有極薄的云狀物。而且，對該單分子膜13進行FT-IR測定后，如圖16所示，與所述圖14以及圖15明顯不同，得到吸收強度大的信號。這表明使用甲苯作為洗滌劑時，洗滌不充分。(比較例1-5)本比較例1-5中，除使用DMF(二甲基甲酰胺)作為洗滌劑之外，按照與所述實施例1-3相同的步驟，在玻璃基板11上形成單分子膜13。
對該單分子膜13進行觀察后，發(fā)現(xiàn)是無色透明的。而且，對該單分子膜13進行FT-IR測定后，如圖17所示，與所述圖14以及圖15明顯不同，得到吸收強度大的信號。這表明使用DMF作為洗滌劑時，洗滌不充分。(結果)由以上結果可以確認制造有機薄膜時，如果在其除去步驟中使用丙酮或甲基乙基酮作為洗滌劑，具有與氯仿相同的洗滌效果。而且，確認除所述丙酮或甲基乙基酮之外，使用二乙基酮、甲基異丁基酮或乙酰丙酮等時，也可以發(fā)揮與使用氯仿時相同的洗滌效果。另一方面，確認與使用非氯類洗滌劑甲苯或DMF作為洗滌劑的場合相比，洗滌作用優(yōu)良。因此，可以判斷出所述各實施例涉及的洗滌劑作為有機氯類溶劑的代用洗滌劑是有用的?！驳?實施例〕(實施例2-1)首先，將正十八烷基三氯甲硅烷溶解于十六烷中，達到約1重量％，配制吸附溶液A。
其次，將充分脫脂洗滌后的玻璃基板21(20×7mm，厚1．1mm)在吸附溶液A中浸漬1小時。這樣，玻璃基板21表面存在的羥基與三氯甲硅烷基發(fā)生下述化學反應式所示的脫鹽酸反應，通過硅氧烷鍵化學吸附在該玻璃基板21上。
然后，在相對濕度為35％的空氣中，向洗滌槽中加入作為洗滌劑的聚乙二醇(平均分子量300)50ml(玻璃基板21可充分浸入并可振動洗滌的量)，在約45℃下加熱。在該洗滌槽中將玻璃基板21充分洗滌3次。而且，為了沖洗玻璃基板21表面附著聚乙二醇，用水充分洗滌。這樣，在沖洗洗滌劑的同時，可以用OH基取代玻璃基板21上化學吸附的分子中未反應的Cl基。然后，干燥玻璃基板21。這樣，OH基之間發(fā)生脫水反應交聯(lián)，在玻璃基板21上形成圖18所示的單分子膜22。
這里，如果采用傅里葉變換紅外分光法(以下簡稱為FT-IR)測定單分子膜22，如圖19所示，在2930～2840cm-1(歸屬CH3以及-CH2-)、1470cm-1(歸屬-CH2-)、1080cm-1(歸屬-Si-O-)處得到特征信號。這樣，可以確認形成了圖18所示的單分子膜22。
另外，本實施例中的除去步驟優(yōu)選在相對濕度5％以下的干燥空氣或氮氣中進行，但是只要相對濕度在35％以下的空氣中進行，就可以得到良好的結果。(比較例2-1)本比較例2-1中，除使用氯仿作為洗滌劑之外，按照與所述實施例2-1同樣的步驟在玻璃基板21上形成單分子膜22。對該單分子膜22進行FT-IR測定后，如圖20所示，在與所述圖19所示吸收光譜圖幾乎相同的吸收位置得到吸收強度幾乎相同的信號。
而且，對實施例2-1與比較例2-1進行詳細比較研究，結果發(fā)現(xiàn)兩者的膜結構存在下述不同點。也就是說，圖19和圖20所示的吸收光譜圖中，如果比較2920cm-1處來源于CH2不對稱伸縮振動的吸收以及2860cm-1處來源于CH2對稱伸縮振動的吸收，其吸收比在實施例2-1的圖19中為1．65∶1，比較例2-1的圖20中為1．58∶1。這表明實施例2-1的單分子膜與比較例2-1的單分子膜相比具有均一、整齊的膜結構。(實施例2-2)首先，將下述化學式(4)所示化合物溶解于硅氧烷類溶劑(商品名KF96L，信越化學(株)生產)／甲苯(=10／1)中，達到約1重量％，配制吸附溶液B。 其次，在氮氣環(huán)境中，將充分脫脂洗滌后的玻璃基板21在吸附溶液B中浸漬1小時。這樣，所述化學式(4)表示的分子如下述化學式(5)所示化學吸附到玻璃基板21上。 然后，在相對濕度為35％的空氣中，向洗滌槽中加入足夠量的作為洗滌劑的乙二醇醚(商品名PK-LCG55，Parker Corporation生產)(平均分子量200)，在約80℃加熱。在該洗滌槽中充分洗滌玻璃基板。而且，為了沖洗玻璃基板21表面附著的聚乙二醇，用水充分洗滌。這樣，在沖洗洗滌劑的同時，可以用OH基取代玻璃基板11上化學吸附的分子中未反應的Cl基。然后，干燥玻璃基板21。這樣，OH基之間發(fā)生脫水反應交聯(lián)，在玻璃基板21上形成圖21所示的單分子膜23。
這里，對于單分子膜23如果采用FT-IR進行測定，如圖22所示，在2920～2840cm-1(歸屬-CH2-)、1650cm-1(歸屬C=0)、1600cm-1(歸屬苯骨架)、1345cm-1(歸屬苯骨架)、1080cm-1(歸屬-Si-O-)處得到特征信號。這樣，可以確認膜的形成。(比較例2-2)
本比較例2-2中，除使用氯仿作為洗滌劑之外，按照與所述實施例2-2同樣的步驟在玻璃基板21上形成單分子膜23。對該單分子膜23進行FT-IR測定后，如圖23所示，在與所述圖22所示吸收光譜圖幾乎相同的吸收位置得到吸收強度幾乎相同的信號。
而且，對實施例2-2與比較例2-2進行詳細比較研究，結果發(fā)現(xiàn)兩者的膜結構存在下述不同點。也就是說，圖22和圖23所示的吸收光譜圖中，如果比較2920cm-1處來源于CH2不對稱伸縮振動的吸收以及2860cm-1處來源于CH2對稱伸縮振動的吸收，其吸收比在實施例2-2的圖22中為1．8∶1，比較例2-2的圖23中為1．7∶1。這表明實施例2-2的單分子膜與比較例2-2的單分子膜相比具有均一、整齊的膜結構。(實施例2-3)本實施例2-3中，除使用乙氧基乙醇作為洗滌劑之外，按照與所述實施例2-2相同的步驟，在玻璃基板21上形成單分子膜23。對該單分子膜23進行FT-IR測定后，如圖24所示，在與所述圖22和圖23幾乎相同的位置得到吸收強度幾乎相同的信號。(比較例2-3)本比較例2-3中，除使用甲苯作為洗滌劑之外，按照與所述實施例2-2相同的步驟，在玻璃基板21上形成單分子膜23。
對玻璃基板21上形成的單分子膜23進行觀察，發(fā)現(xiàn)懸浮有極薄的云狀物。而且，對該單分子膜23進行FT-IR測定后，如圖25所示，與所述圖22以及圖23明顯不同，得到吸收強度大的信號。這表明使用甲苯作為洗滌劑時，洗滌不充分。(比較例2-4)本比較例2-4中，除使用DMF(二甲基甲酰胺)作為洗滌劑之外，按照與所述實施例2-3相同的步驟，在玻璃基板21上形成單分子膜23。
對該單分子膜23進行觀察后，發(fā)現(xiàn)是無色透明的。而且，對該單分子膜23進行FT-IR測定后，如圖26所示，與所述圖22以及圖23明顯不同，得到吸收強度大的信號。這表明使用DMF作為洗滌劑時，洗滌不充分。(結果)由以上結果可以確認制造有機薄膜時，如果在其除去步驟中使用聚乙二醇、乙二醇醚或乙氧基乙醇作為洗滌劑，具有與氯仿相同的洗滌效果，除去未吸附分子后可以制得膜厚均一的有機薄膜。另一方面，確認與使用非氯類洗滌劑甲苯或DMF作為洗滌劑的場合相比，洗滌作用優(yōu)良。因此，可以判斷出所述各實施例涉及的洗滌劑作為有機氯類溶劑的代用洗滌劑是有用的。
發(fā)明的詳細說明中所給出的具體實施方式
當然可以明確本發(fā)明的技術內容，但是不應狹義的解釋為僅限于這些實施例，在本發(fā)明的主旨以及下述權利要求書的范圍內，實施時可以進行各種變更。
工業(yè)實用性如上所述，按照本發(fā)明的構成，可以實現(xiàn)本發(fā)明的課題。
也就是說，按照本發(fā)明涉及的有機薄膜，由于是用含有選自酮類、亞烷基二醇類和烷氧基醇類中至少1種的洗滌劑洗滌后形成的有機薄膜，可以具有均一的膜厚，而且可以得到均一排列、整齊的膜結構。
而且，按照本發(fā)明涉及的有機薄膜的制造方法，通過采用含有選自酮類、亞烷基二醇類和烷氧基醇類中至少1種的洗滌劑，可以作為氯類洗滌劑的代用洗滌劑除去未固定分子，制造具有同樣膜厚的有機薄膜。結果，可以有效提供能減小環(huán)境負荷的有機薄膜的制造方法。
另外，按照本發(fā)明涉及的液晶取向膜，膜厚均一，而且具有分子簇均一排列、整齊的膜結構，因此排列狀態(tài)不混亂，可以使液晶分子取向。
而且，按照本發(fā)明涉及的液晶取向膜的制造方法，通過采用含有選自酮類、亞烷基二醇類和烷氧基醇類中至少1種的洗滌劑，不使用氯類洗滌劑，即可除去未固定分子，可以形成具有同樣膜厚的液晶取向膜。而且，對基板的吸附狀態(tài)良好，膜結構不會產生混亂，可以有效制造取向能力優(yōu)良的液晶取向膜，并減小對環(huán)境的負荷。
而且，具有這種液晶取向膜的液晶顯示裝置可以有效忽視液晶的取向缺陷等，顯示質量優(yōu)良。因此，本發(fā)明在工業(yè)上的意義很大。
權利要求
1.有機薄膜，是由基材上結合的分子簇形成的有機薄膜，其特征在于，該有機薄膜通過使具有下述官能團的分子簇與該基材表面接觸使之結合，所述官能團對具有活潑氫的官能團顯示反應活性，之后用含有選自酮類、亞烷基二醇類以及烷氧基醇類中至少1種的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子而得到。
2.如權利要求1所述的有機薄膜，其特征在于所述對具有活潑氫的官能團顯示反應活性的官能團可以是選自下述通式(1)所示官能團中的1種官能團， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
3.如權利要求1所述的有機薄膜，其特征在于，所述洗滌劑不含氯類溶劑。
4.如權利要求1所述的有機薄膜，其特征在于，所述洗滌劑的含水率低于1％。
5.如權利要求2所述的有機薄膜，其特征在于，所述基材表面存在具有活潑氫的官能團。
6.如權利要求5所述的有機薄膜，其特征在于，所述基體材料選自玻璃、金屬、金屬氧化物、樹脂、紙、布、木材以及陶瓷中的任意一種。
7.如權利要求1所述的有機薄膜，其特征在于，所述有機薄膜是在干燥氣體環(huán)境中使所述分子與所述基材表面接觸并使之結合，之后在干燥氣體環(huán)境中用所述洗滌劑除去后得到的單分子膜。
8.有機薄膜，是由基材上結合的分子簇形成的有機薄膜，其特征在于，該有機薄膜通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基材表面接觸使之結合，之后用含有選自丙酮、甲基乙基酮、二乙基酮、甲基異丁基酮、乙酰丙酮中至少1種酮類的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子得到， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
9.有機薄膜，是由基材上結合的分子簇形成的有機薄膜，其特征在于，該有機薄膜通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基材表面接觸使之結合，之后用含有選自乙二醇、丙二醇、丁二醇、乙二醇單乙基醚、一縮二乙二醇單乙基醚、乙二醇單乙基醚醋酸酯、乙二醇單甲基醚、乙二醇單甲基醚醋酸酯和乙二醇單正丁基醚中至少1種亞烷基二醇類的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子得到， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
10.有機薄膜，是由基材上結合的分子簇形成的有機薄膜，其特征在于，該有機薄膜通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基材表面接觸使之結合，之后用含有選自聚乙二醇、聚丙二醇、聚丁二醇、聚乙二醇單乙基醚、聚一縮二乙二醇單乙基醚、聚乙二醇單乙基醚醋酸酯、聚乙二醇單甲基醚、聚乙二醇單甲基醚醋酸酯和聚乙二醇單正丁基醚中至少1種亞烷基二醇類的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子得到， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
11.如權利要求10所述的有機薄膜，所述亞烷基二醇類的分子量在100以上、300以下的范圍內。
12.有機薄膜，是由基材上結合的分子簇形成的有機薄膜，其特征在于，該有機薄膜通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基材表面接觸使之結合，之后用含有選自乙氧基乙醇和甲氧基醇中至少1種烷氧基醇類的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子得到， 和 -AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
13.有機薄膜的制造方法，其特征在于，包括被膜形成步驟，通過使具有下述官能團的分子簇與該基材表面接觸，所述官能團對具有活潑氫的官能團顯示反應活性，使之結合在該基材上，由該分子簇形成被膜；以及除去步驟，用含有選自酮、亞烷基二醇類以及烷氧基醇類中至少一種的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子。
14.如權利要求13所述的有機薄膜的制造方法，其特征在于，所述分子可以具有選自下述通式(1)所示官能團中的1種官能團， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
15.如權利要求13所述的有機薄膜的制造方法，其特征在于，所述洗滌劑不含氯類溶劑。
16.如權利要求13所述的有機薄膜的制造方法，其特征在于，所述洗滌劑的含水率低于1％。
17.如權利要求13所述的有機薄膜的制造方法，其特征在于，在所述除去步驟之后還具有洗滌劑除去步驟，除去附著在所述基材上的所述洗滌劑。
18.如權利要求17所述的有機薄膜的制造方法，其特征在于，所述洗滌劑除去步驟包括用水沖洗附著在所述基材上的所述洗滌劑的沖洗步驟，以及干燥附著在基材上的所述水的干燥步驟。
19.如權利要求14所述的有機薄膜的制造方法，其特征在于，基材表面存在具有活潑氫的官能團。
20.如權利要求14所述的有機薄膜的制造方法，其特征在于，所述基體材料選自玻璃、金屬、金屬氧化物、樹脂、紙、纖維、木材以及陶瓷中的任意一種。
21.如權利要求14所述的有機薄膜的制造方法，其特征在于，所述被膜形成步驟以及除去步驟在干燥氣體環(huán)境中進行。
22.如權利要求21所述的有機被膜的制造方法，其特征在于，使含有選自所述通式(1)所示官能團中1種官能團的分子簇結合到所述基材上，形成單分子膜狀的有機薄膜。
23.有機薄膜的制造方法，其特征在于，包括被膜形成步驟，通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基材表面接觸，使之結合在該基材上，由該分子簇形成被膜；以及除去步驟，用含有選自丙酮、甲基乙基酮、二乙基酮、甲基異丁基酮和乙酰丙酮中至少1種酮類的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
24.有機薄膜的制造方法，其特征在于包括被膜形成步驟，通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基材表面接觸，使之結合在該基材上，由該分子簇形成被膜；以及除去步驟，用含有選自乙二醇、丙二醇、丁二醇、乙二醇單乙基醚、一縮二乙二醇單乙基醚、乙二醇單乙基醚醋酸酯、乙二醇單甲基醚、乙二醇單甲基醚醋酸酯和乙二醇單正丁基醚中至少1種亞烷基二醇類的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
25.有機薄膜的制造方法，其特征在于包括被膜形成步驟，通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基材表面接觸，使之結合在該基材上，由該分子簇形成被膜；以及除去步驟，用含有選自聚乙二醇、聚丙二醇、聚丁二醇、聚乙二醇單乙基醚、聚一縮二乙二醇單乙基醚、聚乙二醇單乙基醚醋酸酯、聚乙二醇單甲基醚、聚乙二醇單甲基醚醋酸酯和聚乙二醇單正丁基醚中至少1種亞烷基二醇類洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
26.如權利要求25所述的有機薄膜的制造方法，所述亞烷基二醇類的分子量在100以上、300以下的范圍內。
27.有機薄膜的制造方法，其特征在于包括被膜形成步驟，通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基材表面接觸，使之結合在該基材上，由該分子簇形成被膜；以及除去步驟，用含有選自乙氧基乙醇和甲氧基醇中至少1種烷氧基醇類的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
28.有機薄膜的制造裝置，其特征在于，包括被膜形成手段，通過使具有下述官能團的分子簇與該基材接觸，所述官能團對具有活潑氫的官能團顯示反應活性，使之結合在該基材上，由該分子簇形成被膜；以及除去手段，用含有選自酮類、亞烷基二醇類以及烷氧基醇類中至少1種的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子。
29.如權利要求28所述的有機薄膜的制造裝置，其特征在于，所述分子可以具有選自下述通式(1)所示官能團中的1種官能團， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
30.如權利要求28所述的有機薄膜的制造裝置，其特征在于，所述有機薄膜的制造裝置中被膜形成手段與除去手段處于同一密閉系統(tǒng)中。
31.如權利要求30所述的有機薄膜的制造裝置，其特征在于，具備外界空氣隔開手段，將所述被膜形成手段與除去手段設置在內部，可以使之處于同一密閉系統(tǒng)，并且可以控制內部的濕度形成干燥氣體環(huán)境。
32.如權利要求28所述的有機薄膜的制造裝置，其特征在于，所述被膜形成手段與除去手段相互分離、獨立地設置。
33.如權利要求28所述的有機薄膜的制造裝置，其特征在于，所述洗滌劑不合氯類溶劑。
34.如權利要求28所述的有機薄膜的制造裝置，其特征在于，所述洗滌劑的含水率低于1％。
35.如權利要求28所述的有機薄膜的制造裝置，其特征在于，還具有洗滌劑除去手段，除去附著在所述基材上的所述洗滌劑。
36.如權利要求35所述的有機薄膜的制造裝置，其特征在于，所述洗滌劑除去手段包括用水沖洗附著在所述基材上的所述洗滌劑的沖洗手段，以及干燥附著在基材上的所述水的干燥手段。
37.有機薄膜的制造裝置，其特征在于，包括被膜形成手段，通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基材表面接觸，使之結合在該基材上，由該分子簇形成被膜；以及除去手段，用含有選自丙酮、甲基乙基酮、二乙基酮、甲基異丁基酮和乙酰丙酮中至少1種酮類的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
38.有機薄膜的制造方法，其特征在于包括被膜形成手段，通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基材表面接觸，使之結合在該基材上，由該分子簇形成被膜；以及除去手段，用含有選自乙二醇、丙二醇、丁二醇、乙二醇單乙基醚、一縮二乙二醇單乙基醚、乙二醇單乙基醚醋酸酯、乙二醇單甲基醚、乙二醇單甲基醚醋酸酯、乙二醇單正丁基醚、聚乙二醇、聚丙二醇、聚丁二醇、聚乙二醇單乙基醚、聚一縮二乙二醇單乙基醚、聚乙二醇單乙基醚醋酸酯、聚乙二醇單甲基醚、聚乙二醇單甲基醚醋酸酯和聚乙二醇單正丁基醚中至少1種亞烷基二醇類的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
39.有機薄膜的制造裝置，其特征在于包括被膜形成手段，通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基材表面接觸，使之結合在該基材上，由該分子簇形成被膜；以及除去手段，用含有選自乙氧基乙醇和甲氧基醇中至少1種烷氧基醇類的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子， 和 -AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
40.由基板上結合的分子簇構成的、使液晶分子沿特定方向排列的液晶取向膜，其特征在于，所述液晶取向膜通過使具有下述官能團的分子簇與該基板表面接觸使之結合，所述官能團對具有活潑氫的官能團顯示反應活性，之后用含有選自酮類、亞烷基二醇類以及烷氧基醇類中至少1種的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子。
41.如權利要求40所述的液晶取向膜，其特征在于，所述對具有活潑氫的官能團顯示反應活性的官能團可以是選自下述通式(1)所示官能團中的1種官能團， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
42.如權利要求40所述的液晶取向膜，其特征在于，所述洗滌劑不含氯類溶劑。
43.如權利要求40所述的液晶取向膜，其特征在于，所述洗滌劑的含水率低于1％。
44.如權利要求41所述的液晶取向膜，其特征在于，所述基板表面存在具有活潑氫的官能團。
45.如權利要求40所述的液晶取向膜，其特征在于，所述液晶取向膜是在干燥氣體環(huán)境中使所述分子與所述基板表面接觸并使之結合，之后在干燥氣體環(huán)境中用所述洗滌劑除去后得到的單分子膜。
46.由基板上結合的分子簇構成的、使液晶分子沿特定方向排列的液晶取向膜有機薄膜，其特征在于，所述液晶取向膜通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸使之結合，之后用含有選自丙酮、甲基乙基酮、二乙基酮、甲基異丁基酮、乙酰丙酮中至少1種酮類的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子得到， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
47.由基板上結合的分子簇構成的、使液晶分子沿特定方向排列的液晶取向膜，其特征在于，所述液晶取向膜通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸使之結合，之后用含有選自乙二醇、丙二醇、丁二醇、乙二醇單乙基醚、一縮二乙二醇單乙基醚、乙二醇單乙基醚醋酸酯、乙二醇單甲基醚、乙二醇單甲基醚醋酸酯和乙二醇單正丁基醚中至少1種亞烷基二醇類的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子得到， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
48.由基板上結合的分子簇構成的、使液晶分子沿特定方向排列的液晶取向膜，其特征在于，所述液晶取向膜通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸使之結合，之后用含有選自聚乙二醇、聚丙二醇、聚丁二醇、聚乙二醇單乙基醚、聚一縮二乙二醇單乙基醚、聚乙二醇單乙基醚醋酸酯、聚乙二醇單甲基醚、聚乙二醇單甲基醚醋酸酯和聚乙二醇單正丁基醚中至少1種亞烷基二醇類的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子得到， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
49.如權利要求48所述的液晶取向膜，所述亞烷基二醇類的分子量在100以上、300以下的范圍內。
50.由基板上結合的分子簇構成的、使液晶分子沿特定方向排列的液晶取向膜，其特征在于，所述液晶取向膜通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸使之結合，之后用含有選自乙氧基乙醇和甲氧基醇中至少1種烷氧基醇類的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子得到， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
51.由基板上結合的分子簇構成并使液晶分子沿特定方向排列的液晶取向膜的制造方法，其特征在于，包括被膜形成步驟，通過使具有下述官能團的分子簇與該基板表面接觸，所述官能團對具有活潑氫的官能團顯示反應活性，使之結合在該基板上，由該分子簇形成被膜；以及除去步驟，用含有選自酮類、亞烷基二醇類以及烷氧基醇類中至少1種的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子。
52.如權利要求51所述的液晶取向膜的制造方法，其特征在于，所述分子可以具有選自下述通式(1)所示官能團中的1種官能團， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
53.如權利要求51所述的液晶取向膜的制造方法，其特征在于，所述洗滌劑不含氯類溶劑。
54.如權利要求51所述的液晶取向膜的制造方法，其特征在于，所述洗滌劑的含水率低于1％。
55.如權利要求51所述的液晶取向膜的制造方法，其特征在于，在所述除去步驟之后還具有洗滌劑除去步驟，除去附著在所述基板上的所述洗滌劑。
56.如權利要求55所述的液晶取向膜的制造方法，其特征在于，所述洗滌劑除去步驟包括用水沖洗附著在所述基板上的所述洗滌劑的沖洗步驟，以及干燥附著在基板上的所述水的干燥步驟。
57.如權利要求52所述的液晶取向膜的制造方法，其特征在于，所述基板表面存在具有活潑氫的官能團。
58.如權利要求52所述的液晶取向膜的制造方法，其特征在于，所述被膜形成步驟以及除去步驟在干燥氣體環(huán)境中進行。
59.如權利要求59所述的液晶取向膜的制造方法，其特征在于，使含有選自所述通式(1)所示官能團中1種官能團的分子簇結合到所述基板上，形成單分子膜狀的液晶取向膜。
60.由基板上結合的分子簇構成并能使液晶分子沿特定方向排列的液晶取向膜的制造方法，其特征在于，包括被膜形成步驟，通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸，使之結合在該基板上，由該分子簇形成被膜；以及除去步驟，用含有選自丙酮、甲基乙基酮、二乙基酮、甲基異丁基酮和乙酰丙酮中至少1種酮類的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
61.由基板上結合的分子簇構成并能使液晶分子沿特定方向排列的液晶取向膜的制造方法，其特征在于包括被膜形成步驟，通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸，使之結合在該基板上，由該分子簇形成被膜；以及除去步驟，用含有選自乙二醇、丙二醇、丁二醇、乙二醇單乙基醚、一縮二乙二醇單乙基醚、乙二醇單乙基醚醋酸酯、乙二醇單甲基醚、乙二醇單甲基醚醋酸酯和乙二醇單正丁基醚中至少1種亞烷基二醇類的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
62.由基板上結合的分子簇構成并能使液晶分子沿特定方向排列的液晶取向膜的制造方法，其特征在于包括被膜形成步驟，通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸，使之結合在該基板上，由該分子簇形成被膜；以及除去步驟，用含有選自聚乙二醇、聚丙二醇、聚丁二醇、聚乙二醇單乙基醚、聚一縮二乙二醇單乙基醚、聚乙二醇單乙基醚醋酸酯、聚乙二醇單甲基醚、聚乙二醇單甲基醚醋酸酯和聚乙二醇單正丁基醚中至少1種亞烷基二醇類洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
63.如權利要求62所述的液晶取向膜的制造方法，所述亞烷基二醇類的分子量在100以上、300以下的范圍內。
64.由基板上結合的分子簇構成并能使液晶分子沿特定方向排列的液晶取向膜的制造方法，其特征在于包括被膜形成步驟，通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸，使之結合在該基板上，由該分子簇形成被膜；以及除去步驟，用含有選自乙氧基乙醇和甲氧基醇中至少1種烷氧基醇類的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
65.液晶取向膜的制造裝置，其特征在于，包括被膜形成手段，通過使具有下述官能團的分子簇與該基板接觸，所述官能團對具有活潑氫的官能團顯示反應活性，使之結合在該基板上，由該分子簇形成被膜；以及除去手段，用含有選自酮類、亞烷基二醇類以及烷氧基醇類中至少1種的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子。
66.如權利要求65所述的液晶取向膜的制造裝置，其特征在于，所述分子可以具有選自下述通式(1)所示官能團中的1種官能團， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
67.如權利要求65所述的液晶取向膜的制造裝置，其特征在于，所述液晶取向膜的制造裝置中被膜形成手段與除去手段處于同一密閉系統(tǒng)中。
68.如權利要求67所述的液晶取向膜的制造裝置，其特征在于，具備外界空氣隔開手段，將所述被膜形成手段與除去手段設置在內部，可以使之處于同一密閉系統(tǒng)，并且可以控制內部的濕度形成干燥氣體環(huán)境。
69.如權利要求65所述的液晶取向膜的制造裝置，其特征在于，所述被膜形成手段與除去手段相互分離、獨立地設置。
70.如權利要求65所述的液晶取向膜的制造裝置，其特征在于，所述洗滌劑不含氯類溶劑。
71.如權利要求65所述的液晶取向膜的制造裝置，其特征在于，所述洗滌劑的含水率低于1％。
72.如權利要求65所述的液晶取向膜的制造裝置，其特征在于，還具有洗滌劑除去手段，除去附著在所述基板上的所述洗滌劑。
73.如權利要求72所述的液晶取向膜的制造裝置，其特征在于，所述洗滌劑除去手段包括用水沖洗附著在所述基板上的所述洗滌劑的沖洗手段，以及干燥附著在基板上的所述水的干燥手段。
74.液晶取向膜的制造裝置，其特征在于，包括被膜形成手段，通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸，使之結合在該基板上，由該分子簇形成被膜；以及除去手段，用含有選自丙酮、甲基乙基酮、二乙基酮、甲基異丁基酮和乙酰丙酮中至少1種酮類的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
75.液晶取向膜的制造裝置，其特征在于包括被膜形成手段，通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸，使之結合在該基板上，由該分子簇形成被膜；以及除去手段，用含有選自乙二醇、丙二醇、丁二醇、乙二醇單乙基醚、一縮二乙二醇單乙基醚、乙二醇單乙基醚醋酸酯、乙二醇單甲基醚、乙二醇單甲基醚醋酸酯、乙二醇單正丁基醚、聚乙二醇、聚丙二醇、聚丁二醇、聚乙二醇單乙基醚、聚一縮二乙二醇單乙基醚、聚乙二醇單乙基醚醋酸酯、聚乙二醇單甲基醚、聚乙二醇單甲基醚醋酸酯和聚乙二醇單正丁基醚中至少1種亞烷基二醇類的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
76.液晶取向膜的制造裝置，其特征在于包括被膜形成手段，通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸，使之結合在該基板上，由該分子簇形成被膜；
以及除去手段，用含有選自乙氧基乙醇和甲氧基醇中至少1種烷氧基醇類的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
77.基板上具有使液晶分子沿規(guī)定方向取向的液晶取向膜的液晶顯示裝置，其特征在于，所述液晶取向膜是使具有下述官能團的分子簇結合到所述基板上形成的薄膜，所述官能團對具有活潑氫的官能團顯示反應活性，而且是使所述分子構成的簇與所述基板接觸并結合之后，用含有選自酮、亞烷基二醇類以及烷氧基醇類中至少一種的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子得到的。
78.如權利要求77所述的液晶顯示裝置，其特征在于，所述對具有活潑氫的官能團顯示反應活性的官能團可以是選自下述通式(1)所示官能團中的1種官能團， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
79.如權利要求77所述的液晶顯示裝置，其特征在于，所述洗滌劑不含氯類溶劑。
80.如權利要求77所述的液晶顯示裝置，其特征在于，所述洗滌劑的含水率低于1％。
81.如權利要求78所述的液晶取向膜，其特征在于，所述基板表面存在具有活潑氫的官能團。
82.如權利要求77所述的液晶取向膜，其特征在于，所述液晶取向膜是在干燥氣體環(huán)境中使所述分子與所述基板表面接觸并使之結合，之后在干燥氣體環(huán)境中用所述洗滌劑除去后得到的單分子膜。
83.基板上具有使液晶分子沿規(guī)定方向取向的液晶取向膜的液晶顯示裝置，其特征在于，所述液晶取向膜通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸使之結合，之后用含有選自丙酮、甲基乙基酮、二乙基酮、甲基異丁基酮、乙酰丙酮中至少1種酮類的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子得到， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
84.基板上具有使液晶分子沿規(guī)定方向取向的液晶取向膜的液晶顯示裝置，其特征在于，所述液晶取向膜通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸使之結合，之后用含有選自乙二醇、丙二醇、丁二醇、乙二醇單乙基醚、一縮二乙二醇單乙基醚、乙二醇單乙基醚醋酸酯、乙二醇單甲基醚、乙二醇單甲基醚醋酸酯和乙二醇單正丁基醚中至少1種亞烷基二醇類的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子得到， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
85.基板上具有使液晶分子沿規(guī)定方向取向的液晶取向膜的液晶顯示裝置，其特征在于，所述液晶取向膜通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸使之結合，之后用含有選自聚乙二醇、聚丙二醇、聚丁二醇、聚乙二醇單乙基醚、聚一縮二乙二醇單乙基醚、聚乙二醇單乙基醚醋酸酯、聚乙二醇單甲基醚、聚乙二醇單甲基醚醋酸酯和聚乙二醇單正丁基醚中至少1種亞烷基二醇類的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子得到， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
86.如權利要求85所述的液晶取向膜，所述亞烷基二醇類的分子量在100以上、300以下的范圍內。
87.基板上具有使液晶分子沿規(guī)定方向取向的液晶取向膜的液晶顯示裝置，其特征在于，所述液晶取向膜通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸使之結合，之后用含有選自乙氧基乙醇和甲氧基醇中至少1種烷氧基醇類的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子得到， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
88.液晶顯示裝置的制造方法，該液晶顯示裝置具有由基板上結合的分子簇構成并能使液晶分子沿特定方向排列的液晶取向膜，其特征在于，包括被膜形成步驟，通過使具有下述官能團的分子簇與該基板表面接觸，所述官能團對具有活潑氫的官能團顯示反應活性，使之結合在該基板上，由該分子簇形成被膜；以及除去步驟，用含有選自酮類、亞烷基二醇類以及烷氧基醇類中至少1種的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子。
89.如權利要求88所述的液晶顯示裝置的制造方法，其特征在于，所述分子可以具有選自下述通式(1)所示官能團中的1種官能團， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
90.如權利要求88所述的液晶顯示裝置的制造方法，其特征在于，所述洗滌劑不含氯類溶劑。
91.如權利要求88所述的液晶顯示裝置的制造方法，其特征在于，所述洗滌劑的含水率低于1％。
92.如權利要求88所述的液晶顯示裝置的制造方法，其特征在于，在所述除去步驟之后還具有洗滌劑除去步驟，除去附著在所述基板上的所述洗滌劑。
93.如權利要求92所述的液晶顯示裝置的制造方法，其特征在于，所述洗滌劑除去步驟包括用水沖洗附著在所述基板上的所述洗滌劑的沖洗步驟，以及干燥附著在基板上的所述水的干燥步驟。
94.如權利要求89所述的液晶顯示裝置的制造方法，其特征在于，所述基板表面存在具有活潑氫的官能團。
95.如權利要求89所述的液晶顯示裝置的制造方法，其特征在于，所述被膜形成步驟以及除去步驟在干燥氣體環(huán)境中進行。
96.如權利要求95所述的液晶顯示裝置的制造方法，其特征在于，使含有選自所述通式(1)所示官能團中1種官能團的分子簇結合到所述基板上，形成單分子膜狀的液晶取向膜。
97.液晶顯示裝置的制造方法，該液晶顯示裝置具有由基板上結合的分子簇構成并能使液晶分子沿特定方向排列的液晶取向膜，其特征在于，包括被膜形成步驟，通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸，使之結合在該基板上，由該分子簇形成被膜；以及除去步驟，用含有選自丙酮、甲基乙基酮、二乙基酮、甲基異丁基酮和乙酰丙酮中至少1種酮類的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
98.液晶顯示裝置的制造方法，該液晶顯示裝置具有由基板上結合的分子簇構成并能使液晶分子沿特定方向排列的液晶取向膜，其特征在于包括被膜形成步驟，通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸，使之結合在該基板上，由該分子簇形成被膜；以及除去步驟，用含有選自乙二醇、丙二醇、丁二醇、乙二醇單乙基醚、一縮二乙二醇單乙基醚、乙二醇單乙基醚醋酸酯、乙二醇單甲基醚、乙二醇單甲基醚醋酸酯和乙二醇單正丁基醚中至少1種亞烷基二醇類的洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
99.液晶顯示裝置的制造方法，該液晶顯示裝置具有由基板上結合的分子簇構成并能使液晶分子沿特定方向排列的液晶取向膜，其特征在于包括被膜形成步驟，通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸，使之結合在該基板上，由該分子簇形成被膜；以及除去步驟，用含有選自聚乙二醇、聚丙二醇、聚丁二醇、聚乙二醇單乙基醚、聚一縮二乙二醇單乙基醚、聚乙二醇單乙基醚醋酸酯、聚乙二醇單甲基醚、聚乙二醇單甲基醚醋酸酯和聚乙二醇單正丁基醚中至少1種亞烷基二醇類洗滌劑除去未結合在所述基板上的所述分子， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
100.如權利要求99所述的液晶取向膜的制造方法，所述亞烷基二醇類的分子量在100以上、300以下的范圍內。
101.液晶顯示裝置的制造方法，該液晶顯示裝置具有由基板上結合的分子簇構成并能使液晶分子沿特定方向排列的液晶取向膜，其特征在于包括被膜形成步驟，通過使具有選自下述通式(1)所示官能團中一種官能團的分子簇與基板表面接觸，使之結合在該基板上，由該分子簇形成被膜；以及除去步驟，用含有選自乙氧基乙醇和甲氧基醇中至少1種烷氧基醇類的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子， 和-AX3…(1)式中，A表示選自硅、鍺、錫、鈦和鋯中的1種，X表示選自鹵素、烷氧基以及異氰酸酯基中的1種官能團。
全文摘要
有機薄膜的制造方法,其特征在于,包括被膜形成步驟和除去步驟,所述被膜形成步驟是通過使具有下述官能團的分子簇與該基材表面接觸,所述官能團對具有活潑氫的官能團顯示反應活性,使之結合在該基材上,由該分子簇形成被膜;所述除去步驟是用含有選自酮、亞烷基二醇類以及烷氧基醇類中至少一種的洗滌劑除去未結合在所述基材上的所述分子。這樣,可以不使用氯類有機溶劑,形成膜厚均一的有機薄膜,提供能減小環(huán)境負荷的有機薄膜的制造工藝。因此,本發(fā)明在工業(yè)上意義很大。
文檔編號G02F1/1337GK1293614SQ00800106
公開日2001年5月2日 申請日期2000年2月10日 優(yōu)先權日1999年2月10日
發(fā)明者大竹忠, 小川一文, 野村幸生, 武部尚子 申請人:松下電器產業(yè)株式會社