橡皮布制造設(shè)備和橡皮布制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[000?]本說(shuō)明書涉及一種用于制造橡皮布(blanket)的設(shè)備、用于制造橡皮布的方法、使用其制造的橡皮布、設(shè)置有所述橡皮布的反向平版印刷棍(reverse offset printingro 11)以及包括所述反向平版印刷棍的反向平版印刷設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]諸如液晶顯示器件和半導(dǎo)體器件的電子器件一般通過(guò)在基板上形成多層圖案來(lái)制造。目前通常使用光刻法工藝來(lái)形成這些圖案。然而，光刻法工藝的問(wèn)題在于，由于需要制備規(guī)定的圖案掩模并且需要重復(fù)化學(xué)蝕刻和汽提過(guò)程，制造過(guò)程很復(fù)雜，并且產(chǎn)生大量對(duì)環(huán)境有害的化學(xué)廢棄物。這很快導(dǎo)致制造成本增加并且降低產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力。作為克服這種光刻法工藝的缺點(diǎn)的新的圖案形成方法，已經(jīng)提出了使用印刷輥的輥印法(roll printingmethod)。
[0003]輥印法可以包括多種方法，但是可以主要分為凹版印刷法和反向平版印刷法。
[0004]凹版印刷是這樣一種印刷方法:使用設(shè)置有帶圖案的橡皮布的傳遞輥(transferroll)將油墨涂布在橡皮布上，然后在刮去(scraping off)過(guò)量的油墨之后執(zhí)行印刷，并且眾所周知這種方法適用于各領(lǐng)域的印刷，例如，出版(publishing)、包裝(packing)、玻璃紙(cellophane)、乙稀樹脂(vinyl)和聚乙稀(polyethylene)。已經(jīng)進(jìn)行了將凹版印刷用于制造顯示器件中使用的有源器件或電路圖案的研究。凹版印刷通過(guò)使用傳遞輥將油墨傳遞到基板上，因此，通過(guò)使用與顯示器件的目標(biāo)區(qū)對(duì)應(yīng)的傳遞輥，甚至在大面積顯示器件中用一次傳遞就可以形成圖案。這種凹版印刷可以不僅在基板上形成油墨圖案(用于抗蝕劑)，而且用于圖案化顯示器件的各種圖案，例如，在液晶顯示器件中，TFT及與TFT連接的柵極線和數(shù)據(jù)線、像素電極，以及用于電容器的金屬圖案。
[0005]然而，在凹版印刷中常用的橡皮布通過(guò)在硬母模(hard master mold)中饒鑄基于娃的樹脂(si 1 icone-based resiη)來(lái)制備，并且按照上述方法制備的橡皮布不僅對(duì)制成具有均勻的厚度存在限制，而且在中試規(guī)模的大量生產(chǎn)中存在困難。因此，通常采用反向平版印刷法以便形成精確的微圖案。
[0006]反向平版印刷法由于降低成本并且提高生產(chǎn)率而在圖案形成中備受青睞，然而，需要高質(zhì)量橡皮布以便獲得精確的圖案。換句話講，由于圖案的質(zhì)量受到橡皮布的性能的影響，所以制造用于印刷的高質(zhì)量橡皮布是非常重要的技術(shù)挑戰(zhàn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]技術(shù)問(wèn)題
[0008]本說(shuō)明書的目的是提供一種用于制造橡皮布的設(shè)備、用于制造橡皮布的方法、使用其制造的橡皮布、設(shè)置有所述橡皮布的反向平版印刷輥以及包括所述反向平版印刷輥的反向平版印刷設(shè)備。
[0009]技術(shù)方案
[0010]本說(shuō)明書提供了一種用于制造橡皮布的設(shè)備，所述設(shè)備包括:面板(surfaceplate)，襯底膜(substrate film)供應(yīng)到所述面板上;涂布單元，所述涂布單元將橡皮布組成物(blanket composit1n)涂布在所述襯底膜上；以及逗號(hào)刮刀(comma blade)，所述逗號(hào)刮刀在涂布有所述橡皮布組成物的面板上水平移動(dòng)，其中，所述逗號(hào)刮刀的全部表面的與所述橡皮布組成物接觸的表面是斜面。
[0011 ]此外，本說(shuō)明書提供了一種用于制造橡皮布的方法，所述方法包括:1)將襯底膜供應(yīng)到面板上；2)在所述襯底膜上涂布橡皮布組成物;3)通過(guò)使逗號(hào)刮刀在涂布有所述橡皮布組成物的面板上水平移動(dòng)來(lái)調(diào)整所涂布的橡皮布組成物的厚度；以及，4)通過(guò)使所述橡皮布組成物在室溫下干燥或固化來(lái)制造橡皮布，其中，所述逗號(hào)刮刀的全部表面的與所述橡皮布組成物接觸的表面是斜面。
[0012]此外，本說(shuō)明書提供了根據(jù)所述用于制造橡皮布的方法制造的且具有20μπι或20μπι以下的厚度變化(thickness variat1n)的橡皮布。
[0013]此外，本說(shuō)明書提供了設(shè)置有所述橡皮布的反向平版印刷輥。
[0014]此外，本說(shuō)明書提供了一種包括所述反向平版印刷輥的反向平版印刷設(shè)備。
[0015]有益效果
[0016]根據(jù)本說(shuō)明書的一個(gè)實(shí)施例制造的橡皮布具有小厚度變化的優(yōu)點(diǎn)。
[0017]通過(guò)使用根據(jù)本說(shuō)明書的一個(gè)實(shí)施例的用于制造橡皮布的設(shè)備可以制造具有均勻厚度的大面積橡皮布。
【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1是根據(jù)本說(shuō)明書的設(shè)置有具有孔結(jié)構(gòu)和線結(jié)構(gòu)的真空抽吸單元(vacuumsuct1nunit)的面板的前視圖。
[0019]圖2是根據(jù)本說(shuō)明書的設(shè)置有具有孔結(jié)構(gòu)的真空抽吸單元的面板的側(cè)剖視圖。
[0020]圖3是根據(jù)本說(shuō)明書的設(shè)置有具有線結(jié)構(gòu)的真空抽吸單元的面板的側(cè)剖視圖。
[0021 ]圖4是根據(jù)本說(shuō)明書的涂布單元的剖視圖。
[0022]圖5是根據(jù)本說(shuō)明書的一個(gè)實(shí)施例的逗號(hào)刮刀的剖視圖。
[0023]圖6是根據(jù)本說(shuō)明書的一個(gè)實(shí)施例的用于制造橡皮布的設(shè)備的示意圖。
[0024]圖7是測(cè)量根據(jù)本說(shuō)明書的一個(gè)實(shí)施例制造的橡皮布的厚度均勻性的視圖。
[0025]〈附圖標(biāo)號(hào)〉
[0026]100:逗號(hào)刮刀
[0027]110:與橡皮布組成物接觸的邊緣、端部
[0028]130:與橡皮布組成物接觸的表面
【具體實(shí)施方式】
[0029]以下將詳細(xì)描述本說(shuō)明書。
[0030]本說(shuō)明書提供了一種用于制造橡皮布的設(shè)備，所述設(shè)備包括:面板，襯底膜供應(yīng)到所述面板上；涂布單元，所述涂布單元將橡皮布組成物涂布在所述襯底膜上；以及逗號(hào)刮刀，所述逗號(hào)刮刀在涂布有所述橡皮布組成物的面板上水平移動(dòng)。
[0031]在本說(shuō)明書中，襯底膜不特別地受限于材料和厚度，只要襯底膜能被供應(yīng)到面板并且被涂布橡皮布組成物。
[0032]在本說(shuō)明書中，襯底膜的厚度可以大于或等于ΙΟΟμπι并且小于或等于350μπι。在這種情況下，具有以下優(yōu)點(diǎn)，在傳遞和緊致過(guò)程(transferring and tightening processes)期間不發(fā)生變形，并且襯底膜的物理性質(zhì)(例如，厚度均勻性)是良好的。
[0033]在本說(shuō)明書中，襯底膜可以是塑料膜(plasticfilm)。
[0034]在本說(shuō)明書的一個(gè)實(shí)施例中，用于制造橡皮布的設(shè)備可以進(jìn)一步包括:襯底膜供應(yīng)單元;以及，襯底膜收集單元。
[0035]襯底膜供應(yīng)單元和襯底膜收集單元可以以間歇而連續(xù)的方式提供襯底膜。在本文中，間歇而連續(xù)的方式指的是通過(guò)重復(fù)以下過(guò)程來(lái)供應(yīng)襯底膜:以恒定的時(shí)間間隔停止供應(yīng)襯底膜，并且然后連續(xù)供應(yīng)襯底膜。例如，在將襯底膜供應(yīng)到襯底膜上涂布橡皮布組成物的區(qū)域時(shí)連續(xù)供應(yīng)襯底膜，并且可以在涂布及干燥或固化橡皮布組成物的時(shí)刻停止供應(yīng)襯底膜以便精確涂布。
[0036]襯底膜供應(yīng)單元和襯底膜收集單元不特別地受限于結(jié)構(gòu)、材料、形式等，只要它們能夠供應(yīng)并收集襯底膜，并且可以采用本領(lǐng)域中常用的襯底膜供應(yīng)單元和襯底膜收集單
J L.ο
[0037]在本說(shuō)明書中，面板指的是具有精確且平滑地精加工(finished)的平表面的塊體或桌子。
[0038]在本說(shuō)明書的一個(gè)實(shí)施例中，面板不受特別地限制，只要面板具有平滑的平表面，使得可以執(zhí)行精確加工，然而，面板的厚度變化可以是20μπι或20μπι以下。具體地講，面板的厚度變化可以是15μπι或15μπι以下。在這種情況下，具有以下優(yōu)點(diǎn)，降低了形成在面板上的橡皮布的厚度變化。此外，由于面板的厚度變化變小，所以橡皮布的厚度變化變小，并且因此，當(dāng)橡皮布用于反向平版印刷輥時(shí)，可以減小局部印刷壓差。
[0039]在本說(shuō)明書中，厚度變化的意思是最大值與最小值之差。
[0040]在本說(shuō)明書的一個(gè)實(shí)施例中，面板的材料不受特別地限制，然而，其實(shí)例可以包含花崗巖、人造花崗巖、金剛石樹脂、陶瓷、金屬和玻璃中的任意一種或多種。
[0041]在本說(shuō)明書的一個(gè)實(shí)施例中，面板可以是包含花崗巖、人造花崗巖等中的任意一種或多種的花崗巖面板。
[0042]在本說(shuō)明書的一個(gè)實(shí)施例中，襯底膜粘附構(gòu)件可以設(shè)置在面板上。
[0043]所述襯底膜粘附構(gòu)件可以包括真空抽吸單元，所述真空抽吸單元具有形成在所述面板的表面上的孔結(jié)構(gòu)(hole structure)、槽結(jié)構(gòu)(groove structure)和線結(jié)構(gòu)(linestructure)中的任何一種或多種。
[0044]在本說(shuō)明書的一個(gè)實(shí)施例中，如圖1所示，可以設(shè)置具有孔結(jié)構(gòu)和線結(jié)構(gòu)的真空抽吸單元。具體地，真空抽吸單元可以具有在網(wǎng)格形成的交叉點(diǎn)處的孔結(jié)構(gòu)