專利名稱：絲網(wǎng)印刷遮罩清潔單元、絲網(wǎng)印刷機(jī)和絲網(wǎng)印刷遮罩清潔方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及擦去粘連到絲網(wǎng)印刷遮罩的底面的膏(paste)的絲網(wǎng)印刷遮罩清潔單元、絲網(wǎng)印刷機(jī)和絲網(wǎng)印刷遮罩清潔方法。
背景技術(shù)：
對(duì)于當(dāng)膏，例如焊接膏，印刷在基板的電極上時(shí)保持與基板接觸時(shí)使用的絲網(wǎng)印刷遮罩(在此及后簡(jiǎn)稱“遮罩”)，有必要擦去粘連到遮罩的作為遮罩的分離的產(chǎn)生物的膏， 從而為下一次絲網(wǎng)印刷操作做準(zhǔn)備。用于擦去粘附到這樣的遮罩的膏的清潔單元配置為以使得通過(guò)使得紙張構(gòu)件的預(yù)定區(qū)域(擦拭區(qū)域)抵靠著遮罩的底面進(jìn)行擦拭而擦去粘連到遮罩的膏(例如參見(jiàn)專利文獻(xiàn)1)。偶然地，對(duì)于基板，至今已知一種所謂的腔基板，包括設(shè)置在形成在基板的上表面上的各下凹開(kāi)口(腔)的底面上的電極以及設(shè)置在基板的上表面(平的區(qū)域)上的電極。 因?yàn)榍换寰哂性O(shè)置在各腔中的腔電極和設(shè)置在平的區(qū)域上的平的電極，與腔基板符合遮罩形式的遮罩具有符合腔電極形式的圖案孔和符合平的電極的形式的圖案孔。在這種情況中，遮罩具有多個(gè)凸出部分，所述凸出部分向下突起并且將配合到各腔中。符合腔電極形式的圖案孔形成在各凸出部分的底面中。符合腔基板形式的遮罩可以實(shí)現(xiàn)為這樣的幾何形式用于具有圖案孔的腔的遮罩區(qū)域?qū)?yīng)腔電極并形成在多個(gè)凸出部分的各自的底面中，并且用于平的區(qū)域的遮罩區(qū)域?qū)?yīng)具有圖案孔的平的電極并形成在平的區(qū)域中，這兩個(gè)遮罩區(qū)域作為相互不同的區(qū)域存在。因此，當(dāng)進(jìn)行清潔這樣的遮罩時(shí)，你所需要做的全部是執(zhí)行通過(guò)抵靠著用于腔的遮罩區(qū)域中的各凸出部分的底面連續(xù)擦拭紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)而執(zhí)行的清潔，以及通過(guò)抵靠著用于平的區(qū)的遮罩區(qū)域的底面擦拭紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)而執(zhí)行的清潔。遮罩的清潔可以容易地執(zhí)行。相關(guān)技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 JP-A-2004-66832

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的問(wèn)題但是，如上述，在其中紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)抵靠著各凸出部分的底面被連續(xù)擦拭的情形下，當(dāng)在已經(jīng)完成凸出部分的清潔后遠(yuǎn)離一個(gè)凸出部分移動(dòng)的紙張構(gòu)件接觸另一凸出部分時(shí)，從先前的凸出部分擦出的膏有時(shí)通過(guò)擦拭動(dòng)作裝置粘連到隨后的凸出部分。如果從先前的凸出部分擦出的膏通過(guò)擦拭動(dòng)作裝置粘連到隨后的凸出部分，如此粘連的膏同樣必須通過(guò)清潔隨后的凸出部分的操作而被擦去。這存在清潔效率通常由于該原因而變低的問(wèn)題。
相應(yīng)地，本發(fā)明致力于提供一種絲網(wǎng)印刷遮罩清潔單元，其能夠從符合腔基板形式的絲網(wǎng)印刷遮罩有效率地擦去膏，還提供絲網(wǎng)印刷機(jī)和絲網(wǎng)印刷遮罩清潔方法。用于解決問(wèn)題的手段一種用于本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷遮罩的清潔單元是絲網(wǎng)印刷遮罩清潔單元，其擦去粘連到絲網(wǎng)印刷遮罩的底面的膏，所述絲網(wǎng)印刷遮罩具有平板狀的第一遮罩區(qū)域和第二遮罩區(qū)域，該第二遮罩區(qū)域設(shè)置為不同于所述第一遮罩區(qū)域并具有多個(gè)向下突起的凸出部分， 所述清潔單元包括紙張構(gòu)件，其具有抵靠著所述絲網(wǎng)印刷遮罩的底面被擦拭的擦拭區(qū)；紙張構(gòu)件擦拭裝置，其抵靠著所述第一遮罩區(qū)域的底面擦拭所述紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)，從而擦去粘連到所述第一遮罩區(qū)域的底面的膏，并抵靠著所述第二遮罩區(qū)域中的各凸出部分的底面連續(xù)擦拭所述紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)，從而擦去粘連到各凸出部分的底面的膏； 禾口擦拭區(qū)更新裝置，其在從當(dāng)所述紙張構(gòu)件的所述擦拭區(qū)從一個(gè)凸出部分分開(kāi)時(shí)直到當(dāng)所述擦拭區(qū)接觸另一凸出部分時(shí)的期間拾取所述紙張構(gòu)件，從而更新所述紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)。本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷機(jī)是用于絲網(wǎng)印刷設(shè)置在基板的上表面上的多個(gè)第一電極和設(shè)置在形成于所述基板的上表面的一部分中的多個(gè)孔的各底面上的多個(gè)第二電極的絲網(wǎng)印刷機(jī)，所述絲網(wǎng)印刷機(jī)包括絲網(wǎng)印刷遮罩，其具有平板狀的第一遮罩區(qū)域，其在當(dāng)保持接觸所述基板的上表面時(shí)使用并具有對(duì)應(yīng)所述第一電極形成的第一圖案孔，和第二遮罩區(qū)域，其設(shè)置為不同于所述第一遮罩區(qū)域的區(qū)域并具有對(duì)應(yīng)所述多個(gè)第二電極形成在多個(gè)各向下突起的凸出部分中的第二圖案孔，所述凸出部分將配合到所述基板的對(duì)應(yīng)孔中；印刷執(zhí)行裝置，其饋送膏到所述第二遮罩區(qū)域中，同時(shí)形成在所述絲網(wǎng)印刷遮罩的所述第二遮罩區(qū)域中的第二圖案孔和所述基板的所述第二電極保持彼此對(duì)齊，隨后相對(duì)遠(yuǎn)離所述基板分離所述絲網(wǎng)印刷遮罩，從而印刷膏到所述第二電極上，饋送膏到所述第一遮罩區(qū)域中，同時(shí)形成在所述絲網(wǎng)印刷遮罩的第一遮罩區(qū)域中的第一圖案孔和所述基板的所述第一電極保持彼此對(duì)齊，隨后相對(duì)遠(yuǎn)離所述基板分離所述絲網(wǎng)印刷遮罩，從而印刷膏到所述第一電極；和絲網(wǎng)印刷遮罩清潔單元，其擦去粘連到所述絲網(wǎng)印刷遮罩的底面的膏，其中所述絲網(wǎng)印刷遮罩清潔單元包括紙張構(gòu)件，其具有抵靠著所述絲網(wǎng)印刷遮罩的底面被擦拭的擦拭區(qū)；紙張構(gòu)件擦拭裝置，其抵靠著所述第一遮罩區(qū)域的底面擦拭所述紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)，從而擦去粘連到所述第一遮罩區(qū)域的底面的膏，并抵靠著所述第二遮罩區(qū)域中的各凸出部分的底面連續(xù)擦拭所述紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)，從而擦去粘連到各凸出部分的底面的膏； 禾口擦拭區(qū)更新裝置，其在從當(dāng)所述紙張構(gòu)件的所述擦拭區(qū)從一個(gè)凸出部分分開(kāi)時(shí)直到當(dāng)所述擦拭區(qū)接觸另一凸出部分時(shí)的期間拾取所述紙張構(gòu)件，從而更新所述紙張構(gòu)件的
5擦拭區(qū)。本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷遮罩清潔方法是一種用于擦去粘連到絲網(wǎng)印刷遮罩的底面的膏的絲網(wǎng)印刷遮罩清潔方法，該絲網(wǎng)印刷遮罩具有平板狀第一遮罩區(qū)域和第二遮罩區(qū)域， 該第二遮罩區(qū)域設(shè)置為不同于所述第一遮罩區(qū)域的區(qū)域并具有多個(gè)向下突起的凸出部分， 所述方法包括通過(guò)抵靠著第一遮罩區(qū)域的底面擦拭紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)而擦去粘連到第一遮罩區(qū)域的底面的膏的步驟；和抵靠著第二遮罩區(qū)域中的各凸出部分的底面連續(xù)擦拭紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)，從而擦去粘連到各凸出部分的底面的膏的步驟，其中，在抵靠著第二遮罩區(qū)域中的各凸出部分的底面連續(xù)擦拭紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)，從而擦去粘連到各凸出部分的底面的膏的步驟中，紙張構(gòu)件在從當(dāng)紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)從一個(gè)凸出部分分開(kāi)時(shí)直到當(dāng)擦拭區(qū)接觸另一凸出部分時(shí)的期間被拾取，從而更新紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在本發(fā)明中，紙張構(gòu)件在從紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)從一個(gè)凸出部分分離時(shí)直到擦拭區(qū)接觸另一凸出部分時(shí)的期間中被拾取。結(jié)果，當(dāng)在已經(jīng)清潔一個(gè)凸出部分之后從該凸出部分分離的紙張構(gòu)件接觸另一凸出部分時(shí)，從先前的凸出部分擦去的膏將被防止抵靠著下一凸出部分擦拭。由于該原因，可以有效地從符合腔基板形式的絲網(wǎng)印刷遮罩擦去膏。


圖1是本發(fā)明的實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)的示意圖。圖2中的(a)是作為本發(fā)明的實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)的印刷操作對(duì)象的腔基板的平面圖；(b)是該腔基板的側(cè)面截面視圖。圖3中的(a)是設(shè)置在本發(fā)明的實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)中的遮罩的平面圖，(b)是該遮罩的側(cè)截面視圖。圖4中的(a)、(b)、(c)和(d)是本發(fā)明的實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)的操作的描述性視圖。圖5中的(a)、(b)、(c)和(d)是本發(fā)明的實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)的操作的描述性視圖。圖6是設(shè)置在本發(fā)明的實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)中的清潔單元的操作的描述性視圖。圖7中的(a)、(b)、(c)和(d)是設(shè)置在本發(fā)明的實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)中的清潔單元的操作的描述性視圖。
具體實(shí)施例方式在下面參照附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例。在圖1中，實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)1包括保持作為印刷對(duì)象的基板PB的基板保持塊2 ；絲網(wǎng)印刷遮罩(在此及后簡(jiǎn)稱“遮罩”)3，其布置在由基板保持塊2保持的基板PB的上方并且全部呈現(xiàn)為長(zhǎng)方形；設(shè)置在遮罩3上方的膏饋送頭4 ；和清潔單元5，其從遮罩3的底面下方接觸并且在絲網(wǎng)印刷機(jī)1已經(jīng)完成絲網(wǎng)印刷后清潔遮罩3。為了便于解釋，遮罩3的短側(cè)的方向(垂直于圖1的圖紙的方向)作為X 軸線方向；遮罩3的長(zhǎng)側(cè)的方向(圖1的圖紙的水平方向)作為Y軸線方向；遮罩3的厚度方向(圖1的圖紙的豎直方向)作為Z軸線方向。如圖2(a)和(b)所示的基板PB包括下層側(cè)面基板構(gòu)件11和接合到下層側(cè)面基板構(gòu)件11上表面的上層側(cè)面基板構(gòu)件12。多個(gè)平的電極fd(第一電極)設(shè)置在基板PB的上表面上(上層側(cè)面基板構(gòu)件12)。進(jìn)一步地，多個(gè)腔電極cd(第二電極)位于腔CV的底面上(也就是，下層側(cè)面基板構(gòu)件11的上表面)，該腔CV是設(shè)置在上層側(cè)面基板構(gòu)件12的上表面的一部分中的孔。具體地，基板PB是包括多個(gè)設(shè)置在上表面(上層側(cè)面基板構(gòu)件12 的上表面)上的平的電極fd和多個(gè)設(shè)置在腔CV的各底面(下層側(cè)面基板構(gòu)件11的上表面)上的腔電極cd的腔基板?；灞３謮K2設(shè)置為以使得能夠在水平面中的方向(也就是在X-Y平面中的方向)和豎直方向(也就是，Z軸線方向)移動(dòng)，并能夠定位如此保持的基板PB在遮罩3下方的任意位置上。在圖1和3(a)、(b)中，遮罩3的四個(gè)側(cè)面由框架構(gòu)件3w支持。作為相互不同區(qū)的用于平面區(qū)的遮罩區(qū)域(MRF)和用于腔的遮罩區(qū)域(MRC)設(shè)置在由框架構(gòu)件3w圍繞的矩形區(qū)內(nèi)。對(duì)應(yīng)設(shè)置在上層側(cè)面基板構(gòu)件12的上表面上的多個(gè)平的電極fd的多個(gè)第一圖案孔hi設(shè)置在MRF中。同時(shí)，向下凸出以分別配合到基板PB的多個(gè)腔CV中的多個(gè)凸出部分3a設(shè)置在MRC中。對(duì)應(yīng)設(shè)置在下層側(cè)面基板構(gòu)件11的上表面上(腔CV的底面)的多個(gè)腔電極的多個(gè)第二圖案孔h2設(shè)置在每一凸出部分3a中。如可以從圖3(a)看出的，MRF是由遮罩3的兩個(gè)區(qū)之一組成，所述兩個(gè)區(qū)定位為平行于遮罩3的短側(cè)方向(X軸線方向)的遮罩3的中心線CL介于它們之間。MRC是由遮罩3的兩個(gè)區(qū)的另一個(gè)組成，該兩個(gè)區(qū)定位為中心線CL介于它們之間。這樣，本實(shí)施例的遮罩3形成為符合腔基板形式的遮罩，所述腔基板包括平板狀MRF (第一遮罩區(qū)域)和設(shè)置為不同于MRF的區(qū)域并包括多個(gè)向下突起的凸出部分3a的MRC(第二遮罩區(qū)域)。在圖1中，膏饋送頭4具有設(shè)置為以能夠在水平面中的方向(在X-Y平面中的方向)和豎直方向(Z軸線方向)關(guān)于遮罩3移動(dòng)的頭主體21，以及設(shè)置在頭主體21的下部上并沿著Y軸線方向彼此相對(duì)的兩個(gè)導(dǎo)引構(gòu)件22。每一導(dǎo)引構(gòu)件22是在X軸線方向延伸的抹刀狀構(gòu)件(spatula-like member) 0導(dǎo)引構(gòu)件22在向下方向從容納在頭主體21中的膏盒(未示出)導(dǎo)引被饋送的膏，例如焊接膏和導(dǎo)電膏，以使得膏集中地饋送到遮罩3上的目標(biāo)位置。在圖1中，清潔單元5具有外殼狀基座塊31，其設(shè)置為以能夠在水平面中的方向 (X-Y平面中的方向)和豎直方向(Z軸線方向)移動(dòng)；以及向上開(kāi)口的支撐構(gòu)件32，其設(shè)置在基座塊31中；一對(duì)拾取輥?zhàn)?3，其在Y軸線方向彼此相對(duì)地布置，支撐構(gòu)件32插入在其間，所述拾取輥?zhàn)幽軌驀@X軸線轉(zhuǎn)動(dòng)；延伸跨過(guò)一對(duì)拾取輥?zhàn)?3的紙張構(gòu)件34 ；和一對(duì)導(dǎo)引輥?zhàn)?5，其沿著Y軸線方向布置在一對(duì)拾取輥?zhàn)?3之間，支撐構(gòu)件32插入在其間，該導(dǎo)引輥?zhàn)訃@X軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。紙張構(gòu)件34的上表面是粘連表面。通過(guò)一對(duì)導(dǎo)引輥?zhàn)?5之間的支撐構(gòu)件32支撐的紙張構(gòu)件的水平區(qū)作為抵靠著遮罩3的底面從下方被擦拭的擦拭區(qū)34a。紙張構(gòu)件34 的擦拭區(qū)3 可以通過(guò)在單一方向轉(zhuǎn)動(dòng)一對(duì)拾取輥?zhàn)?3以拾取紙張構(gòu)件34而更新。向上開(kāi)口的吸氣導(dǎo)管3 形成在支撐構(gòu)件32中?？諝鈴奈鼩鈱?dǎo)管3 通過(guò)真空吸引抽取，由此空氣可以通過(guò)紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)3 被抽入到吸氣導(dǎo)管32a中。
由于基板保持塊2在水平面內(nèi)的方向和豎直方向的運(yùn)動(dòng)所致的用來(lái)關(guān)于遮罩3定位基板PB的操作通過(guò)控制器40(圖1)得以完成，控制器40設(shè)置在絲網(wǎng)印刷機(jī)1中，用于控制由未示出的促動(dòng)器等組成的基板定位機(jī)構(gòu)41 (圖1)的操作。由于膏饋送頭4的頭主體21在水平面內(nèi)的方向和在豎直方向的運(yùn)動(dòng)所致的用于關(guān)于遮罩3定位膏饋送頭4的操作通過(guò)控制器40得以完成，控制器40控制由未示出的促動(dòng)器等組成的膏饋送頭促動(dòng)機(jī)構(gòu)42 (圖1)的操作。用于從膏饋送頭4饋送膏的操作通過(guò)控制由未示出的促動(dòng)器組成的膏饋送機(jī)構(gòu)43(圖1)的操作的控制器40得以完成。由清潔單元5的基座塊31在水平面中的方向和在豎直方向的運(yùn)動(dòng)所致的用于關(guān)于遮罩3定位和相對(duì)移動(dòng)清潔單元5的操作通過(guò)控制由未示出的促動(dòng)器等組成的清潔單元促動(dòng)機(jī)構(gòu)44(圖1)的操作的控制器40得以完成。而且，通過(guò)一對(duì)拾取輥?zhàn)?3執(zhí)行的用于拾取紙張構(gòu)件34的操作(用于更新紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)34a的操作)通過(guò)控制由未示出的促動(dòng)器等組成的紙張構(gòu)件拾取機(jī)構(gòu)45 (圖1)的操作的控制器40而得以完成。用于從吸氣導(dǎo)管3 通過(guò)真空吸引抽取空氣的操作通過(guò)控制由未示出的促動(dòng)器等組成的吸引機(jī)構(gòu) 46的操作的控制器40得以完成。在絲網(wǎng)印刷機(jī)1對(duì)基板PB進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的過(guò)程中，控制器40首先移動(dòng)基板PB以使得在遮罩3的MRC中形成的第二圖案孔h2和由基板保持塊2保持的基板PB的各腔電極 cd在豎直方向彼此對(duì)齊(agreement)(圖4(a))，隨后升高基板PB，從而使得基板PB的上表面接觸遮罩3的底面(圖4 (b))。遮罩3的凸出部分3a和基板PB的腔CV從而在豎直方向彼此配合，由此形成在MRC中的各第二圖案孔h2和基板PB的腔電極cd在豎直方向上彼此對(duì)齊(定位工藝)?？刂破?0使得基板PB的上表面接觸遮罩3的底面；隨后使得膏饋送頭4的導(dǎo)引構(gòu)件22接觸遮罩3的上表面；由此促動(dòng)膏饋送機(jī)構(gòu)43，從而饋送膏PT到MRC(凸出部分3a) 中(圖4(c)膏饋送工藝)。膏PT從而通過(guò)MRC中的各第二圖案孔h2饋送到各腔電極cd 上。相應(yīng)地，膏PT通過(guò)隨后在豎直方向相對(duì)遠(yuǎn)離遮罩3而分離基板PB而印刷(轉(zhuǎn)印)到各腔電極cd (遮罩分離工藝)(圖4 (d))?？刂破?0接下來(lái)移動(dòng)基板PB以使得在遮罩3的MRF中的各第一圖案孔hi與由基板保持塊2保持在豎直方向的基板PB的各平的電極f d相對(duì)(圖5 (a))，并隨后升高基板 PB，從而使得基板PB的上表面接觸遮罩3的底面(圖5(b))。在遮罩3的MRF中的各第一孔hi從而在豎直方向與基板PB的各平的電極fd對(duì)齊?？刂破?0使得基板PB的上表面接觸遮罩3的底面并隨后使得膏饋送頭4的導(dǎo)引構(gòu)件22接觸遮罩3的上表面?？刂破?0然后促動(dòng)膏饋送機(jī)構(gòu)43，從而饋送膏PT到MRF中 (圖5(c))。膏PT從而通過(guò)MRF中的各第一圖案孔hi饋送到各平的電極fd上。因此，膏 PT通過(guò)隨后在豎直方向相對(duì)遠(yuǎn)離遮罩3而分離基板PB而印刷到各平的電極fd(圖5 (d))。腔電極cd設(shè)置在基板PB的上表面中的各下凹腔CV中。因此，即使遮罩3在膏PT 已經(jīng)印刷到腔電極cd之后接觸到基板PB的上表面，遮罩3也不會(huì)接觸各腔電極cd上的膏 PT。在已經(jīng)完成與絲網(wǎng)印刷執(zhí)行工藝有關(guān)的處理之后，控制器40通過(guò)清潔單元5執(zhí)行遮罩3的底面的清潔。在清潔遮罩3的底面的操作過(guò)程中，MRC的清潔和MRF的清潔分開(kāi)執(zhí)行。
在遮罩3的MRF的清潔過(guò)程中，控制器40控制如圖6所示的清潔單元促動(dòng)機(jī)構(gòu)44 的操作，使得清潔單元5的紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)3 接觸MRF的底面，因此在水平面內(nèi)的方向(在這種情況中Y軸方向)(圖6所示的箭頭Dl)促動(dòng)基座塊31。粘連到遮罩3的MRF 的底面的膏PT (膏PT的殘余物DS，參見(jiàn)圖5 (d))因此粘連到紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)34a，以使得膏PT可以從遮罩3的MRF的底面擦去(從MRF擦去膏的工藝)。同時(shí)，在清潔遮罩3的MRC的操作過(guò)程中，控制器40控制如圖7(a)所示的清潔單元促動(dòng)機(jī)構(gòu)44的操作，從而使得清潔單元5的紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)3 接觸MRC中的凸出部分3a之一的底面，并在該狀態(tài)下在水平面內(nèi)的方向(在該實(shí)施例中Y軸線方向)(圖7(a) 所示的箭頭D2所表示的方向)促動(dòng)基座塊31。粘連到遮罩3的MRC的底面的膏PT(膏PT 的殘余物DS，參見(jiàn)圖4(d))因此粘連到紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)34a，以使得膏PT可以從遮罩 3的MRC的底面擦去。在已經(jīng)完成一個(gè)凸出部分3a的底面的清潔后，控制器40移動(dòng)擦拭區(qū)到另一(相鄰的)凸出部分3a(如圖7(b)、(c)和(d)所示的箭頭D3所表示的)，從而清潔凸出部分 3a的底面。膏PT從而可以從所有凸出部分3的底面被擦去(從MRC擦去膏的工藝)。當(dāng)在這些膏擦拭過(guò)程中擦去膏PT時(shí)，控制器40控制吸引機(jī)構(gòu)46的操作并從吸氣導(dǎo)管3 通過(guò)真空吸引借助紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)3 抽取空氣。粘連到遮罩3的底面的膏PT從而被抽取到紙張構(gòu)件34，以使得膏PT的擦拭可以更有效地得以執(zhí)行。偶然地，在通過(guò)抵靠著MRC中的各凸出部分3a的底面連續(xù)擦拭紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)3 而擦去粘連到各凸出部分3a的底面的膏PT的過(guò)程中，控制器40在從當(dāng)紙張構(gòu)件 34的擦拭區(qū)3 從一個(gè)凸出部分3a離開(kāi)時(shí)直到當(dāng)擦拭區(qū)接觸另一個(gè)凸出部分3a時(shí)的期間促動(dòng)紙張構(gòu)件拾取機(jī)構(gòu)45，并拾取紙張構(gòu)件34。紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)3 被從而更新 (如圖7(c)和(d)所示的箭頭D4所表示的擦拭區(qū)更新工藝)。粘連到紙張構(gòu)件34的膏 PT的殘余物DS得以移除(圖7(b)、(c)和(d))，以使得從前面的凸出部分3a擦去的膏PT 被防止抵靠著下一凸出部分3a被擦拭。如上面描述的，用于本實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷遮罩3的清潔單元5包括紙張構(gòu)件34， 其具有抵靠著遮罩3的底面被擦拭的擦拭區(qū)3 ；紙張構(gòu)件擦拭裝置(清潔單元促動(dòng)機(jī)構(gòu) 44和控制器40)，其抵靠著遮罩3的MRF (第一遮罩區(qū)域)的底面擦拭紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)34a，從而擦去粘連到MRF的底面的膏PT，以及抵靠著MRC (第二遮罩區(qū)域)的各凸出部分3a的底面連續(xù)擦拭紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)34a，從而擦去粘連到各凸出部分3a的底面的膏PT ；和擦拭區(qū)更新裝置(紙張構(gòu)件拾取機(jī)構(gòu)45和控制器40)，其在從當(dāng)紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)3 從一個(gè)凸出部分3a分開(kāi)時(shí)直到當(dāng)擦拭區(qū)3 接觸另一凸出部分3a時(shí)的期間拾取紙張構(gòu)件擬，從而更新紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)34a。本實(shí)施例的用于清潔絲網(wǎng)印刷遮罩3的方法配置為以使得執(zhí)行與以下工藝有關(guān)的處理通過(guò)抵靠著MRF (第一遮罩區(qū)域)的底面擦拭紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)3 而擦去粘連到MRF的底面的膏PT的工藝(從MRF擦去膏的步驟)；通過(guò)抵靠著MRC (第二遮罩區(qū)域) 中的各凸出部分3a的底面連續(xù)擦拭紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)3 而擦去粘連到各凸出部分3a 的底面的膏PT的工藝(從MRC擦去膏的步驟)；和通過(guò)在從當(dāng)在從MRC擦去膏的步驟中紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)3 離開(kāi)一個(gè)凸出部分3a時(shí)直到擦拭區(qū)接觸另一個(gè)凸出部分3a時(shí)的期間拾取紙張構(gòu)件34而更新紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)34a的工藝(擦拭區(qū)更新步驟)。
如上述的，在本實(shí)施例中，紙張構(gòu)件34在從當(dāng)紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)3 離開(kāi)一個(gè)凸出部分3a時(shí)直到當(dāng)擦拭區(qū)接觸另一個(gè)凸出區(qū)域3a時(shí)的期間被拾取，由此紙張構(gòu)件34的擦拭區(qū)3 被更新。當(dāng)在已經(jīng)清潔一個(gè)凸出部分3a之后從該凸出部分分離的紙張構(gòu)件34 接觸另一個(gè)凸出部分3a時(shí)，從前面的凸出部分3a擦去的膏PT將不會(huì)抵靠著下一凸出部分 3a進(jìn)行擦拭。因此，膏PT可以從符合腔基板形式的絲網(wǎng)印刷遮罩3有效率地擦去。本實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)1是這樣的絲網(wǎng)印刷機(jī)1，其用于絲網(wǎng)印刷設(shè)置在基板PB 的上表面上的多個(gè)平的電極fd(第一電極)和設(shè)置在形成于基板PB的上表面的一部分中的多個(gè)腔CV(孔)的各底面上的多個(gè)腔電極cd(第二電極)。絲網(wǎng)印刷機(jī)1包括遮罩3。 遮罩3具有平板狀MRF(第一遮罩區(qū)域)，其在當(dāng)保持接觸基板PB的上表面時(shí)使用并具有對(duì)應(yīng)平的電極fd形成的第一圖案孔hi。遮罩還具有MRC(第二遮罩區(qū)域)，其設(shè)置為不同于MRF的區(qū)域并具有對(duì)應(yīng)各腔電極cd形成在多個(gè)向下突起的凸出部分3a中的第二圖案孔 h2，從而配合到基板PB的相應(yīng)孔(腔CV)中。絲網(wǎng)印刷機(jī)還具有印刷執(zhí)行裝置(膏饋送頭 4、基板保持塊2、膏饋送機(jī)構(gòu)43、基板定位機(jī)構(gòu)41和控制器40)。印刷執(zhí)行裝置饋送膏PT 到MRC中，同時(shí)形成在遮罩3的MRC中的第二圖案孔h2和基板PB的腔電極cd保持彼此對(duì)齊；隨后相對(duì)遠(yuǎn)離基板PB分離遮罩3，從而印刷膏PT到腔電極cd上。印刷執(zhí)行裝置還饋送膏PT到MRF中，同時(shí)在遮罩3的MRF中形成的第一圖案孔hi和基板PB的平的電極fd保持彼此對(duì)齊。印刷執(zhí)行裝置隨后相對(duì)遠(yuǎn)離基板PB而分離遮罩3，從而印刷膏PT到平的電極 fd。絲網(wǎng)印刷機(jī)1還具有擦去粘連到遮罩3的底面的膏PT的清潔單元5。在這樣的絲網(wǎng)印刷機(jī)中，MRF可以被清潔而不會(huì)被MRC中的凸出部分3a中斷。因此，符合腔基板形式的三維絲網(wǎng)印刷遮罩3可以很好地得以清潔。盡管迄今已經(jīng)描述了本發(fā)明的實(shí)施例，但是本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施例。例如， 在實(shí)施例中，MRC的底面在MRF的底面已經(jīng)清潔后被清潔，該清潔順序也可以反過(guò)來(lái)。本專利申請(qǐng)是基于在2009年5月25日提交的日本專利申請(qǐng) (JP-A-2009-124865)，該日本專利申請(qǐng)的整個(gè)主題在此被引入作為參考。工業(yè)應(yīng)用提供一種絲網(wǎng)印刷遮罩清潔單元和絲網(wǎng)印刷遮罩清潔方法，其能夠從符合腔基板形式的絲網(wǎng)印刷遮罩有效地去除膏。附圖標(biāo)記列表
1絲網(wǎng)印刷機(jī)
2基板保持塊(印刷執(zhí)行裝置)
3絲網(wǎng)印刷遮罩
3a凸出部分
4膏饋送頭(印刷執(zhí)行裝置)
5清潔單元
34紙張構(gòu)件
34a擦拭區(qū)
40控制器(紙張構(gòu)件擦拭裝置、擦拭區(qū)更新裝置、印刷執(zhí)行裝置)
41基板定位機(jī)構(gòu)(印刷執(zhí)行裝置)
43膏饋送機(jī)構(gòu)(印刷執(zhí)行裝置)
44 清潔單元(紙張構(gòu)件擦拭裝置)45 紙張構(gòu)件拾取機(jī)構(gòu)(擦拭區(qū)更新裝置)MRF用于平的區(qū)域的遮罩區(qū)域(第一遮罩區(qū)域MRC用于腔的遮罩區(qū)域(第二遮罩區(qū)域)hi 第一圖案孔h2 第二圖案孔PB 基板CV 腔(孔)Fd平的電極(第一電極)Cd腔電極(第二電極)PT膏
權(quán)利要求
1.一種用于擦去粘連到絲網(wǎng)印刷遮罩的底面的膏的絲網(wǎng)印刷遮罩清潔單元，所述絲網(wǎng)印刷遮罩具有平板狀的第一遮罩區(qū)域和第二遮罩區(qū)域，該第二遮罩區(qū)域設(shè)置為不同于所述第一遮罩區(qū)域的區(qū)域并具有多個(gè)向下突起的凸出部分，所述清潔單元包括紙張構(gòu)件，其具有抵靠著所述絲網(wǎng)印刷遮罩的底面擦拭的擦拭區(qū)； 紙張構(gòu)件擦拭裝置，其抵靠著所述第一遮罩區(qū)域的底面擦拭所述紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)， 從而擦去粘連到所述第一遮罩區(qū)域的底面的膏，并抵靠著所述第二遮罩區(qū)域中的各凸出部分的底面連續(xù)擦拭所述紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)，從而擦去粘連到各凸出部分的底面的膏；和擦拭區(qū)更新裝置，其在從當(dāng)所述紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)從一個(gè)凸出部分分開(kāi)時(shí)直到當(dāng)所述擦拭區(qū)接觸另一凸出部分時(shí)的期間拾取所述紙張構(gòu)件，從而更新所述紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)。
2.—種絲網(wǎng)印刷機(jī)，用于絲網(wǎng)印刷設(shè)置在基板的上表面上的多個(gè)第一電極和設(shè)置在形成在所述基板的上表面的一部分中的多個(gè)孔的各底面上的多個(gè)第二電極，所述絲網(wǎng)印刷機(jī)包括絲網(wǎng)印刷遮罩，其具有平板狀的第一遮罩區(qū)域，其在當(dāng)保持接觸所述基板的上表面時(shí)使用并具有對(duì)應(yīng)所述第一電極形成的第一圖案孔，和第二遮罩區(qū)域，其設(shè)置為不同于所述第一遮罩區(qū)域的區(qū)域并具有對(duì)應(yīng)所述多個(gè)第二電極形成在多個(gè)各向下突起的凸出部分的第二圖案孔，所述凸出部分將配合到所述基板的對(duì)應(yīng)孔中；印刷執(zhí)行裝置，其饋送膏到所述第二遮罩區(qū)域中，同時(shí)形成在所述絲網(wǎng)印刷遮罩的所述第二遮罩區(qū)域中的第二圖案孔和所述基板的所述第二電極保持彼此對(duì)齊，隨后相對(duì)遠(yuǎn)離所述基板分離所述絲網(wǎng)印刷遮罩，從而印刷膏到所述第二電極上，饋送膏到所述第一遮罩區(qū)域中，同時(shí)形成在所述絲網(wǎng)印刷遮罩的第一遮罩區(qū)域中的第一圖案孔和所述基板的所述第一電極保持彼此對(duì)齊，隨后相對(duì)遠(yuǎn)離所述基板分離所述絲網(wǎng)印刷遮罩，從而印刷膏到所述第一電極；和絲網(wǎng)印刷遮罩清潔單元，其擦去粘連到所述絲網(wǎng)印刷遮罩的底面的膏，其中所述絲網(wǎng)印刷遮罩清潔單元包括紙張構(gòu)件，其具有抵靠著所述絲網(wǎng)印刷遮罩的底面擦拭的擦拭區(qū)； 紙張構(gòu)件擦拭裝置，其抵靠著所述第一遮罩區(qū)域的底面擦拭所述紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)， 從而擦去粘連到所述第一遮罩區(qū)域的底面的膏，并抵靠著所述第二遮罩區(qū)域中的各凸出部分的底面連續(xù)擦拭所述紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)，從而擦去粘連到各凸出部分的底面的膏；和擦拭區(qū)更新裝置，其在從當(dāng)所述紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)從一個(gè)凸出部分離開(kāi)時(shí)直到當(dāng)所述擦拭區(qū)接觸另一個(gè)凸出部分時(shí)的期間拾取紙張構(gòu)件。
3.一種用于擦去粘連到絲網(wǎng)印刷遮罩的底面的膏的絲網(wǎng)印刷遮罩清潔方法，該絲網(wǎng)印刷遮罩具有平板狀第一遮罩區(qū)域和第二遮罩區(qū)域，該第二遮罩區(qū)域設(shè)置為不同于所述第一遮罩區(qū)域的區(qū)域并具有多個(gè)向下突起的凸出部分，所述方法包括通過(guò)抵靠著第一遮罩區(qū)域的底面擦拭紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)而擦去粘連到第一遮罩區(qū)域的底面的膏，從而擦去粘連到第一遮罩區(qū)域的底面的膏的步驟；和抵靠著第二遮罩區(qū)域中的各凸出部分的底面連續(xù)擦拭紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)，從而擦去粘連到各凸出部分的底面的膏的步驟，其中，在抵靠著第二遮罩區(qū)域中的各凸出部分的底面連續(xù)擦拭紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)，從而擦去粘連到各凸出部分的底面的膏的步驟中，紙張構(gòu)件在從當(dāng)紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)從一個(gè)凸出部分分開(kāi)時(shí)直到當(dāng)擦拭區(qū)接觸另一凸出部分時(shí)的期間被拾取，從而更新紙張構(gòu)件的擦拭區(qū)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種絲網(wǎng)印刷遮罩清潔單元，其使得能夠從符合腔基板形式的絲網(wǎng)印刷遮罩有效擦拭膏，以及提供絲網(wǎng)印刷設(shè)備和絲網(wǎng)印刷遮罩清潔方法。紙張構(gòu)件(34)的擦拭區(qū)(34a)抵靠著用于平的區(qū)域的遮罩區(qū)域(MRF)的底面擦拭，從而擦去粘連到MRF的底面的膏PT。紙張構(gòu)件(34)的擦拭區(qū)(34a)抵靠著用于腔的遮罩區(qū)域(MRC)中的各凸出部分(3a)的底面連續(xù)擦拭，從而擦去粘連到各凸出部分(3a)的底面的膏PT。在擦去粘連到各凸出部分(3a)的底面的膏PT的期間，紙張構(gòu)件(34)在從當(dāng)紙張構(gòu)件(34)的擦拭區(qū)(34a)從一個(gè)凸出部分(3a)分開(kāi)時(shí)直到當(dāng)擦拭區(qū)(34a)接觸另一個(gè)凸出部分(3a)時(shí)的期間被拾取，從而更新紙張構(gòu)件(34)的擦拭區(qū)(34a)。
文檔編號(hào)B41F15/08GK102227312SQ201080003401
公開(kāi)日2011年10月26日 申請(qǐng)日期2010年5月7日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月25日
發(fā)明者田中哲矢, 阿部成孝 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社