具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備的制造方法
【專(zhuān)利摘要】一種具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備，包含一個(gè)機(jī)臺(tái)框架、一個(gè)切片單元，及一個(gè)包括一個(gè)感測(cè)裝置的預(yù)警單元。該切片單元包括兩個(gè)設(shè)置于該機(jī)臺(tái)框架的主導(dǎo)輪、一條卷繞于所述主導(dǎo)輪，且形成一組線網(wǎng)，并通以一筆電流的切割線，及一個(gè)位于該線網(wǎng)一側(cè)，且能與該線網(wǎng)產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)的載臺(tái)。該感測(cè)裝置通過(guò)一個(gè)安裝座而設(shè)置于該機(jī)臺(tái)框架，且具有一個(gè)位于該切割線一側(cè)，而用于輸出一筆感測(cè)信號(hào)的感測(cè)件，及一個(gè)運(yùn)算電路。該感測(cè)信號(hào)系相關(guān)于該切割線與該感測(cè)件之間的一個(gè)間距。當(dāng)該運(yùn)算電路根據(jù)該電流及該感測(cè)信號(hào)，而探知該間距不大于一個(gè)閥值時(shí)，即輸出一筆警示信號(hào)來(lái)警示用戶停止切片單元運(yùn)作以達(dá)成預(yù)警效果，并避免切割線崩斷所造成的產(chǎn)能降低與損失。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種線鋸切割設(shè)備，特別是涉及一種具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備。【背景技術(shù)】
[0002]線鋸切割設(shè)備系用于將一個(gè)晶棒切割成多個(gè)晶圓片，而且通常是如中國(guó)臺(tái)灣實(shí)用新型專(zhuān)利第M365248U1號(hào)的第三圖所公開(kāi)的態(tài)樣，主要包含一個(gè)具有一組線網(wǎng)的切割裝置、 一個(gè)供該晶棒安裝的固定裝置，及一個(gè)控制系統(tǒng)。然而，該固定裝置帶動(dòng)該晶棒壓向該線網(wǎng)而進(jìn)行切割的同時(shí)，若是該晶棒內(nèi)含有如碳化物等堅(jiān)硬的雜質(zhì)，則會(huì)讓該線網(wǎng)被推壓成弧形，使得該線網(wǎng)的張力增加。一直到發(fā)生斷線后，該控制系統(tǒng)才會(huì)停止該切割裝置與該固定裝置的運(yùn)作。此時(shí)，不僅需要重新接線，還會(huì)使得部分晶圓片的表面產(chǎn)生線痕，造成切片良率與產(chǎn)能效率的降低，以及生產(chǎn)成本的提高。
[0003]所以，便有如中國(guó)發(fā)明專(zhuān)利第CN101607423B號(hào)所公開(kāi)的一種硅錠切割線鋸，為在其線網(wǎng)下方設(shè)置一個(gè)接觸報(bào)警停機(jī)裝置，來(lái)防止該線網(wǎng)所產(chǎn)生的線弓距離超過(guò)允許值，以達(dá)到預(yù)警斷線的功效。不過(guò)，該接觸報(bào)警停機(jī)裝置需要讓該線網(wǎng)實(shí)際地接觸到一個(gè)接地金屬件，而觸發(fā)一個(gè)接地報(bào)警停機(jī)裝置啟動(dòng)。久而久之，該接地金屬件便會(huì)因?yàn)槟ゲ翐p耗，而讓觸發(fā)警報(bào)的時(shí)機(jī)產(chǎn)生延遲，甚至又會(huì)發(fā)生斷線的情況，因而還需要對(duì)該接地金屬件進(jìn)行常規(guī)檢查及更替，徒增設(shè)備的維護(hù)成本。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的在于提供一種非接觸式感測(cè)線弓變化，而具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備。
[0005]本實(shí)用新型具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備，包含一個(gè)機(jī)臺(tái)框架、一個(gè)切片單元，及一個(gè)預(yù)警單元。
[0006]該切片單元包括兩個(gè)間隔設(shè)置于該機(jī)臺(tái)框架的主導(dǎo)輪、一條卷繞于所述主導(dǎo)輪， 且在所述主導(dǎo)輪之間形成一個(gè)線網(wǎng)，并通以一個(gè)電流的切割線，及一個(gè)位于該線網(wǎng)一側(cè)，且供一個(gè)工件安裝，并能與該線網(wǎng)產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)的載臺(tái)。
[0007]該預(yù)警單元包括一個(gè)通過(guò)一個(gè)安裝座，而設(shè)置于該機(jī)臺(tái)框架的感測(cè)裝置。該感測(cè)裝置具有一個(gè)位于該切割線一側(cè)，而用于輸出一筆感測(cè)信號(hào)的感測(cè)件，及一個(gè)電連接該感測(cè)件的運(yùn)算電路。該安裝座用于調(diào)整該感測(cè)件相對(duì)于該切割線的距離。該感測(cè)信號(hào)系相關(guān)于該切割線與該感測(cè)件之間的一個(gè)間距。當(dāng)該運(yùn)算電路根據(jù)該電流及該感測(cè)信號(hào)，而探知該間距不大于一個(gè)閥值時(shí)，即輸出一筆警示信號(hào)。
[0008]較佳地，該運(yùn)算電路包括一個(gè)轉(zhuǎn)換模組，該轉(zhuǎn)換模組接收該感測(cè)信號(hào)，并根據(jù)一個(gè)介電常數(shù)進(jìn)行轉(zhuǎn)換，以輸出一個(gè)相關(guān)于該轉(zhuǎn)換結(jié)果的距離量測(cè)信號(hào)。另外，該閥值輸入該轉(zhuǎn)換模組，而轉(zhuǎn)換成一筆閥值信號(hào)。
[0009]較佳地，該運(yùn)算電路還包括一個(gè)比較模組。該比較模組將該距離量測(cè)信號(hào)與該閥值信號(hào)進(jìn)行比較。若該比較結(jié)果系表示該距離量測(cè)信號(hào)不大于該閥值信號(hào)，則輸出該警示信號(hào)。
[0010]較佳地，該介電常數(shù)系相關(guān)于該電流，及一個(gè)位于該切割線與該感測(cè)件間的介電物質(zhì)。
[0011]較佳地，該介電物質(zhì)為研磨漿液。該切片單元還包括至少一個(gè)能相對(duì)該線網(wǎng)供應(yīng)該介電物質(zhì)的噴嘴。
[0012]較佳地，該預(yù)警單元還包括一個(gè)信號(hào)連接于該感測(cè)裝置的警示器。當(dāng)該警示器接收到該警示信號(hào)時(shí)，產(chǎn)生聲音及燈光其中至少一個(gè)者。
[0013]較佳地，具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備還包含一個(gè)信號(hào)連接于該感測(cè)裝置，且用于控制該載臺(tái)與該線網(wǎng)進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)的控制單元。當(dāng)該控制單元接收到該警示信號(hào)時(shí)，停止該載臺(tái)與該線網(wǎng)的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。
[0014]本實(shí)用新型的有益效果在于:借由該感測(cè)裝置對(duì)該切割線進(jìn)行非接觸式的感測(cè)，而得以探知該切割線受該工件帶動(dòng)所產(chǎn)生的線弓變化。因此，該感測(cè)裝置并不會(huì)受到摩擦而有所損耗，以提高其耐用度，及節(jié)省整體設(shè)備的維護(hù)成本。
【附圖說(shuō)明】
[0015]本實(shí)用新型的其他的特征及功效，將于參照?qǐng)D式的實(shí)施方式中清楚地呈現(xiàn)，其中:
[0016]圖1是一個(gè)立體圖，說(shuō)明本實(shí)用新型具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備的一個(gè)實(shí)施例；
[0017]圖2是一個(gè)剖視圖，說(shuō)明一個(gè)工件安裝于該實(shí)施例中的一個(gè)載臺(tái)，以及該實(shí)施例中的一個(gè)感測(cè)裝置通過(guò)一個(gè)安裝座，而設(shè)置于一條切割線的下方；
[0018]圖3是一個(gè)剖視圖，說(shuō)明該載臺(tái)與該切割線相向移動(dòng)后，該工件將該切割線壓向該感測(cè)裝置；
[0019]圖4是一個(gè)信號(hào)流程示意圖，說(shuō)明該實(shí)施例中組件之間的信號(hào)輸出及接收。
【具體實(shí)施方式】
[0020]參閱圖1，本實(shí)用新型具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備的一個(gè)實(shí)施例包含一個(gè)機(jī)臺(tái)框架100、一個(gè)切片單元200、一個(gè)預(yù)警單元300，及一個(gè)控制單元400(見(jiàn)圖4)。
[0021]配合參閱圖2，該機(jī)臺(tái)框架100包括兩個(gè)相間隔的導(dǎo)輪架110，一個(gè)設(shè)置于所述導(dǎo)輪架110之間的切片收集盒120，及一個(gè)承板130。在本實(shí)施例中，該承板130系借由兩個(gè)對(duì)應(yīng)設(shè)置于所述導(dǎo)輪架110的掛架件131而橫亙于所述導(dǎo)輪架110之間，但不限于此，也能通過(guò)單一個(gè)設(shè)置于其中一個(gè)導(dǎo)輪架110的掛架件131，而懸伸于該導(dǎo)輪架110。此外，由于該承板130是要用來(lái)承載該預(yù)警單元300的設(shè)備，所以需要具備相當(dāng)程度的剛性，以降低自身振動(dòng)對(duì)該預(yù)警單元300帶來(lái)的不利影響。
[0022]該切片單元200包括兩個(gè)設(shè)置于所述導(dǎo)輪架110之間，且彼此旋轉(zhuǎn)軸相平行的主導(dǎo)輪210、一條卷繞于所述主導(dǎo)輪210，且在所述主導(dǎo)輪210之間形成一組線網(wǎng)221，并通以一筆電流(圖未示)的切割線220、一個(gè)位于該線網(wǎng)221—側(cè)，且供一個(gè)工件500安裝，并能與該線網(wǎng)221產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)的載臺(tái)230，及兩個(gè)分別設(shè)置于所述主導(dǎo)輪210上方，且能相對(duì)于該線網(wǎng)221供應(yīng)一個(gè)介電物質(zhì)600的噴嘴240。值得說(shuō)明的是，雖在本實(shí)施中所述主導(dǎo)輪210的數(shù)量以兩個(gè)為例，但也可以改變?yōu)槿齻€(gè)或三個(gè)以上。
[0023]要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，該工件500能為硅晶棒或是混擬石塊等欲切割的材料。該介電物質(zhì)600系采用一般線鋸切割設(shè)備所常用來(lái)進(jìn)行冷卻及潤(rùn)滑其切割線的研磨漿液，其材質(zhì)能為乙二醇、二乙二醇、聚乙二醇等醇類(lèi)，或是其它石化材料。但是該介電物質(zhì) 600不應(yīng)限制于此，而同樣能采用空氣、水，或其它種類(lèi)的物質(zhì)。其中，若是采用空氣作為該介電物質(zhì)600,則該切片單元200就不需設(shè)置所述噴嘴240。此外，當(dāng)該介電物質(zhì)600通過(guò)所述噴嘴240撒向該線網(wǎng)221時(shí)，會(huì)因?yàn)楸砻鎻埩Φ淖饔茫街谠撉懈罹€220的表面。此時(shí)，若有一個(gè)物體相當(dāng)?shù)亟咏撉懈罹€220時(shí)，則該介電物質(zhì)600便能通過(guò)吸附作用，而連接于該物體與該切割線220之間。[〇〇24] 配合參閱圖4,該預(yù)警單元300包括一個(gè)感測(cè)裝置310,及一個(gè)信號(hào)連接于該感測(cè)裝置310,且能產(chǎn)生聲音及燈光其中至少一者的警示器320。其中，該感測(cè)裝置310具有一個(gè)位于該切割線220—側(cè)，而用于輸出一個(gè)感測(cè)信號(hào)的感測(cè)件312,及一個(gè)電連接該感測(cè)件312， 且包括一個(gè)轉(zhuǎn)換模組314及一個(gè)比較模組315的運(yùn)算電路313。值得一提的是，該感測(cè)裝置 310系通過(guò)一個(gè)設(shè)置于該承板130的安裝座311，而能調(diào)整該感測(cè)件312相對(duì)于該切割線220 的距離，使該感測(cè)件312獲得較佳的感測(cè)位置。[〇〇25]該控制單元400系用于提供使用者設(shè)定一個(gè)閥值，以及控制該切片單元200。要說(shuō)明的是，該控制單元400不僅控制著該載臺(tái)230與該線網(wǎng)221之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，而且也具有調(diào)整通向該切割線220電流的功能，并且還將相關(guān)于該電流大小的一筆電流值輸入該運(yùn)算電路313中。
[0026]借此，如圖3所示，當(dāng)該載臺(tái)230與該線網(wǎng)221進(jìn)行相向移動(dòng)時(shí)，該切割線220受到該工件500中的堅(jiān)硬雜質(zhì)所帶動(dòng)，而被推壓成弧形，并壓向該感測(cè)裝置310。此時(shí)，若該切割線 220與該感測(cè)件312已相當(dāng)?shù)亟咏?，該切割線220上的介電物質(zhì)600便通過(guò)吸附作用，而與該感測(cè)裝置310相連接;并且，該切割線220上的電流通過(guò)該介電物質(zhì)600,而能與該感測(cè)件312 形成一個(gè)電場(chǎng)(圖未不)。該電場(chǎng)大小系相關(guān)于該切割線220與該感測(cè)件312之間的一個(gè)間距，而該感測(cè)件312便是將相關(guān)于該電場(chǎng)大小的數(shù)據(jù)輸出為該感測(cè)信號(hào)。
[0027]接著，該轉(zhuǎn)換模組314接收該感測(cè)信號(hào)，并根據(jù)一個(gè)相關(guān)于該電場(chǎng)大小與該介電物質(zhì)600特性的介電常數(shù)進(jìn)行轉(zhuǎn)換，以輸出一個(gè)相關(guān)于該轉(zhuǎn)換結(jié)果的距離量測(cè)信號(hào)；另外，該閥值通過(guò)由該控制單元400輸入該轉(zhuǎn)換模組314,而轉(zhuǎn)換成一筆閥值信號(hào)。該比較模組315將該距離量測(cè)信號(hào)與該閥值信號(hào)進(jìn)行比較。此時(shí)，若該比較結(jié)果為該距離量測(cè)信號(hào)不大于該閥值信號(hào)，則表示該間距已經(jīng)小于或等于所設(shè)定的閥值，意即該切割線220已被下壓到需要警示的位置，該比較模組315即輸出一個(gè)警示信號(hào)。
[0028]最后，當(dāng)該警示器320接收到該警示信號(hào)時(shí)，便通過(guò)產(chǎn)生聲音、燈光，或是同時(shí)產(chǎn)生聲音與燈光等方式，來(lái)告知使用者該切割線220已過(guò)于變形的預(yù)警情況，必須立即進(jìn)行預(yù)警情況的排除。同時(shí)，該控制單元400也會(huì)接收到該警示信號(hào)，以停止該載臺(tái)230與該線網(wǎng)221 的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，不僅能防止該切割線220繼續(xù)被下壓，而可能造成斷線的情況發(fā)生，而且也方便使用者進(jìn)行預(yù)警情況的排除。
[0029]綜上所述，本實(shí)用新型具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備有如下所述的功效及優(yōu)點(diǎn)，所以確實(shí)能達(dá)成本實(shí)用新型的目的:
[0030]—、通過(guò)該感測(cè)裝置310對(duì)該切割線220進(jìn)行非接觸式的感測(cè)，而得以探知該切割線220受該工件500帶動(dòng)所產(chǎn)生的線弓變化。因此，該感測(cè)裝置310并不會(huì)受到磨擦而有所損耗，以提高其耐用度，及節(jié)省整體設(shè)備的維護(hù)成本。
[0031]二、當(dāng)該感測(cè)裝置310探知該切割線220已經(jīng)達(dá)到所設(shè)定的閥值，便輸出該警示信號(hào)至該警示器320及該控制單元400，同時(shí)警示用戶及停止該切片單元200的運(yùn)作，以達(dá)成預(yù)警效果，并且有效地避免該切割線220崩斷所造成的產(chǎn)能降低與損失。
[0032]以上所述者，僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例而已，當(dāng)不能以此限定本實(shí)用新型實(shí)施的范圍，即凡依本實(shí)用新型權(quán)利要求書(shū)及說(shuō)明書(shū)內(nèi)容所作的簡(jiǎn)單的等效變化與修飾，皆仍屬本實(shí)用新型的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備，包含一個(gè)機(jī)臺(tái)框架、一個(gè)切片單元，及一個(gè)預(yù)警單元;其特征在于: 該切片單元包括兩個(gè)間隔設(shè)置于該機(jī)臺(tái)框架的主導(dǎo)輪、一條卷繞于所述主導(dǎo)輪，且在所述主導(dǎo)輪之間形成一組線網(wǎng)，并通以一筆電流的切割線，及一個(gè)位于該線網(wǎng)一側(cè)，且供一個(gè)工件安裝，并能與該線網(wǎng)產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)的載臺(tái)；及 該預(yù)警單元包括一個(gè)通過(guò)一個(gè)安裝座，而設(shè)置于該機(jī)臺(tái)框架的感測(cè)裝置，該感測(cè)裝置具有一個(gè)位于該切割線一側(cè)，而用于輸出一筆感測(cè)信號(hào)的感測(cè)件，及一個(gè)電連接該感測(cè)件的運(yùn)算電路，該安裝座用于調(diào)整該感測(cè)件相對(duì)于該切割線的距離，該感測(cè)信號(hào)系相關(guān)于該切割線與該感測(cè)件之間的一個(gè)間距，當(dāng)該運(yùn)算電路根據(jù)該電流及該感測(cè)信號(hào)，而探知該間距不大于一個(gè)閥值時(shí)，即輸出一筆警示信號(hào)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備，其特征在于:該運(yùn)算電路包括一個(gè)轉(zhuǎn)換模組，該轉(zhuǎn)換模組接收該感測(cè)信號(hào)，并根據(jù)一個(gè)介電常數(shù)進(jìn)行轉(zhuǎn)換，以輸出一筆相關(guān)于該轉(zhuǎn)換結(jié)果的距離量測(cè)信號(hào)；另外，該閥值輸入該轉(zhuǎn)換模組，而轉(zhuǎn)換成一個(gè)閥值信號(hào)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備，其特征在于:該運(yùn)算電路還包括一個(gè)比較模組，該比較模組將該距離量測(cè)信號(hào)與該閥值信號(hào)進(jìn)行比較，若該比較結(jié)果系表示該距離量測(cè)信號(hào)不大于該閥值信號(hào)，則輸出該警示信號(hào)。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備，其特征在于:該介電常數(shù)系相關(guān)于該電流，及一個(gè)位于該切割線與該感測(cè)件之間的介電物質(zhì)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備，其特征在于:該介電物質(zhì)為研磨漿液，該切片單元還包括至少一個(gè)能相對(duì)該線網(wǎng)供應(yīng)該介電物質(zhì)的噴嘴。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備，其特征在于:該預(yù)警單元還包括一個(gè)信號(hào)連接于該感測(cè)裝置的警示器，當(dāng)該警示器接收到該警示信號(hào)時(shí)，產(chǎn)生聲音及燈光其中至少一者。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備，其特征在于:具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備還包含一個(gè)信號(hào)連接于該感測(cè)裝置，且用于控制該載臺(tái)與該線網(wǎng)進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)的控制單元，當(dāng)該控制單元接收到該警示信號(hào)時(shí)，停止該載臺(tái)與該線網(wǎng)的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。
【文檔編號(hào)】B28D7/00GK205651532SQ201620444842
【公開(kāi)日】2016年10月19日
【申請(qǐng)日】2016年5月16日 公開(kāi)號(hào)201620444842.0, CN 201620444842, CN 205651532 U, CN 205651532U, CN-U-205651532, CN201620444842, CN201620444842.0, CN205651532 U, CN205651532U
【發(fā)明人】余明儒, 黃彥鈞, 謝博偉
【申請(qǐng)人】昱成光能股份有限公司