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具斷線前預(yù)警功能的線鋸切割設(shè)備的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):10962022

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線鋸切割設(shè)備系用于將一個(gè)晶棒切割成多個(gè)晶圓片,而且通常是如中國(guó)臺(tái)灣實(shí)用新型專利第M365248U1號(hào)的第三圖所公開的態(tài)樣,主要包含一個(gè)具有一組線網(wǎng)的切割裝置、 一個(gè)供該晶棒安裝的固定裝置,及一個(gè)控制系統(tǒng)。然而,該固定裝置帶動(dòng)該晶棒壓向該線網(wǎng)而進(jìn)行切割的同時(shí),若是該晶棒內(nèi)含有如碳化物等堅(jiān)硬的雜質(zhì),則會(huì)讓該線網(wǎng)被推壓成弧形,使得該線網(wǎng)的張力增加。一直到發(fā)生斷線后,該控制系統(tǒng)才會(huì)停止該切割裝置與該固定裝置的運(yùn)作。此時(shí),不僅需要重新接線,還會(huì)使得部分晶圓片的表面產(chǎn)...
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