裝并且包括至少兩個單獨的空腔(5)，每個芯部(Ia)的旁側表面被由第二材料構成的護套(Ib)封裝，并且在護套(Ib)內切出用于引導線網(wǎng)的線段的平行凹槽，其中借助于給至少一個空腔(5)充填溫度調節(jié)介質(temperature-regulatingmeans)來用熱的方法改變護套(Ib)的長度。
[0031]以下詳細描述本發(fā)明和優(yōu)選實施例。
[0032]本發(fā)明包括一種用于從工件、優(yōu)選由半導體材料構成的工件鋸切出多個晶片的方法。
[0033]半導體材料是例如砷化鎵的化合物半導體或者例如大部分硅和少許鍺的元素半導體。
[0034]工件是具有表面的幾何體，該表面包括至少兩個平行的平面表面(端面)和由該端面界定出的旁側表面。在圓柱體的情況下，端面被倒圓并且旁側表面是凸形的。在平行六面體的柱狀工件的情況下，旁側表面包括四個平面的獨立面。
[0035]根據(jù)本發(fā)明的方法能應用于任何線鋸，在該線鋸中，鋸切線借助于帶槽的導線輥來引導并且這些導線輥包括由第一材料構成的芯部和由第二材料構成并封裝芯部的護套。
[0036]導線輥(I)是圓柱體，其包括由第一材料構成的輥芯(芯部)(Ia)并具有兩個側表面(端面)和旁側表面。所述導線輥被沿其縱軸線可旋轉地安裝。
[0037]輥芯(Ia)的旁側表面優(yōu)選被由第二材料構成的護套(Ib)封裝。在護套(Ib)中切出用于引導鋸切線的平行凹槽。至少兩個導線輥跨過由平行設置的線段所構成的線網(wǎng)，所述線網(wǎng)在線鋸切期間將工件鋸切成多個晶片。
【具體實施方式】
[0038]圖1顯示了線鋸的線網(wǎng)的基本結構，包括具有平行延伸的鋸切線(2)的兩個導線輥(I)。導線輥(I)具有引導鋸切線(2)的凹槽(未示出)。它們圍繞縱軸線(3)可旋轉地安裝并且借助至少一個固定軸承被固定至線鋸的機器框架。
[0039]導線輥(I)的芯部(Ia)優(yōu)選包括鋼、鋁或者復合材料，例如玻璃纖維或碳纖維增強塑料。在根據(jù)本發(fā)明的方法中，芯部(Ia)包括呈腔室和/或通道形式的兩個單獨的空腔，它們適于接收溫度調節(jié)介質。
[0040]封裝導線輥(I)的芯部(Ia)的旁側表面的護套(Ib)優(yōu)選由聚氨酯(PU)或者聚酯基或聚醚基聚氨酯構成，例如，如DE 10 2007 019 566 B4中所公開的。
[0041]根據(jù)現(xiàn)有技術，在線鋸中鋸切的工件被固定至鋸條(安裝梁)，從而工件的縱軸線平行于導線輥(I)的縱軸線(3)延伸。
[0042]鋸條是伸長條，其由例如來自石墨、玻璃、陶瓷或者塑料的合適材料制成并且設置成在線鋸切過程期間用于固定工件。舉例來說，用于圓柱形工件的鋸條的固定表面優(yōu)選地凹入的，從而固定表面的形狀與工件的凸出形狀相匹配。
[0043]直接地或者借助相應的設備將鋸條固定在線鋸中，從而將連接至鋸條的工件固定到線鋸中。
[0044]作為線鋸切期間切割工件的結果產生了熱量，所述熱量首先導致加熱工件，而且還經由鋸切線導致加熱導線輥(I)。
[0045]材料的加熱可能或多或少地導致材料的明顯膨脹(正膨脹系數(shù))或者收縮(負膨脹系數(shù))，并且在下文中通常被稱為長度方面的熱誘致變化。
[0046]在工件是由半導體材料構成的情況下，熱量的供給導致工件的膨脹。
[0047]取決于工件在線鋸中的固定，能沿著工件的縱軸線在兩個方向上或者僅在一個方向上發(fā)生工件連同線鋸的長度方面的熱誘致變化。舉例來說，如果由半導體材料構成的工件被固定在線鋸中，從而鋸條或者固定設備的一側直接支靠著機器框架并且(沿工件的縱軸線方向的)相反端與阻止膨脹的表面不接觸，則優(yōu)選僅在與機器框架相反方向的一側上發(fā)生工件長度方面的熱誘致變化。
[0048]本發(fā)明能夠通過溫度梯度按目標性方式借助于跨越線網(wǎng)的導線輥(I)、特別是封裝導線輥(I)的芯部(Ia)的護套(Ib)的長度方面的同樣熱誘致變化，來補償線鋸切期間工件長度方面的熱誘致變化。
[0049]在本發(fā)明的意思內，術語“長度方面的熱誘致變化”被理解成是指由加熱或者冷卻所造成的材料的長度方面的變化。
[0050]作為封裝導線輥(I)的芯部(Ia)的旁側表面的護套(Ib)的長度方面的熱誘致變化的結果，切入用于線引導的護套(Ib)中的凹槽相對于工件中由線網(wǎng)造成的切口的位置在線鋸切過程期間被保持不變。
[0051]優(yōu)選地，導線輥⑴的護套(Ib)的長度方面的熱誘致變化在線鋸切過程期間被持續(xù)地適合于工件的長度方面的熱誘致變化。例如，如果工件膨脹5 μ m，則作為加熱的結果，護套(Ib)借助于對應的溫度變化同樣膨脹5 μ m。
[0052]優(yōu)選地，在線鋸切期間通過連續(xù)的或者間斷的測量來監(jiān)測工件的長度方面的變化，并且在線鋸切期間將通過對應的溫度調節(jié)來改變導線輥(I)的護套(Ib)的長度。
[0053]同樣優(yōu)選地，測量在線鋸切期間工件的長度方面的熱誘致變化，并且在相同大小的工件的情況下利用所確定的數(shù)據(jù)在線鋸切期間借助于對應的溫度調節(jié)來改變導線輥(I)的護套(Ib)的長度。
[0054]同樣優(yōu)選地，在線鋸切期間經由工件的溫度來計算工件的長度方面的熱誘致變化，并且在線鋸切期間借助于對應的溫度調節(jié)來改變護套(Ib)的長度。
[0055]借助于導線輥(I)的芯部(Ia)的溫度調節(jié)來執(zhí)行封裝該芯部(Ia)的旁側表面的護套(Ib)的長度方面的熱誘致變化。
[0056]封裝芯部(Ia)的旁側表面的導線輥(I)的護套(Ib)長度方面的熱變化取決于輥芯(Ia)的相應材料、護套(Ib)封裝該芯部(Ia)的旁側表面的穩(wěn)定性、和護套(Ib)的材料與厚度及作用于該材料的溫度。舉例來說，隨著供熱，優(yōu)質鋼比具有非常低熱膨脹系數(shù)的不脹鋼、鐵鎳合金膨脹到更大程度。
[0057]取決于護套的厚度，例如，被粘著地結合到導線輥(I)的芯部(Ia)的旁側表面上的護套(Ib)與護套(Ib)相比在熱影響下不同地改變長度，該護套(Ib)被夾在旁側表面上而沒有其他固定。在該情況下，旁側表面的粗糙度也影響護套(Ib)的長度方面的熱誘致變化并且能被用作控制護套(Ib)的長度方面的熱誘致變化的附加變量。
[0058]圖2a顯示了導線輥(I)，其中輥芯(Ia)被護套(Ib)縱向地封裝(圖2a)。圖2b到2g示意性地顯示了對于導線輥(I)的優(yōu)選實施例，其中輥芯(Ia)被護套(Ib)縱向地封裝，利用該實施例，可以按目標性方式來控制護套(Ib)在長度方面與輥芯(Ia)相比不同的變化。
[0059]優(yōu)選地，另外可以通過相應的夾緊環(huán)⑷將護套(Ib)固定在導線輥⑴的一側或者兩側上(圖2b_2g)。
[0060]夾緊環(huán)(4)是環(huán)狀體,其具有兩個側表面、面向導線棍的芯部的內表面和與內表面相反的外表面。
[0061]在第一實施例中，夾緊環(huán)⑷另外借助于夾緊環(huán)⑷的內側將護套(Ib)壓靠在芯部(Ia)的旁側表面上來將包覆層(Ib)固定到導線輥(I)的芯部(Ia)上(圖2b)。因此，該第一實施例也適于避免或者減小護套的熱誘致的收縮。
[0062]在第二實施例中，夾緊環(huán)(4)的內側與芯部(Ia)的旁側表面直接接觸。在該實施例中，護套(Ib)優(yōu)選抵靠夾緊環(huán)(4)的側表面(圖2c)。
[0063]同樣優(yōu)選地，護套(Ib)的至少一個側表面和夾緊環(huán)(4)的與所述側表面相對的側表面相互不直接接觸，也就是說，在兩個側表面之間存在具有限定長度的間隔。如果護套(Ib)的長度方面的熱誘致增加，則護套能按不受阻礙的方式在該兩個側表面(護套和夾緊環(huán))之間的間隔的長度上膨脹。
[0064]在該第二實施例中，夾緊環(huán)(4)優(yōu)選終止于護套(Ib)的外側，也就是說，夾緊環(huán)(4)的外徑和護套(Ib)的外徑是相同的(圖2c的右側部分)。
[0065]同樣優(yōu)選地，在該第二實施例中，夾緊環(huán)⑷的外徑比護套(Ib)的外徑稍小，也就是說，護套(Ib)的表面伸出夾緊環(huán)(4)的頂側外，換句話說，護套比夾緊環(huán)(4)稍高(圖2c的左側部分)。
[0066]當使用兩個夾緊環(huán)(4)時，還優(yōu)選第一和第二實施例的組合以使護套能朝向一側的目標性膨脹。
[0067]在第二實施例中，另外能借助于夾緊環(huán)能使護套(Ib)跨過夾緊環(huán)(4)的局部旁側向膨脹的事實、通過夾緊環(huán)(4)的支靠著護套(Ib)的側表面來按目標性方式影響導線輥
(I)的護套(Ib)的熱誘致膨脹。
[0068]為了該目的，夾緊環(huán)⑷朝向護套(Ib)的側表面能是垂直的(圖2d)、向外線性地傾斜的(圖2e)、凸出的(圖2f)或者凹入的(圖2g)。在該情況下，夾緊環(huán)(4)的高度能小于護套(Ib)(圖2d到