鍍膜玻璃用硅靶水冷卻系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種鍍膜玻璃用硅靶水冷卻系統(tǒng)，其特征是它包括有靶水冷座（1），所述靶水冷座（1）中設有水冷隔離板（2），水冷隔離板（2）的上方形成冷卻水槽，水冷隔離板（2）的下方設有磁鐵（3），在所述冷卻水槽的上方設有銅背板（4），銅板板（3）的上方設有硅靶（5）。本發(fā)明結構簡單實用，設計合理，改進后的水冷系統(tǒng)將冷卻水與磁鐵隔離，能有效提高產品的穩(wěn)定性，節(jié)約了生產成本。
【專利說明】鍍膜玻璃用硅靶水冷卻系統(tǒng)
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種鍍膜玻璃生產時的硅靶水冷卻系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]現有鍍膜玻璃在生產過程的靶座水冷系統(tǒng)結構是磁鐵處于冷卻水槽內部，由于磁鐵浸泡在水中，容易腐蝕，縮短了磁鐵的使用壽命，所以需要經常更換，由于靶座水冷系統(tǒng)中使用的磁鐵價格較高，更換磁鐵大大增加了運行成本，而且磁鐵在受到腐蝕后其磁場的損鐵也會影響產品的穩(wěn)定性。

【發(fā)明內容】

[0003]本發(fā)明的目的就是針對上述現有技術的不足，提供一種結構簡單實用，避免磁鐵被腐蝕的鍍膜玻璃用硅靶水冷卻系統(tǒng)。
[0004]本發(fā)明采用的技術方案如下:
一種鍍膜玻璃用硅靶水冷卻系統(tǒng)，其特征是它包括有靶水冷座，所述靶水冷座中設有水冷隔離板，水冷隔離板的上方形成冷卻水槽，水冷隔離板的下方設有磁鐵，在所述冷卻水槽的上方設有銅背板，銅板板的上方設有硅靶。
[0005]根據權利要求1所述的鍍膜玻璃用硅靶水冷卻系統(tǒng)，其特征是所述水冷隔離板采用SUS316不銹鋼材料制成。
[0006]本發(fā)明的有益效果有:
結構簡單實用，設計`合理，改進后的水冷系統(tǒng)將冷卻水與磁鐵隔離，能有效提高產品的穩(wěn)定性，節(jié)約了生產成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1為本發(fā)明的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0008]下面結合附圖對本發(fā)明作進一步地說明:
如附圖1所示，本發(fā)明它包括有靶水冷座1，所述靶水冷座I中設有水冷隔離板2，水冷隔離板2的上方形成冷卻水槽，水冷隔離板2的下方設有磁鐵3，在所述冷卻水槽的上方設有銅背板4，銅板板3的上方設有硅靶5。所述水冷隔離板2材料要求有良好的磁力線穿透性，優(yōu)選采用SUS316不銹鋼材料制成，其上方形成的冷卻水槽要求度度小于20mm。
[0009]本發(fā)明涉及的其它未說明部分與現有技術相同。
【權利要求】
1.一種鍍膜玻璃用硅靶水冷卻系統(tǒng)，其特征是它包括有靶水冷座(1)，所述靶水冷座(1)中設有水冷隔離板(2)，水冷隔離板(2)的上方形成冷卻水槽，水冷隔離板(2)的下方設有磁鐵(3 ),在所述冷卻水槽的上方設有銅背板(4 ),銅板板(3 )的上方設有娃祀(5 )。
2.根據權利要求1所述的鍍膜玻璃用硅靶水冷卻系統(tǒng)，其特征是所述水冷隔離板(2) 采用SUS316不銹鋼材料制成。
【文檔編號】C03C17/00GK103601372SQ201310558476
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年11月12日 優(yōu)先權日:2013年11月12日
【發(fā)明者】曹俊 申請人:無錫康力電子有限公司