專利名稱：滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)，例如涉及對用于切削裝置的保持工作臺的進給的滾珠絲杠進行保護的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)。
背景技術(shù)：
在半導體器件的制造工序中，在大致圓板形狀的半導體晶片的表面呈格子狀地形成分割預定線，并在由分割預定線劃分出的區(qū)域形成ICantegrated Circuit 集成電 ^ ),LSI (large scale integration 大規(guī)模集成電路)等電路。接著，利用切削裝置沿分割預定線切削半導體晶片，將半導體晶片分割為一個一個的半導體芯片。如此分割成的半導體芯片被封裝起來并廣泛應用于便攜電話、個人計算機等電氣設備中。一般來說，在分割這樣的半導體晶片的切削裝置中，在朝向半導體晶片的加工部分噴射切削液的同時進行切削(例如，參照專利文獻1)。在該切削裝置中，用保持工作臺來保持半導體晶片，并在利用滾珠絲杠使該保持工作臺前后進行往復運動的同時進行切削加工。專利文獻1 日本特開平8-25209號公報另外，為了防止由切削加工時飛濺的切削液、切屑引起的磨損和破損，上述的切削裝置的滾珠絲杠由折皺狀的罩部件覆蓋。在該折皺狀的罩部件設有氣孔(通氣孔)，通過將罩部件內(nèi)的空氣從該通氣孔吸入和排出，罩部件與保持工作臺的往復運動配合地進行伸縮。在采用如此地設有通氣孔的罩部件的情況下，存在著切削液等異物從通氣孔混入到罩部件內(nèi)部的可能，存在著不一定充分地發(fā)揮罩部件的保護功能的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是鑒于該點而完成的，其目的在于提供一種保護性能高的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)，其即使是在可動部往復運動的情況下也能夠密閉保護滾珠絲杠。本發(fā)明的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)為覆蓋并保護驅(qū)動構(gòu)件的滾珠絲杠的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)，該驅(qū)動構(gòu)件具有可動部，所述可動部在第一靜止部和第二靜止部之間進行往復移動；螺母，所述螺母形成于所述可動部；所述滾珠絲杠，所述滾珠絲杠與所述螺母卡合并從所述第一靜止部側(cè)延伸至所述第二靜止部側(cè)；以及電動機，所述電動機以所述滾珠絲杠的延伸方向為旋轉(zhuǎn)軸來驅(qū)動所述滾珠絲杠旋轉(zhuǎn)，所述滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)的特征在于，該滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)具有第一折皺部，所述第一折皺部通過使一端與所述第一靜止部連接、并使另一端與所述可動部的所述螺母連接而形成了密閉空間，并且該第一折皺部能夠伴隨著所述第一靜止部與所述可動部之間的接近和分離而自如地伸縮；以及第二折皺部，所述第二折皺部通過使一端與所述可動部的所述螺母連接、并使另一端與所述第二靜止部連接而形成了密閉空間，并且該第二折皺部能夠伴隨著所述可動部與所述第二靜止部之間的接近和分離而自如地伸縮，跨過所述螺母地配設有連通路，該連通路使所述第一折皺部覆蓋的密閉空間與所述第二折皺部覆蓋的密閉空間連通。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過形成于第一折皺部和所述第二折皺部內(nèi)的密閉空間來密閉保護滾珠絲杠，在可動部往復運動的情況下，空氣經(jīng)由連通路從第一折皺部內(nèi)(第二折皺部內(nèi)) 的密閉空間移動到第二折皺部內(nèi)(第一折皺部內(nèi))的密閉空間。由此，第一折皺部和第二折皺部無需設置將密閉空間內(nèi)的空氣排出到外部的通氣孔就能夠伸縮。因此，即使是在可動部往復運動的情況下，也能夠密閉保護滾珠絲杠，能夠?qū)崿F(xiàn)保護性能高的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種保護性能高的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)，其即使是在可動部往復運動的情況下也能夠密閉保護滾珠絲杠。


圖1是具備本發(fā)明的實施方式涉及的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)的切削裝置的立體圖。圖2是本發(fā)明的實施方式涉及的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)的周邊結(jié)構(gòu)的說明圖。圖3是本發(fā)明的實施方式涉及的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)的動作說明圖。圖4是示出本發(fā)明的實施方式涉及的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)的變形例的圖。圖5是于本發(fā)明的實施方式涉及的切削裝置的環(huán)狀框架支承的半導體晶片的立體圖。標號說明1 切削裝置；3 保持工作臺(可動部)；4 保持工作臺移動機構(gòu)(驅(qū)動構(gòu)件)；6 刀具單元；7 刀具單元移動機構(gòu)；13 滾珠絲杠；14、38 驅(qū)動電動機(電動機)；15 滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)；21 工件保持部；31 導軌；32 :Y軸工作臺；34 :Ζ軸工作臺；36、37 滾珠絲杠；41 切削刀具；101 第一靜止部；102 第二靜止部；lOlaUOh 連接面；103 螺母； 103a 主體部；103b、103c 安裝部；104 第一折皺部；105 第二折皺部；106 連通路；107 管路；W:半導體晶片(工件)；Al、A2:密閉空間。
具體實施例方式下面，參照附圖詳細地說明本發(fā)明的實施方式。首先，在對具有本發(fā)明的實施方式涉及的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)的切削裝置進行說明之前，簡單地說明作為切削對象的半導體晶片。圖5是被支承于環(huán)狀框架的半導體晶片的立體圖。如圖5所示，半導體晶片(工件)W形成為大致圓板狀，并且在其表面通過呈格子狀地排列的分割預定線91劃分出多個區(qū)域。在所述劃分出的區(qū)域中形成有IC、LSI等器件 92。此外，半導體晶片W經(jīng)由粘貼帶93支承在環(huán)狀框架94，并相對于切削裝置1搬入和搬
出ο另外，在本實施方式中，作為工件列舉了硅晶片、砷化鎵等半導體晶片為例進行說明，不過并不是限定于該結(jié)構(gòu)。也可以將設置在半導體晶片的背面的DAF(Die Attach Film:芯片貼裝薄膜)等粘接部件；半導體制品的封裝體、陶瓷、玻璃、藍寶石(Al2O3)類無機材料基板；以及各種電氣部件和要求精密級的加工位置精度的各種加工材料作為工件。接著，參照圖1，對具備本發(fā)明的實施方式涉及的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)的切削裝置進行說明。圖1是具備本發(fā)明的實施方式涉及的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)的切削裝置的立體圖。如圖1所示，切削裝置1構(gòu)成為使具有切削刀具41的一對刀具單元(切削加工單元)6與保持了半導體晶片W的保持工作臺(可動部)3相對移動來切削半導體晶片W。切削裝置1具有基座2，在基座2上設有使保持工作臺3沿X軸方向移動的保持工作臺移動機構(gòu)(驅(qū)動構(gòu)件)4。此外，在基座2上設有以跨越保持工作臺移動機構(gòu)4的方式豎立設置的門型的柱部5，在柱部5，在保持工作臺3的上方，設有使一對刀具單元6在Y軸方向移動的刀具單元移動機構(gòu)7。保持工作臺移動機構(gòu)4具有一對導軌11，所述一對導軌11配置于基座2上，并且沿X軸方向延伸；以及電動機驅(qū)動的X軸工作臺12，該X軸工作臺12以能夠滑動的方式設置于一對導軌11。在X軸工作臺12的上部設有保持工作臺3。在X軸工作臺12的背面?zhèn)刃纬捎新菽?03(參照圖幻，滾珠絲杠13與螺母103卡合。并且，在滾珠絲杠13的一端部連結(jié)有驅(qū)動電動機(電動機)14，滾珠絲杠13通過該驅(qū)動電動機14而被驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。滾珠絲杠13構(gòu)成為借助滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)15密閉保護滾珠絲杠13以避免切削加工時的切削液和切屑的影響。對于滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)15的結(jié)構(gòu)將在后文敘述。保持工作臺3具有θ工作臺16，其固定于X軸工作臺12的上表面且能夠繞Z軸旋轉(zhuǎn)；以及工作臺支承部17，其固定于θ工作臺16的上表面。此外，在工作臺支承部17的上部支承有吸附保持半導體晶片W的工件保持部21。工件保持部21為具有預定的厚度的圓盤狀，并且在上表面中央部分通過多孔陶瓷材料形成有吸附面。吸附面是利用負壓隔著粘貼帶93吸附半導體晶片W的面，并且吸附面經(jīng)由工作臺支承部17的內(nèi)部的配管與抽吸源連接。在工件保持部21的周圍，經(jīng)由從工作臺支承部17的四個方向朝徑向外側(cè)延伸的一對支承臂設有四個夾緊部Μ。所述四個夾緊部M由空氣致動器驅(qū)動來夾持固定半導體晶片W的周圍的環(huán)狀框架94。刀具單元移動機構(gòu)7具有一對導軌31，所述導軌31配置在柱部5的前表面且沿 Y軸方向延伸；以及電動機驅(qū)動的一對Y軸工作臺32，所述一對Y軸工作臺32以能夠滑動的方式設置于一對導軌31。此外，刀具單元移動機構(gòu)7具有成對的導軌33，在各Y軸工作臺32的前表面分配配置有一對導軌33，導軌33沿Z軸方向延伸；以及電動機驅(qū)動的Z軸工作臺34，所述Z軸工作臺34以能夠滑動的方式分別配置于各對導軌33。在各Z軸工作臺34分別延伸設置有刀具單元6。此外，在各Y軸工作臺32、各Z軸工作臺34的背面?zhèn)确謩e形成有未圖示的螺母，并且所述螺母分別與滾珠絲杠36、37卡合。并且，在Y軸工作臺32用的滾珠絲杠36、Z軸工作臺用的滾珠絲杠37的一端部分別連結(jié)有驅(qū)動電動機38、39，利用這些驅(qū)動電動機38、39 來驅(qū)動滾珠絲杠36、37旋轉(zhuǎn)。刀具單元6具備圓板狀的切削刀具41 ；與切削刀具41連結(jié)的主軸；以及噴射切削液的多個噴射嘴。刀具單元6利用主軸使切削刀具41高速旋轉(zhuǎn)、并且從各噴射嘴向切削部分和切削刀具41噴射切削液來進行切削加工。當如此構(gòu)成的切削裝置1工作時，保持工作臺3在保持了半導體晶片W的狀態(tài)下移動到面對一對刀具單元6的加工位置。接著，使一對刀具單元6的切削刀具41定位于半導體晶片W的X軸方向的分割預定線91，并使一對刀具單元6下降，由此來利用高速旋轉(zhuǎn)的切削刀具41切入半導體晶片W。當利用切削刀具41切入半導體晶片W時，使保持工作臺3 沿X軸方向進行切削進給，從而加工半導體晶片W的分割預定線91。重復該動作，加工所有的分割預定線91。接著，參照圖2，詳細地說明滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)15的周邊結(jié)構(gòu)。圖2是本實施方式涉及的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)15的周邊結(jié)構(gòu)的說明圖。如圖2所示，滾珠絲杠13沿作為加工進給方向的X軸方向延伸，其一端側(cè)被支承于第一靜止部101，其另一端側(cè)被支承于第二靜止部102。滾珠絲杠13的一端部與驅(qū)動電動機14連結(jié)，而該驅(qū)動電動機14與第一靜止部101連接。此外，在滾珠絲杠13的中間部卡合有螺母103，該螺母103形成于保持工作臺3的背面?zhèn)取Ｔ诼菽?03設有與滾珠絲杠13卡合的主體部103a ；從主體部103a向第一靜止部101側(cè)呈環(huán)狀地凸出的安裝部103b ；以及從主體部103a向第二靜止部102側(cè)呈環(huán)狀地凸出的安裝部103c。通過滾珠絲杠13的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，螺母103與保持工作臺3 —起在第一靜止部101與第二靜止部102之間往復運動。滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)15具備隔著螺母103的第一折皺部104和第二折皺部 105，所述第一折皺部104覆蓋滾珠絲杠13的一端側(cè)，所述第二折皺部105覆蓋滾珠絲杠13 的另一端側(cè)。第一折皺部104和第二折皺部105形成為能夠收納滾珠絲杠13的筒狀，并且構(gòu)成為保護滾珠絲杠13不受切削加工時飛濺的切削液和切屑的影響。第一折皺部104和第二折皺部105具有折疊結(jié)構(gòu)，并且構(gòu)成為能夠與保持工作臺3的往復運動相應地沿滾珠絲杠13的延伸方向自如伸縮。第一折皺部104的一端與第一靜止部101的連接面IOla連接，該第一折皺部104 的另一端與螺母103的安裝部10 連接，在第一折皺部104內(nèi)形成了密閉空間Al。第二折皺部105的一端與第二靜止部102的連接面10 連接，該第二折皺部105的另一端與螺母 103的安裝部103c連接，在第二折皺部105內(nèi)形成了密閉空間A2。滾珠絲杠13由第一折皺部104和第二折皺部105密閉保護。在螺母103跨過(穿過)主體部103a地設有連通路106，該連通路106將第一折皺部104內(nèi)的密閉空間Al與第二折皺部105內(nèi)的密閉空間A2連通。在本實施方式中，通過在螺母103設置連通路106，密閉空間A1、A2之間的空氣能夠移動。由此，在第一折皺部 104和第二折皺部105的一方收縮時，該一方的密閉空間A1、A2的空氣向另一方的密閉空間 A1、A2移動。由此，第一折皺部104和第二折皺部105能夠在密閉保護滾珠絲杠13的狀態(tài)下與保持工作臺3的往復移動相應地伸縮。另外，連通路106的孔的大小只要是在不妨礙第一折皺部104和第二折皺部105內(nèi)的與伸縮相伴的空氣的移動的范圍，則并不特別限定。接著，參照圖3的(a)、(b)對切削加工時的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)15的動作進行說明。如圖3的(a)所示，利用驅(qū)動電動機14驅(qū)動滾珠絲杠13旋轉(zhuǎn)，通過保持工作臺3向箭頭Dl方向的移動，第一折皺部104向第一靜止部101側(cè)收縮。此時，第一折皺部104內(nèi)的空氣經(jīng)由連通路106向箭頭D2方向移動并流入第二折皺部105內(nèi)。這樣，在保持工作臺 3向第一靜止部101側(cè)移動時，連通路106作為從密閉空間Al到密閉空間A2的通氣孔(空氣的逃逸孔)發(fā)揮作用。此外，如圖3的(b)所示，利用驅(qū)動電動機14驅(qū)動滾珠絲杠13旋轉(zhuǎn)，通過保持工作臺3向箭頭D3方向的移動，第二折皺部105向第二靜止部102側(cè)收縮。此時，第二折皺部105內(nèi)的空氣經(jīng)由連通路106內(nèi)向箭頭D4方向移動并流入第一折皺部104內(nèi)。這樣，在保持工作臺3向第二靜止部102側(cè)移動時，連通路106作為從密閉空間A2到密閉空間Al 內(nèi)的通氣孔(空氣的逃逸孔)發(fā)揮作用。這樣，對于本實施方式涉及的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)15，由于空氣的移動是在由第一折皺部104和第二折皺部105覆蓋的封閉空間內(nèi)進行的，因此能夠在密閉保護了滾珠絲杠13的狀態(tài)下進行切削加工。由此，無需在第一折皺部104和第二折皺部105設置排出內(nèi)部的空氣的通氣孔就能夠保護滾珠絲杠13。如上所述，在本實施方式涉及的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)15中，利用第一折皺部 104和第二折皺部105來密閉保護滾珠絲杠103。并且，通過設置連接第一折皺部104內(nèi)的密閉空間Al和第二折皺部105內(nèi)的密閉空間A2的連通路106，基于保持工作臺3的往復運動而收縮的一方的密閉空間Al、A2內(nèi)的空氣移動到另一方的密閉空間Al、A2。由此，第一折皺部104和第二折皺部105能夠在密閉保護了滾珠絲杠13的狀態(tài)下伸縮。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)保護性能高的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)15。另外，本發(fā)明并不限定于上述實施方式，能夠?qū)嵤└鞣N變更。在上述實施方式中， 對于附圖所示的大小和形狀等，并不限定于此，能夠在發(fā)揮本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)適當變更。此外，只要是在不脫離本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)，就能夠適當變更并實施。例如，在本實施方式涉及的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)15中，在螺母103形成了連通路106，然而并不限定于該結(jié)構(gòu)，能夠適當變更。連通路106只要是能夠?qū)⒌谝徽郯櫜?04 內(nèi)的密閉空間Al和第二折皺部105內(nèi)的密閉空間A2連通即可。例如，也可以如圖4所示， 構(gòu)成為在螺母103的安裝部10 和安裝部103c之間設置U字狀的管路107。另外，也可以構(gòu)成為設有多個連通路106和管路107。此外，在上述實施方式的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)15中，作為覆蓋滾珠絲杠13的罩部件，使用了第一折皺部104和第二折皺部105，然而并不限定于此。作為罩部件，只要能夠與保持工作臺3的往復運動相應地伸縮即可，并不特別限定，能夠適當變更。此外，在上述實施方式的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)15中，構(gòu)成為第一折皺部104和第二折皺部105經(jīng)由安裝部l(X3b、103C與螺母103連接，然而并不限定于該結(jié)構(gòu)。第一折皺部104和第二折皺部105只要是以密閉保護滾珠絲杠13的方式與螺母103連接的結(jié)構(gòu)即可，能夠適當變更。例如，也可以構(gòu)成為，第一折皺部104和第二折皺部105不經(jīng)安裝部 103b、103c而直接與主體部103a連接。此外，在上述實施方式的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)15中，對利用第一折皺部104和第二折皺部105來密閉保護滾珠絲杠13的結(jié)構(gòu)進行了說明，然而并不限定于該結(jié)構(gòu)。第一折皺部104和第二折皺部105只要是構(gòu)成為能夠保護滾珠絲杠13不受切削加工時飛濺的切削液和切屑的影響，則也不一定要完全地將滾珠絲杠13密閉，能夠適當變更。例如，也可以構(gòu)成為，在第一靜止部101和/或第二靜止部102設置連通孔，從而吸入和排出第一折皺部104內(nèi)和第二折皺部105內(nèi)的空氣。此外，在上述實施方式中，對將滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)15應用于切削裝置的結(jié)構(gòu)進行了說明，該切削裝置具有使保持工作臺3進給的滾珠絲杠13，然而并不限定于該結(jié)構(gòu)。 滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)15能夠應用于具有滾珠絲杠13的裝置，例如也能夠應用于使切削刀具41移動的進給機構(gòu)等。
另外，在上述實施方式中，對將滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)15應用于作為使保持工作臺3的進給用絲杠的滾珠絲杠13的結(jié)構(gòu)進行了說明，然而并不限定于該結(jié)構(gòu)。只要是使保持工作臺3進給的結(jié)構(gòu)，無論何種進給絲杠都能夠應用滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)15。在該情況下，螺母103變更為與進給絲杠對應的部件。工業(yè)上的可利用性如以上所說明，本發(fā)明具有即使是在可動部往復運動的情況下也能夠密閉保護滾珠絲杠的效果，對于采用滾珠絲杠使保持工作臺進給的切削裝置特別有用。
權(quán)利要求
1. 一種滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)，其為覆蓋并保護驅(qū)動構(gòu)件的滾珠絲杠的滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)，該驅(qū)動構(gòu)件具有可動部，所述可動部在第一靜止部和第二靜止部之間進行往復移動；螺母，所述螺母形成于所述可動部；所述滾珠絲杠，所述滾珠絲杠與所述螺母卡合并從所述第一靜止部側(cè)延伸至所述第二靜止部側(cè)；以及電動機，所述電動機以所述滾珠絲杠的延伸方向為旋轉(zhuǎn)軸來驅(qū)動所述滾珠絲杠旋轉(zhuǎn)，該滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)的特征在于， 該滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)具有第一折皺部，所述第一折皺部通過使一端與所述第一靜止部連接、并使另一端與所述可動部的所述螺母連接而形成了密閉空間，并且該第一折皺部能夠伴隨著所述第一靜止部與所述可動部之間的接近和分離而自如地伸縮；以及第二折皺部，所述第二折皺部通過使一端與所述可動部的所述螺母連接、并使另一端與所述第二靜止部連接而形成了密閉空間，并且該第二折皺部能夠伴隨著所述可動部與所述第二靜止部之間的接近和分離而自如地伸縮，跨過所述螺母地配設有連通路，該連通路使所述第一折皺部覆蓋的密閉空間與所述第二折皺部覆蓋的密閉空間連通。
全文摘要
本發(fā)明提供一種滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)，其保護性能高，即使是在可動部往復運動的情況下也能夠密閉保護滾珠絲杠。該滾珠絲杠保護折皺機構(gòu)具備覆蓋滾珠絲杠(13)的一端側(cè)的第一折皺部(104)和覆蓋滾珠絲杠(13)的另一端側(cè)的第二折皺部(105)，第一折皺部的一端與第一靜止部(101)的連接面(101a)連接，第一折皺部的另一端與螺母(103)的安裝部(103b)連接，并且，第二折皺部的一端與第二靜止部(102)的連接面(102a)連接，第二折皺部的另一端與螺母(103)的安裝部(103c)連接，利用跨過螺母(103)的連通路(106)將第一折皺部內(nèi)的密閉空間(A1)與第二折皺部內(nèi)的密閉空間(A2)連通。
文檔編號B28D7/00GK102233621SQ201110096580
公開日2011年11月9日 申請日期2011年4月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月20日
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