專(zhuān)利名稱(chēng)：多線切割機(jī)主輥驅(qū)動(dòng)張力調(diào)節(jié)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及多線切割設(shè)備領(lǐng)域，具體是指可以根據(jù)張力計(jì)設(shè)定多線切割機(jī)主 輥驅(qū)動(dòng)皮帶松緊的調(diào)節(jié)裝置，用以提高多線切割機(jī)切片質(zhì)量和對(duì)皮帶的兼容性。
背景技術(shù)：
在目前的半導(dǎo)體和太陽(yáng)能升產(chǎn)行業(yè)中，硅片加工多使用多線切割機(jī)，它的原理是 通過(guò)一根高速運(yùn)動(dòng)的鋼絲，帶動(dòng)附著在鋼絲的切割磨料對(duì)硅等半導(dǎo)體脆硬材料進(jìn)行磨削加 工，從而達(dá)到切割效果。在整個(gè)切割過(guò)程中，鋼絲通過(guò)多個(gè)導(dǎo)向輪的換向引導(dǎo)，在主輥上形 成一張由若干平行鋼絲組成的線網(wǎng)，而待加工的工件通過(guò)工件進(jìn)給裝置實(shí)現(xiàn)進(jìn)給，可以將 硅棒等脆硬材料一次同時(shí)切割為數(shù)百片，多線切割技術(shù)具有切割效率高、切片質(zhì)量好、精度 高等優(yōu)點(diǎn)，業(yè)內(nèi)已逐漸取代傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割，是目前采用最廣泛的半導(dǎo)體等脆硬材料的切 割技術(shù)。在硅片切割過(guò)程中，切割鋼絲受很大的磨削力，纏繞鋼絲的主輥轉(zhuǎn)動(dòng)要均勻、平 穩(wěn)，這樣才能防止主輥轉(zhuǎn)速突變?cè)斐晒杵穸炔痪鶆?、碎片和線痕等質(zhì)量缺陷，這對(duì)電機(jī)所 傳遞給主輥的驅(qū)動(dòng)力以及電機(jī)主軸與主輥平行度提出了較高要求?，F(xiàn)有調(diào)節(jié)裝置存在如下 問(wèn)題主輥安裝緊固以后，電機(jī)安裝必須以主輥的主軸位置為基準(zhǔn)，調(diào)節(jié)電機(jī)上下位置；但 是，這種裝置要調(diào)整好電機(jī)位置非常麻煩，以至于費(fèi)時(shí)費(fèi)力還很難確保電機(jī)主軸與主輥主 軸之間的平行度，從而造成多線切割機(jī)所切割出的硅片厚度不均，合格率低，還會(huì)導(dǎo)致切割 鋼絲發(fā)生跳線、斷線等，影響設(shè)備的正常使用。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提供多線切割機(jī)主 輥驅(qū)動(dòng)張力調(diào)節(jié)裝置，該裝置在設(shè)備底座固定以后，只需經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單調(diào)整就能使主輥驅(qū)動(dòng)電 機(jī)按照主輥主軸基準(zhǔn)定位，確保驅(qū)動(dòng)皮帶的松緊程度以及電機(jī)主軸與主輥主軸之間的平行 度，從而消除硅片厚薄不均，合格率低及鋼絲跳線、斷線現(xiàn)象。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是，所述多線切割機(jī)主輥驅(qū)動(dòng)張力調(diào)節(jié)裝置的組成是，電 機(jī)安裝座底部用A緊固螺栓固定在切割設(shè)備底板上并同該切割設(shè)備底板成平面連接，電機(jī) 安裝板與電機(jī)安裝座的豎板經(jīng)定位銷(xiāo)和B緊固螺栓成平面連接；上調(diào)整塊通過(guò)A螺栓與電 機(jī)安裝座連接，下調(diào)整塊通過(guò)B螺栓與電機(jī)安裝板連接；調(diào)整螺桿上端通過(guò)上調(diào)整塊的開(kāi) 口腰形光孔與該上調(diào)整塊連接而所述調(diào)整螺桿的下端通過(guò)螺紋副與下調(diào)整塊連接；電機(jī)安 裝座上用于接納定位銷(xiāo)的定位孔和用于接納B緊固螺栓的定位孔均為豎向的長(zhǎng)槽形定位 孔。以下對(duì)本實(shí)用新型做出進(jìn)一步說(shuō)明。本實(shí)用新型的技術(shù)原理是(參見(jiàn)圖1)，由于增加了定位銷(xiāo)1及接納定位銷(xiāo)1的長(zhǎng)槽 形定位孔6，定位銷(xiāo)1及長(zhǎng)槽形定位孔6的數(shù)量根據(jù)實(shí)際情況而定，一般為2個(gè)；利用上調(diào)整 塊4和下調(diào)整塊3與調(diào)整螺桿2及改變用于接納B緊固螺栓13的螺栓孔為長(zhǎng)槽形定位孔7，當(dāng)電機(jī)安裝座9固定以后，如果主輥驅(qū)動(dòng)皮帶出現(xiàn)過(guò)緊和過(guò)松時(shí)，只要擰松電機(jī)安裝板5 的B緊固螺栓13，旋轉(zhuǎn)調(diào)整螺桿2即可調(diào)整電機(jī)安裝板5的位置，從而改變電機(jī)驅(qū)動(dòng)皮帶松 緊，此裝置改進(jìn)簡(jiǎn)單，方便實(shí)用。本實(shí)用新型克服了現(xiàn)有技術(shù)電機(jī)安裝座上用于接納定位螺栓的螺栓孔為圓形，電 機(jī)(重量較大)不能上下調(diào)整的缺陷，因?yàn)橛脠A形螺栓孔來(lái)調(diào)整時(shí)，電機(jī)和電機(jī)安裝座只能 整體調(diào)整，在電機(jī)重量較大時(shí)調(diào)整更加困難，而本發(fā)明通過(guò)改變兩者的相對(duì)位置較容易實(shí) 現(xiàn)。由以上可知，本實(shí)用新型為一種多線切割機(jī)主輥驅(qū)動(dòng)張力調(diào)節(jié)裝置，該裝置在設(shè) 備底座固定以后，只需經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單調(diào)整就能使主輥驅(qū)動(dòng)電機(jī)按照主輥主軸基準(zhǔn)定位，確保驅(qū) 動(dòng)皮帶的松緊程度以及電機(jī)主軸與主輥主軸之間的平行度，從而消除硅片厚薄不均，合格 率低及鋼絲跳線、斷線現(xiàn)象。


圖1是本實(shí)用新型一種實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是圖1所示裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3是本實(shí)用新型裝置的使用狀態(tài)示意圖； 圖4是圖3左視結(jié)構(gòu)示意圖。 在圖中
1 一定位銷(xiāo)， 4一上調(diào)整塊， 7—定位孔， 10—主輥， 13 — B緊固螺栓， 16—A緊固螺栓，
2—調(diào)整螺桿， 5—電機(jī)安裝板， 8—設(shè)備底板， 11一驅(qū)動(dòng)皮帶， 14—A螺栓， 17—支持螺栓。
3—下調(diào)整塊， 6—定位孔， 9一電機(jī)安裝座，
12—電動(dòng)機(jī)， 15—B螺栓，
具體實(shí)施方式
參見(jiàn)圖1和圖2，所述多線切割機(jī)主輥驅(qū)動(dòng)張力調(diào)節(jié)裝置的組成是，電機(jī)安裝座9 底部用6個(gè)A緊固螺栓16固定在切割設(shè)備底板8上并同該切割設(shè)備底板8成平面連接，電 機(jī)安裝板5與電機(jī)安裝座9的豎板經(jīng)2個(gè)定位銷(xiāo)1和4個(gè)B緊固螺栓13成平面連接；上調(diào) 整塊4通過(guò)A螺栓14與電機(jī)安裝座9連接，下調(diào)整塊3通過(guò)B螺栓15與電機(jī)安裝板5連 接；調(diào)整螺桿2上端通過(guò)上調(diào)整塊4的開(kāi)口腰形光孔與該上調(diào)整塊4連接而所述調(diào)整螺桿 2的下端通過(guò)螺紋副與下調(diào)整塊3連接；電機(jī)安裝座9上用于接納定位銷(xiāo)1的定位孔6和 用于接納B緊固螺栓13的定位孔7均為豎向的長(zhǎng)槽形定位孔。調(diào)整螺桿2的上端是有限位臺(tái)階的光軸，頂端是用于扳手夾緊的六方結(jié)構(gòu)。電機(jī)安裝板5底部裝有支撐螺栓17，用以防止電機(jī)安裝板5突然下降。
權(quán)利要求1.一種多線切割機(jī)主輥驅(qū)動(dòng)張力調(diào)節(jié)裝置，它的電機(jī)安裝座(9)底部用A緊固螺栓 (16)固定在切割設(shè)備底板(8)上并同該切割設(shè)備底板(8)成平面連接，其特征是，電機(jī)安裝 板(5)與電機(jī)安裝座(9)的豎板經(jīng)定位銷(xiāo)(1)和B緊固螺栓(13)成平面連接；上調(diào)整塊(4) 通過(guò)A螺栓(14)與電機(jī)安裝座(9)連接，下調(diào)整塊(3)通過(guò)B螺栓(15)與電機(jī)安裝板(5) 連接；調(diào)整螺桿(2)上端通過(guò)上調(diào)整塊(4)的開(kāi)口腰形光孔與該上調(diào)整塊(4)連接而所述調(diào) 整螺桿(2)的下端通過(guò)螺紋副與下調(diào)整塊(3)連接；電機(jī)安裝座(9)上用于接納定位銷(xiāo)(1) 的定位孔(6)和用于接納B緊固螺栓(13)的定位孔(7)均為豎向的長(zhǎng)槽形定位孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述多線切割機(jī)主輥驅(qū)動(dòng)張力調(diào)節(jié)裝置，其特征是，調(diào)整螺桿(2)的 上端是有限位臺(tái)階的光軸，頂端是用于扳手夾緊的六方結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述多線切割機(jī)主輥驅(qū)動(dòng)張力調(diào)節(jié)裝置，其特征是，電機(jī)安裝板(5) 底部裝有支撐螺栓(17)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多線切割機(jī)主輥驅(qū)動(dòng)張力調(diào)節(jié)裝置，包括電機(jī)安裝座、電機(jī)安裝板、上調(diào)整塊、下調(diào)整塊、調(diào)整螺桿、定位銷(xiāo)等；電機(jī)安裝座與設(shè)備底板經(jīng)緊固螺栓呈平面連接，電機(jī)安裝板與電機(jī)安裝座經(jīng)定位銷(xiāo)和緊固螺栓呈平面連接，上調(diào)整塊與電機(jī)安裝座連接，下調(diào)整塊與電機(jī)安裝板連接。本實(shí)用新型通過(guò)增加定位銷(xiāo)和用于接納其的長(zhǎng)槽形定位孔、調(diào)整塊和調(diào)整螺桿及改變用于接納緊固螺栓的螺栓孔形狀。利用調(diào)整螺桿旋轉(zhuǎn)調(diào)整電機(jī)安裝板的上下位置來(lái)調(diào)節(jié)皮帶的張緊，克服了現(xiàn)有電機(jī)重量大導(dǎo)致皮帶張力不易調(diào)整的缺陷。
文檔編號(hào)B28D7/00GK201816150SQ201020548070
公開(kāi)日2011年5月4日 申請(qǐng)日期2010年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月29日
發(fā)明者劉咸成, 呂文利, 王學(xué)仕, 賈京英, 龔杰洪 申請(qǐng)人:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所