專利名稱:高精密微型玻璃v形槽基板的生產(chǎn)工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種微型玻璃V形槽基板的生產(chǎn)工藝。
背景技術(shù):
目前光通訊集成器件中需要一種精確排列光纖定位用的精密微型玻璃V形槽基 板。由于該元件上的V槽非常微小,寬度要比光纖的直徑還要略小些,只有不到0. 125毫米 的大小,并且是由2根至64根不等的多條槽排列,每條槽定位一根光纖,要求槽與槽之間的 間距精度達(dá)到士0.5微米。要求高,制造難度大,一般的加工方法無法實(shí)現(xiàn)。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種工藝簡(jiǎn)單,能方便生產(chǎn)出高精度的 微小玻璃V形槽的 高精密微型玻璃V形槽基板的生產(chǎn)工藝。本發(fā)明的技術(shù)解決方案是一種高精密微型玻璃V形槽基板的生產(chǎn)工藝,其特征是包括下列步驟先將所要加工的V形槽按比例放大一定的倍數(shù),按照該大比例尺寸通過精密機(jī)械 冷加工制造出一個(gè)大尺寸的玻璃V形槽,然后利用玻璃熔融拉錐的原理,將大尺寸的玻璃V 形槽拉制成需要的尺寸。所述按比例放大一定的倍數(shù)是指按比例放大8 12倍。拉制時(shí),通過激光測(cè)控系統(tǒng)進(jìn)行監(jiān)控拉制的尺寸。本發(fā)明將難以達(dá)到的微觀下的高精度控制通過工藝分解,采用常規(guī)狀態(tài)下的高精 度控制加工,再通過精確按比例縮小,得到微觀下的高精度。本發(fā)明融合了精密機(jī)械冷加工 和精密玻璃熔融拉伸工藝的綜合生產(chǎn)工藝,能保證生產(chǎn)出的微型玻璃V形槽基板達(dá)到精度 要求。
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。圖1是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的工藝圖。
具體實(shí)施例方式先將所要加工的V形槽按比例放大一定的倍數(shù)(一般10倍左右),按照該大比例 尺寸通過精密機(jī)械冷加工制造出一個(gè)大尺寸的玻璃V形槽,由于放大比例后尺寸精度也相 應(yīng)的被放大,所以比較容易控制,同時(shí)V形槽由原來微小的尺寸放大成比較常規(guī)的尺寸,也 解決了加工刀具的難題。然后利用玻璃熔融拉錐的原理,將大尺寸的玻璃V形槽坯料1通 過熔爐2,由拉伸牽引設(shè)備4拉伸,并通過激光測(cè)控系統(tǒng)3進(jìn)行監(jiān)控拉制的尺寸,將大尺寸的 玻璃V形槽拉制成需要的尺寸。由于控制住了大尺寸V形槽的相對(duì)精度,所以只要拉制后 按控制的比例進(jìn)行縮小就可以得到高精度的微小玻璃V形槽基板5。圖中還有定位裝置6。
權(quán)利要求
一種高精密微型玻璃V形槽基板的生產(chǎn)工藝,其特征是包括下列步驟先將所要加工的V形槽按比例放大一定的倍數(shù),按照該大比例尺寸通過精密機(jī)械冷加工制造出一個(gè)大尺寸的玻璃V形槽,然后利用玻璃熔融拉錐的原理,將大尺寸的玻璃V形槽拉制成需要的尺寸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精密微型玻璃V形槽基板的生產(chǎn)工藝,其特征是所述按 比例放大一定的倍數(shù)是指按比例放大8 12倍。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高精密微型玻璃V形槽基板的生產(chǎn)工藝,其特征是拉 制時(shí),通過激光測(cè)控系統(tǒng)進(jìn)行監(jiān)控拉制的尺寸。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種高精密微型玻璃V形槽基板的生產(chǎn)工藝,先將所要加工的V形槽按比例放大一定的倍數(shù),按照該大比例尺寸通過精密機(jī)械冷加工制造出一個(gè)大尺寸的玻璃V形槽,然后利用玻璃熔融拉錐的原理,將大尺寸的玻璃V形槽拉制成需要的尺寸。本發(fā)明將難以達(dá)到的微觀下的高精度控制通過工藝分解,采用常規(guī)狀態(tài)下的高精度控制加工,再通過精確按比例縮小,得到微觀下的高精度。本發(fā)明融合了精密機(jī)械冷加工和精密玻璃熔融拉伸工藝的綜合生產(chǎn)工藝,能保證生產(chǎn)出的微型玻璃V形槽基板達(dá)到精度要求。
文檔編號(hào)C03B23/047GK101830633SQ20101013411
公開日2010年9月15日 申請(qǐng)日期2010年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月29日
發(fā)明者張泳翔 申請(qǐng)人:南通永明光纖材料有限公司