專利名稱：線輪主軸的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種線輪主軸，特別是一種用于半導(dǎo)體專用設(shè)備即多線切 割機(jī)的線輪主軸。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，在對(duì)單晶、多晶及太陽(yáng)能材料等進(jìn)行切割加工 時(shí)，多采用帶有單片環(huán)形刀片的設(shè)備進(jìn)行切割。其不足之處是切割效率低、
成本高；切割尺寸范圍??；材料切割時(shí)需粘接，切不到頭浪費(fèi)材料。隨著 現(xiàn)代加工業(yè)的訊猛發(fā)展，新材料、新技術(shù)在半導(dǎo)體制造行業(yè)內(nèi)不斷地涌現(xiàn)， 這類設(shè)備已不再適應(yīng)生產(chǎn)的需要。為了實(shí)現(xiàn)快速高質(zhì)量的切割，目前已有 多線切割機(jī)問(wèn)世。這種設(shè)備的關(guān)鍵部件是它的結(jié)構(gòu)相同的放線輪主軸和收 線輪主軸機(jī)構(gòu)，因?yàn)樵摍C(jī)構(gòu)需承載較重的載荷。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種承載能力強(qiáng)、工作可靠的線輪 主軸。
本發(fā)明采用如下技術(shù)方案
本發(fā)明包括軸、軸套、線輪和帶輪，所說(shuō)軸與軸套間沿左、中、右分 設(shè)有三組軸承，每組軸承均為兩個(gè)背對(duì)背安裝的角接觸球軸承，其中，第 一組軸承設(shè)于軸的左端，且"^殳有與軸套左端固定的第一軸承壓蓋和設(shè)于第 一組軸承外側(cè)的第一內(nèi)擋圏及第一鎖母；第二組軸承設(shè)于軸的中部，其左 側(cè)設(shè)有第二內(nèi)擋圈和第二鎖母；第三組軸承設(shè)于軸的右端，其左側(cè)與第二 組軸承間設(shè)有隔圏，右側(cè)設(shè)有與軸套右端固定的第二軸承壓蓋；帶輪和線 輪分別固定在軸的左、右兩端。
所說(shuō)第 一鎖母和第二鎖母上均鑲嵌有供鎖止的彈性開口摩擦環(huán)。
所說(shuō)線輪與軸右端固定是其間設(shè)有連接接頭，接頭與線輪及軸間分別 設(shè)螺釘連接固定，且接頭與軸間設(shè)有一個(gè)或一對(duì)定位銷。
所說(shuō)帶輪與軸左端固定是其間設(shè)有連接鍵或張緊套連接固定，帶輪為同步齒形帶帶輪。
本發(fā)明的有益效果
本發(fā)明提供了 一種用于半導(dǎo)體行業(yè)專用的多線切割機(jī)上的線輪主軸。 本主軸既可用于多線切割機(jī)的放線系統(tǒng)，也可用于多線切割機(jī)的收線系統(tǒng)， 在本線軸主軸結(jié)構(gòu)中，設(shè)于軸左端的第一組軸承主要承載傳動(dòng)力矩；設(shè)于 軸中部的第二組軸承主要起支撐作用；設(shè)于軸右端的第三組軸承既傳動(dòng)力 矩又起支撐作用。三組軸承組合既能傳遞力矩又能承載重載荷。本線輪主 軸結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，工作可靠。當(dāng)借助于本線輪主軸將切割線排列在多線切 割機(jī)的主輥上進(jìn)行多線切割時(shí)，工效高，成本低，切割尺寸范圍大，切約 原材料。


附圖1為本發(fā)明一種實(shí)施例的主視剖視結(jié)構(gòu)示意附圖2為圖,1的局部放大附圖3為圖1所示線輪主視剖視結(jié)構(gòu)示意附圖4為圖1所示接頭主視剖視結(jié)構(gòu)示意附圖5為圖1所示軸的主一見(jiàn)局剖結(jié)構(gòu)示意附圖6為圖1所示第一鎖母主視剖視結(jié)構(gòu)示意附圖7為圖6的左—見(jiàn)附圖8為圖1所示軸套主視剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
在附圖中l(wèi)帶輪、2第一軸承壓蓋、3第一內(nèi)擋圈、4第一組軸承、5 軸、6軸套、7第二組軸承、8隔圈、9第三組軸承、IO第二軸承壓蓋、11 定位銷、12線輪、13接頭、14第二內(nèi)擋圈、15第二鎖母、16機(jī)架、17第 一鎖母、18彈性開口摩擦環(huán)。
具體實(shí)施例方式
下面將結(jié)合實(shí)施例附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳述
參見(jiàn)附圖，本實(shí)施例包括軸5、軸套6、線輪12和帶輪1,所說(shuō)軸5 與軸套6間沿左、中、右分設(shè)有三組軸承，每組軸承均為兩個(gè)背對(duì)背安裝 的角接觸球軸承，其中，第一組軸承4設(shè)于軸5的左端，且設(shè)有與軸套6 左端固定的第一軸承壓蓋2和設(shè)于第一組軸承4外側(cè)的第一內(nèi)擋圈3及第一鎖母17;第二組軸承7設(shè)于軸5的中部，其左側(cè)設(shè)有第二內(nèi)擋圏14和 第二鎖母15;第三組軸承9設(shè)于軸5的右端，其左側(cè)與第二組軸承7間設(shè) 有隔圏8,右側(cè)設(shè)有與軸套6右端固定的第二軸承壓蓋10;帶輪1和線輪 12分別固定在軸5的左、右兩端。
在本實(shí)施例中，為了便于制作，將線輪12與接頭13分體制作，然后 用6個(gè)M8 x 25的螺釘把二者連接固定為一體。當(dāng)與軸5的右端固定連接時(shí)， 接頭13的中心軸與軸5右端面上的中心孔對(duì)接配合定心，再用一對(duì)定位鎖 11定位，定位銷11選用(])12的圓柱銷。之后用4個(gè)M12 x 50的螺4丁將軸 5與接頭13連接固定。
軸5左端所固定的帶輪1為用于動(dòng)力輸入的同步齒形帶帶輪，以便帶 動(dòng)線軸主軸旋轉(zhuǎn)，用來(lái);^丈線或收線。帶輪1與軸5間可釆用4建連接，也可 采用張緊套連接。
第一軸承壓蓋2和第二軸承壓蓋10分別壓在第一組軸承4和第三組軸 承9的外圏上，并分別與軸套6左、右兩端固定，當(dāng)安裝^f吏用本線輪主軸 時(shí)，軸套6與機(jī)架16固定。
第一內(nèi)擋圈3、第一鎖母17和第二內(nèi)擋圈14、第二鎖母15用來(lái)分別 壓緊第一組軸承4和第二組軸承7的內(nèi)圈，防止其產(chǎn)生軸向位移。
第一鎖母17和第二鎖母15的結(jié)構(gòu)完全相同，只是其關(guān)見(jiàn)格不同。圖6、 圖7所示只是以第一鎖母17為例說(shuō)明其結(jié)構(gòu)，圖中所示鎖母17的內(nèi)圓一 端鑲嵌有一彈性開口摩擦環(huán)18.使用時(shí)，彈性開口摩擦環(huán)18卡在螺紋的牙 隙間，具有鎖緊止退功能。當(dāng)本線輪主軸正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)工作時(shí)，鎖緊的鎖母 均不會(huì)產(chǎn)生^^動(dòng)。
在本實(shí)施例中，第一組軸承4選用型號(hào)為7207GYNDB/P4的角接觸球軸 承；第二組軸承7選用型號(hào)為7010CTYNDB/P4的角接觸J求軸承；第三組軸 承9選用型號(hào)為7210CTYNDB/P4的角接觸球軸承。
權(quán)利要求
1、一種線輪主軸，其特征是它包括軸(5)、軸套(6)、線輪(12)和帶輪(1)，所說(shuō)軸(5)與軸套(6)間沿左、中、右分設(shè)有三組軸承，每組軸承均為兩個(gè)背對(duì)背安裝的角接觸球軸承，其中，第一組軸承(4)設(shè)于軸(5)的左端，且設(shè)有與軸套(6)左端固定的第一軸承壓蓋(2)和設(shè)于第一組軸承(4)外側(cè)的第一內(nèi)擋圈(3)及第一鎖母(17)；第二組軸承(7)設(shè)于軸(5)的中部，其左側(cè)設(shè)有第二內(nèi)擋圈(14)和第二鎖母(15)；第三組軸承(9)設(shè)于軸(5)的右端，其左側(cè)與第二組軸承(7)間設(shè)有隔圈(8)，右側(cè)設(shè)有與軸套(6)右端固定的第二軸承壓蓋(10)；帶輪(1)和線輪(12)分別固定在軸(5)的左、右兩端。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的線輪主軸，其特征是所說(shuō)第一鎖母(17 )和第二鎖母(15)上均鑲嵌有供鎖止的彈性開口摩擦環(huán)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的線輪主軸，其特征是所說(shuō)線輪(12 )與軸(5 )右端固定是其間設(shè)有連接接頭(13),接頭(13)與線輪(12)及軸(5)間分別設(shè)螺釘連接固定，且接頭(13)與軸(5)間設(shè)有一個(gè)或一對(duì)定位銷(11)。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的線輪主軸，其特征是所說(shuō)帶輪(1)與軸(5 )左端固定是其間設(shè)有連接鍵或張緊套連接固定，帶輪(1)為同步齒形帶帶輪。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種線輪主軸，它包括軸、軸套、線輪和帶輪，所說(shuō)軸與軸套間沿左、中、右分設(shè)有三組軸承，每組軸承均為兩個(gè)背對(duì)背安裝的角接觸球軸承，其中，第一組軸承設(shè)于軸的左端，且設(shè)有與軸套左端固定的第一軸承壓蓋和設(shè)于第一組軸承外側(cè)的第一內(nèi)擋圈及第一鎖母；第二組軸承設(shè)于軸的中部，其左側(cè)設(shè)有第二內(nèi)擋圈和第二鎖母；第三組軸承設(shè)于軸的右端，其左側(cè)與第二組軸承間設(shè)有隔圈，右側(cè)設(shè)有與軸套右端固定的第二軸承壓蓋；帶輪和線輪分別固定在軸的左、右兩端。本發(fā)明工效高，成本低，切割尺寸范圍大，切約原材料。
文檔編號(hào)B28D5/04GK101670623SQ20091007557
公開日2010年3月17日 申請(qǐng)日期2009年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月29日
發(fā)明者田惠蘭 申請(qǐng)人:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所