技術(shù)編號：1959897
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種線輪主軸，特別是一種用于半導(dǎo)體專用設(shè)備即多線切 割機(jī)的線輪主軸。 背景技術(shù)在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，在對單晶、多晶及太陽能材料等進(jìn)行切割加工 時，多采用帶有單片環(huán)形刀片的設(shè)備進(jìn)行切割。其不足之處是切割效率低、成本高；切割尺寸范圍??；材料切割時需粘接，切不到頭浪費材料。隨著 現(xiàn)代加工業(yè)的訊猛發(fā)展，新材料、新技術(shù)在半導(dǎo)體制造行業(yè)內(nèi)不斷地涌現(xiàn)， 這類設(shè)備已不再適應(yīng)生產(chǎn)的需要。為了實現(xiàn)快速高質(zhì)量的切割，目前已有 多線切割機(jī)問世。這種設(shè)備的關(guān)鍵部件是它的結(jié)構(gòu)...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。