專利名稱：滑動縫隙式熱處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在熱處理室中所設(shè)的支撐裝置上支撐多層平板狀的被處理物、并從上述熱處理室的開口部逐個取放上述被處理物、進(jìn)行熱處理的滑動縫隙(slit)式熱處理裝置。
背景技術(shù)：
作為在熱處理室內(nèi)支撐多層LCD玻璃基板等平板狀的工件、并將其逐個取放進(jìn)行熱處理的通常稱為凈化爐的熱處理裝置，以前一般使用這樣的構(gòu)成，即在一定位置設(shè)置取放工件用的縫隙狀的開口，在可升降的稱為吊籃(condola)的裝載裝置上以一定間隔裝載多層工件，升降吊籃使熱處理完畢后的工件的位置對正開口處，再用機(jī)械手取放工件，并依次反復(fù)該動作。(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。
但是，在這種熱處理裝置中，由于使支撐多層工件的吊籃僅以其層數(shù)份進(jìn)行升降，故熱處理裝置的高度變高，基于設(shè)置其的凈化室等的高度限制，而限制工件的裝載件數(shù)，由于工件的裝載率低、故存在裝置成本變得較高、或設(shè)置場所的占有率變大的問題。
由此，提出一種熱處理裝置，在上下二處設(shè)置取放工件用的開口，以使吊籃只升降其高度的一半，從二處開口同時取放工件，而實現(xiàn)高集成化及高效率化。(參照專利文獻(xiàn)2)。
根據(jù)該裝置，雖然高度的問題被一定程度改善，但僅在二處設(shè)置開口的部分就使熱處理室內(nèi)的密封性降低，同時也仍存在高度變高的問題。近年來，作為被熱處理的工件的玻璃基板的尺寸呈巨大化，出現(xiàn)了如1800mm×1500mm這種是以前的基板的面積的數(shù)倍的大型的工件。由此，吊籃的尺寸及搭載工件時的吊籃的重量變得很大，難以確保用于其升降及姿勢保持的三次元的位置精度、升降驅(qū)動力變大、或慣性力變大，故必須減緩升降速度等，而存在不容易得到升降機(jī)構(gòu)的設(shè)計或動作的可靠性、迅速性的問題。
另一方面，作為將工件裝載裝置保持在一定位置不進(jìn)行升降的形式的熱處理裝置，提出一種結(jié)構(gòu)，將支撐多層由基板構(gòu)成的被處理物P的支撐臺3固定設(shè)置在爐1內(nèi)，并在取放被處理物用的開口4處用鉤子(hook)部件27等使由5扇小門構(gòu)成的閉鎖部件5的構(gòu)成部件5a離開密封件14，并且利用沿上下方向疊加的5臺氣缸12進(jìn)行升降，使各自的間隔部分僅以構(gòu)成部件1片份進(jìn)行開閉，對于該1片份的構(gòu)成部件對應(yīng)多片被處理物，在取放其中任一被處理物時、僅打開構(gòu)成部件1片份的開口。(參照專利文獻(xiàn)3)但是，在這種裝置中，由于在取放被處理物時僅以構(gòu)成部件1片份打開大開口，并且此時從打開間隔的位置離開密封其上的所有的構(gòu)成部件的狀態(tài)，故存在爐內(nèi)的熱氣泄漏變多溫度分布變差的問題。
另外，提出一種在爐體2中設(shè)有多層框架3，并在爐體的開放面上自由升降地安裝開設(shè)了矩形狀的縫隙5的閘門(shuter)4，以使該百頁從框架的最下層到最上層進(jìn)行升降取放工件的燒成爐(參照專利文獻(xiàn)4)。
在該裝置中，由于只是在閘門的一處設(shè)有縫隙，故與上述專利文獻(xiàn)3的裝置相比較、內(nèi)部的熱氣泄漏少，并且由于只是升降閘門、故可以小的驅(qū)動力就可容易且迅速地運(yùn)動。但是，由于使閘門僅以框架的整個層的高度份升降，故與吊籃升降式裝置相同存在熱處理裝置的高度變高的問題。另外，打開著的縫隙經(jīng)常與外部相導(dǎo)通、經(jīng)常存在熱氣泄漏，并且在閘門升降時存在與專利文獻(xiàn)3相同的產(chǎn)生熱氣泄漏的問題。
專利文獻(xiàn)1特開平6-66715號公報專利文獻(xiàn)2特開平9-250883號公報專利文獻(xiàn)3特開2000-169169號公報(尤其圖3～圖6及相關(guān)說明)專利文獻(xiàn)4特開平9-72677號公報(尤其圖4、5等及相關(guān)說明)發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)的上述問題，其目的在于提供一種不會增加裝置的高度、并防止熱處理室的熱氣泄漏，很好地保持室內(nèi)的溫度分布，并且取放被處理物的開口部的開閉機(jī)構(gòu)的驅(qū)動力小、能迅速可靠地工作的熱處理裝置。
本發(fā)明為了實現(xiàn)上述目的，在以設(shè)在熱處理室內(nèi)的支撐裝置支撐多層平板狀的被處理物、并從上述熱處理室的開口部逐個取放上述被處理物進(jìn)行熱處理的熱處理裝置中，其特征在于上述支撐裝置被設(shè)成保持在一定位置，上述多層由多個層組成的多個組構(gòu)成，其包括以堵塞上述開口部的方式設(shè)置的可進(jìn)行升降的縫隙部件，其具有由與上述多組相對應(yīng)的多個構(gòu)成、可取放上述被處理物的縫隙；在上述開口的相對該縫隙部件的外側(cè)與上述縫隙部件相對向地設(shè)置、并與上述多組相對應(yīng)的多扇小門，以分別可開閉相對應(yīng)的縫隙并在封閉時從上述外側(cè)包圍上述開口部地形成；可升降上述縫隙部件、以使上述多個縫隙可停止在上述多層的各層位置的升降機(jī)構(gòu)；以及可分別開閉上述多扇小門的開閉機(jī)構(gòu)。


圖1是表示適用本發(fā)明的熱處理裝置的一例的凈化爐的橫截面狀態(tài)的說明圖。
圖2是表示上述裝置的側(cè)剖面狀態(tài)的說明圖。
圖3是表示上述凈化爐的正面及正面剖面狀態(tài)的說明圖。
圖4是表示上述凈化爐的多層組合狀態(tài)的說明圖。
圖5(a)及(b)是分別表示上述凈化爐的遮蔽板與升降機(jī)構(gòu)的正面狀態(tài)及縫隙的一部分的說明圖。
圖6是表示上述凈化爐的遮蔽板與小門部分的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖7是表示上述遮蔽板與小門部分的一部分的橫截面圖。
圖8是表示上述小門的開閉機(jī)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖9是表示上述開閉機(jī)構(gòu)及小門的一部分的主視圖。
圖10是表示上述開閉機(jī)構(gòu)與小門及遮蔽板的一部分的橫截面狀態(tài)的說明圖。
圖11是表示上述小門的開閉狀態(tài)的說明圖。
圖中1-熱處理裝置，1a-開口面(開口部)，2-熱處理室，3-支撐體(支撐裝置)，4-遮蔽板(縫隙部件)，5、51～56-小門，6-升降機(jī)構(gòu)，7、71～76-開閉機(jī)構(gòu)，41、411～416-縫隙，N-多層，n、n1、n2-多層，m、m1、m2-多組、多個、多片，W-工件(被處理物)。
具體實施例方式
圖1～圖3表示作為適用本發(fā)明的熱處理裝置、通稱為凈化爐的熱處理裝置的整體結(jié)構(gòu)的一例。
熱處理裝置1，是一種以作為設(shè)在熱處理室2內(nèi)的支撐裝置的支撐體3支撐多層作為平板狀的被處理物的在LCD基板或在PDP的制造流程進(jìn)行處理的玻璃基板等工件W、并從在本例中形成在熱處理室的一面上的作為熱處理室2的開口部的開口面1a逐個取放進(jìn)行熱處理的裝置，其中作為多層在本例中為31層，其具有作為縫隙部件的遮蔽板4、小門5、升降機(jī)構(gòu)6、及開閉機(jī)構(gòu)7。
在熱處理室2的寬X方向的兩側(cè)及上下Z方向的下部具有空調(diào)部分，按箭頭表示的熱風(fēng)的流動方向的順序，與通常的相同設(shè)置有在本例中配設(shè)在下部的4臺送風(fēng)機(jī)8及其馬達(dá)81、為了達(dá)到風(fēng)量的平衡而根據(jù)需要設(shè)有導(dǎo)引通道等的入口通道部9、在本例中被分開的9臺高性能過濾器10、為了在下方使與工件W平行流動的熱風(fēng)向下流而根據(jù)需要設(shè)有導(dǎo)引通道等的出口通道部11、以及配置在下部空間12內(nèi)形成熱風(fēng)將循環(huán)空氣加熱到例如250℃左右的加熱器13等。符號14及15分別是隔熱壁及門。
支撐體3，被設(shè)成不會如吊籃那樣進(jìn)行升降、而保持在一定位置，由安裝在X方向兩側(cè)所直立設(shè)置的支柱31上的31個端側(cè)工件承載件32、及安裝在熱處理室的前后Y方向的里側(cè)所直立設(shè)置的支柱33上的31個×3列的中間工件承載件34等構(gòu)成。
由在本例中為31層的工件承載件32、34構(gòu)成的多層N，如圖4所示，作為多層n，由第1多層n1＝5層及成為最下組的n2＝n1+1＝6層構(gòu)成，且作為由第1多層n1＝5層及成為最下組的n2＝n1+1＝6層形成的多組m，由m1＝5組與m2＝1組合計6組構(gòu)成。其結(jié)果，設(shè)為N＝nm＝n1m1+n2m2＝25+6＝31層。
在本例中，采用這樣的n、m值是因為與由1個實際的制品規(guī)格決定的多層數(shù)N＝31相一致。例如，如果N＝30，則n全部是n1為5、m均是m1為6，如果N＝32，則n1＝5、n2＝6、m1＝4、m2＝2，N＝n1×m1+n2×m2＝20+12＝32層。
如上所述，多層，由第1多層組成的第1多組構(gòu)成(箱1)、或者由如前例所述第1多層組成的第1多組與第2多層(第1多層+1)組成的第2多層合計的多組構(gòu)成(箱2)。這種箱1或箱2、以及箱2時的第2多組的數(shù)目，對應(yīng)作為實際的制品要求的N來規(guī)定。
圖5是表示遮蔽板4及其升降機(jī)構(gòu)6的概略構(gòu)成，圖6表示遮蔽板4及小門5部分的概略結(jié)構(gòu)。
遮蔽板4，以堵塞如圖1、2所示的開口面1a的方式設(shè)置，具有可取放工件W的縫隙41?？p隙41，由可使安裝在未圖示的自動機(jī)械的移動體100上的手臂101有余量地通過的4處的深槽部41a與可使支撐在手臂101上的工件W有余量地通過的上間隙41b形成，以便在本例中可由機(jī)械手取放工件W。深槽部41a及上間隙41b的高度間隔h1及h2分別設(shè)為如60mm及30mm左右的非常小的尺寸。
這種縫隙41，由對應(yīng)多組m的多個m構(gòu)成。即，在本例中，如圖4所示，利用工件承載件32、34支撐工件W的多層N＝31由411～415組成的5個及416構(gòu)成，其中，411～415對應(yīng)設(shè)為n1＝5、多組m1＝5的從最上組到5組的層位置，416對應(yīng)由n2＝n1+1＝6組成的最下組m2＝1組的層位置。
具有這種縫隙41的遮蔽板4，由框板42及安裝在其上的面板43構(gòu)成并可進(jìn)行升降。此外，雖然在圖5中省略了圖示，但縫隙41被形成為如圖所示的方形的縫隙部件41A并被嵌入面板43中。框板42，為了可進(jìn)行升降，而通過結(jié)合板44安裝在后述的升降機(jī)構(gòu)6上，并且也如圖7所示通過移動體45與向上下Z方向的輔助的線性導(dǎo)引件的槽46相結(jié)合導(dǎo)引升降，以可靠地沿升降方向運(yùn)動。
圖8～圖11是表示小門5及其開閉機(jī)構(gòu)7的構(gòu)成例。
小門5，如圖1～圖3及圖10所示，與遮蔽板4相對向設(shè)置在熱處理室2的相對遮蔽板4的外側(cè)，作為對應(yīng)多組m的多片在本例中為m＝6片。該小門5，也如圖4所示，以51～56可分別從上依次開閉相對應(yīng)的縫隙411～416的方式形成。由此，在本例中，在小門5的周圍的段差部分安裝有密封件51(在圖9中以單劃線表示其中心位置)，它們以凈化爐的主體結(jié)構(gòu)部1b及兩端與安裝在其中的阻擋部件1c相接觸的方式進(jìn)行設(shè)置。
這種小門5，通過2處由螺栓53將安裝板52安裝在后述的開閉機(jī)構(gòu)7的臂78上，且將臂78的一端側(cè)安裝在旋轉(zhuǎn)軸77上，而若旋轉(zhuǎn)軸77旋轉(zhuǎn)則可開閉以該軸為中心旋轉(zhuǎn)相對應(yīng)的縫隙41。
升降機(jī)構(gòu)6，可升降遮蔽板4使多個縫隙411～416分別停止在作為多層本例中n1＝5層及n2＝6層的各層位置。這樣作為升降機(jī)構(gòu)6，氣缸裝置、齒軌與小齒輪機(jī)構(gòu)、螺釘機(jī)構(gòu)、鋼絲吊起機(jī)構(gòu)等公知的各種直線移動裝置，但在本例中使用滾珠絲杠機(jī)構(gòu)。
本例的升降機(jī)構(gòu)6，如圖5所示，由帶減速機(jī)的伺服馬達(dá)61、利用該馬達(dá)旋轉(zhuǎn)的寬X方向的兩側(cè)的旋轉(zhuǎn)傳遞軸62、傳遞該軸的旋轉(zhuǎn)的滾珠絲杠缸體裝置63、與雖然省略了詳細(xì)圖示但在該裝置中限制上下Z方向位置并由旋轉(zhuǎn)電動軸62旋轉(zhuǎn)的球螺母相螺合由缸體63a一邊限制其旋轉(zhuǎn)一邊沿Z方向?qū)бM(jìn)行升降的滾珠絲杠軸63b、與該軸相配合傳遞其升降動作的升降軸64、支撐該軸可沿上下方向升降的軸承65、以及安裝在升降軸64與遮蔽板4的框板42上并將它們結(jié)合在一起的上述結(jié)合板44等構(gòu)成。
開閉機(jī)構(gòu)7，如圖3所示在小門51～56上分別設(shè)有71～76，以分別開閉在本例中由61～66的6扇組成的多扇小門5。這些開閉機(jī)構(gòu)71～76全部相同，在圖8～圖11中表示為開閉機(jī)構(gòu)7。
本例的開閉機(jī)構(gòu)7，由氣缸71、在其桿71a上通過浮動接頭72可如箭頭方向往復(fù)移動地設(shè)置的L形部件73、固定在其上沿上下方向延長并作為形成在表面?zhèn)鹊木€性導(dǎo)引件的一方側(cè)部件的本例中的凸條、同樣形成在里面?zhèn)鹊凝X軌75、導(dǎo)引嵌入凸條74的線性導(dǎo)引件的槽部件76、具有與齒軌75相咬合的小齒輪77a的上述旋轉(zhuǎn)軸77、以及在該軸上固定一端側(cè)并安裝有小門5的上述臂78等構(gòu)成。
此外，作為開閉縫隙41的小門的開閉機(jī)構(gòu)，也可取代如上述那樣使用氣缸與齒軌·小齒輪的機(jī)構(gòu)，使用由帶減速機(jī)的馬達(dá)直接驅(qū)使旋轉(zhuǎn)軸77旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)、或?qū)?個一次元動作的組合在一起以使小門5離開縫隙面并且沿Z方向滑動的移動機(jī)構(gòu)等適當(dāng)?shù)慕Y(jié)構(gòu)。另外，作為旋轉(zhuǎn)方式時的開閉方向，也可選擇向上打開或向下打開的任一種方式。
上述的熱處理裝置1如下述那樣運(yùn)轉(zhuǎn)并發(fā)揮其作用效果。
在熱處理室2內(nèi)，以之前所述的狀態(tài)在工件承載件32、34上支撐31層的工件W，并封閉如圖3、圖4所示的由51～56組成的全部小門5。而且，啟動送風(fēng)機(jī)8及加熱器13，作為循環(huán)氣體通常使空氣經(jīng)由如箭頭所示的高性能過濾器10通過熱處理室2進(jìn)行循環(huán)，對工件進(jìn)行熱處理。此時，如圖2及圖4所示，使遮蔽板4，分別處于6個縫隙411～416與由W1～W5及W1～W6的5層及6層組成的多層的從上①～⑥所示6組工件W的各最下層的工件W5及W6的位置相對應(yīng)處。
在該狀態(tài)下，假如31層的工件W中的從下按序號經(jīng)過規(guī)定的熱處理時間，則按它們的序號更換熱處理完畢的舊工件與接著應(yīng)進(jìn)行熱處理的新工件。
首先，在更換⑥組的工件W6時，打開小門56。由此，驅(qū)動開閉機(jī)構(gòu)7的氣缸71，使L形部件73上升、沿其方向在齒軌(rack)75上運(yùn)動，并使與其相咬合的小齒輪77a旋轉(zhuǎn)、帶動旋轉(zhuǎn)軸77旋轉(zhuǎn)，使臂78旋轉(zhuǎn)帶動小門56旋轉(zhuǎn)，打開縫隙416。在圖2中用實線表示該狀態(tài)。
此時，通過縫隙416使熱處理室2與其外部200相導(dǎo)通，室內(nèi)的熱氣漏出到外部。但是，作為熱處理2的整體，保持著封閉小門51～55的狀態(tài)，從而，封閉縫隙411～415，不會從該部分產(chǎn)生熱氣泄漏，并且由于縫隙41由僅僅可通過工件W與機(jī)械手101的上間隙41b與在X方向上局部設(shè)置4處的深槽部41a形成的、開口面積小，故熱氣泄漏阻止為極少量。其結(jié)果，熱處理室2內(nèi)的氣氛不混亂，能夠很好地保持其溫度分布。另外，因為遮蔽板4與小門5形成雙重隔熱密封，所以隔熱效果變好。
而且，這種情況下，在適用本發(fā)明的本例的裝置中，因為為了打開縫隙41而只需打開相對應(yīng)的小門5，所以能夠簡單且迅速地進(jìn)行其操作。從而，能夠使工件的熱處理效率好。另外，能夠減小用于開閉的驅(qū)動力。與此相對，在設(shè)有現(xiàn)有的小門的門開閉式的熱處理裝置中，由于為了打開多個小門的間隔部分，而進(jìn)行組合離開多個小門的開口面與上下移動的動作，故動作復(fù)雜、耗時，并且驅(qū)動力也變大。在本例的裝置中大幅度地改善了這些方面。
若打開小門56，則如圖2所示自動機(jī)械的移動體100從縫隙416向工件的下方插入4個機(jī)械手101(如圖1所示)，稍上升舉起工件W6移出到熱處理室2外，轉(zhuǎn)載到未圖示的熱處理完畢的工件線，從未熱處理工件線舉起新工件、從相同縫隙416將其放在工件承載件32、34上。由此完成⑥組的工件W6的交換。此外，在本例中，雖然只在熱處理室2的一面取放工件，但也可成為將小門5等設(shè)在前后Y方向的兩側(cè)，從兩側(cè)取放工件這樣的裝置。
在接續(xù)⑥組的工件W6、經(jīng)過該組的工件W5的熱處理時間、取放該部分的工件時，以打開小門56的狀態(tài)，使遮蔽板4僅上升工件1層份即1個間距，使縫隙416處在⑥組的工件W5的位置。此時，使馬達(dá)旋轉(zhuǎn)規(guī)定數(shù)，通過兩側(cè)的旋轉(zhuǎn)傳遞軸62將該旋轉(zhuǎn)傳遞給滾珠絲杠裝置63，由滾珠絲杠機(jī)構(gòu)使?jié)L珠絲杠63b上升1個間距，將其運(yùn)動從升降軸64通過結(jié)合板44傳遞給遮蔽板4的框板42，一邊由線性導(dǎo)引件46沿上下Z方向?qū)б贿吺拐诒伟?上升1個間距。
該上升動作，因為只是使馬達(dá)61稍微旋轉(zhuǎn)，所以可簡單、迅速且可靠地進(jìn)行。另外，僅僅形成縫隙并提升可充分輕量化的遮蔽板4，而無需搭載如現(xiàn)有裝置那樣大型的工件W提升重量大的裝載裝置，所以上升用的馬達(dá)61可設(shè)成例如400瓦左右的充分小的輸出。
據(jù)此，與工件W6相同取放工件W5進(jìn)行交換。此時，因為小門51～55關(guān)閉，所以不會產(chǎn)生熱氣泄漏的問題。此外，此時，①～⑤組的縫隙411～415成為各自組的工件W4的位置。
這樣，使遮蔽板4逐次上升1個間距，交換工件，在交換⑥組的最上層的工件W1時，遮蔽板4的上端4a上升6個間距處在圖4的雙點劃所示的4a’處。從而，作為凈化爐1的高度必須考慮該4a’的位置。但此時，由于該6個間距份的高度與工件的整體裝載高度相比較為1/5左右，故實質(zhì)上完全不會產(chǎn)生問題。
與此相對，在現(xiàn)有的吊籃升降式的裝置或使1個縫隙升降的裝置中，僅整個工件的裝置高度份的上方必須有多余的高度，最終使工件的裝載率降低。此外，僅上端上升的份成為下端4b下降的位置，但因為該部分在熱處理裝置中通常設(shè)為空調(diào)空間或機(jī)械空間，所以該部分占多余的空間不會導(dǎo)致熱處理裝置的高度變高。
若⑥組的6片工件W的熱處理完畢，則按從W1到W5的順序或相反的順序更換⑤組的工件W。此時，若關(guān)閉小門56并打開小門55，則使遮蔽板4下降1個間距或5個間距。據(jù)此，⑤組的縫隙415處在與該組的工件W1或W5的位置相對應(yīng)的位置，并且小門55打開，打開縫隙415，取放工件W1或W5。
這樣，依次取放全層的工件W進(jìn)行熱處理，并且，反復(fù)這樣的工序，連續(xù)、效率好地對工件進(jìn)行熱處理。此外，通常熱處理裝置1的各機(jī)器或自動機(jī)器的動作是自動化的，以對工件W自動地進(jìn)行熱處理。
(發(fā)明效果)根據(jù)如上所述本發(fā)明，在發(fā)明之一中，多層支撐平板狀的被處理物的支撐裝置設(shè)置成保持在一定位置。從而，多層支撐被處理物的重量重的支撐裝置不升降。其結(jié)果，無需設(shè)在現(xiàn)有的吊籃升降式熱處理裝置上的、需要大的驅(qū)動力、復(fù)雜大型的結(jié)構(gòu)的支撐裝置升降機(jī)構(gòu)。從而，尤其即使是如大型的玻璃基板那樣的被處理物也可容易可靠地進(jìn)行支撐。
另外，由于支撐裝置保持于一定位置，故在制作精度高的支撐裝置時能夠原樣保持其精度。其結(jié)果，可將在從熱處理室取放平板狀的被處理物時的作為通過部分的縫隙設(shè)為窄間隔。
而且，因為由多層組成的多組構(gòu)成支撐裝置的多層，并與其相關(guān)設(shè)有縫隙部件、小門、縫隙部件的升降機(jī)構(gòu)、及小門的開閉機(jī)構(gòu)，所以能夠以極佳的狀態(tài)將取放被處理物熱處理室進(jìn)行熱處理。
即，因為縫隙部件以堵塞熱處理室的開口部的方式設(shè)置，具有由對應(yīng)多組的多個構(gòu)成、可取放被處理物的縫隙、并可進(jìn)行升降，所以例如，如果縫隙部件的位置，處于在多組中縫隙位于各自多層的最下層的位置，則從任一個多組的最下層的縫隙取放與其相對應(yīng)的被處理物，接著使縫隙上升1層，取放與此時的縫隙相對應(yīng)的被處理物，這樣可逐層使縫隙上升、逐層取放被處理物。在這種情況下，因為縫隙部件的升降機(jī)構(gòu)可升降縫隙部件使多個的縫隙可停在多層的各層位置，所以能夠如上述那樣取放被處理物。
在此，因為在縫隙部件上與多組相對應(yīng)設(shè)有多個縫隙，所以能夠使用該多個縫隙取放被處理物。從而，縫隙部件只要僅升降構(gòu)成各自多組的多層份即可，無需升降多層的整個層數(shù)份。其結(jié)果，雖然使縫隙部件升降，但其升降高度為整個層高度份的多份之一，將熱處理裝置的高度與現(xiàn)有的吊籃或縫隙升降式的相比較能夠大幅度地降低。
若設(shè)有多個縫隙則在這些部分熱處理室與其外部相導(dǎo)通，但因為在相對縫隙部件的開口的外側(cè)與其相對向地設(shè)有對應(yīng)多組的多扇小門，可開閉各小門對應(yīng)的縫隙以在封閉時從外側(cè)包圍開口部，所以能夠充分減少熱處理室內(nèi)的氣氛泄漏到外部。另外，能夠?qū)崽幚硎业臍夥者M(jìn)行雙重密封使隔熱效果變好。而且，能夠很好地保持熱處理室內(nèi)的氣氛的溫度分布。
即，通過僅打開與多個縫隙中的取放被處理物的縫隙相對應(yīng)的小門，并保持與其他的縫隙相對應(yīng)的小門為封閉狀態(tài)，而對于其他的縫隙，即使它們與熱處理室相導(dǎo)通，小門也包圍封閉與外部相通的開口部，因此能夠防止通過其他的縫隙的內(nèi)外之間的導(dǎo)通。在這種情況下，因為開閉機(jī)構(gòu)可分別開閉多扇小門，所以能夠僅開閉如上述那樣必需開閉的縫隙。
在以上中，因為縫隙部件，僅形成有縫隙、而可制作成充分輕量，所以能夠減小使其升降的升降機(jī)構(gòu)的驅(qū)動力，并加快動作速度。另外，由于開閉機(jī)構(gòu)可開閉分割成多個的小門，故同樣能夠減小用于開閉的驅(qū)動力加快開閉速度。其結(jié)果，在少動力消耗的前提下，能夠縮短被處理物向熱處理室的取放時間、使熱處理效率變好。
權(quán)利要求
1.一種熱處理裝置，以設(shè)在熱處理室內(nèi)的支撐裝置支撐多層平板狀的被處理物、并從所述熱處理室的開口部逐個取放所述被處理物進(jìn)行熱處理，其特征在于所述支撐裝置被設(shè)成保持在一定位置，所述多層由多個層組成的多組構(gòu)成，包括以堵塞所述開口部的方式設(shè)置的可進(jìn)行升降的縫隙部件，其具有由與所述多組相對應(yīng)的多個構(gòu)成、可取放所述被處理物的縫隙；在所述開口的相對該縫隙部件的外側(cè)與所述縫隙部件相對向地設(shè)置、并與所述多組相對應(yīng)的多扇小門，其以分別可開閉相對應(yīng)的縫隙并在封閉時從所述外側(cè)包圍所述開口部地形成；可升降所述縫隙部件、以使所述多個縫隙可停止在所述多層的各層位置的升降機(jī)構(gòu)；以及可分別開閉所述多扇小門的開閉機(jī)構(gòu)。
全文摘要
提供一種滑動縫隙式熱處理裝置，該熱處理裝置(1)，是以固定設(shè)在熱處理室(2)內(nèi)的支撐體支撐多層LCD玻璃基板等工件(W)、并從開口面(1a)逐個取放進(jìn)行熱處理的裝置，其中作為多層在本例中為31層，其包括具有4文檔編號C03B27/00GK1517312SQ0315989
公開日2004年8月4日 申請日期2003年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2003年1月16日
發(fā)明者田中秀樹 申請人:愛斯佩克株式會社