一種噴淋裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種噴淋裝置，包括：噴淋頭、旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)、升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)和用于容納噴淋藥液的盛接槽，所述噴淋頭通過旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)與升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接。本發(fā)明的噴淋裝置，可使整個清洗工藝過程連貫，減少制造成本、以及設(shè)備故障發(fā)生率并且可降低維護(hù)費(fèi)用。
【專利說明】一種噴淋裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及噴淋裝置【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種噴淋裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體市場競爭的日趨激烈，各大半導(dǎo)體廠商對設(shè)備的性能和生產(chǎn)效率要求 越來越高。清洗機(jī)在半導(dǎo)體廠所有設(shè)備中所占比重為最大，近些年來單片清洗設(shè)備在硅片 清洗中應(yīng)用的越來越廣泛。單片清洗設(shè)備在清洗硅片的工藝中用到水、堿性試劑、酸性試 劑以及甩干過程中用到氮氣等，此外由于標(biāo)準(zhǔn)I號液配合兆聲波能場能產(chǎn)生良好的清洗效 果，使得兆聲波清洗的應(yīng)用也頗為廣泛。在當(dāng)前單片清洗設(shè)備中的藥液噴淋系統(tǒng)中多是將 水、藥液、氣體以及兆聲波發(fā)生器等分成多個獨立的單元來完成整個硅片的清洗工藝。每個 獨立的單元在生產(chǎn)工藝過程中獨立運(yùn)動存在以下不足:(I)會造成整個工藝過程不連貫；
[2]多個獨立單元分別控制會使得控制過程過于復(fù)雜；(3)多個獨立單元造成設(shè)備維護(hù)困 難；(4)多個獨立單元會增加設(shè)備的故障發(fā)生概率。鑒于此，我們需要有新型的藥液噴淋系 統(tǒng)來解決這些問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003](一)要解決的技術(shù)問題
[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是，針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種噴淋裝置，可使整個 清洗工藝過程連貫，減少制造成本、以及設(shè)備故障發(fā)生率并且可降低維護(hù)費(fèi)用。
[0005](二)技術(shù)方案
[0006]本發(fā)明提供一種噴淋裝置，包括:噴淋頭、旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)、升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)和用于容 納噴淋藥液的盛接槽，所述噴淋頭通過旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)與升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接。
[0007]更好地，所述噴淋裝置還包括:用于固定噴淋頭的固定架，所述固定架與旋轉(zhuǎn)執(zhí)行 機(jī)構(gòu)連接；所述固定架邊緣平均設(shè)有至少三個調(diào)平螺釘。
[0008]更好地，所述旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括:擺臂、旋轉(zhuǎn)軸、聯(lián)軸器和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)，所述擺臂 一端與所述固定架連接，另一端與所述旋轉(zhuǎn)軸上端連接，所述旋轉(zhuǎn)軸的下端通過所述聯(lián)軸 器與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)連接。
[0009]更好地，所述升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括:升降電機(jī)和安裝于所述升降電機(jī)上的滑動塊。
[0010]更好地，所述噴淋頭包括:進(jìn)液或進(jìn)氣孔、用于與所述固定架固定連接的連接孔、 集成在噴淋頭主體內(nèi)部的兆聲波發(fā)生器、噴淋孔、噴淋孔流道和用于所述兆聲波發(fā)生器穿 線和穿管的穿線孔；所述進(jìn)液或進(jìn)氣孔與所述噴淋孔流道連接；所述噴淋頭材質(zhì)為防腐蝕 材料。
[0011]更好地，所述噴淋孔流道為光滑圓柱面或曲面或不規(guī)則表面。
[0012]更好地，所述每個噴淋孔流道與至少2個噴淋孔相對應(yīng)。
[0013]更好地，所述噴淋孔為直孔、錐孔或不規(guī)則孔。
[0014]更好地，所述盛接槽包括:內(nèi)側(cè)進(jìn)液槽、外側(cè)溢流槽、進(jìn)液孔和排液孔，所述噴淋頭在起始位置時浸于盛接槽的內(nèi)側(cè)進(jìn)液槽內(nèi)；所述旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)和所述升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)為電動或者氣動。[0015]更好地，所述噴淋頭集成多個兆聲波發(fā)生器，所述兆聲波發(fā)生器的半徑大于被噴淋物體的半徑。
[0016](三)有益效果
[0017]本發(fā)明的噴淋裝置，可使整個清洗工藝過程連貫，減少制造成本、以及設(shè)備故障發(fā)生率并且可降低維護(hù)費(fèi)用。
【專利附圖】

【附圖說明】[0018]圖[0019]圖[0020]圖[0021]圖[0022]圖[0023]圖[0024]圖[0025]圖1為本發(fā)明噴淋裝置的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
2a為本發(fā)明噴淋裝置的噴淋頭與固定架連接面結(jié)構(gòu)圖； 2b為本發(fā)明噴淋裝置的噴淋頭噴灑面結(jié)構(gòu)示意圖；
2c為本發(fā)明噴淋裝置的噴淋頭縱剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
3為本發(fā)明噴淋裝置的盛接槽剖面立體結(jié)構(gòu)示意圖；
4為本發(fā)明噴淋裝置的固定架結(jié)構(gòu)示意圖；
5為本發(fā)明噴淋裝置工藝開始時起始位置結(jié)構(gòu)示意圖；
6為本發(fā)明噴淋裝置工藝過程時結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0026]下面結(jié)合附圖和實施例，對本發(fā)明的【具體實施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。
[0027]如圖1所示，一種噴淋裝置，包括:用于噴水、化學(xué)試劑以及吹氣的噴淋頭1、用于固定噴淋頭I的固定架2、旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)、升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)和用于容納噴淋藥液的盛接槽3，所述噴淋頭I通過旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)與升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接，所述固定架2與旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接；所述旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)和所述升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)為電動或者氣動。所述旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括:擺臂8、旋轉(zhuǎn)軸9、聯(lián)軸器10和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)11，所述擺臂8 一端與所述固定架2連接，其另一端與所述旋轉(zhuǎn)軸9上端連接，所述擺臂8起到支撐的作用，所述旋轉(zhuǎn)軸9的下端通過所述聯(lián)軸器10 與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)11連接。工作時，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)11通過聯(lián)軸器10、旋轉(zhuǎn)軸9帶動擺臂8做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，與擺臂8連接的噴淋頭I也隨之做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。所述升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括:升降電機(jī)13和安裝于所述升降電機(jī)上的滑動塊12，所述滑動塊12與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)11 連接。工作時，所述升降電機(jī)13通過與滑動塊12連接的旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)帶動噴淋頭I做升降運(yùn)動。
[0028]圖2a為本發(fā)明噴淋裝置的噴淋頭與固定架連接面結(jié)構(gòu)圖，圖2b為本發(fā)明噴淋裝置的噴淋頭噴灑面結(jié)構(gòu)示意圖，圖2c為本發(fā)明噴淋裝置的噴淋頭縱剖面結(jié)構(gòu)示意圖，如圖 2a-圖2c所示，所述噴淋頭I包括:進(jìn)液或進(jìn)氣孔14、連接孔15、集成在噴淋頭主體內(nèi)部的兆聲波發(fā)生器19、用于所述兆聲波發(fā)生器19穿線和穿管的穿線孔16、噴淋孔17和噴淋孔流道18 ;如圖4所示，所述噴淋頭I通過連接螺釘22穿過所述連接孔15與所述固定架2固定連接；所述進(jìn)液或進(jìn)氣孔14與所述噴淋孔流道18連接，所述噴淋孔流道18為光滑圓柱面或曲面或不規(guī)則表面，其中每個噴淋孔流道18與至少2個噴淋孔17相對應(yīng)，所述噴淋孔17為直孔或錐孔或不規(guī)則孔；所述噴淋頭I集成多個兆聲波發(fā)生器19，所述兆聲波發(fā)生器 19的形狀大于被噴淋物體的半徑；所述噴淋頭I的材質(zhì)為防腐蝕材料。
[0029]如圖3所示，所述盛接槽3包括:內(nèi)側(cè)進(jìn)液槽31、外側(cè)溢流槽32、進(jìn)液孔33和排液 孔34 ;所述盛接槽3用于清洗所述噴淋頭I，所述噴淋頭I在起始位置時浸于盛接槽3的內(nèi) 側(cè)進(jìn)液槽31內(nèi)，超純凈水通過所述進(jìn)液孔33持續(xù)流入所述內(nèi)側(cè)進(jìn)液槽31內(nèi)，對噴淋頭I 進(jìn)行持續(xù)性清洗，當(dāng)所述內(nèi)側(cè)進(jìn)液槽31內(nèi)的超純凈水溢出時，通過外側(cè)溢流槽32內(nèi)設(shè)置的 排液孔34排出。
[0030]如圖4并參考圖2a和圖5所示，固定架2邊緣平均設(shè)有至少三個調(diào)平螺釘21。在 本實施例中調(diào)平螺釘為三個，如果噴淋頭I與被清洗硅片5不平行，可以分別調(diào)整三個調(diào)平 螺釘21的旋緊程度來頂噴淋頭I以調(diào)整噴淋頭I與硅片5平行，調(diào)整完后再用連接螺釘22 穿過噴淋頭I上的連接孔15將固定架2與噴淋頭I連接并固定。所述調(diào)平螺釘21還可以 為多個。
[0031]如圖5_圖6所不，清洗工藝過程如下:
[0032]清洗工藝起始時，所述噴淋頭I置于盛接槽3的內(nèi)側(cè)進(jìn)液槽31內(nèi)。
[0033]清洗工藝開始時，所述升降電機(jī)13開始帶動噴淋頭I上升，與所述盛接槽3分離， 所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)11帶動所述噴淋頭I旋轉(zhuǎn)至工藝腔體4的上方，所述升降電機(jī)13做下 降運(yùn)動使所述噴淋頭I下降到能與所述工藝腔體4的腔體口無縫連接的位置。
[0034]清洗工藝進(jìn)行時，根據(jù)工藝需求水或者化學(xué)試劑通過噴淋頭的進(jìn)液或進(jìn)氣孔14 流入到所述噴淋孔流道18內(nèi)，并從所述噴淋孔流道18對應(yīng)的噴淋孔17中噴出，噴灑在工 藝腔體4中的硅片5上，進(jìn)行清洗；另外，在堿性試劑清洗時，可以開啟噴淋頭I內(nèi)部的集成 兆聲波發(fā)生器19，可以更好的發(fā)揮堿性試劑的清洗效果。經(jīng)過水和化學(xué)試劑清洗完畢后， 從進(jìn)液或進(jìn)氣孔14噴出氣體通過噴淋孔流道18從噴淋孔17中噴出，對所述硅片5進(jìn)行吹 干。
[0035]清洗工藝結(jié)束時，所述升降電機(jī)13做上升運(yùn)動使所述噴淋頭I上升與工藝腔體4 分離，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)11帶動所述噴淋頭I旋轉(zhuǎn)至盛接槽3的上方，所述升降機(jī)13做下 降運(yùn)動使所述噴淋頭I置于盛接槽3的內(nèi)側(cè)進(jìn)液槽31內(nèi)，超純凈水通過的進(jìn)液孔33持續(xù) 流入盛接槽3的內(nèi)側(cè)進(jìn)液槽31內(nèi)，對噴淋頭I進(jìn)行持續(xù)性清洗,當(dāng)所述內(nèi)側(cè)進(jìn)液槽31內(nèi)的 超純凈水溢出時，通過盛接槽3的外側(cè)溢流槽32內(nèi)設(shè)置的排液孔34排出。
[0036]以上實施方式僅用于說明本發(fā)明，而并非對本發(fā)明的限制，有關(guān)【技術(shù)領(lǐng)域】的普通 技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有 等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
【權(quán)利要求】
1.一種噴淋裝置，其特征在于，包括:噴淋頭、旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)、升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)和用于容 納所述噴淋頭的盛接槽，所述噴淋頭通過旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)與升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接。
2.如權(quán)利要求1所述的噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋裝置還包括:用于固定噴淋頭 的固定架，所述固定架與旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接；所述固定架邊緣平均設(shè)有至少三個調(diào)平螺釘。
3.如權(quán)利要求2所述的噴淋裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括:擺臂、旋轉(zhuǎn)軸、 聯(lián)軸器和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)，所述擺臂一端與所述固定架連接，其另一端與所述旋轉(zhuǎn)軸上端連 接，所述旋轉(zhuǎn)軸的下端通過所述聯(lián)軸器與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)連接。
4.如權(quán)利要求1或2所述的噴淋裝置，其特征在于，所述升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括:升降電機(jī) 和安裝于所述升降電機(jī)上的滑動塊。
5.如權(quán)利要求2所述的噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋頭包括:進(jìn)液或進(jìn)氣孔、用于 連接所述固定架的連接孔、集成在噴淋頭主體內(nèi)部的兆聲波發(fā)生器、噴淋孔、噴淋孔流道和 用于所述兆聲波發(fā)生器穿線和穿管的穿線孔；所述進(jìn)液或進(jìn)氣孔與所述噴淋孔流道連接； 所述噴淋頭材質(zhì)為防腐蝕材料。
6.如權(quán)利要求5所述的噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋孔流道為光滑圓柱面或曲面 或不規(guī)則表面。
7.如權(quán)利要求5或6所述的噴淋裝置，其特征在于，所述每個噴淋孔流道與至少2個噴 淋孔相對應(yīng)。
8.如權(quán)利要求5或7所述的噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋孔為直孔或錐孔或不規(guī)則孔。
9.如權(quán)利要求1所述的噴淋裝置，其特征在于，所述盛接槽包括:內(nèi)側(cè)進(jìn)液槽、外側(cè)溢 流槽、進(jìn)液孔和排液孔，所述噴淋頭在起始位置時浸于盛接槽的內(nèi)側(cè)進(jìn)液槽內(nèi)；所述旋轉(zhuǎn)執(zhí) 行機(jī)構(gòu)和所述升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)為電動或者氣動。
10.如權(quán)利要求5所述的噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋頭集成多個兆聲波發(fā)生器， 所述兆聲波發(fā)生器的半徑大于被噴淋物體的半徑。
【文檔編號】B08B3/02GK103506340SQ201210226886
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2012年6月29日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月29日
【發(fā)明者】王波雷, 吳儀, 李偉, 王浩, 張豹 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司