技術(shù)編號(hào)：1425300
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種噴淋裝置，包括噴淋頭、旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)、升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)和用于容納噴淋藥液的盛接槽，所述噴淋頭通過旋轉(zhuǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)與升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接。本發(fā)明的噴淋裝置，可使整個(gè)清洗工藝過程連貫，減少制造成本、以及設(shè)備故障發(fā)生率并且可降低維護(hù)費(fèi)用。專利說明一種噴淋裝置[0001]本發(fā)明涉及噴淋裝置，特別涉及一種噴淋裝置。背景技術(shù)[0002]隨著半導(dǎo)體市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的日趨激烈，各大半導(dǎo)體廠商對(duì)設(shè)備的性能和生產(chǎn)效率要求 越來越高。清洗機(jī)在半導(dǎo)體廠所有設(shè)備中所占比重為最大，近些年來...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。