靜電屏蔽袋膜以及靜電屏蔽袋的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及防靜電技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種靜電屏蔽袋膜以及靜電屏蔽袋。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，隨著現(xiàn)代工業(yè)的不斷發(fā)展，防靜電危害問(wèn)題日益受到關(guān)注和重視。在紡織、造紙、印刷、微電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)、膠片制造、塑料化工以及交通運(yùn)輸?shù)炔块T(mén)中，靜電不僅影響產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)的正常進(jìn)行，嚴(yán)重情況下，甚至造成故障，產(chǎn)品報(bào)廢，以至發(fā)生爆炸與火災(zāi)。例如，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，制備好的晶圓需要放在晶圓盒中，以便于運(yùn)輸。在運(yùn)輸過(guò)程中，晶圓盒收到摩擦、撞擊、外界電場(chǎng)和磁場(chǎng)的影響，容易產(chǎn)生靜電，導(dǎo)致晶圓的電性能收到影響。
[0003]在現(xiàn)有技術(shù)中，為了避免靜電影響，一般需要將晶圓盒防止于靜電屏蔽袋中，靜電屏蔽袋一般由靜電屏蔽袋膜熱封形成。然而，現(xiàn)有的靜電屏蔽袋膜的強(qiáng)度不夠，靜電屏蔽袋在運(yùn)輸?shù)倪^(guò)程中，容易出現(xiàn)破損、劃痕等現(xiàn)象，特別是棱角的地方，從而不能對(duì)所述晶圓起到良好的防靜電保護(hù)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于，提供一種靜電屏蔽袋膜以及靜電屏蔽袋，能夠提高靜電屏蔽袋的拉伸性能以及抗刺穿性，可以有效地提高靜電屏蔽袋的強(qiáng)度。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種靜電屏蔽袋膜，所述靜電屏蔽袋膜為多層結(jié)構(gòu)，所述靜電屏蔽袋膜的內(nèi)層為熱封層，所述靜電屏蔽袋膜的外層為雙向拉伸聚丙烯薄膜，所述熱封層和雙向拉伸聚丙烯薄膜之間設(shè)置有金屬層。
[0006]進(jìn)一步的，所述靜電屏蔽袋膜還包括一拉伸增強(qiáng)層，所述拉伸增強(qiáng)層位于所述熱封層和雙向拉伸聚丙烯薄膜之間。
[0007]進(jìn)一步的，所述拉伸增強(qiáng)層位于所述熱封層和金屬層之間。
[0008]進(jìn)一步的，所述拉伸增強(qiáng)層位于所述雙向拉伸聚丙烯薄膜和金屬層之間。
[0009]進(jìn)一步的，所述拉伸增強(qiáng)層的厚度為0.005mm?0.05_。
[0010]進(jìn)一步的，所述熱封層的厚度為0.0lmm?0.5mm。
[0011]進(jìn)一步的，所述金屬層的厚度為0.0Olmm?0.02mm。
[0012]進(jìn)一步的，所述雙向拉伸聚丙稀薄膜的厚度為0.0Olmm?0.05mm。
[0013]根據(jù)本實(shí)用新型的另一面，還提供一種靜電屏蔽袋，用于將一晶圓盒裝入所述靜電屏蔽袋中，其特征在于，所述靜電屏蔽袋由如上任意一項(xiàng)所述的靜電屏蔽袋膜圍繞形成一密封腔，所述晶圓盒放置于所述密封腔中，所述熱封層為所述密封腔的內(nèi)壁。
[0014]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的靜電屏蔽袋膜以及靜電屏蔽袋具有以下優(yōu)占.V.
[0015]在本實(shí)用新型提供的靜電屏蔽袋膜以及靜電屏蔽袋中，所述靜電屏蔽袋膜為多層結(jié)構(gòu)，所述靜電屏蔽袋膜的內(nèi)層為熱封層，所述靜電屏蔽袋膜的外層為雙向拉伸聚丙烯薄膜，所述熱封層和雙向拉伸聚丙烯薄膜之間設(shè)置有金屬層，所述金屬層可以有效地對(duì)晶圓盒中的晶圓進(jìn)行靜電保護(hù)；所述雙向拉伸聚丙烯薄膜中的聚丙烯分子鏈呈無(wú)規(guī)則排序，能夠有效提高所述靜電屏蔽袋膜在不同方向上的抗拉伸性能。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1為本實(shí)用新型第一實(shí)施例中靜電屏蔽袋膜的斷面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為雙向拉伸聚丙烯薄膜中的聚丙烯分子鏈的分布示意圖；
[0018]圖3為本實(shí)用新型第一實(shí)施例中靜電屏蔽袋的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖4為本實(shí)用新型第二實(shí)施例中靜電屏蔽袋膜的斷面結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型的靜電屏蔽袋膜以及靜電屏蔽袋進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型，而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
[0021]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開(kāi)發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。
[0022]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書(shū)，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0023]本實(shí)用新型的核心思想在于，提供一種靜電屏蔽袋膜，所述靜電屏蔽袋膜為多層結(jié)構(gòu)，所述靜電屏蔽袋膜的內(nèi)層為熱封層，所述靜電屏蔽袋膜的外層為雙向拉伸聚丙烯薄膜，所述熱封層和雙向拉伸聚丙烯薄膜之間設(shè)置有金屬層。所述金屬層可以有效地對(duì)晶圓盒中的晶圓進(jìn)行靜電保護(hù)；所述雙向拉伸聚丙烯薄膜中的聚丙烯分子鏈呈無(wú)規(guī)則排序，能夠有效提高所述靜電屏蔽袋膜在不同方向上的抗拉伸性能。
[0024]以下列舉所述靜電屏蔽袋膜以及靜電屏蔽袋的幾個(gè)實(shí)施例，以清楚說(shuō)明本實(shí)用新型的內(nèi)容，應(yīng)當(dāng)明確的是，本實(shí)用新型的內(nèi)容并不限制于以下實(shí)施例，其他通過(guò)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員的常規(guī)技術(shù)手段的改進(jìn)亦在本實(shí)用新型的思想范圍之內(nèi)。
[0025]第一實(shí)施例
[0026]在本實(shí)施例中，所述靜電屏蔽袋膜包括一拉伸增強(qiáng)層，所述拉伸增強(qiáng)層可以進(jìn)一步提高所述靜電屏蔽袋膜的強(qiáng)度，所述拉伸增強(qiáng)層位于所述熱封層和金屬層之間。具體的，請(qǐng)參考圖1和圖2，其中，圖1為本實(shí)用新型第一實(shí)施例中靜電屏蔽袋膜的斷面結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為雙向拉伸聚丙烯薄膜中的聚丙烯分子鏈的分布示意圖。
[0027]如圖1所示，所述靜電屏蔽袋膜I為多層結(jié)構(gòu)，即為復(fù)合薄膜結(jié)構(gòu)。在本實(shí)施例中，所述靜電屏蔽袋膜I為四層結(jié)構(gòu)的復(fù)合薄膜，其內(nèi)層為熱封層11，在所述熱封層11上覆蓋有拉伸增強(qiáng)層12，所述拉伸增強(qiáng)層12上有金屬層13，所述金屬層13外覆蓋有雙向拉伸聚丙稀薄膜(Biaxially Oriented Polypropylene，簡(jiǎn)稱(chēng)B0PP) 14，所述雙向拉伸聚丙稀薄膜的材料為現(xiàn)有的雙向拉伸聚丙烯材料。
[0028]所述熱封層11為所述靜電屏蔽袋膜I的最內(nèi)層，當(dāng)將所述靜電屏蔽袋膜I制作為靜電屏蔽袋時(shí)，所述熱封層11折疊在里面，以便于熱封設(shè)備加熱封合。在本實(shí)施例中，所述熱封層11為現(xiàn)有的低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯混合的薄膜，低密度聚乙烯和線性低密度聚乙烯的薄膜可以很好地進(jìn)行熱封。在本實(shí)用新型的其它實(shí)施例中，所述熱封層11還可以為現(xiàn)有的低密度聚乙烯的薄膜、現(xiàn)有的線性低密度聚乙烯的薄膜或現(xiàn)有的未拉伸聚丙烯的薄膜等熔點(diǎn)不太高(不超過(guò)300°c，可以進(jìn)行熱封)的薄膜。較佳的，所述熱封層11的厚度為0.01mm?0.5mm,例如0.05mm、0.1mm.0.2mm、0.3mm.0.4mm等等，可以進(jìn)行有效地?zé)岱?，并可以保證所述靜電屏蔽袋的真空性。
[0029]在本實(shí)施例中，所述拉伸增強(qiáng)層12為現(xiàn)有的尼龍層，所述尼龍層具有抗擊穿、抗拉伸以及隔氧的作用，可以進(jìn)一步提高所述靜電屏蔽袋膜I的