分區(qū)熱反射板的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種分區(qū)熱反射板，在多區(qū)電阻加熱源的背對(duì)加熱源熱輻射方向的一面對(duì)每區(qū)加熱電阻設(shè)置單獨(dú)的熱反射板，可以有效減小反射板溫度差，抑制高溫差引起的變形，進(jìn)一步提高反射板可靠性。
【專利說明】分區(qū)熱反射板

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種反射半導(dǎo)體制造設(shè)備多區(qū)加熱源放射紅外線的熱反射板。
技術(shù)背景
[0002]在半導(dǎo)體制造設(shè)備，尤其是需要高溫加熱的半導(dǎo)體制造設(shè)備中，如金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)，通常使用紅外輻射加熱或電磁感應(yīng)加熱。由于MOCVD工藝和生產(chǎn)需要，MOCVD設(shè)備加熱系統(tǒng)經(jīng)常在高溫負(fù)載(1000攝氏度以上)下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。紅外輻射加熱中通常是電阻片或電阻絲形式。在高溫下，傳熱的方式是以輻射為主的，而輻射傳熱受其輻射角的影響。針對(duì)大面積均勻加熱，在現(xiàn)有技術(shù)中，通常采用多區(qū)電阻外輻射形式，以便于通過各區(qū)域功率調(diào)節(jié)控制和實(shí)現(xiàn)受熱體溫度均勻?，F(xiàn)有多區(qū)電阻加熱中，通常采用單層或多層整體式反射板進(jìn)行紅外線的反射，由于各區(qū)電阻加熱功率或溫度不一致以及加熱器熱輻射方向的原因，造成整體式反射板上溫度差較大，在高溫條件下容易變形，需要頻繁維護(hù)或更換。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提出一種分區(qū)熱反射板，該熱反射板具有可以有效減小反射板溫度差，抑制高溫差引起的變形等優(yōu)點(diǎn)。
[0004]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下:
[0005]一種分區(qū)熱反射板，其特征在于:在多區(qū)電阻加熱源的背對(duì)加熱源熱輻射方向的一面對(duì)每區(qū)加熱電阻設(shè)置單獨(dú)的熱反射板。
[0006]優(yōu)選地，分區(qū)熱反射板可以設(shè)置2層以上，以進(jìn)一步減少熱輻射損失。
[0007]進(jìn)一步優(yōu)選地，分區(qū)熱反射板可以設(shè)置2層以上時(shí)，每層相鄰單獨(dú)反射板之間的間隙與相鄰層之間對(duì)應(yīng)的間隙錯(cuò)開，以避免熱輻射通過單獨(dú)反射板之間的間隙發(fā)射，進(jìn)一步減少熱輻射損失。
[0008]優(yōu)選地，在分區(qū)熱反射板背對(duì)加熱源熱輻射方向的一面設(shè)置I層或2層以上整體熱反射板，整體熱反射板與加熱源之間由于有分區(qū)熱反射板阻隔，其溫差已經(jīng)較小，設(shè)置整體熱反射板可以進(jìn)一步增加熱輻射面積，減少熱輻射損失，起到節(jié)能作用。
[0009]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，可以有效減小反射板溫度差，抑制高溫差引起的變形，進(jìn)一步提尚反射板可靠性。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型的分區(qū)熱反射板的一個(gè)實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2為在圖1基礎(chǔ)上將分區(qū)熱反射板設(shè)置為3層的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖3為在圖2基礎(chǔ)上設(shè)置整體熱反射板的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合實(shí)施例和附圖進(jìn)一步說明本實(shí)用新型:
[0014]實(shí)施例參考圖1，一種分區(qū)熱反射板，在含有電阻加熱源10、11和12的3區(qū)加熱源背對(duì)加熱源熱輻射方向的一面對(duì)每區(qū)加熱電阻設(shè)置單獨(dú)的熱反射板，電阻加熱源10、11和12分別對(duì)應(yīng)設(shè)置熱反射板1、2和3。
[0015]參考圖2，優(yōu)選地，為進(jìn)一步減少熱輻射損失，將分區(qū)熱反射板可以設(shè)置2層以上，圖2中將分區(qū)熱反射板設(shè)置為3層。將分區(qū)熱反射板設(shè)置為2層以上時(shí)，將每層相鄰單獨(dú)反射板之間的間隙與相鄰層之間對(duì)應(yīng)的間隙錯(cuò)開，以避免熱輻射通過單獨(dú)反射板之間的間隙發(fā)射，進(jìn)一步減少熱輻射損失。如圖2所示，由熱反射板4、5和6組成的中間層的分區(qū)熱反射板，其中熱反射板4和5的間隙與熱反射板I和2的間隙以及熱反射板7和8的間隙錯(cuò)開，熱反射板5和6的間隙與熱反射板2和3的間隙以及熱反射板8和9的間隙錯(cuò)開。
[0016]參考圖3，優(yōu)選地，在分區(qū)熱反射板背對(duì)加熱源熱輻射方向的一面設(shè)置I層整體熱反射板13，整體熱反射板與加熱源之間由于有分區(qū)熱反射板阻隔，其溫差已經(jīng)較小，設(shè)置整體熱反射板可以進(jìn)一步增加熱福射面積，減少熱福射損失，起到節(jié)能作用，也可以根據(jù)節(jié)能需要設(shè)置成2層以上的整體熱反射板。
[0017]上述實(shí)施例只是本實(shí)用新型較優(yōu)選的【具體實(shí)施方式】的一種，本領(lǐng)域技術(shù)人員在本實(shí)用新型方案范圍內(nèi)進(jìn)行的通常變化和替換都應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種分區(qū)熱反射板，其特征在于:在多區(qū)電阻加熱源的背對(duì)加熱源熱輻射方向的一面對(duì)每區(qū)加熱電阻設(shè)置單獨(dú)的熱反射板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分區(qū)熱反射板，其特征在于:所述分區(qū)熱反射板可以設(shè)置2層以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分區(qū)熱反射板，其特征在于:每層相鄰單獨(dú)反射板之間的間隙與相鄰層之間對(duì)應(yīng)的間隙錯(cuò)開。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3所述的分區(qū)熱反射板，其特征在于:在所述分區(qū)熱反射板背對(duì)加熱源熱輻射方向的一面設(shè)置I層或2層以上整體熱反射板。
【文檔編號(hào)】H05B3/02GK204244490SQ201420747587
【公開日】2015年4月1日 申請(qǐng)日期:2014年12月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月3日
【發(fā)明者】甘志銀, 沈橋 申請(qǐng)人:廣東昭信半導(dǎo)體裝備制造有限公司