專利名稱：部件安裝機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種拾取通過(guò)晶圓托板提供的裸片安裝到電路基板的部件安裝機(jī)。
背景技術(shù)：
通過(guò)晶圓托板提供的裸片是將晶圓棋盤格狀切割而形成的，粘貼到切割片上，因此從切割片拾取裸片時(shí)，需要從切割片剝離裸片。裸片的剝離方式包括頂起剝離方式和滑動(dòng)剝離方式。在頂起剝離方式中，如專利文獻(xiàn)I (特開(kāi)2010-129949號(hào)公報(bào))所述，對(duì)從粘貼了棋盤格狀切割的晶圓的可伸縮的切割片上的晶圓分割出的裸片，用吸嘴吸附并拾取時(shí)，對(duì)切割片中的要吸附的裸片的粘貼部分，從其正下方用頂起筒頂起，將該裸片的粘貼部分從切割片部分剝離的同時(shí)，用吸嘴吸附該裸片而從切割片拾取。但是，當(dāng)裸片為較薄易破裂的裸片時(shí)，在上述頂起剝離方式中，裸片可能破裂，因此使用滑動(dòng)剝離方式。在滑動(dòng)剝離方式中，如專利文獻(xiàn)2(日本專利第3209736號(hào)公報(bào))所述，具有拾取粘貼了多個(gè)裸片的切割片上的裸片的吸嘴(collet);具有片吸引孔的剝離臺(tái)，通過(guò)吸嘴的墊片吸附保持切割片上的裸片的同時(shí)，使剝離臺(tái)從該裸片的粘貼部分的近前側(cè)的片吸引孔向該裸片的粘貼部分的正下方滑動(dòng)，從而對(duì)該裸片的粘貼部分逐漸進(jìn)行片剝離。并且，專利文獻(xiàn)3 (日本特開(kāi)平11-97489號(hào)公報(bào))中，在I臺(tái)裝置上搭載2個(gè)頭，通過(guò)一個(gè)頭拾取切割片上的裸片并放置到定位臺(tái)上，通過(guò)另一個(gè)頭拾取定位臺(tái)上的裸片安裝到電路基板上。并且，專利文獻(xiàn)4(日本特開(kāi)2008-4810號(hào)公報(bào))中，在部件安裝線上排列裸片拾取裝置和安裝裝置等多個(gè)工序裝置，并且用穿梭機(jī)連接裸片拾取裝置和安裝裝置之間，通過(guò)裸片拾取裝置拾取切割片上的裸片并放置到穿梭機(jī)上，通過(guò)該穿梭機(jī)將裸片移送到安裝裝置，通過(guò)安裝裝置從穿梭機(jī)拾取裸片安裝到電路基板。專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2010-129949號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本專利3209736號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 :日本特開(kāi)平11-97489號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4 :日本特開(kāi)2008-4810號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容一般情況下，從切割片剝離裸片并拾取的工序和將裸片安裝到電路基板的工序相比耗費(fèi)時(shí)間。為縮短裸片拾取工序的生產(chǎn)節(jié)拍，加速片剝離速度、縮短片剝離所需時(shí)間較為有效，尤其是在專利文獻(xiàn)2所述的滑動(dòng)剝離方式中，為了對(duì)于薄且易碎的裸片進(jìn)行片剝離，當(dāng)使剝離臺(tái)的滑動(dòng)速度加速時(shí)，薄裸片會(huì)破裂，或片剝離可能失敗。因此，需要緩慢地滑動(dòng)剝離臺(tái)，片剝離所需時(shí)間變長(zhǎng)，裸片拾取工序的生產(chǎn)節(jié)拍變長(zhǎng)，結(jié)果使裸片安裝工序的生產(chǎn)節(jié)拍也延長(zhǎng)，無(wú)法滿足較高生產(chǎn)性的要求。因此，本發(fā)明要解決的課題是，在通過(guò)I臺(tái)部件安裝機(jī)執(zhí)行從切割片剝離裸片并拾取的工序、及將裸片安裝到電路基板的工序的裝置中，滿足高生產(chǎn)性的要求。為解決上述課題，技術(shù)方案I涉及的發(fā)明一是種部件安裝機(jī)，具有晶圓托板，安裝有切割片，所述切割片粘貼有切割晶圓而形成的多個(gè)裸片；多個(gè)作業(yè)頭；搬運(yùn)電路基板的輸送機(jī)，其特征在于，具有裸片移載臺(tái)，可放置多個(gè)從上述切割片剝離的裸片，通過(guò)上述多個(gè)作業(yè)頭中的任意一個(gè)作業(yè)頭，拾取上述切割片上的裸片放置到上述裸片移載臺(tái)上，并且通過(guò)另一個(gè)作業(yè)頭拾取上述裸片移載臺(tái)上的裸片安裝到電路基板上。在本發(fā)明中，具有可放置多個(gè)從切割片剝離的裸片的裸片移載臺(tái)，因此在將裸片安裝到電路基板的工序的等待時(shí)間中，可從切 割片剝離裸片并堆放到裸片移載臺(tái)上。這樣一來(lái)，在裸片安裝工序中，可將裸片移載臺(tái)上堆放的裸片高效地安裝到電路基板上，能夠盡量防止裸片安裝工序的生產(chǎn)節(jié)拍因裸片拾取工序而被延長(zhǎng)，滿足高生產(chǎn)性的要求。此時(shí)，如技術(shù)方案2所示，多個(gè)作業(yè)頭可分別執(zhí)行下述動(dòng)作中的任意一個(gè)拾取切割片上的裸片并放置到裸片移載臺(tái)上的動(dòng)作(裸片拾取工序)；拾取裸片移載臺(tái)上的裸片安裝到電路基板的動(dòng)作(裸片安裝工序)。這樣一來(lái)，可使多個(gè)作業(yè)頭高效工作，提高生產(chǎn)性。本發(fā)明中，在裸片拾取工序中，也可通過(guò)專利文獻(xiàn)I等中記載的頂起剝離方式將裸片從切割片剝離，如技術(shù)方案3所示，可具有剝離臺(tái)，該剝離臺(tái)從切割片的下表面?zhèn)任ㄟ^(guò)作業(yè)頭拾取的裸片的粘貼部分，對(duì)該裸片的粘貼部分進(jìn)行片剝離，通過(guò)作業(yè)頭吸附保持切割片上的裸片，且使剝離臺(tái)從該裸片的粘貼部分的近前側(cè)向該裸片的粘貼部分的正下方滑動(dòng)，從而對(duì)該裸片的粘貼部分進(jìn)行片剝離。在該滑動(dòng)剝離方式中，為防止薄裸片破裂等，需要緩慢地滑動(dòng)剝離臺(tái)，片剝離所需時(shí)間變長(zhǎng)，因此裸片拾取工序的生產(chǎn)節(jié)拍變長(zhǎng)，但在裸片安裝工序的等待時(shí)間中，可從切割片剝離裸片并堆放到裸片移載臺(tái)上，因此可盡量防止裸片安裝工序的生產(chǎn)節(jié)拍因裸片拾取工序而被延長(zhǎng)，滿足高生產(chǎn)性的要求。并且，如技術(shù)方案4所示，可以將晶圓托板和其他部件供給單元(送帶機(jī)、送盤機(jī)等)安裝成能夠裝卸，通過(guò)多個(gè)作業(yè)頭中的任意一個(gè)作業(yè)頭拾取從其他部件供給單元提供的部件，安裝到電路基板上。這樣一來(lái)，可應(yīng)對(duì)各種安裝工藝。并且，如技術(shù)方案5所示，使多個(gè)作業(yè)頭移動(dòng)的多個(gè)機(jī)械手可以為使沿輸送機(jī)的搬運(yùn)方向移動(dòng)的X軸通用化的構(gòu)成。這樣一來(lái)，可簡(jiǎn)化使多個(gè)作業(yè)頭移動(dòng)的多個(gè)機(jī)械手的構(gòu)成，降低裝置成本。

圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的部件安裝機(jī)的外觀透視圖。圖2是部件安裝機(jī)的平面圖。圖3是晶圓托板的外觀透視圖。標(biāo)號(hào)說(shuō)明11......基臺(tái)12......電路基板13......輸送機(jī)14……晶圓托板15......晶圓托板安裝臺(tái)[0027]16……送料器安裝臺(tái)17......裸片18......切割片22、23......X-Y 機(jī)械手24,25……X滑動(dòng)引導(dǎo)件(X軸)26、27......X 滑動(dòng)件26a、27a......Y 滑動(dòng)件28、29......作業(yè)頭31......頂起單元32......裸片移載臺(tái)
具體實(shí)施方式
以下參照?qǐng)D1至圖3說(shuō)明將實(shí)施本發(fā)明的方式具體化的一個(gè)實(shí)施例。在部件安裝機(jī)的基臺(tái)11上設(shè)置將電路基板12沿X方向搬運(yùn)的輸送機(jī)13 ;用于可更換地安裝晶圓托板14(參照?qǐng)D3)的晶圓托板安裝臺(tái)15 ;用于可更換地設(shè)置其他部件供給單元(送帶機(jī)、送盤機(jī)等)的送料器安裝臺(tái)16等。如圖3所示，晶圓托板14的構(gòu)成是將粘貼了棋盤格狀切割的晶圓(多個(gè)裸片17)的可伸縮的切割片18，在擴(kuò)展的狀態(tài)下安裝到具有圓形開(kāi)口部的晶圓安裝板19，將該晶圓安裝板19通過(guò)螺釘21等安裝到托板主體20。如圖1及圖2所示，部件安裝機(jī)的基臺(tái)11上設(shè)置2臺(tái)X-Y機(jī)械手22、23。各X-Y機(jī)械手22、23共享在輸送機(jī)13的搬運(yùn)方向(X方向)延伸的2個(gè)X滑動(dòng)引導(dǎo)件24、25 (X軸)，X滑動(dòng)件26、27可沿X方向滑動(dòng)地被該X滑動(dòng)引導(dǎo)件24、25支持，Y滑動(dòng)件26a、27a分別可沿Y方向滑動(dòng)地被各X滑動(dòng)件26、27支持，作業(yè)頭28、29分別可裝卸地安裝到各Y滑動(dòng)件26a、27a。各作業(yè)頭28、29可與各種頭(例如僅保持一個(gè)吸嘴的頭，保持多個(gè)吸嘴的旋轉(zhuǎn)頭、分配用頭、熱壓焊/超聲波用的安裝頭等)進(jìn)行更換。各作業(yè)頭28、29上可搭載拍攝裸片17等部件的相機(jī)(未圖示)。晶圓托板安裝臺(tái)15上設(shè)置頂起單元31 (參照?qǐng)D1)，在將該晶圓托板安裝臺(tái)15上安裝的晶圓托板14的切割片18上的裸片用作業(yè)頭28吸附并拾取時(shí)，將切割片18中的要吸附的裸片17的粘貼部分從其正下方用頂起單元31的頂起筒頂起，使該裸片17的粘貼部分從切割片18部分剝離的同時(shí)，用作業(yè)頭28吸附該裸片21，從切割片18拾取。此外，也可替代頂起單元3 I采用以下構(gòu)成設(shè)置以滑動(dòng)剝離方式從切割片18剝離裸片17的剝離臺(tái)。其中，剝離臺(tái)從切割片18的下表面?zhèn)任ㄟ^(guò)作業(yè)頭28拾取的裸片17的粘貼部分而進(jìn)行片剝離。在滑動(dòng)剝離方式中，用作業(yè)頭28吸附晶圓托板14的切割片18上的裸片21并拾取時(shí)，通過(guò)該作業(yè)頭28吸附保持切割片18上的裸片17的同時(shí)，使剝離臺(tái)從該裸片17的粘貼部分的近前側(cè)向該裸片17的粘貼部分的正下方滑動(dòng)，從而逐漸片剝離該裸片17的粘貼部分后，通過(guò)該作業(yè)頭28拾取該裸片17。在部件安裝機(jī)的基臺(tái)11上的剩余空間中，設(shè)置可放置多個(gè)從切割片18剝離的裸片17的裸片移載臺(tái)32。在部件安裝機(jī)工作過(guò)程中，根據(jù)生產(chǎn)程序，反復(fù)進(jìn)行通過(guò)一個(gè)作業(yè)頭28拾取切割片18上的裸片17并放置到裸片移載臺(tái)32上的動(dòng)作，并且通過(guò)另一個(gè)作業(yè)頭29拾取裸片移載臺(tái)32上的裸片17，安裝到電路基板12上。當(dāng)裸片移載臺(tái)32上放置的裸片17的個(gè)數(shù)變?yōu)橐?guī)定個(gè)數(shù)以上時(shí)，目前為止作為剝離頭使用的作業(yè)頭28也可作為安裝頭使用，通過(guò)該作業(yè)頭28拾取裸片移載臺(tái)32上的裸片17，可安裝到電路基板12上。并且，作為安裝頭使用的作業(yè)頭29也可使用片剝離頭使用。并且，送料器安裝臺(tái)16上安裝了送帶機(jī)、送盤機(jī)等部件供給單元時(shí)，根據(jù)生產(chǎn)程序，2個(gè)作業(yè)頭28、29中的空閑的一個(gè)作業(yè)頭可拾取從部件供給單元提供的部件，安裝到電路基板12上。在以上說(shuō)明的本實(shí)施例中，具有可放置多個(gè)從切割片18剝離的裸片17的裸片移載臺(tái)32，因此在將裸片17安裝到電路基板12的工序的等待時(shí)間中，可從切割片18剝離裸片17并堆放到裸片移載臺(tái)32上。這樣一來(lái)，在裸片安裝工序中，可將裸片移載臺(tái)32上堆放的裸片17高效地安裝到電路基板12上，盡量防止裸片安裝工序的生產(chǎn)節(jié)拍因裸片拾取工序而被延長(zhǎng)，滿足高生產(chǎn)性的要求。并且，在本實(shí)施例中，2個(gè)作業(yè)頭28、29可分別執(zhí)行下述動(dòng)作中的任意一個(gè)拾取切割片18上的裸片17并放置到裸片移載臺(tái)32上的動(dòng)作(裸片拾取工序)；拾取裸片移載臺(tái)32上的裸片17并安裝到電路基板12的動(dòng)作(裸片安裝工序)，因此可使2個(gè)作業(yè)頭28、29高效工作，提高生產(chǎn)性。進(jìn)一步，在本實(shí)施例中，可安裝晶圓托板14和其他部件供給單元(送帶機(jī)、送盤機(jī)等)，通過(guò)2個(gè)作業(yè)頭28、29的任意一個(gè)拾取從其他部件供給單元提供的部件并安裝到電路基板12上，因此可對(duì)應(yīng)多種安裝工藝。并且，在本實(shí)施例中，移動(dòng)2個(gè)作業(yè)頭28、29的2臺(tái)X-Y機(jī)械手22、23中，使沿輸送機(jī)13的搬運(yùn)方向移動(dòng)的X滑動(dòng)引導(dǎo)件24、25(X軸)通用，因此可簡(jiǎn)化移動(dòng)2個(gè)作業(yè)頭28、29的2臺(tái)X-Y機(jī)械手22、23的構(gòu)成，降低裝置成本。而作為裸片17的片剝離方式使用滑動(dòng)剝離方式時(shí)，為防止薄的裸片17破裂等，需要使剝離臺(tái)緩慢地滑動(dòng)，片剝離所需的時(shí)間變長(zhǎng)，因此裸片拾取工序的生產(chǎn)節(jié)拍變長(zhǎng)，但在本實(shí)施例中，在裸片安裝工序的等待時(shí)間中，可從切割片18剝離裸片17并堆放到裸片移載臺(tái)32上，因此可盡量防止裸片安裝工序的生產(chǎn)節(jié)拍因裸片拾取工序而被延長(zhǎng)，滿足高生產(chǎn)性的要求。并且，本發(fā)明不限于上述實(shí)施例，例如也可是使作為片剝離頭使用的一個(gè)作業(yè)頭可上下反轉(zhuǎn)，使該一個(gè)作業(yè)頭在吸附了從切割片18剝離的裸片17的狀態(tài)下上下反轉(zhuǎn)，用另一個(gè)作業(yè)頭吸附該裸片17，安裝到電路基板12。此外，本發(fā)明中，作業(yè)頭的個(gè)數(shù)(機(jī)械手?jǐn)?shù))不限于2個(gè)，也可是3個(gè)以上，并且也可適當(dāng)變更輸送機(jī)13、晶圓托板安裝臺(tái)15、送料器安裝臺(tái)16、裸片移載臺(tái)32的位置等，在不脫離發(fā)明主旨的范圍內(nèi)可進(jìn)行各種變更并實(shí)施。
權(quán)利要求1.一種部件安裝機(jī)，具有晶圓托板，安裝有切割片，所述切割片粘貼有切割晶圓而形成的多個(gè)裸片；多個(gè)作業(yè)頭；搬運(yùn)電路基板的輸送機(jī)，其特征在于，具有裸片移載臺(tái)，可放置多個(gè)從上述切割片剝離的裸片，通過(guò)上述多個(gè)作業(yè)頭中的任意一個(gè)作業(yè)頭，拾取上述切割片上的裸片放置到上述裸片移載臺(tái)上，并且通過(guò)另一個(gè)作業(yè)頭拾取上述裸片移載臺(tái)上的裸片安裝到電路基板上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的部件安裝機(jī)，其特征在于，上述多個(gè)作業(yè)頭可分別執(zhí)行下述動(dòng)作中的任意一個(gè)拾取上述切割片上的裸片放置到上述裸片移載臺(tái)上的動(dòng)作；拾取上述裸片移載臺(tái)上的裸片安裝到電路基板上的動(dòng)作。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的部件安裝機(jī)，其特征在于，具有剝離臺(tái)，該剝離臺(tái)從上述切割片的下表面?zhèn)任ㄟ^(guò)上述作業(yè)頭拾取的裸片的粘貼部分，對(duì)該裸片的粘貼部分進(jìn)行片剝離，通過(guò)上述作業(yè)頭吸附保持上述切割片上的裸片，且使上述剝離臺(tái)從該裸片的粘貼部分的近前側(cè)向該裸片的粘貼部分的正下方滑動(dòng)，從而對(duì)該裸片的粘貼部分進(jìn)行片剝離。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的部件安裝機(jī)，其特征在于，上述晶圓托板和部件供給單元可裝卸地被安裝，通過(guò)上述多個(gè)作業(yè)頭中的任意一個(gè)作業(yè)頭拾取從上述部件供給單元提供的部件，安裝到電路基板上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的部件安裝機(jī)，其特征在于，移動(dòng)上述多個(gè)作業(yè)頭的多個(gè)機(jī)械手的沿上述輸送機(jī)的搬運(yùn)方向移動(dòng)的X軸是通用的。
專利摘要在通過(guò)1臺(tái)部件安裝機(jī)執(zhí)行從切割片剝離裸片并拾取的工序、及將裸片安裝到電路基板的工序的裝置中，提高生產(chǎn)性，在部件安裝機(jī)的基臺(tái)(11)上設(shè)置將電路基板(12)沿X方向搬運(yùn)的輸送機(jī)(13)；晶圓托板安裝臺(tái)(15)，用于可更換地設(shè)置晶圓托板；裸片移載臺(tái)(32)，可放置多個(gè)從晶圓托板的切割片剝離的裸片；2臺(tái)X-Y機(jī)械手(22、23)，在2臺(tái)X-Y機(jī)械手(22、23)上分別安裝作業(yè)頭(28、29)，通過(guò)一個(gè)作業(yè)頭(28)反復(fù)進(jìn)行拾取晶圓托板的切割片上的裸片并放置到裸片移載臺(tái)(32)的動(dòng)作，并且通過(guò)另一個(gè)作業(yè)頭(29)拾取裸片移載臺(tái)(32)上的裸片安裝到電路基板(12)上。
文檔編號(hào)H05K3/30GK202841831SQ20122007578
公開(kāi)日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2012年3月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月3日
發(fā)明者巖城范明, 濱根剛 申請(qǐng)人:富士機(jī)械制造株式會(huì)社