專利名稱：一種籽晶泡生爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種晶體泡生爐，具體的說(shuō)一種防止籽晶被污染及方便籽晶更換的籽晶泡生爐。
背景技術(shù)：
晶體生長(zhǎng)方法采用的是泡生法，多用于同成分熔化的化合物及含某種過(guò)量組分的體系。泡生法與提拉法的主要不同之處是泡生法在等徑生長(zhǎng)時(shí)不再提拉，其結(jié)晶動(dòng)力由外部溫場(chǎng)不斷降低溫度來(lái)形成。泡生法的主要優(yōu)點(diǎn)是生長(zhǎng)的晶體與坩堝無(wú)直接接觸，能顯著減小晶體的應(yīng)力，因此生長(zhǎng)的晶體完整性較高，位錯(cuò)密度非常低。其缺點(diǎn)是一方面在生長(zhǎng)過(guò)程中籽晶容易被揮發(fā)物污染，導(dǎo)致籽晶污染而影響晶體的性能。另一方面在下種過(guò)程中，籽晶很容易被融化，由于爐體結(jié)構(gòu)和晶體生長(zhǎng)因素的原因，導(dǎo)致更換籽晶非常不方便。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種防止籽晶被污染及方便籽晶更換的籽晶泡生爐。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明設(shè)計(jì)了一種籽晶泡生爐，包括爐體，坩堝，其特征在于還包括位于爐體上方的真空腔，真空腔與爐體的內(nèi)腔相連通，并在連接處設(shè)有第一閥門(mén)，真空腔的進(jìn)口設(shè)有第二閥門(mén)；所述爐體的內(nèi)腔內(nèi)設(shè)有支撐坩堝的支架，且在爐體內(nèi)腔的側(cè)壁上設(shè)有發(fā)熱體；所述籽晶泡生爐還包括一根用于插入爐體內(nèi)腔的籽晶桿。所述的爐體內(nèi)腔內(nèi)還設(shè)有的保護(hù)罩，保護(hù)罩位于第二閥門(mén)的下方，并在保護(hù)罩底部設(shè)有閥口。本發(fā)明同現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠有效防止籽晶污染，以及方便更換的籽晶的優(yōu)點(diǎn)。


圖I為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。參見(jiàn)圖1，I為爐體；2為真空腔；3為內(nèi)腔；4、5為閥門(mén)；6為坩堝；7為支架、8為發(fā)熱體；9為籽晶桿；10為保護(hù)罩；11為閥口 ；12為籽晶。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述。如圖I所示，本發(fā)明包括爐體1，坩堝6，還包括位于爐體I上方的真空腔2，真空腔2與爐體I的內(nèi)腔3相連通，并在連接處設(shè)有第一閥門(mén)4，真空腔的進(jìn)口設(shè)有第二閥門(mén)5。爐體I的內(nèi)腔3內(nèi)設(shè)有支撐坩堝6的支架7，且在爐體內(nèi)腔3的側(cè)壁上設(shè)有發(fā)熱體8。爐體內(nèi)腔3內(nèi)還設(shè)有的保護(hù)罩10，保護(hù)罩10位于第二閥門(mén)5的下方，并在保護(hù)罩10底部設(shè)有閥口 11。籽晶泡生爐還包括一根用于插入爐體I內(nèi)腔的籽晶桿9。具體工作過(guò)程如下步驟一籽晶生長(zhǎng)過(guò)程，具體步驟如下。A、對(duì)爐體I的內(nèi)腔抽真空，并通過(guò)加熱體8對(duì)坩堝內(nèi)6內(nèi)的原料升溫化料。B、當(dāng)原料完全熔化后，開(kāi)始降低籽晶桿9的高度，當(dāng)籽晶桿9通過(guò)閥門(mén)5進(jìn)入到保護(hù)罩10后，保護(hù)罩10隨桿晶桿9 一起下降。C、當(dāng)籽晶桿9下降到一定位置時(shí)，保護(hù)罩10停止下降，并打開(kāi)保護(hù)罩10底部的閥口 11，籽晶桿9繼續(xù)下降并接觸坩堝6內(nèi)的原料，開(kāi)始生長(zhǎng)晶體。步驟二 籽晶更換過(guò)程，具體步驟如下。A、當(dāng)籽晶被完全融化，緩慢提拉籽晶桿9并隨保護(hù)罩10 —起上升，當(dāng)籽晶桿9上升到一定位置時(shí)，保護(hù)罩10停止上升，籽晶桿9進(jìn)入到真空腔2后立即關(guān)閉閥門(mén)5。 B、打開(kāi)閥門(mén)4，提拉籽晶，9直至拉出爐體，隨后關(guān)閉閥門(mén)4，對(duì)籽晶進(jìn)行更換。本發(fā)明同現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠有效防止籽晶污染，以及方便更換的籽晶的優(yōu)點(diǎn)。
權(quán)利要求
1.一種籽晶泡生爐，包括爐體，坩堝，其特征在于還包括位于爐體(I)上方的真空腔(2)，真空腔(2)與爐體(I)的內(nèi)腔(3)相連通，并在連接處設(shè)有第一閥門(mén)(4)，真空腔的進(jìn)口設(shè)有第二閥門(mén)(5);所述爐體(I)的內(nèi)腔(3)內(nèi)設(shè)有支撐坩堝(6)的支架(7)，且在爐體內(nèi)腔(3)的側(cè)壁上設(shè)有發(fā)熱體(8);所述籽晶泡生爐還包括一根用于插入爐體(I)內(nèi)腔的籽晶桿(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種籽晶泡生爐，其特征在于所述的爐體內(nèi)腔(3)內(nèi)還設(shè)有的保護(hù)罩(10 )，保護(hù)罩(10 )位于第二閥門(mén)(5 )的下方，并在保護(hù)罩(10 )底部設(shè)有閥口( 11)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種晶體泡生爐，具體的說(shuō)一種防止籽晶被污染及方便籽晶更換的籽晶泡生爐，包括爐體，坩堝，其特征在于還包括位于爐體上方的真空腔，真空腔與爐體的內(nèi)腔相連通，并在連接處設(shè)有第一閥門(mén)，真空腔的進(jìn)口設(shè)有第二閥門(mén)；所述爐體的內(nèi)腔內(nèi)設(shè)有支撐坩堝的支架，且在爐體內(nèi)腔的側(cè)壁上設(shè)有發(fā)熱體；所述籽晶泡生爐還包括一根用于插入爐體內(nèi)腔的籽晶桿。本發(fā)明同現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠有效防止籽晶污染，以及方便更換的籽晶的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)C30B17/00GK102719884SQ20121001033
公開(kāi)日2012年10月10日 申請(qǐng)日期2012年1月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月13日
發(fā)明者華偉, 李艷, 陳偉, 高超 申請(qǐng)人:上海贏奔晶體科技有限公司