專利名稱：變頻調(diào)諧腔的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明主要涉及在真空情況下形成高頻高壓電場(chǎng)，并在束流運(yùn)動(dòng)方向?qū)χ亓Ｗ邮M(jìn)行俘獲、加速的鐵氧體加載的寬頻帶高頻高壓同步加速器裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及ー種大功率鐵氧體加載變頻調(diào)諧腔。
背景技術(shù)：
在此以前，國(guó)內(nèi)只有一臺(tái)同步加速器用鐵氧體加載變頻調(diào)諧同軸諧振腔體，用于蘭州重粒子加速器冷卻儲(chǔ)存環(huán)(CSR)主環(huán)，對(duì)束流進(jìn)行俘獲，加速。該腔體由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單， 所能承受的最高平均高頻功率不超過2kW，而且只能工作在占空比小于1/2的掃頻脈沖模式，工作頻率范圍0. 25MHz 0. 25MHz。之后，由中國(guó)科學(xué)院近代物理研究所設(shè)計(jì)并由近物所與陜西數(shù)字廣播通訊設(shè)備有限公司聯(lián)合研制成我國(guó)第一臺(tái)同步加速器用大功率鐵氧體加載變頻調(diào)諧腔體，主要用于CSR實(shí)驗(yàn)環(huán)對(duì)束流進(jìn)行累積和減速。CSR主環(huán)腔體由倆個(gè)加有鐵氧體磁環(huán)的腔體組成，每個(gè)腔體的內(nèi)外導(dǎo)體之間填裝有鐵氧體磁環(huán)，環(huán)內(nèi)徑與內(nèi)導(dǎo)體之間有平行于主軸線的銅線作為偏磁線圈的環(huán)內(nèi)部分，線圈的每圈在各腔的中間部位內(nèi)外交叉；環(huán)內(nèi)徑與內(nèi)導(dǎo)體間灌封有硅橡膠用于絕緣，每隔兩個(gè)磁環(huán)夾一片銅板作為散熱用，腔體的調(diào)諧電容為陶瓷電容。該現(xiàn)有技術(shù)的缺陷在于高頻介質(zhì)損耗較大，散熱效果較差。另外，腔體只能工作在平均功率較小的掃頻脈沖模式。在占空比較大，腔體電壓較高時(shí)，或連續(xù)波工作情況下，鐵氧體溫度會(huì)過高，絕緣介質(zhì)會(huì)發(fā)熱，調(diào)諧電容容易燒毀。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于研制用于重離子治癌專用裝置的大功率鐵氧體加載變頻調(diào)諧腔，實(shí)現(xiàn)重離子治療環(huán)對(duì)束流進(jìn)行的俘獲和加速。本發(fā)明的目的可以通過采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)ー種變頻調(diào)諧腔，包括ー個(gè)同軸諧振腔，所述的同軸諧振腔包括有由同軸連接的諧振腔A和諧振腔B組成，諧振腔A和諧振腔B結(jié)構(gòu)相同，通過法蘭連接，其主要特點(diǎn)在干在所述同軸諧振腔的粒子束流管道引入端一側(cè)通過波紋管連接有加速縫，加速縫的另一端與粒子束流引入端相連；絕緣陶瓷設(shè)于加速縫上；在加速縫之間設(shè)置有腔體調(diào)諧用高壓真空電容器和高頻功率源的末級(jí)功放電子管，電子管陽(yáng)極輸出射頻高壓加載在加速縫間隙兩端。所述的諧振腔A或諧振腔B包括有在其中心設(shè)有粒子束流管道，在粒子束流管道的外部設(shè)有內(nèi)導(dǎo)體和外導(dǎo)體，在內(nèi)導(dǎo)體和外導(dǎo)體之間設(shè)有多片鐵氧體磁環(huán)；偏磁線圈設(shè)于多片鐵氧體磁環(huán)的內(nèi)、外環(huán)上，偏磁線圈在鐵氧體磁環(huán)內(nèi)徑與內(nèi)導(dǎo)體之間平行于主軸線，每一圈在諧振腔A和諧振腔B腔體之間交叉連通；在鐵氧體磁環(huán)、偏磁線圈和內(nèi)導(dǎo)體之間設(shè)有絕緣層。所述的偏磁線圈由諧振腔B中的鐵氧體磁環(huán)的外徑通向諧振腔A的鐵氧體磁環(huán)的內(nèi)徑，然后轉(zhuǎn)向諧振腔A的鐵氧體磁環(huán)的外徑，再由諧振腔A的鐵氧體磁環(huán)的外徑連接諧振腔B中的鐵氧體磁環(huán)的內(nèi)徑，由諧振腔B中的鐵氧體磁環(huán)的內(nèi)徑連通諧振腔B中的鐵氧體磁環(huán)的下方外徑，由諧振腔B中的鐵氧體磁環(huán)的下方外徑連通諧振腔A的鐵氧體磁環(huán)的下方內(nèi)徑，再次轉(zhuǎn)向諧振腔A的鐵氧體磁環(huán)的下方外徑，由諧振腔A的鐵氧體磁環(huán)的下方外徑連通諧振腔B中的鐵氧體磁環(huán)的內(nèi)徑，由諧振腔B中的鐵氧體磁環(huán)的內(nèi)徑連接諧振腔B中的鐵氧體磁環(huán)的下ー個(gè)外徑，依次循環(huán)。所述的在鐵氧體磁環(huán)、偏磁線圈和內(nèi)導(dǎo)體之間設(shè)有的絕緣層為聚四氟こ烯；所述的鐵氧體磁環(huán)、偏磁線圈和內(nèi)導(dǎo)體由聚四氟こ烯包裹為一體。在安裝鐵氧體環(huán)之前，用模具將四氟擠壓成型在同軸內(nèi)導(dǎo)體上，并同時(shí)將偏磁線圈導(dǎo)體埋在四氟層中間，使四氟介質(zhì)，銅導(dǎo)體條，同軸內(nèi)導(dǎo)體成為緊密結(jié)合的一體并且可以精密加工。所述的在多片鐵氧體磁環(huán)之間夾有內(nèi)，外徑與鐵氧體磁環(huán)相同的通水冷卻盤；所述的通水冷卻盤上設(shè)有進(jìn)水管、出水管。所述的同軸諧振腔的外部設(shè)有不銹鋼外殼，同軸諧振腔的側(cè)部設(shè)置有真空室兩端 支撐裝置；鐵氧體磁環(huán)和水冷卻盤通過諧振腔體底部的支撐體安裝在諧振腔體上。 所述的鐵氧體環(huán)為24片，分別設(shè)于諧振腔A和諧振腔B腔體之中。所述的粒子束流管道和內(nèi)導(dǎo)體通過連接片相連。所述的變頻調(diào)諧腔，所述的偏磁線圈為8圏。所述的變頻調(diào)諧腔，所述的高壓真空電容器為(CKT1000P/14kV/160A)，為高耐壓，高功率真空陶瓷電容；高壓真空電容兩端設(shè)置有腔體電壓取樣裝置供檢測(cè)用。所述的高頻功率源的末級(jí)功放電子管(22)為(Emac 4CW50000E)。本發(fā)明的有益效果是所述的大功率鐵氧體加載變頻調(diào)諧腔，采用在內(nèi)導(dǎo)體與磁環(huán)之間填充的介質(zhì)選用高頻性能優(yōu)良的聚四氟こ稀介質(zhì)材料，并解決其成型加工；在鐵氧體環(huán)兩側(cè)，環(huán)與環(huán)之間設(shè)置散熱水冷盤，并解決水冷盤的制作エ藝；腔體調(diào)諧電容選用高耐壓，高功率陶瓷真空電容；偏磁線圈在兩腔體的中間部位相交叉；腔體可以反復(fù)拆卸等設(shè)計(jì)和結(jié)構(gòu)，在0. 6MHz 3. 9MHz頻率范圍內(nèi)，腔體在掃頻脈沖調(diào)制模式下工作，最高電壓可以達(dá)到峰值10kV，滿足了重離子治療環(huán)高頻系統(tǒng)的工作要求。加載鐵氧體能承受數(shù)十千瓦高頻功率而溫度不超過40度，能夠滿足物理調(diào)束更高一歩的要求。I)采用單端輸入1/4波長(zhǎng)同軸諧振結(jié)構(gòu)，加速縫在腔體的一端，縮短了腔體長(zhǎng)度2)在內(nèi)導(dǎo)體與磁環(huán)之間填充的介質(zhì)選用高頻性能優(yōu)良的聚四氟こ稀介質(zhì)材料，并解決其成型加工問題。3)在鐵氧環(huán)兩側(cè)，環(huán)與環(huán)之間設(shè)置散熱水冷盤，并解決水冷盤的制作エ藝。4)腔體調(diào)諧電容選用高耐壓，高功率陶瓷真空電容。5)偏磁線圈在1/4波長(zhǎng)同軸諧振腔體的中間部位相交叉。6)腔體可以反復(fù)拆卸。


圖I為本發(fā)明的腔體原理圖圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)主視圖；圖3為本發(fā)明的圖I中的A-A剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明的圖I中的B-B剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明的系統(tǒng)工作流程。[0029]圖中1、諧振腔A，2.諧振腔B，3.粒子束流管道，4.絕緣陶瓷，5.加速縫，6.鐵氧體磁環(huán)，7.通水冷卻盤，8.絕緣層，9.偏磁線圏，11.諧振腔A與諧振腔B之間的連接空間，12.波紋管，13.真空室兩端支撐裝置，14.電容器，15.內(nèi)導(dǎo)體，16.外導(dǎo)體，17.腔體側(cè)支撐不銹鋼板，18.連接片，19.鐵氧體環(huán)和水冷盤支撐體，20.水冷盤進(jìn)出水管接頭，21.腔體不銹鋼外殼，22.電子管，23.法蘭。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖所示之最佳實(shí)施例作進(jìn)ー步詳述見圖1、2、3、4，ー種變 頻調(diào)諧腔，包括ー個(gè)同軸諧振腔，所述的同軸諧振腔包括有由同軸連接的諧振腔Al和諧振腔B2組成，諧振腔A和諧振腔B結(jié)構(gòu)相同，通過法蘭23連接，在所述同軸諧振腔的粒子束流管道3引入端一側(cè)通過波紋管12連接有加速縫5，加速縫5的另一端與粒子束流引入端相連；絕緣陶瓷4設(shè)于加速縫5上；在加速縫5之間設(shè)置有腔體調(diào)諧用高壓真空電容器14和高頻功率源的末級(jí)功放電子管22，電子管22陽(yáng)極輸出射頻高壓加載在加速縫5間隙兩端。波紋管12用于減震和防止由于熱脹冷縮導(dǎo)致的真空室尺寸變化。所述的變頻調(diào)諧腔，所述的諧振腔Al或諧振腔B2包括有在其中心設(shè)有粒子束流管道3，在粒子束流管道3的外部設(shè)有內(nèi)導(dǎo)體15和外導(dǎo)體16，在內(nèi)導(dǎo)體15和外導(dǎo)體16之間設(shè)有多片鐵氧體磁環(huán)6 ;偏磁線圈9設(shè)于多片鐵氧體磁環(huán)6的內(nèi)、外環(huán)上，偏磁線圈9在鐵氧體磁環(huán)6內(nèi)徑與內(nèi)導(dǎo)體15之間平行于主軸線，每ー圈在諧振腔A和諧振腔B腔體之間交叉連通；在鐵氧體磁環(huán)6、偏磁線圈9和內(nèi)導(dǎo)體15之間設(shè)有絕緣層8。所述的偏磁線圈9由諧振腔B中的鐵氧體磁環(huán)6-2的外徑通向諧振腔A的鐵氧體磁環(huán)6-1的內(nèi)徑，然后轉(zhuǎn)向諧振腔A的鐵氧體磁環(huán)6-1的外徑，再由諧振腔A的鐵氧體磁環(huán)6-1的外徑連接諧振腔B中的鐵氧體磁環(huán)6-2的內(nèi)徑，由諧振腔B中的鐵氧體磁環(huán)6-2的內(nèi)徑連通諧振腔B中的鐵氧體磁環(huán)6-2的下方外徑，由諧振腔B中的鐵氧體磁環(huán)6-2的下方外徑連通諧振腔A的鐵氧體磁環(huán)6-1的下方內(nèi)徑，再次轉(zhuǎn)向諧振腔A的鐵氧體磁環(huán)6-1的下方外徑，由諧振腔A的鐵氧體磁環(huán)6-1的下方外徑連通諧振腔B中的鐵氧體磁環(huán)6-2的內(nèi)徑，由諧振腔B中的鐵氧體磁環(huán)6-2的內(nèi)徑連接諧振腔B中的鐵氧體磁環(huán)6-2的下ー個(gè)外徑，依次循環(huán)。線圈在腔體中間交叉是為了抵消射頻高壓在兩半腔體直流偏磁線圈上形成的射頻電流，避免高頻信號(hào)串入直流偏磁電源，確保直流偏磁線圈上無高頻功率損耗。所述的在鐵氧體磁環(huán)6、偏磁線圈9和內(nèi)導(dǎo)體15之間設(shè)有的絕緣層8為聚四氟こ烯；所述的鐵氧體磁環(huán)6、偏磁線圈9和內(nèi)導(dǎo)體15由聚四氟こ烯包裹為一體。在安裝鐵氧體環(huán)之前，用模具將四氟擠壓成型在同軸內(nèi)導(dǎo)體上，并同時(shí)將偏磁線圈導(dǎo)體埋在四氟層中間，使四氟介質(zhì)，銅導(dǎo)體條，同軸內(nèi)導(dǎo)體成為緊密結(jié)合的一體并且可以精密加工。所述的變頻調(diào)諧腔，所述的在多片鐵氧體磁環(huán)6之間夾有內(nèi)，外徑與鐵氧體磁環(huán)6相同的通水冷卻盤7 ;所述的通水冷卻盤7上設(shè)有進(jìn)水管、出水管20。為了將鐵氧體產(chǎn)生的熱量帶走，在每片鐵氧體環(huán)的兩側(cè)及兩相鄰鐵氧體環(huán)之間夾有內(nèi)，外徑與鐵氧體環(huán)相同的通水冷卻盤，水冷卻盤7通過進(jìn)出水管接頭20與外部供水管相連，鐵氧體產(chǎn)生的熱量傳導(dǎo)到水冷盤上，由盤中的水流帶走。所述的變頻調(diào)諧腔，所述的同軸諧振腔的外部設(shè)有不銹鋼外殼21，同軸諧振腔的側(cè)部設(shè)置有真空室兩端支撐裝置13 ;鐵氧體磁環(huán)6和水冷卻盤7通過諧振腔體底部的支撐體19安裝在諧振腔體上。所述的變頻調(diào)諧腔，所述的鐵氧體環(huán)6為24片，分別設(shè)于諧振腔A和諧振腔B腔體之中。所述的變頻調(diào)諧腔，所述的粒子束流管道3和內(nèi)導(dǎo)體15通過連接片18相連。所述的變頻調(diào)諧腔,所述的偏磁線圈9為8圈。所述的變頻調(diào)諧腔，所述的高壓真空電容器14為(CKT1000P/14kV/160A)，為高耐壓，高功率真空陶瓷電容；高壓真空電容兩端設(shè)置有腔體電壓取樣裝置供檢測(cè)用。所述的高頻功率源的末級(jí)功放電子管(22)為(Emac 4CW50000E)。實(shí)驗(yàn)例所述的大功率鐵氧體加載變頻調(diào)諧腔，其同軸諧振腔的內(nèi)導(dǎo)體15和外導(dǎo)體16之間填裝有內(nèi)徑300mm,外徑500mm,厚度25mm的專用鐵氧體磁環(huán)6共24片，以此形成腔體諧振電感。所有的鐵氧體磁環(huán)與水冷盤在腔體底部有支撐體19支撐，以保證內(nèi)導(dǎo)體不受力。粒子束流管道3置于同軸內(nèi)導(dǎo)體中，在加速縫隙處通過饋電連接導(dǎo)體加平衡高頻功率，此電壓就是粒子的加速電壓。鐵氧體的作用有ニ，一是縮短腔體長(zhǎng)度，ニ是直流偏磁電流來改變鐵氧體的導(dǎo)磁率，從而改變腔體的諧振頻率。為此，在腔體內(nèi)導(dǎo)體與磁環(huán)之間的介質(zhì)中設(shè)置有偏流線圈9，線圈9為寬20mm，厚度IOmm的銅板，線圈共8圏。對(duì)應(yīng)0. 6MHz
3.9MHz工作頻率。線圈在腔體的中間部位用銅板交叉，目的是使腔體在線圈上感應(yīng)的高頻電流相互抵消，線圈上只有直流偏磁電流。所述的大功率鐵氧體加載變頻調(diào)諧腔，腔體內(nèi)的鐵氧體和介質(zhì)處于強(qiáng)高頻電磁場(chǎng)中，由于磁損和介質(zhì)損耗，要吸收高頻能量而發(fā)熱，吸收能量的大小，即損耗的大小與介質(zhì)材料和鐵氧體的性能相關(guān)。為了使腔體能夠工作在高功率高電壓下，本發(fā)明為了減少介質(zhì)損耗，鐵氧體環(huán)與內(nèi)導(dǎo)體之間的絕緣介質(zhì)采用高頻損耗小的聚四氟こ烯，并解決其填充成型難題。在安裝鐵氧體環(huán)之前，用模具將四氟擠壓成型在同軸內(nèi)導(dǎo)體上，并同時(shí)將偏磁線圈導(dǎo)體埋在四氟層中間，使四氟介質(zhì)，銅導(dǎo)體條，同軸內(nèi)導(dǎo)體成為緊密結(jié)合的一體并且可以精密加工。這樣，腔體就可以反復(fù)拆卸，方便維修和試驗(yàn)；為了將鐵氧體產(chǎn)生的熱量帶走，在每片鐵氧體環(huán)的兩側(cè)及兩相鄰鐵氧體環(huán)之間夾有內(nèi)，外徑與鐵氧體環(huán)相同，一定厚度的通水冷卻盤，鐵氧體產(chǎn)生的熱量傳導(dǎo)到水冷盤上，由盤中的水流帶走；腔體調(diào)諧電容選用高耐壓，高功率真空陶瓷電容，并用風(fēng)機(jī)冷卻。采用以上設(shè)計(jì)和結(jié)構(gòu)，在0. 6MHz 3. 9MHz頻率范圍內(nèi)，腔體在掃頻脈沖調(diào)制模式下工作，最高點(diǎn)壓可以達(dá)到峰值10kV，滿足了重離子治療環(huán)高頻系統(tǒng)的工作要求。本發(fā)明的系統(tǒng)工作流程，見圖5，I.直流偏磁電流隨高頻頻率變化改變；2.鐵氧體導(dǎo)磁率隨偏磁電流改變而變化；3.腔體電感隨鐵氧體導(dǎo)磁率改變而改變；4.腔體電感與諧振電容形成頻率變化的諧振電路(該諧振回路為電子管陽(yáng)極電路)；5.電子管陽(yáng)極輸出射頻高壓加載在加速間隙兩端。
權(quán)利要求1.ー種變頻調(diào)諧腔，包括ー個(gè)同軸諧振腔，所述的同軸諧振腔包括有由同軸連接的諧振腔A (I)和諧振腔B (2)組成，諧振腔A (I)和諧振腔B (2)結(jié)構(gòu)相同，通過法蘭(23)連接，其特征在于在所述同軸諧振腔的粒子束流管道(3)引入端一側(cè)通過波紋管(12)連接有加速縫(5)，加速縫(5)的另一端與粒子束流弓I入端相連；絕緣陶瓷(4)設(shè)于加速縫(5)上；在加速縫(5)之間設(shè)置有腔體調(diào)諧用高壓真空電容器(14)和高頻功率源的末級(jí)功放電子管(22)，電子管(22)陽(yáng)極輸出射頻高壓加載在加速縫(5)間隙兩端。
2.如權(quán)利要求I所述的變頻調(diào)諧腔，其特征在于所述的諧振腔A(I)或諧振腔B (2)包括有在其中心設(shè)有粒子束流管道(3)，在粒子束流管道(3)的外部設(shè)有內(nèi)導(dǎo)體(15)和外導(dǎo)體(16),在內(nèi)導(dǎo)體(15)和外導(dǎo)體(16)之間設(shè)有多片鐵氧體磁環(huán)(6);偏磁線圈(9)設(shè)于多片鐵氧體磁環(huán)(6)的內(nèi)、外環(huán)上，偏磁線圈(9)在鐵氧體磁環(huán)(6)內(nèi)徑與內(nèi)導(dǎo)體(15)之間平行于主軸線，每ー圈在諧振腔A (I)和諧振腔B (2)腔體之間交叉連通；在鐵氧體磁環(huán)(6)、偏磁線圈(9)和內(nèi)導(dǎo)體(15)之間設(shè)有絕緣層(8)。
3.如權(quán)利要求2所述的變頻調(diào)諧腔，其特征在于所述的偏磁線圈(9)由諧振腔B中的鐵氧體磁環(huán)(6-2)的外徑通向諧振腔A (I)的鐵氧體磁環(huán)(6-1)的內(nèi)徑，然后轉(zhuǎn)向諧振腔A(I)的鐵氧體磁環(huán)(6-1)的外徑，再由諧振腔A (I)的鐵氧體磁環(huán)(6-1)的外徑連接諧振腔B (2 )中的鐵氧體磁環(huán)(6-2 )的內(nèi)徑，由諧振腔B (2 )中的鐵氧體磁環(huán)(6-2 )的內(nèi)徑連通諧振腔B (2)中的鐵氧體磁環(huán)(6-2)的下方外徑，由諧振腔B (2)中的鐵氧體磁環(huán)(6-2)的下方外徑連通諧振腔A (I)的鐵氧體磁環(huán)(6-1)的下方內(nèi)徑，再次轉(zhuǎn)向諧振腔A (I)的鐵氧體磁環(huán)(6-1)的下方外徑，由諧振腔A(I)的鐵氧體磁環(huán)(6-1)的下方外徑連通諧振腔B(2 )中的鐵氧體磁環(huán)(6-2 )的內(nèi)徑，由諧振腔B (2 )中的鐵氧體磁環(huán)(6-2 )的內(nèi)徑連接諧振腔B (2)中的鐵氧體磁環(huán)(6-2)的下ー個(gè)外徑，依次循環(huán)。
4.如權(quán)利要求2所述的變頻調(diào)諧腔，其特征在于所述的在鐵氧體磁環(huán)(6)、偏磁線圈(9)和內(nèi)導(dǎo)體(15)之間設(shè)有的絕緣層(8)為聚四氟こ烯；所述的鐵氧體磁環(huán)(6)、偏磁線圈(9)和內(nèi)導(dǎo)體(15)由聚四氟こ烯包裹為一體。
5.如權(quán)利要求2所述的變頻調(diào)諧腔，其特征在于所述的在多片鐵氧體磁環(huán)(6)之間夾有內(nèi)，外徑與鐵氧體磁環(huán)(6)相同的通水冷卻盤(7);所述的通水冷卻盤(7)上設(shè)有進(jìn)水管、出水管(20)。
6.如權(quán)利要求2所述的變頻調(diào)諧腔，其特征在于所述的同軸諧振腔的外部設(shè)有不銹鋼外殼(21)，同軸諧振腔的側(cè)部設(shè)置有不銹鋼支撐架(13);鐵氧體磁環(huán)(6)和水冷卻盤(7)通過諧振腔體底部的支撐體(19)安裝在諧振腔體上。
7.如權(quán)利要求2所述的變頻調(diào)諧腔，其特征在于所述的鐵氧體環(huán)(6)為24片，分別設(shè)于諧振腔A和諧振腔B腔體之中。
8.如權(quán)利要求2所述的變頻調(diào)諧腔，其特征在于所述的粒子束流管道(3)和內(nèi)導(dǎo)體(15)通過連接片(18)相連。
9.如權(quán)利要求2所述的變頻調(diào)諧腔，其特征在于所述的偏磁線圈(9)為8圏。
專利摘要本實(shí)用新型主要涉及在真空情況下形成高頻高壓電場(chǎng)，并在束流運(yùn)動(dòng)方向?qū)χ亓Ｗ邮M(jìn)行俘獲、加速的鐵氧體加載的寬頻帶高頻高壓同步加速器裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種大功率鐵氧體加載變頻調(diào)諧腔。一種變頻調(diào)諧腔，包括一個(gè)同軸諧振腔，所述的同軸諧振腔包括有由同軸連接的諧振腔A和諧振腔B組成，諧振腔A和諧振腔B結(jié)構(gòu)相同，通過法蘭連接，其主要特點(diǎn)在于在所述同軸諧振腔的粒子束流管道引入端一側(cè)通過波紋管連接有加速縫，加速縫的另一端與粒子束流引入端相連；絕緣陶瓷設(shè)于加速縫上；在加速縫之間設(shè)置有腔體調(diào)諧用高壓真空電容器和高頻功率源的末級(jí)功放電子管，電子管陽(yáng)極輸出射頻高壓加載在加速縫間隙兩端。
文檔編號(hào)H05H13/04GK202435703SQ20112051766
公開日2012年9月12日 申請(qǐng)日期2011年12月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月10日
發(fā)明者梅立榮, 許哲, 邊志彬, 金鵬 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院近代物理研究所