專利名稱：均溫拉晶爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
均溫拉晶爐技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及一種拉晶爐，具體地說是涉及半導體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備。
技術(shù)背景[0002]均溫拉晶爐的爐體是由多個帶孔的耐火磚疊放而成的，所述各個耐火磚的孔上下位置照應的，在相鄰的耐火磚之間縫隙中具有電阻絲，在所述的孔的內(nèi)圈還有一個鐵制的空心套體，所述的套體的上端和下端覆蓋著耐火磚，這樣的均溫拉晶爐具有效率低、熱耗大的缺點。發(fā)明內(nèi)容[0003]本實用新型的目的就是針對上述缺點，提供一種效率更高、更節(jié)約能源的均溫拉晶爐。[0004]本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的均溫拉晶爐，包括爐體，所述的爐體是由多個帶孔的耐火磚疊放而成的，所述各個耐火磚的孔上下位置照應的，在相鄰的耐火磚之間縫隙中具有電阻絲，在所述的孔的內(nèi)圈還有一個鐵制的空心套體，所述的套體的上端和下端覆蓋著耐火磚，其特征是所述的套體上具有小孔。[0005]較好的技術(shù)效果是所述的小孔直徑小于0. 5厘米，小孔的面積占套體整個面積的30%以上。[0006]本實用新型的有益效果是這樣結(jié)構(gòu)的均溫拉晶爐具有效率更高、更節(jié)約能源的優(yōu)點。


[0007]圖1是本實用新型的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。[0008]其中1、套體2、小孔。
具體實施方式
[0009]
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進一步的描述。[0010]如圖1所示，均溫拉晶爐，包括爐體，所述的爐體是由多個帶孔的耐火磚疊放而成的，所述各個耐火磚的孔上下位置照應的，在相鄰的耐火磚之間縫隙中具有電阻絲，在所述的孔的內(nèi)圈還有一個鐵制的空心套體1，所述的套體1的上端和下端覆蓋著耐火磚，其特征是所述的套體1上具有小孔2。[0011]較好的技術(shù)效果是所述的小孔2直徑小于0. 5厘米，小孔的面積占套體整個面積的30%以上，這樣可以節(jié)約能源15%以上，還能保證均溫的效果。權(quán)利要求1.均溫拉晶爐，包括爐體，所述的爐體是由多個帶孔的耐火磚疊放而成的，所述各個耐火磚的孔上下位置照應的，在相鄰的耐火磚之間縫隙中具有電阻絲，在所述的孔的內(nèi)圈還有一個鐵制的空心套體，所述的套體的上端和下端覆蓋著耐火磚，其特征是所述的套體上具有小孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的均溫拉晶爐，所述的小孔直徑小于0.5厘米，小孔的面積占套體整個面積的30%以上。
專利摘要本實用新型涉及一種均溫拉晶爐，包括爐體，所述的爐體是由多個帶孔的耐火磚疊放而成的，所述各個耐火磚的孔上下位置照應的，在相鄰的耐火磚之間縫隙中具有電阻絲，在所述的孔的內(nèi)圈還有一個鐵制的空心套體，所述的套體的上端和下端覆蓋著耐火磚，其特征是所述的套體上具有小孔，所述的小孔直徑小于0.5厘米，小孔的面積占套體整個面積的30%以上，這樣結(jié)構(gòu)的均溫拉晶爐具有效率更高、更節(jié)約能源的優(yōu)點。
文檔編號C30B13/00GK202246979SQ20112028845
公開日2012年5月30日 申請日期2011年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月10日
發(fā)明者劉寶成 申請人:河南恒昌電子有限公司