專利名稱:一種大功率長壽命等離子發(fā)生裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及等離子體應(yīng)用領(lǐng)域,尤其涉及一種大功率長壽命等離子發(fā)生裝置及方法。
背景技術(shù):
目前,在科學(xué)技術(shù)和工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用較多的電弧等離子體發(fā)生器又稱電弧等離子體炬,或稱等離子體噴槍,有時(shí)也稱電弧加熱器。它是一種能夠產(chǎn)生定向等離子體射流的放電裝置,已在等離子體化工、冶金、噴涂、噴焊、火力電站煤粉點(diǎn)火和穩(wěn)燃、機(jī)械加工和氣動(dòng)熱模擬實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。工業(yè)上應(yīng)用的電弧等離子體炬的主要技術(shù)指標(biāo)是功率、 效率和連續(xù)使用壽命。一般其輸出功率范圍為50-200kW,效率較高(約為50% 90% ), 使用壽命受電極壽命限制。由于電極受活性工作氣(氧、氯、空氣)的侵蝕,目前等離子體發(fā)生器的連續(xù)壽命一般不超過200小時(shí)?,F(xiàn)有的等離子體發(fā)生器陽極常采用喇叭狀噴嘴,在起弧后,等離子體經(jīng)過噴嘴前部的喉口壓縮后,到達(dá)喇叭狀噴嘴時(shí)快速噴出,這種結(jié)構(gòu)會(huì)導(dǎo)致陽極斑點(diǎn)集中在喇叭口的內(nèi)表面與噴口末端的交界面上,由于交界面的表面積小,盡管采用空氣或水等介質(zhì)對(duì)整個(gè)陽極進(jìn)行冷卻,但由于電流密度較大,很難避免對(duì)陽極噴嘴端面的燒蝕,這也是國內(nèi)外等離子體發(fā)生器的陽極壽命一般在200小時(shí)以下的緣故。另外,這種陽極采用喇叭狀噴嘴的結(jié)構(gòu),會(huì)使得陰極和陽極腔內(nèi)等離子體的流場(chǎng)發(fā)生畸變,而使得漩渦場(chǎng)受到破壞,受到破壞的渦旋氣流對(duì)等離子體的壓縮不夠,也會(huì)進(jìn)一步加重對(duì)陽極的燒蝕,同時(shí)也降低了噴嘴噴出的等離子體的輸出功率。陽極的壽命與陽極斑點(diǎn)對(duì)陽極內(nèi)表面的燒蝕速率密切相關(guān),對(duì)于陽極的局部燒蝕,會(huì)導(dǎo)致整個(gè)陽極的壽命縮短。雖然現(xiàn)有的等離子體發(fā)生器中可以通過第一路風(fēng)和第二路風(fēng)之間配合來調(diào)節(jié)陽極的燒蝕范圍,但由于兩路風(fēng)的精確調(diào)節(jié)比較復(fù)雜和困難,難以做到精確控制,過高或過低的氣體壓力都會(huì)影響到陽極的燒蝕位置,因此這種方法不能很好提升等離子體發(fā)生器的整體使用壽命。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實(shí)施例提供了一種大功率長壽命等離子發(fā)生裝置及方法,用以解決現(xiàn)有等離子體發(fā)生裝置使用壽命較短,輸出功率不高的問題。本發(fā)明實(shí)施例提供的大功率長壽命等離子發(fā)生裝置,包括陰極、陽極、高壓脈沖激發(fā)器和直流電源,所述直流電源的正負(fù)極分別與陽極和所述陰極導(dǎo)通,所述高壓脈沖激發(fā)器與所述陰極和所述陽極連接,所述陰極和陽極布置于同一軸心線上,且兩者之間留有間隙,形成第一路載體風(fēng)通道,所述陰極與所述陽極為兩端開口的直筒狀,兩者內(nèi)部空腔的直徑相等,貫通形成第二路載體風(fēng)通道。較佳地,所述陰極和陽極的長度為200 1500mm,厚度為5_20mm,內(nèi)部空腔直徑為 40 200mm。
進(jìn)一步地,本發(fā)明實(shí)施例提供的大功率長壽命等離子發(fā)生裝置,還包括連接有掃描電源的掃描式電磁線圈組,所述掃描式電磁線圈組環(huán)繞在所述陽極以及陰極的外部,用于在通電狀態(tài)下在通電狀態(tài)下產(chǎn)生移動(dòng)的電磁場(chǎng)控制等離子體在陰極和陽極的內(nèi)部空腔表面運(yùn)動(dòng)。進(jìn)一步地,所述掃描式電磁線圈組由多個(gè)相互分離的電磁線圈組成。具體地,所述電磁線圈組中的電磁線圈數(shù)量為1-10個(gè),單個(gè)電磁線圈匝數(shù)為 100 300,長度為15 200,采用紫銅繞成。進(jìn)一步地,本發(fā)明實(shí)施例提供的大功率長壽命等離子發(fā)生裝置,還包括冷卻系統(tǒng),所述冷卻系統(tǒng)覆蓋在所述陽極和陰極的外壁,所述掃描式電磁線圈組位于所述冷卻系統(tǒng)中。較佳地,所述冷卻系統(tǒng)為分別覆蓋在陽極和陰極外壁的充滿冷卻水的水套管,所述掃描式電磁線圈組位于所述水套管的冷卻水中;所述直流電源的負(fù)極接在所述陰極外部的水套管的外壁,所述直流電源的正極接在所述陽極外部的水套管的外壁,通過所述水套管分別與陰極和陽極導(dǎo)通。較佳地,所述陽極和陰極采用Cu、Cr、Ti或Ir材料制成。本發(fā)明實(shí)施例提供的使用本發(fā)明實(shí)施例提供的大功率長壽命等離子發(fā)生裝置的等離子體發(fā)生方法,包括下述步驟通過高壓脈沖激發(fā)器產(chǎn)生電弧,啟動(dòng)直流電源,向陽極和陰極之間的間隙通入第一路載體風(fēng),在直筒狀陽極和陰極內(nèi)部空腔表面形成等離子弧,向所述直筒狀的陽極和陰極貫通的內(nèi)部空腔輸入第二路載體風(fēng),將所產(chǎn)生的等離子弧從所述陽極的噴嘴輸出。較佳地,該方法還包括下述步驟在形成等離子弧后,依次給所述陰極和陽極外部的掃描式電磁線圈組中各分離的電磁線圈通電,在陰極和陽極的內(nèi)部空腔內(nèi)產(chǎn)生移動(dòng)的掃描式線圈磁場(chǎng),控制等離子體在陰極和陽極的內(nèi)部空腔表面運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明實(shí)施例的有益效果包括本發(fā)明實(shí)施例提供的大功率長壽命等離子發(fā)生裝置及方法,陰極和陽極采用相同的內(nèi)徑的直筒狀結(jié)構(gòu),等離子體在陰極和陽極之間輸運(yùn)時(shí)不會(huì)由于陽極內(nèi)徑的縮小而導(dǎo)致等離子體流場(chǎng)畸變導(dǎo)致氣流對(duì)等離子體的壓縮程度降低,大幅度提高等離子氣流的流量和速度,使等離子弧長更長,輸出電壓更高,提高了等離子體的輸出功率,同時(shí)用于采用這種結(jié)構(gòu),還能夠降低等離子體在陽極內(nèi)部的電流密度,使得等離子弧在陽極表面的燒蝕點(diǎn)分布更均勻,大幅提高了等離子體發(fā)生裝置的使用壽命。更近一步地,本發(fā)明實(shí)施例提供的大功率長壽命等離子發(fā)生裝置及方法,在陰極和陽極的外部環(huán)繞有水冷的掃描式電磁線圈組,在陽極和陰極內(nèi)部空腔中產(chǎn)生高速移動(dòng)的電磁場(chǎng),在穩(wěn)定等離子體的同時(shí)更進(jìn)一步降低了對(duì)陰極和陽極的燒蝕。更進(jìn)一步提高了等離子體發(fā)生裝置的使用壽命以及輸出功率。
圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的大功率長壽命等離子發(fā)生裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例提供的一種大功率長壽命等離子發(fā)生裝置的具體實(shí)施方式
進(jìn)行詳細(xì)地說明。本發(fā)明實(shí)施例提供的大功率長壽命等離子發(fā)生裝置的結(jié)構(gòu)如圖1所示,該結(jié)構(gòu)與傳統(tǒng)的等離子體發(fā)生器的結(jié)構(gòu)類似之處在于包括陰極1、陽極2、高壓脈沖激發(fā)器3和直流電源4,其中,該等離子體發(fā)生裝置的直流電源4的正負(fù)極分別與陽極1和陰極2導(dǎo)通,高壓脈沖激發(fā)器3與陰極1和陽極2連接,陰極1和陽極2布置于同一軸心線上,且兩者之間留有間隙,形成第一路載體風(fēng)5的通道,而不同于傳統(tǒng)等離子體發(fā)生器的陽極所采用的喇叭狀噴嘴,本發(fā)明實(shí)施例提供的等離子體發(fā)生裝置對(duì)陰極1和陽極2的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改進(jìn), 陽極2不采用傳統(tǒng)的喇叭狀噴嘴的結(jié)構(gòu),而采用兩端開口的直筒狀,陰極1也采用同樣的結(jié)構(gòu),并且陰極1和陽極2的內(nèi)部空腔的直徑相等,相互貫通形成第二路載體風(fēng)6的通道。本發(fā)明實(shí)施例提供的大功率長壽命等離子發(fā)生裝置中,陰極1和陽極2之間留有一定的空隙,該空隙的大小的取值范圍一般為l_3mm。陰極1和陽極2都采用直筒狀,筒壁的厚度為5_20mm,內(nèi)部空腔直徑為40 200mm,長度為 200 1500mm。陰極1和陽極2可采用Cu、Cr、Ti或Ir等材料制成。較佳地,本發(fā)明實(shí)施例提供的大功率長壽命等離子發(fā)生裝置,還包括連接有掃描電源的掃描式電磁線圈組,掃描式電磁線圈組環(huán)繞在陽極以及陰極的外部,用于在通電狀態(tài)下產(chǎn)生移動(dòng)的電磁場(chǎng)控制等離子體在陰極和陽極內(nèi)部空腔的表面運(yùn)動(dòng)。如圖1所示,陰極的外部環(huán)繞有掃描式電磁線圈7,陰極的外部環(huán)繞有掃描式電磁線圈8。具體來說,上述掃描式電磁線圈組7和掃描式電磁線圈組8,由多個(gè)相互分離的電磁線圈組成,通過掃描電源依次對(duì)各個(gè)電磁線圈進(jìn)行通電和斷電,可在陰極1和陽極2的內(nèi)部空腔中形成不斷移動(dòng)的掃描式電磁場(chǎng)。在陽極2外部的電磁線圈組8中,電磁線圈的數(shù)量為1-10個(gè),單個(gè)電磁線圈的匝數(shù)為100 300,長度為15 200,可采用紫銅繞成。在陰極外部的電磁線圈組7的結(jié)構(gòu)與電磁線圈組8的具體結(jié)構(gòu)相同,在此不再贅述。本發(fā)明實(shí)施例提供的大功率長壽命等離子發(fā)生裝置中,還包括冷卻系統(tǒng)9,該冷卻系統(tǒng)覆蓋在陰極1和陽極2的外壁,其中分別放置有掃描式電磁線圈組7和電磁線圈組 8。較佳地,冷卻系統(tǒng)9為分別覆蓋在陽極和陰極外壁的充滿冷卻水的水套管,掃描式電磁線圈組位于水套管的冷卻水中。具體來說,如圖1所示,陰極1外壁的水套管包括冷水進(jìn)水口 10,陰極1外部的掃描式電磁線圈組7浸入冷卻水中,冷卻水經(jīng)過循環(huán)后從出水口 11引出,直流電源4的負(fù)極接在陰極水套管外壁上。陽極2外壁的水套管包括冷水進(jìn)水口 12,陽極2外部的掃描式電磁線圈組8浸入冷卻水中,冷卻水經(jīng)過循環(huán)后從出水口 13引出,直流電源4的正極接在陽極水套管外壁上。本發(fā)明實(shí)施例提供的上述大功率長壽命等離子發(fā)生裝置,在啟動(dòng)時(shí),分別啟動(dòng)外部的供氣和供水系統(tǒng),確定氣體氣體壓力和水路壓力滿足要求。在工作時(shí),接通高壓脈沖激發(fā)器,擊穿陰極1和陽極2端部之間的空隙從而產(chǎn)生電弧,同時(shí)接通直流電源4,在第一路載體風(fēng)5的輸送下,電弧進(jìn)入陰極1和陽極2內(nèi)部空腔的表面,第一路載體風(fēng)5的主要作用是將間隙中的電弧在引弧時(shí)吹出,防止燒傷陰極1和陽極2形成間隙的兩個(gè)端面。在直流電源的作用下產(chǎn)生強(qiáng)烈的電弧放電而形成高溫等離子體。從陰極的一端通入第二路載體風(fēng)6 (渦旋氣流)向陽極高速運(yùn)動(dòng),高溫等離子體在第一路載體風(fēng)5和第二路載體風(fēng)6的共同作用下,被高速“擠出”陽極2的噴嘴,形成高溫等離子炬。由于陰極1和陽極2都采用等內(nèi)徑直筒狀結(jié)構(gòu),增大了陽極的內(nèi)徑,加長了陽極長度,提高了陽極的內(nèi)表面積,使得等離子體在陽極內(nèi)部的電流密度降低到了現(xiàn)有技術(shù)中采用喇叭口形陽極的十分之一以下,在這種條件下當(dāng)?shù)入x子發(fā)生器功率增加到MW級(jí)時(shí),陽極的壽命仍然可以提高到現(xiàn)有陽極壽命的5倍左右,也即是達(dá)到600小時(shí)以上。并且,由于陰極1和陽極2內(nèi)腔直徑一致,避免了傳統(tǒng)等離子發(fā)生器內(nèi)部空腔變徑所帶來的等離子體流場(chǎng)畸變使渦旋場(chǎng)受到破壞,渦旋氣流對(duì)等離子的壓縮不夠?qū)е玛庩枠O嚴(yán)重?zé)g的問題,進(jìn)一步提高了陰極和陽極的使用壽命,同時(shí)也由于氣流對(duì)等離子體的壓縮效果較好,輸出功率較高,使得陽極噴嘴外部的等離子炬長度較長,等離子炬溫度較高,燃燒效果較好。并且,由于陰極1的外部有通水冷卻的掃描式電磁線圈組7,陽極2外部有通水冷卻的掃描式電磁線圈組8,通過掃描電源依次給掃描式電磁線圈組7和掃描式電磁線圈組 8中每個(gè)線圈進(jìn)行通電與斷電,從而在陰極1和陽極2內(nèi)部空腔的表面形成快速移動(dòng)的磁場(chǎng),在磁場(chǎng)的拉動(dòng)下,陰極1電弧的弧根可分離為更細(xì)小的斑點(diǎn)并且隨磁場(chǎng)快速移動(dòng),不但降低了陰極表面局部區(qū)域瞬間的電流密度,同時(shí)燒蝕面更加均勻,由此可以在陰極上加更高的電流,從而進(jìn)一步提高了等離子的輸出功率。以幾個(gè)具體的實(shí)施例來說明本發(fā)明實(shí)施例提供的上述大功率長壽命等離子發(fā)生裝置的技術(shù)效果實(shí)施例1 在實(shí)施例1的等離子體發(fā)生裝置中,陰陽極內(nèi)部空腔直徑為50mm,陰極長度為500mm,陽極長度為400mm。在第一路載體風(fēng)壓Pl = 0. 5MPa,第二路載體風(fēng)風(fēng)壓P2 = 0. 2MPa,直流電源輸出電流1000A,輸出電壓700V,輸出功率為700kW,掃描線圈電流輸出為 IOA的條件下,在陰極和陽極內(nèi)表面產(chǎn)生強(qiáng)度為50-60高斯均勻分布的磁場(chǎng)。等離子火炬長度為500mm,經(jīng)600小時(shí)運(yùn)行后,陽極表面基本完好,內(nèi)表面燒蝕深度小于1mm,預(yù)計(jì)使用壽命在1000小時(shí)以上。實(shí)施例2:在實(shí)施例1的等離子體發(fā)生裝置中,在陰陽極內(nèi)部空腔直徑為40mm,陰極長度為 800mm,陽極長度為1000mm。在第一路載體風(fēng)風(fēng)壓Pl = 0. 7MPa,第二路載體風(fēng)風(fēng)壓P2 = 0. 4MPa的條件下,設(shè)定直流電源輸出電流1000A,輸出電壓800V,輸出功率為800kW,掃描線圈電流輸出為IOA的條件下,在陰極和陽極內(nèi)表面產(chǎn)生強(qiáng)度為50-60高斯均勻分布的磁場(chǎng)。等離子火炬長度為600mm,經(jīng)600小時(shí)運(yùn)行后,陽極表面基本完好,內(nèi)表面燒蝕深度小于 1mm。預(yù)計(jì)使用壽命在1000小時(shí)以上。實(shí)施例3 在實(shí)施例3的等離子體發(fā)生裝置中,在陰陽極內(nèi)部空腔直徑為80mm,陰極長度為1000mm,陽極長度為1000mm,第一路載體風(fēng)風(fēng)壓Pl = 0. 7MPa,第二路載體風(fēng)風(fēng)壓P2 = 0. 4MPa,在設(shè)定直流電源輸出電流1500A,輸出電壓800V,輸出功率為1200kW,掃描線圈電流輸出為IOA的條件下,在陰極和陽極內(nèi)表面產(chǎn)生強(qiáng)度為50-60高斯均勻分布的磁場(chǎng),等離子火炬長度為600mm,經(jīng)600小時(shí)運(yùn)行后,陽極表面基本完好,內(nèi)表面燒蝕深度小于1mm。預(yù)計(jì)使用壽命在1000小時(shí)以上。本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種大功率長壽命等離子發(fā)生方法,該方法使用本發(fā)明實(shí)施例提供的上述大功率長壽命等離子發(fā)生裝置實(shí)現(xiàn),具體包括如下步驟通過高壓脈沖激發(fā)器產(chǎn)生電弧,啟動(dòng)直流電源,向陽極和陰極之間的間隙通入第一路載體風(fēng),在直筒狀陽極和陰極內(nèi)部空腔的表面形成等離子弧,向所述直筒狀的陽極和陰極貫通的內(nèi)部空腔輸入第二路載體風(fēng),將所產(chǎn)生的等離子弧從所述陽極的噴嘴輸出。進(jìn)一步地,本發(fā)明實(shí)施例提供的大功率長壽命等離子發(fā)生方法,還包括下述步驟在形成等離子弧后,依次給所述陰極和陽極外部的掃描式電磁線圈組中各分離的電磁線圈通電和斷電,在陰極和陽極的內(nèi)部空腔中產(chǎn)生移動(dòng)的掃描式電磁場(chǎng),控制等離子體在陰極和陽極的內(nèi)部空腔表面運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明實(shí)施例提供的大功率長壽命等離子發(fā)生裝置及方法,陰極和陽極采用相同的內(nèi)徑的直筒狀結(jié)構(gòu),等離子體在陰極和陽極之間輸運(yùn)時(shí)不會(huì)由于陽極內(nèi)徑的縮小而導(dǎo)致等離子體流場(chǎng)畸變導(dǎo)致氣流對(duì)等離子體的壓縮程度降低,大幅度提高等離子氣流的流量和速度,使等離子弧長更長,輸出電壓更高,提高了等離子體的輸出功率,同時(shí)用于采用這種結(jié)構(gòu),還能夠降低等離子體在陽極內(nèi)部的電流密度,使得等離子弧在陽極表面的燒蝕點(diǎn)分布更均勻,大幅提高了等離子體發(fā)生裝置的使用壽命。更近一步地,本發(fā)明實(shí)施例提供的大功率長壽命等離子發(fā)生裝置及方法,在陰極和陽極的外部環(huán)繞有水冷的掃描式電磁線圈組,在陽極和陰極內(nèi)部空腔中產(chǎn)生高速移動(dòng)的電磁場(chǎng),在穩(wěn)定等離子體的同時(shí)更進(jìn)一步降低了對(duì)陰極和陽極的燒蝕。更進(jìn)一步提高了等離子發(fā)生裝置的使用壽命以及輸出功率。顯然,本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣,倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi),則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種大功率長壽命等離子發(fā)生裝置,包括陰極(1)、陽極O)、高壓脈沖激發(fā)器(3) 和直流電源G),所述直流電源⑷的正負(fù)極分別與陽極⑵和所述陰極⑴導(dǎo)通,所述高壓脈沖激發(fā)器⑶與所述陰極⑴和所述陽極⑵連接,所述陰極⑴和陽極⑵布置于同一軸心線上,且兩者之間留有間隙,形成第一路載體風(fēng)( 通道,其特征在于,所述陰極 (1)與所述陽極O)為兩端開口的直筒狀,兩者內(nèi)部空腔的直徑相等,貫通形成第二路載體風(fēng)(6)通道。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述陰極(1)和陽極O)的長度為200 1500mm,厚度為5_20mm,內(nèi)部空腔直徑為40 200mm。
3.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,還包括連接有掃描電源的掃描式電磁線圈組(7,8),所述掃描式電磁線圈組(7,8)環(huán)繞在所述陽極(2)以及陰極⑴的外部,用于在通電狀態(tài)下產(chǎn)生移動(dòng)的電磁場(chǎng)控制等離子體在陰極(1)和陽極O)內(nèi)部空腔的表面運(yùn)動(dòng)。
4.如權(quán)利要求3所述的裝置,其特征在于,所述掃描式電磁線圈組(7,8)由多個(gè)相互分離的電磁線圈組成。
5.如權(quán)利要求4所述的裝置,其特征在于,所述掃描式電磁線圈組(7,8)中的電磁線圈數(shù)量為1-10個(gè),單個(gè)電磁線圈匝數(shù)為100 300,長度為15 200,采用紫銅繞成。
6.如權(quán)利要求3所述的裝置,其特征在于,還包括冷卻系統(tǒng)(9),所述冷卻系統(tǒng)(9)覆蓋在所述陽極⑵和陰極⑴的外壁,所述掃描式電磁線圈組(7,8)位于所述冷卻系統(tǒng)(9)中。
7.如權(quán)利要求6所述的裝置,其特征在于,所述冷卻系統(tǒng)(9)為分別覆蓋在陽極(2)和陰極(1)外壁的充滿冷卻水的水套管,所述掃描式電磁線圈組(7,8)位于所述水套管的冷卻水中;所述直流電源(4)的負(fù)極接在所述陰極(1)外部的水套管的外壁,所述直流電源(4) 的正極接在所述陽極( 外部的水套管的外壁,通過所述水套管分別與陰極(1)和陽極(2) 導(dǎo)通。
8.如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的裝置,其特征在于,所述陽極⑵和陰極⑴采用Cu、 Cr、Ti或^ 材料制成。
9.一種采用權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的大功率長壽命等離子發(fā)生裝置的等離子體發(fā)生方法,其特征在于,包括通過高壓脈沖激發(fā)器產(chǎn)生電弧,啟動(dòng)直流電源,向陽極和陰極之間的間隙通入第一路載體風(fēng),在直筒狀陽極和陰極內(nèi)部空腔的表面形成等離子弧,向所述直筒狀的陽極和陰極貫通的內(nèi)部空腔輸入第二路載體風(fēng),將所產(chǎn)生的等離子弧從所述陽極的噴嘴輸出。
10.如權(quán)利要求9所述的方法,其特征在于,還包括在形成等離子弧后,依次給所述陰極和陽極外部的掃描式電磁線圈組中各分離的電磁線圈通電和斷電,在陰極和陽極的內(nèi)部空腔中產(chǎn)生移動(dòng)的掃描式電磁場(chǎng),控制等離子體在陰極和陽極的內(nèi)部空腔表面運(yùn)動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種具有較高使用壽命和輸出功率的等離子發(fā)生裝置。該大功率長壽命等離子發(fā)生裝置,包括陰極、陽極、高壓脈沖激發(fā)器和直流電源,所述直流電源的正負(fù)極分別與陽極和所述陰極導(dǎo)通,所述高壓脈沖激發(fā)器與所述陰極和所述陽極連接,所述陰極和陽極布置于同一軸心線上,且兩者之間留有間隙,形成第一路載體風(fēng)通道,所述陰極與所述陽極為兩端開口的直筒狀,兩者內(nèi)部空腔的直徑相等,貫通形成第二路載體風(fēng)通道。本發(fā)明還提供了一種使用本發(fā)明提供的大功率長壽命等離子發(fā)生裝置生成等離子體的方法。
文檔編號(hào)H05H1/28GK102325423SQ20111027454
公開日2012年1月18日 申請(qǐng)日期2011年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月16日
發(fā)明者于寶成, 張志宏, 賴友祥 申請(qǐng)人:武漢天和技術(shù)股份有限公司