專利名稱：單晶生長爐壓力釋放裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及藍(lán)寶石單晶生產(chǎn)領(lǐng)域，特別是一種單晶生長爐壓力釋放裝置。
背景技術(shù)：
藍(lán)寶石是一種簡單配位型氧化物晶體。具有優(yōu)異的光學(xué)性能、機(jī)械性能和化學(xué)穩(wěn)定性，被廣泛的應(yīng)用于民用航天、半導(dǎo)體襯底、紅外軍事裝置、衛(wèi)星空間技術(shù)、高強(qiáng)度激光的窗口材料等，同時(shí)晶體生長設(shè)備-單晶生長爐也隨之得到了飛速的發(fā)展。藍(lán)寶石單晶生長爐屬于高真空密封裝置，對(duì)真空泄漏率的要求很高。由于其工作狀態(tài)的特殊性，當(dāng)爐內(nèi)出現(xiàn)意外情況，例如漏水、誤操作等，爐內(nèi)氣壓瞬間成萬倍數(shù)量級(jí)增長，嚴(yán)重時(shí)甚至?xí)斐蓡尉t體爆炸，危及生命財(cái)產(chǎn)安全。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種爐內(nèi)壓力穩(wěn)定，從而防止因爐內(nèi)壓力過高而導(dǎo)致的不正常循環(huán)和爆炸等不穩(wěn)定狀態(tài)的單晶生長爐壓力釋放裝置。本發(fā)明單晶生長爐壓力釋放裝置，包括密封底座；真空管道，所述真空管道設(shè)置在所述密封底座上；復(fù)位裝置，所述復(fù)位裝置與所述密封底座垂直連接。所述復(fù)位裝置包括導(dǎo)桿，所述導(dǎo)桿的一端設(shè)有支撐塊，所述導(dǎo)桿的另一端與所述密封底座連接，在所述導(dǎo)桿與所述密封底座的連接端的外側(cè)設(shè)有外螺紋；復(fù)位彈簧，所述復(fù)位彈簧套設(shè)在所述導(dǎo)桿外側(cè)。所述密封底座包括相互層疊的真空焊接法蘭與泄壓盲板，所述真空管道通過所述真空焊接法蘭與所述密封底座連接，所述導(dǎo)桿通過所述泄壓盲板所述密封底座連接。在所述真空焊接法蘭與所述泄壓盲板之間設(shè)有O形密封圈。在所述真空焊接法蘭與所述泄壓盲板上還進(jìn)一步設(shè)有貫穿所述真空焊接法蘭與所述泄壓盲板的安裝孔，在所述安裝孔的內(nèi)圓周上設(shè)有內(nèi)螺紋。所述安裝孔為均勻分布在所述真空焊接法蘭與所述泄壓盲板圓周上。所述內(nèi)螺紋與所述外螺紋契合，所述導(dǎo)桿及所述安裝孔通過所述外螺紋與所述內(nèi)螺紋連接。所述導(dǎo)桿的數(shù)量與所述安裝孔的數(shù)量相同，所述安裝孔及述導(dǎo)桿的數(shù)量為八個(gè)。所述各個(gè)導(dǎo)桿等高。所述真空管道與所述密封底座為垂直同軸安裝。本發(fā)明單晶生長爐壓力釋放裝置通過自動(dòng)調(diào)節(jié)，使?fàn)t內(nèi)壓力穩(wěn)定，從而防止因爐內(nèi)壓力過高而導(dǎo)致的不正常循環(huán)和爆炸等不穩(wěn)定狀態(tài)。并且此機(jī)械密封裝置密封性好，磨損小，結(jié)構(gòu)簡單，可長期重復(fù)使用，并且整個(gè)過程無需人工操作，自動(dòng)完成。


圖I為本發(fā)明單晶生長爐壓力釋放裝置側(cè)視剖視圖；圖2為本發(fā)明單晶生長爐壓力釋放裝置結(jié)構(gòu)俯視圖；圖3為本發(fā)明單晶生長爐壓力釋放裝置結(jié)構(gòu)示意圖；本發(fā)明單晶生長爐壓力釋放裝置附圖中附圖標(biāo)記說明
I-真空管道2-真空焊接法蘭3-0形密封圈4-導(dǎo)桿5-復(fù)位彈簧6-泄壓盲板 7-安裝孔 8-支撐塊
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明單晶生長爐壓力釋放裝置作進(jìn)一步詳細(xì)說明。如圖I、圖2、圖3所示，本發(fā)明單晶生長爐壓力釋放裝置，包括泄壓盲板6 ;真空管道1，真空管道I設(shè)置在泄壓盲板6上；導(dǎo)桿4，導(dǎo)桿4的一端與泄壓盲板6連接，導(dǎo)桿4的另一端設(shè)有支撐塊8。真空管道I通過真空焊接法蘭2與泄壓盲板6連接。真空焊接法蘭2與泄壓盲板6之間還設(shè)有O形密封圈3。泄壓盲板6上還設(shè)有安裝孔7。導(dǎo)桿4通過安裝孔7與泄壓盲板6連接。安裝孔7的數(shù)量為八個(gè)，安裝孔7為均勻分布在泄壓盲板6圓周上。在導(dǎo)桿4的外側(cè)設(shè)有壓縮彈簧5。真空管道I與泄壓盲板6及真空焊接法蘭2同軸連接。
工作時(shí)，真空管道I、真空焊接法蘭2、O型密封圈3、泄壓盲板6共同組成了真空腔體正常運(yùn)行時(shí)的密封裝置。根據(jù)泄壓盲板6的重力及要求的開啟壓力，計(jì)算出壓縮彈簧5的壓縮量，通過導(dǎo)桿4的螺紋端面安裝到位，控制密封接觸面緊密結(jié)合，密封效果良好，無泄漏。當(dāng)爐內(nèi)壓力過高，超過要求的開啟壓力時(shí)，壓縮彈簧5被進(jìn)一步壓縮，泄壓盲板6位置下移，與真空焊接法蘭2產(chǎn)生間隙，爐內(nèi)部分氣體從空隙出排出，從而使?fàn)t內(nèi)壓力下降。壓縮彈簧5由于受等高導(dǎo)桿4下端面限制，積蓄彈性勢(shì)能，當(dāng)爐內(nèi)壓力下降到低于開啟壓力時(shí)，密封接觸面重新結(jié)合，恢復(fù)密封狀態(tài)。裝置繼續(xù)運(yùn)行。本發(fā)明單晶生長爐壓力釋放裝置通過自動(dòng)調(diào)節(jié)，使?fàn)t內(nèi)壓力穩(wěn)定，從而防止因爐內(nèi)壓力過高而導(dǎo)致的不正常循環(huán)和爆炸等不穩(wěn)定狀態(tài)。并且此機(jī)械密封裝置密封性好，磨損小，結(jié)構(gòu)簡單，可長期重復(fù)使用，并且整個(gè)過程無需人工操作，自動(dòng)完成。以上已對(duì)本發(fā)明創(chuàng)造的較佳實(shí)施例進(jìn)行了具體說明，但本發(fā)明創(chuàng)造并不限于實(shí)施例，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本發(fā)明創(chuàng)造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請(qǐng)權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.單晶生長爐壓力釋放裝置，其特征在于，包括 密封底座； 真空管道，所述真空管道設(shè)置在所述密封底座上； 復(fù)位裝置，所述復(fù)位裝置與所述密封底座垂直連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單晶生長爐壓力釋放裝置，其特征在于，所述復(fù)位裝置包括 導(dǎo)桿，所述導(dǎo)桿的一端設(shè)有支撐塊，所述導(dǎo)桿的另一端與所述密封底座連接，在所述導(dǎo)桿與所述密封底座的連接端的外側(cè)設(shè)有外螺紋； 復(fù)位彈簧，所述復(fù)位彈簧套設(shè)在所述導(dǎo)桿外側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶生長爐壓力釋放裝置，其特征在于，所述密封底座包括相互層疊的真空焊接法蘭與泄壓盲板，所述真空管道通過所述真空焊接法蘭與所述密封底座連接，所述導(dǎo)桿通過所述泄壓盲板所述密封底座連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶生長爐壓力釋放裝置，其特征在于，在所述真空焊接法蘭與所述泄壓盲板之間設(shè)有O形密封圈。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單晶生長爐壓力釋放裝置，其特征在于，在所述真空焊接法蘭與所述泄壓盲板上還進(jìn)一步設(shè)有貫穿所述真空焊接法蘭與所述泄壓盲板的安裝孔，在所述安裝孔的內(nèi)圓周上設(shè)有內(nèi)螺紋。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的單晶生長爐壓力釋放裝置，其特征在于，所述安裝孔為均勻分布在所述真空焊接法蘭與所述泄壓盲板圓周上。
7.根據(jù)權(quán)利要求I或2或5所述的單晶生長爐壓力釋放裝置，其特征在于，所述內(nèi)螺紋與所述外螺紋契合，所述導(dǎo)桿及所述安裝孔通過所述外螺紋與所述內(nèi)螺紋連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的單晶生長爐壓力釋放裝置，其特征在于，所述導(dǎo)桿的數(shù)量與所述安裝孔的數(shù)量相同，所述安裝孔及述導(dǎo)桿的數(shù)量為八個(gè)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的單晶生長爐壓力釋放裝置，其特征在于，所述各個(gè)導(dǎo)桿等高。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單晶生長爐壓力釋放裝置，其特征在于，所述真空管道與所述密封底座為垂直同軸安裝。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種單晶生長爐壓力釋放裝置，包括密封底座；真空管道，所述真空管道設(shè)置在所述密封底座上；復(fù)位裝置，所述復(fù)位裝置與所述密封底座垂直連接。本發(fā)明單晶生長爐壓力釋放裝置通過自動(dòng)調(diào)節(jié)，使?fàn)t內(nèi)壓力穩(wěn)定，從而防止因爐內(nèi)壓力過高而導(dǎo)致的不正常循環(huán)和爆炸等不穩(wěn)定狀態(tài)。并且此機(jī)械密封裝置密封性好，磨損小，結(jié)構(gòu)簡單，可長期重復(fù)使用，并且整個(gè)過程無需人工操作，自動(dòng)完成。
文檔編號(hào)C30B35/00GK102953120SQ20111025425
公開日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2011年8月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月31日
發(fā)明者呂立強(qiáng) 申請(qǐng)人:上海朗兆機(jī)電設(shè)備有限公司