專(zhuān)利名稱(chēng)：一種防止單晶爐保護(hù)氣體管路泄漏的供氣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種供氣裝置，特別是一種防止單晶爐保護(hù)氣體管路泄漏的供氣裝置。
背景技術(shù)：
在直拉單晶生長(zhǎng)過(guò)程中，由于單晶爐體內(nèi)在加熱融化原料多硅晶塊的過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生一些 硅氧化物和雜質(zhì)的揮發(fā)物。這些硅氧化物和雜質(zhì)的揮發(fā)物對(duì)硅單晶的生長(zhǎng)會(huì)生產(chǎn)不利因素， 因此需要使用保護(hù)性氣體流由上至下貫穿單晶生長(zhǎng)的區(qū)域，及時(shí)地帶走硅氧化物和雜質(zhì)的揮 發(fā)物，氬氣是常用的保護(hù)性氣體。
現(xiàn)有的供氣裝置是供氣管道通過(guò)氣閥開(kāi)關(guān)后分為兩路后，分別與帶流量計(jì)的流量調(diào)節(jié)閥 甲和帶流量計(jì)的流量調(diào)節(jié)閥乙連接，帶流量計(jì)的流量調(diào)節(jié)閥甲出口和帶流量計(jì)的流量調(diào)節(jié)閥 乙出口分別為單晶爐供氣。在使用過(guò)程中發(fā)現(xiàn)，帶流量計(jì)的流量調(diào)節(jié)閥甲和帶流量計(jì)的流量 調(diào)節(jié)閥乙密封性不太好，有時(shí)會(huì)出現(xiàn)氬氣管路的泄露現(xiàn)象，由于拉晶時(shí)是負(fù)壓，因此外界空 氣會(huì)被吸入管路造成爐內(nèi)硅料等的氧化。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于，提供一種防止單晶爐保護(hù)氣體管路泄漏的供氣裝置，解決氬氣 管路的泄露現(xiàn)象，避免氧氣進(jìn)入氬氣管路造成拉晶過(guò)程中的氧化。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案 一種防止單晶爐保護(hù)氣體管路泄漏的供氣裝置，它包括氣閥開(kāi) 關(guān)，氣閥開(kāi)關(guān)的入口與供氣管道連接；氣閥開(kāi)關(guān)的出口分為兩路，分別連接流量調(diào)節(jié)閥甲和 流量調(diào)節(jié)閥乙的進(jìn)口；流量調(diào)節(jié)閥甲的出口經(jīng)流量計(jì)甲與單晶爐連接；流量調(diào)節(jié)閥乙的出口 經(jīng)流量計(jì)乙與單晶爐連接。
上述的防止單晶爐保護(hù)氣體管路泄漏的供氣裝置中，所述的流量調(diào)節(jié)閥甲和流量調(diào)節(jié)閥 乙均為薄膜閥。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型將現(xiàn)有技術(shù)中使用的帶流量計(jì)的流量調(diào)節(jié)閥分別用技術(shù)比 較成熟的薄膜流量調(diào)節(jié)閥和流量計(jì)替代后，產(chǎn)生了有益的效果，有效的防止了氬氣管路的泄 漏，避免了拉晶過(guò)程中的氧化，提高了成品率。


圖l是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖中的標(biāo)記為l-氣閥開(kāi)關(guān)，2-流量調(diào)節(jié)閥甲，3-流量調(diào)節(jié)閥乙，4-流量計(jì)甲，5-流 量計(jì)乙，6-帶流量計(jì)的流量調(diào)節(jié)閥甲，7-帶流量計(jì)的流量調(diào)節(jié)閥乙。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的防止單晶爐保護(hù)氣體管路泄漏的供氣裝置作進(jìn)一 步的詳細(xì)說(shuō)明，但并不作為對(duì)本實(shí)用新型作任何限制的依據(jù)。
現(xiàn)有技術(shù)的管路如圖2所示，供氣管道與氣閥開(kāi)關(guān)l的入口連接，氣閥開(kāi)關(guān)l的出口分為 兩路，分別與帶流量計(jì)的流量調(diào)節(jié)閥甲6入口和帶流量計(jì)的流量調(diào)節(jié)閥乙7入口連接，帶流量 計(jì)的流量調(diào)節(jié)閥甲6出口和帶流量計(jì)的流量調(diào)節(jié)閥乙7出口與單晶爐連接。
本實(shí)用新型管路如圖l所示，它包括氣閥開(kāi)關(guān)l，氣閥開(kāi)關(guān)l的入口與供氣管道連接；氣 閥開(kāi)關(guān)l的出口分為兩路，分別連接流量調(diào)節(jié)閥甲2和流量調(diào)節(jié)閥乙3的進(jìn)口；流量調(diào)節(jié)閥甲2 的出口經(jīng)流量計(jì)甲4與單晶爐連接；流量調(diào)節(jié)閥乙3的出口經(jīng)流量計(jì)乙5與單晶爐連接。所述 的流量調(diào)節(jié)閥甲2和流量調(diào)節(jié)閥乙3均采用薄膜閥。
本實(shí)用新型的工作原理
由于現(xiàn)有技術(shù)中使用的帶流量計(jì)的流量調(diào)節(jié)閥出現(xiàn)氣體泄漏，分析其原因是帶流量計(jì)的 流量調(diào)節(jié)閥密封技術(shù)存在缺陷，因此更換密封技術(shù)比較成熟的獨(dú)立的流量調(diào)節(jié)閥和流量計(jì)后 功能不變，可很好的解決氬氣管路泄漏的問(wèn)題，避免材料的浪費(fèi)，提高了產(chǎn)品生產(chǎn)的成品率
權(quán)利要求權(quán)利要求1一種防止單晶爐保護(hù)氣體管路泄漏的供氣裝置，它包括氣閥開(kāi)關(guān)(1)，氣閥開(kāi)關(guān)(1)的入口與供氣管道連接；其特征在于氣閥開(kāi)關(guān)(1)的出口分為兩路，分別連接流量調(diào)節(jié)閥甲(2)和流量調(diào)節(jié)閥乙(3)的進(jìn)口；流量調(diào)節(jié)閥甲(2)的出口經(jīng)流量計(jì)甲(4)與單晶爐連接；流量調(diào)節(jié)閥乙(3)的出口經(jīng)流量計(jì)乙(5)與單晶爐連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的防止單晶爐保護(hù)氣體管路泄漏的供氣裝置， 其特征在于所述的流量調(diào)節(jié)閥甲(2)和流量調(diào)節(jié)閥乙(3)均為薄膜閥。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種防止單晶爐保護(hù)氣體管路泄漏的供氣裝置。它包括氣閥開(kāi)關(guān)(1)，氣閥開(kāi)關(guān)(1)的入口與供氣管道連接；氣閥開(kāi)關(guān)(1)的出口分為兩路，分別連接流量調(diào)節(jié)閥甲(2)和流量調(diào)節(jié)閥乙(3)的進(jìn)口；流量調(diào)節(jié)閥甲(2)的出口經(jīng)流量計(jì)甲(4)與單晶爐連接；流量調(diào)節(jié)閥乙(3)的出口經(jīng)流量計(jì)乙(5)與單晶爐連接。本實(shí)用新型將現(xiàn)有技術(shù)中使用的帶流量計(jì)的流量調(diào)節(jié)閥分別用技術(shù)比較成熟的流量調(diào)節(jié)閥和流量計(jì)替代后，產(chǎn)生了有益的效果，有效的防止了氬氣管路的泄漏，提高了單晶生產(chǎn)的成品率。
文檔編號(hào)C30B15/00GK201305647SQ20082030276
公開(kāi)日2009年9月9日 申請(qǐng)日期2008年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月13日
發(fā)明者丁宇翔, 何紫平, 胥敬東 申請(qǐng)人:湖州新元泰微電子有限公司