專利名稱：晶體生長爐的插板閥部件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種半導(dǎo)體行業(yè)的晶體生長爐部件，采用這種部件可實現(xiàn)插板閥閥蓋的內(nèi)水冷，水冷管在閥內(nèi)隨閥板移動而不通過動密封，并用單連桿實現(xiàn)閥蓋的啟閉。
背景技術(shù)：
目前公知的用直拉法(切克勞斯基法)生長的晶體生長爐，需要在主副室之間設(shè)隔離閥。其閥蓋需水冷。若采用插板閥，已知的插板閥水冷管為外置型，存在動密封及尺寸大的問題，已知的閥蓋軸向位移要用四連桿機(jī)構(gòu)，結(jié)構(gòu)復(fù)雜。
本插板閥水冷軟管內(nèi)置，使用可靠，尺寸小，用單連桿實現(xiàn)閥蓋軸向啟閉，簡單可靠。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服插板閥水冷管外置存在動密封及尺寸大，四連桿機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)復(fù)雜等問題，本實用新型設(shè)計提供了一種晶體生長爐的插板閥部件，該部件采用水冷管內(nèi)置，單連桿機(jī)構(gòu)，尺寸小，使用簡單可靠。
本實用新型采用的技術(shù)方案是閥蓋水冷用的進(jìn)出水軟管通過進(jìn)出水管座裝在閥體內(nèi)，在閥蓋隨導(dǎo)板做平面移動時軟管在閥體內(nèi)隨閥蓋移動。
閥蓋與導(dǎo)板之間只用一個連桿聯(lián)結(jié)，并通過彈簧和頂桿平面緊貼，通過手把實現(xiàn)閥蓋隨導(dǎo)板做平面開合和軸向啟閉。
本實用新型的有益效果是在目前公知的水冷閥板的插板閥中，在通徑相同的前提下，本插板閥結(jié)構(gòu)簡單，尺寸最小，使用可靠。


圖1是本實用新型實施例剖面構(gòu)造的主視圖圖2是本實用新型實施例剖面構(gòu)造的俯視圖圖3是本實用新型實施例原理的主視圖圖4是本實用新型實施例原理的俯視圖圖中1閥蓋 2導(dǎo)板 3連桿 4彈簧 5閥體 6頂桿 7進(jìn)水管座 8出水管座 9出水軟管 10進(jìn)水軟管 11手把具體實施方式
圖示插板閥按截止?fàn)顟B(tài)畫出，閥蓋1通過連桿3與導(dǎo)板2相聯(lián)，通過彈簧4，頂桿6及連桿使閥蓋在截止前與導(dǎo)板平面相合，閥體5外面的進(jìn)水管座7和出水管座8伸入閥體內(nèi)，進(jìn)水軟管10，出水軟管9分別與進(jìn)出水管座和閥蓋相聯(lián)。
打開時，通過手把11使導(dǎo)板平面移開時，頂桿離開閥體，相連的閥蓋在彈簧作用下隨之向上移動，與導(dǎo)板平面貼緊并平面移開，此時內(nèi)置的進(jìn)出水軟管一頭固定不動，一頭隨閥蓋移動。
截止時，按上述步驟逆向操作。
權(quán)利要求1.一種用于晶體生長爐的插板閥部件，其特征在于閥蓋水冷用的進(jìn)出水軟管設(shè)置在閥體內(nèi)部，閥蓋與導(dǎo)板之間用一個連桿相連，并通過頂桿和彈簧實現(xiàn)平面貼緊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體生長爐的插板閥部件，其特征在于上述的進(jìn)出水軟管通過進(jìn)出水管座裝在閥體內(nèi)。
專利摘要一種晶體生長爐的插板閥部件，閥蓋水冷用的進(jìn)出水軟管通過進(jìn)出水管座裝在閥體內(nèi)，且可隨閥蓋的移動而在內(nèi)部運(yùn)動，同時用一個連桿連接閥蓋與導(dǎo)板，通過彈簧和頂桿使二者平面貼緊，通過手把實現(xiàn)閥蓋的軸向啟閉和水平移開。由于水冷軟管內(nèi)置并在內(nèi)部運(yùn)動，避免水管通過密封口運(yùn)動帶來的工作不可靠及尺寸變大。由于只用一個連桿，結(jié)構(gòu)簡單可靠。
文檔編號C30B35/00GK2890097SQ200520129468
公開日2007年4月18日 申請日期2005年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月21日
發(fā)明者李潤源, 付一凡, 周世增 申請人:北京京儀世紀(jì)自動化設(shè)備有限公司