專利名稱:能有效減小邊緣電場強度的周期極化電極結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及非線性光學(xué),鐵電體物理學(xué)。具體講,本發(fā)明涉及能有效減小邊緣電場強度的周期極化電極結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù):
目前外加電場法制備周期極化器件最為成功的結(jié)構(gòu)是采用液體電極結(jié)構(gòu)。其主要作用是能夠有效的減小邊緣電場強度,避免晶體擊穿。但受到液體電極夾具的限制,只能應(yīng)用于較大尺寸的樣品,不適合尺寸較小的晶體。
發(fā)明內(nèi)容
為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明的目的在于提供一種既有效的減小邊緣電場強度,避免晶體擊穿,又可用于小尺寸晶體的外加電場極化結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種能有效減小邊緣電場強度的周期極化電極結(jié)構(gòu),光柵電極光刻在晶體正疇面,光柵電極設(shè)置有外框,光柵電極橫向設(shè)置在外框內(nèi),外框縱向邊緣設(shè)置圓角,外框?qū)挾炔恍∮?.1毫米,所述圓角半徑不小于1毫米。
此外,還設(shè)置有輔助的外圍結(jié)構(gòu)和輔助電極,外圍結(jié)構(gòu)為高強度絕緣材料,其厚度與晶體厚度相同,輔助電極外形為圓形并置于外圍結(jié)構(gòu)表面,晶體放置在外圍結(jié)構(gòu)內(nèi),并位于輔助電極中心。
所述能有效減小邊緣電場強度的周期極化電極結(jié)構(gòu)浸泡在絕緣油中。
本發(fā)明具備以下效果由于外框邊緣設(shè)置圓角、設(shè)置有輔助的外圍結(jié)構(gòu)和輔助電極、將整個結(jié)構(gòu)浸泡在絕緣油中,因而能有效的減小邊緣電場強度,而且將電場強度最大值轉(zhuǎn)移到輔助的絕緣外圍結(jié)構(gòu),有效的避免了晶體擊穿。又可用于小尺寸晶體的外加電場極化,而且結(jié)構(gòu)簡單,極化成品率高。
圖1為本發(fā)明整體結(jié)構(gòu)圖,并作為摘要附圖。圖中1為正極,2為外圍結(jié)構(gòu),3為負(fù)極,4為晶體。
圖2為Z向電場分布分析圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例進一步說明本發(fā)明。
如圖1所示,一種能有效減小邊緣電場強度的周期極化電極結(jié)構(gòu),光柵電極光刻在晶體正疇面,光柵電極設(shè)置有外框,光柵電極橫向設(shè)置在外框內(nèi),外框縱向邊緣設(shè)置圓角,外框?qū)挾炔恍∮?.1毫米,所述圓角半徑不小于1毫米。在本實施例中,晶體尺寸為22×6×0.5mm3外框尺寸為19×3mm2,外框線條寬度0.2mm。
所述能有效減小邊緣電場強度的周期極化電極結(jié)構(gòu)還設(shè)置有輔助的外圍結(jié)構(gòu)和輔助電極,外圍結(jié)構(gòu)為高強度絕緣材料,其厚度與光柵電極厚度相同,輔助電極外形為圓形并置于外圍結(jié)構(gòu)表面,晶體放置在外圍結(jié)構(gòu)內(nèi),并位于輔助電極中心。這樣就進一步減小了邊緣電場強度,同時將電場強度最大值轉(zhuǎn)移到輔助的外圍結(jié)構(gòu)。
整個結(jié)構(gòu)浸泡在絕緣油中,以避免正負(fù)電極發(fā)生放電現(xiàn)象。
在本發(fā)明基礎(chǔ)上,本領(lǐng)域的技術(shù)人員還可以作出各種改變,例如根據(jù)晶體尺寸對外框尺寸和寬度、外圍結(jié)構(gòu)尺寸等參數(shù)進行各種變化,這些改變也在本發(fā)明保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種能有效減小邊緣電場強度的周期極化電極結(jié)構(gòu),光柵電極光刻在晶體正疇面,其特征是,設(shè)置有外框,光柵電極橫向設(shè)置在外框內(nèi),外框縱向邊緣設(shè)置圓角,外框?qū)挾炔恍∮?.1毫米,所述圓角半徑不小于1毫米。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種能有效減小邊緣電場強度的周期極化電極結(jié)構(gòu),其特征是,還設(shè)置有輔助的外圍結(jié)構(gòu)和輔助電極,外圍結(jié)構(gòu)為高強度絕緣材料,其厚度與晶體厚度相同,輔助電極外形為圓形并置于外圍結(jié)構(gòu)表面,晶體放置在外圍結(jié)構(gòu)內(nèi),并位于輔助電極中心。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種能有效減小邊緣電場強度的周期極化電極結(jié)構(gòu),其特征是,所述能有效減小邊緣電場強度的周期極化電極結(jié)構(gòu)浸泡在絕緣油中。
全文摘要
本發(fā)明能有效減小邊緣電場強度的周期極化電極結(jié)構(gòu),涉及非線性光學(xué),鐵電體物理學(xué)。具體講,本發(fā)明涉及能有效減小邊緣電場強度的周期極化電極結(jié)構(gòu)。為提供一種既有效的減小邊緣電場強度,避免晶體擊穿,又可用于小尺寸晶體的外加電場極化結(jié)構(gòu),本發(fā)明采用的技術(shù)方案是,一種能有效減小邊緣電場強度的周期極化電極結(jié)構(gòu),設(shè)置有外框,光柵電極放置在外框內(nèi),外框邊緣設(shè)置圓角,外框?qū)挾炔恍∮?.1毫米,圓角半徑不小于1毫米。本發(fā)明主要用于制造能有效減小邊緣電場強度的周期極化電極結(jié)構(gòu)。
文檔編號C30B35/00GK1776031SQ20051001550
公開日2006年5月24日 申請日期2005年10月19日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月19日
發(fā)明者紀(jì)磊, 于建, 倪文俊, 李世忱 申請人:天津大學(xué)