攝像裝置和攝像裝置的制造方法
【專利摘要】攝像裝置(1)具有：攝像元件(10)，其在受光面(10SA)的外周部排列設(shè)置有多個(gè)凸點(diǎn)(14)；撓性配線板(20)，其具有多條內(nèi)部引線(21)，這些內(nèi)部引線(21)分別由前端部(21X)、彎曲部(21Y)和后端部(21Z)構(gòu)成，前端部(21X)與凸點(diǎn)(14)壓接接合，并且經(jīng)由彎曲部(21Y)，后端部(21Z)與攝像元件(10)的側(cè)面(10SS)平行配置，凸點(diǎn)(14)的受光部側(cè)(14S1)的高度(H1)低于側(cè)面?zhèn)?14S2)的高度(H2)，內(nèi)部引線(21)根據(jù)凸點(diǎn)(14)的上表面形狀而發(fā)生塑性變形。
【專利說明】
攝像裝置和攝像裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及攝像裝置和所述攝像裝置的制造方法，該攝像裝置具有:攝像元件，其在形成有受光部的受光面的外周部排列設(shè)置有與所述受光部連接的多個(gè)凸點(diǎn)；以及包括與所述多個(gè)凸點(diǎn)中的任意凸點(diǎn)分別連接的多條內(nèi)部引線的撓性配線板?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]圖1所示的固體攝像裝置101在日本特開平5-115435號(hào)公報(bào)中被公開。固體攝像裝置101具有形成有受光部的固體攝像元件110和基板120?；?20的內(nèi)部引線121與作為固體攝像元件11 〇的外部連接用的凸點(diǎn)的金屬突起114連接。
[0003]固體攝像元件110由于內(nèi)部引線121向與受光面110SA相反的方向呈大致直角彎折而為細(xì)徑。并且，為防止內(nèi)部引線121與固體攝像元件110接觸而短路，在固體攝像元件110 的側(cè)面配設(shè)有絕緣板150。
[0004]然而，例如在配設(shè)于內(nèi)窺鏡的前端部的極小的固體攝像元件110的側(cè)面上不易配設(shè)絕緣板150。此外，固體攝像裝置101的外徑會(huì)由于絕緣板150的厚度而相應(yīng)增大。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本特開平5-115435號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】
[〇〇〇8]發(fā)明欲解決的課題
[0009]本發(fā)明的實(shí)施方式的目的在于，提供一種呈大致直角彎折的內(nèi)部引線與由半導(dǎo)體構(gòu)成的攝像元件不會(huì)發(fā)生短路的攝像裝置和所述攝像裝置的制造方法。
[0010]用于解決課題的手段
[0011]本發(fā)明的實(shí)施方式的攝像裝置具有:攝像元件，其在形成有受光部的受光面的外周部排列配設(shè)有與所述受光部連接的多個(gè)凸點(diǎn)；以及撓性配線板，其包括多條內(nèi)部引線，這些多條內(nèi)部引線分別由前端部、彎曲部和后端部構(gòu)成，所述前端部與所述多個(gè)凸點(diǎn)中的任意凸點(diǎn)壓接接合，并且經(jīng)由所述彎曲部，所述后端部與所述攝像元件的側(cè)面平行配置，所述凸點(diǎn)的受光部側(cè)的高度低于側(cè)面?zhèn)鹊母叨?，?nèi)部引線的所述彎曲部根據(jù)所述凸點(diǎn)的上表面形狀而發(fā)生塑性變形。
[0012]另一個(gè)實(shí)施方式的攝像裝置的制造方法包括:制作在形成有受光部的受光面的外周部排列設(shè)置有與所述受光部連接的多個(gè)凸點(diǎn)的攝像元件的工序;對(duì)凸點(diǎn)的受光部側(cè)施加壓力，使其塑性變形以使得所述受光部側(cè)的高度低于側(cè)面?zhèn)鹊母叨鹊墓ば颍恢谱靼ǘ鄺l內(nèi)部引線的撓性配線板的工序;對(duì)配置于所述凸點(diǎn)的受光部側(cè)的上方的內(nèi)部引線的所述前端部施加壓力，使得所述內(nèi)部引線一邊根據(jù)所述凸點(diǎn)的上表面形狀發(fā)生塑性變形一邊與所述凸點(diǎn)壓接接合的工序；以及對(duì)所述內(nèi)部引線進(jìn)行彎曲，以使得其后端部與所述攝像元件的側(cè)面平行配置的工序。
[0013]另一個(gè)實(shí)施方式的攝像裝置的制造方法包括:制作在形成有受光部的受光面的外周部排列設(shè)置有與所述受光部連接的多個(gè)凸點(diǎn)的攝像元件的工序;制作包括多條內(nèi)部引線的撓性配線板的工序;對(duì)配置于凸點(diǎn)的受光部側(cè)的上方的所述前端部施加壓力，使得內(nèi)部引線和所述凸點(diǎn)一邊發(fā)生變形一邊被壓接接合的工序；以及對(duì)所述內(nèi)部引線進(jìn)行彎曲，以使得其后端部與所述攝像元件的側(cè)面平行配置的工序。
[0014]發(fā)明的效果
[0015]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，可提供一種不會(huì)使呈大致直角彎折的內(nèi)部引線與由半導(dǎo)體構(gòu)成的攝像元件短路的攝像裝置和所述攝像裝置的制造方法。
【附圖說明】
[0016]圖1是現(xiàn)有的攝像裝置的剖視圖。
[0017]圖2是本發(fā)明第I實(shí)施方式的攝像裝置的立體圖。
[0018]圖3是本發(fā)明第I實(shí)施方式的攝像裝置的接合部的立體圖。
[0019]圖4是本發(fā)明第I實(shí)施方式的攝像裝置的接合部的沿著圖3的IV-1V線的剖視圖。
[0020]圖5是本發(fā)明第I實(shí)施方式的攝像裝置的凸點(diǎn)的立體圖。
[0021]圖6是本發(fā)明第I實(shí)施方式的攝像裝置的制造方法的流程圖。
[0022]圖7A是用于說明本發(fā)明第I實(shí)施方式的攝像裝置的凸點(diǎn)的制造方法的剖視圖。
[0023]圖7B是用于說明本發(fā)明第I實(shí)施方式的攝像裝置的凸點(diǎn)的制造方法的剖視圖。
[0024]圖7C是用于說明本發(fā)明第I實(shí)施方式的攝像裝置的凸點(diǎn)的制造方法的剖視圖。
[0025]圖8A是用于說明本發(fā)明第I實(shí)施方式的攝像裝置的制造方法的剖視圖。
[0026]圖SB是用于說明本發(fā)明第I實(shí)施方式的攝像裝置的制造方法的剖視圖。
[0027]圖SC是用于說明本發(fā)明第I實(shí)施方式的攝像裝置的制造方法的剖視圖。
[0028]圖9A是用于說明本發(fā)明第I實(shí)施方式的變形例的攝像裝置的凸點(diǎn)的制造方法的剖視圖。
[0029]圖9B是用于說明本發(fā)明第I實(shí)施方式的變形例的攝像裝置的凸點(diǎn)的制造方法的剖視圖。
[0030]圖1OA是用于說明本發(fā)明第I實(shí)施方式的變形例的攝像裝置的凸點(diǎn)的制造方法的剖視圖。
[0031]圖1OB是用于說明本發(fā)明第I實(shí)施方式的變形例的攝像裝置的凸點(diǎn)的制造方法的剖視圖。
[0032]圖1OC是用于說明本發(fā)明第I實(shí)施方式的變形例的攝像裝置的凸點(diǎn)的制造方法的剖視圖。
[0033]圖1lA是用于說明本發(fā)明第I實(shí)施方式的變形例的攝像裝置的凸點(diǎn)的制造方法的剖視圖。
[0034]圖1lB是用于說明本發(fā)明第I實(shí)施方式的變形例的攝像裝置的凸點(diǎn)的制造方法的剖視圖。
[0035]圖12是用于說明本發(fā)明第I實(shí)施方式的變形例的攝像裝置的凸點(diǎn)的剖視圖。
[0036]圖13是本發(fā)明第2實(shí)施方式的攝像裝置的制造方法的流程圖。
[0037]圖14A是用于說明本發(fā)明第2實(shí)施方式的攝像裝置的制造方法的剖視圖。
[0038]圖14B是用于說明本發(fā)明第2實(shí)施方式的攝像裝置的制造方法的剖視圖。
[0039]圖14C是用于說明本發(fā)明第2實(shí)施方式的攝像裝置的制造方法的剖視圖。
[0040]圖15是用于說明本發(fā)明第2實(shí)施方式的變形例的攝像裝置的制造方法的剖視圖。
[0041]圖16是用于說明本發(fā)明第2實(shí)施方式的變形例的攝像裝置的制造方法的剖視圖。
[0042]圖17是用于說明本發(fā)明第2實(shí)施方式的變形例的攝像裝置的制造方法的剖視圖。
[0043]圖18是用于說明本發(fā)明第2實(shí)施方式的變形例的攝像裝置的制造方法的剖視圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0044]<第1實(shí)施方式>
[0045]本實(shí)施方式的攝像裝置1如圖2至圖4所示，具有攝像元件10和撓性配線板20。
[0046]攝像元件10是由硅等半導(dǎo)體構(gòu)成的大致長(zhǎng)方體的芯片。如后所述，通過切斷將利用公知的半導(dǎo)體工藝形成有多個(gè)攝像元件的半導(dǎo)體晶片進(jìn)行單片化，由此制作出攝像元件 10。攝像元件10例如受光面10SA在500_X500_以上、lOOOwnXlOOOwi!以下，厚度在100M1 以上300wii以下。即，例如配設(shè)于內(nèi)窺鏡的前端部的攝像裝置1的攝像元件10是超小型的。
[0047]在形成有受光部12的半導(dǎo)體芯片11的受光面10SA的外周部，沿著端邊而排列設(shè)置有分別與受光部12連接的多個(gè)電極焊盤13。在電極焊盤13上配設(shè)有凸點(diǎn)14。受光部12與電極焊盤13通過內(nèi)部布線13L而被電連接，也可以在形成電極焊盤13時(shí)同時(shí)通過表面布線而被連接。另外，以下的圖中，有時(shí)省略內(nèi)部配線13L和電極焊盤13的圖示。
[0048]受光部12由CCD或CMOS攝像體等光電轉(zhuǎn)換元件構(gòu)成。凸點(diǎn)14是形成在厚度為lMi以上10M1以下的電極焊盤13上的凸形狀的金屬，例如是由金構(gòu)成的金凸點(diǎn)。凸點(diǎn)14的高度優(yōu)選在l〇Mi以上lOOwii以下，直徑優(yōu)選在30mi以上lOOwii以下，以保證良好的接合強(qiáng)度[〇〇49]布線板20是將聚酰亞胺等撓性樹脂作為基材22,并且具有由銅等構(gòu)成的多個(gè)布線 21L的撓性布線板。另外，布線21L配設(shè)于基材22的內(nèi)部，但也可以配設(shè)于表面。并且布線板 20可以為多層布線板，可以將芯片電容器等電子部件安裝在表面上，也可以內(nèi)置電子部件。
[0050]布線21L在布線板20的端面上從基材22突出而構(gòu)成內(nèi)部引線21。內(nèi)部引線21也被稱作懸空引線。例如，厚度為20wii以上50mi以下、長(zhǎng)度為50wii以上500wii以下的內(nèi)部引線21 (布線21L)具備撓性，由于來自外部的應(yīng)力而發(fā)生塑性變形。另外，內(nèi)部引線21的長(zhǎng)度處于不超過攝像元件10的厚度加上lOOym的范圍內(nèi)，例如在攝像元件的厚度為lOOwii以上300M1 以下的情況下，內(nèi)部引線21的長(zhǎng)度優(yōu)選在200mi以上400mi以下。[〇〇511 如圖3所示，內(nèi)部引線21由前端部21X、彎曲部21Y和后端部21Z構(gòu)成。即，將內(nèi)部引線21的與凸點(diǎn)14壓接接合的部分稱作前端部21X，將從前端部21X起延伸設(shè)置且彎曲的部分稱作彎曲部21Y，將從彎曲部21Y起延伸設(shè)置且與攝像元件10的側(cè)面10SS平行地配置的部分稱作后端部21Z。其中，為了說明而將前端部21X、彎曲部21Y和后端部21Z區(qū)分開，但它們是一體的，其邊界并不明確[〇〇52] 如上所述，彎曲部21Y由第1彎曲部21Y1和第2彎曲部21Y2構(gòu)成，第1彎曲部21Y1以將前端部21X與凸點(diǎn)14的接合部作為起點(diǎn)而從攝像元件10的受光面10SA遠(yuǎn)離的方式朝上方彎曲，第2彎曲部21Y2以使得后端部21Z與攝像元件10的側(cè)面10SS平行的方式彎曲。相對(duì)于受光面10SA，第1彎曲部21Y1呈凹形狀，第2彎曲部21Y2呈凸形狀。另外，如果設(shè)第1彎曲部 21Y1的彎曲角度為01度，則第2彎曲部21Y2的彎曲角度02大約為(90 — 01)度。
[0053]并且，如圖5所示，在與內(nèi)部引線21接合前，凸點(diǎn)14的上表面存在臺(tái)階差，受光部側(cè)14S1的高度H2低于側(cè)面?zhèn)?4S2的高度H1。換言之，凸點(diǎn)14存在高低差。
[0054]由于該凸點(diǎn)14的上表面形狀(高低差)，因而如圖4所示，內(nèi)部引線21的彎曲部21Y相對(duì)于受光面1SA而言，后端部側(cè)21Y2呈凸形狀，而前端側(cè)21Y1呈凹形狀。換言之，內(nèi)部引線21利用前端側(cè)21Y1而在離開受光面1SA的方向上發(fā)生塑性變形。
[0055]因此，攝像裝置I中，彎折為大致直角的內(nèi)部引線21不會(huì)與攝像元件10的角部和側(cè)面1SS接觸。
[0056]如上所述，攝像裝置具有:攝像元件，其在形成有受光部的受光面的外周部排列設(shè)置有與所述受光部連接的多個(gè)電極焊盤；以及撓性配線板，其包括分別與所述多個(gè)電極焊盤中的任意的電極焊盤連接的多條內(nèi)部引線，所述多條內(nèi)部引線的各條內(nèi)部引線由前端部、彎曲部和后端部構(gòu)成，所述前端部與所述電極焊盤連接，所述彎曲部由相對(duì)于所述受光面呈凹形狀的第I彎曲部和凸形狀的第2彎曲部構(gòu)成，所述后端部與所述攝像元件的側(cè)面平行配置。
[0057]攝像裝置I中，內(nèi)部引線21彎折為大致直角，與攝像元件10的側(cè)面1SS大致平行地在受光面1SA的相反側(cè)延伸設(shè)置，因此是細(xì)徑。因此，攝像裝置I配設(shè)于插入部的前端部上的內(nèi)窺鏡為細(xì)徑而屬于微創(chuàng)。
[0058]另外，如圖2所示，攝像裝置I中，攝像元件10中接合有I塊配線板20。即，多個(gè)凸點(diǎn)14沿著I條端邊而配設(shè)為I列。然而，攝像元件10上也可以接合多個(gè)配線板20。例如多個(gè)凸點(diǎn)14可以沿對(duì)置的2條端邊配設(shè)為2列，而在攝像元件上接合2塊配線板。
[0059]此外，攝像元件10的受光部12可以被玻璃罩覆蓋，電極焊盤13、凸點(diǎn)14和內(nèi)部引線21可以被密封樹脂覆蓋。
[0060]<攝像裝置的制造方法>
[0061]下面，根據(jù)圖6的流程圖對(duì)攝像裝置I的制造方法進(jìn)行說明。
[0062]< 步驟 Sll>
[0063]制作出如下的半導(dǎo)體晶片(未圖示)，其在受光面上具有多個(gè)受光部以及排列設(shè)置于各個(gè)受光部的周圍且與所述受光部連接的多個(gè)凸點(diǎn)。
[0064]凸點(diǎn)14例如為短柱凸點(diǎn)(studbump)或電鍍凸點(diǎn)等。如下制作短柱凸點(diǎn):使用引線接合裝置，將對(duì)金線的前端進(jìn)行放電熔融而形成的金珠金屬接合于電極焊盤13后將線切斷。電鍍凸點(diǎn)通過電鍍法制作。
[0065]另外，在凸點(diǎn)14為短柱凸點(diǎn)的情況下，利用夾具進(jìn)行按壓加工而使得上表面為大致平坦。即，由作為較柔軟的金屬，例如金構(gòu)成的凸點(diǎn)14通過外力而容易發(fā)生塑性變形。
[0066]< 步驟 S12>
[0067]將半導(dǎo)體晶片切斷，從而制作出長(zhǎng)方體的由半導(dǎo)體構(gòu)成的半導(dǎo)體芯片11。半導(dǎo)體芯片11是在形成有受光部12的受光面1SA的外周部排列設(shè)置有與受光部12連接的多個(gè)凸點(diǎn)14的攝像元件10。
[0068]另外，在凸點(diǎn)14是短柱凸點(diǎn)等的情況下，可以在切斷半導(dǎo)體晶片后配設(shè)凸點(diǎn)14。
[0069]< 步驟 S13>
[0070]如圖7A和圖7B所示，將壓接接合用的壓接夾具40按壓于凸點(diǎn)14的上表面的受光部偵打4S1。于是，如圖7C所示，凸點(diǎn)14的受光部側(cè)14S1的高度H2低于側(cè)面?zhèn)?4S2的高度H1，發(fā)生塑性變形。
[0071]壓接夾具40優(yōu)選為對(duì)排列設(shè)置的多個(gè)凸點(diǎn)14同時(shí)按壓的棒狀。進(jìn)而，對(duì)壓接夾具 40使用加熱棒，在按壓時(shí)進(jìn)行加熱，從而能夠以更低的溫度使凸點(diǎn)14塑性變形。另外，將加熱溫度設(shè)定為例如100°C以上400°C以下，且低于凸點(diǎn)14的材料的熔點(diǎn)，因此凸點(diǎn)14不會(huì)熔融。還可以取代加熱或在加熱的基礎(chǔ)上向壓接夾具40施加超聲波。
[0072]< 步驟S14>[〇〇73]制作出規(guī)定規(guī)格的配線板20。從配線板20的端面突出多條內(nèi)部引線21。多條內(nèi)部弓丨線21的配設(shè)間隔(間距)與攝像元件10的凸點(diǎn)14的配設(shè)間隔(間距)相同。也可以在從步驟 S11至步驟S14的工序之前先制作配線板20。
[0074]< 步驟 S15>[〇〇75]如圖8A所示，將內(nèi)部引線21的前端部21X位置對(duì)準(zhǔn)到凸點(diǎn)14的受光部側(cè)14S1的正上方。[〇〇76]另外，凸點(diǎn)14的高度H1、受光部側(cè)14S1的高度H2、凸點(diǎn)14的寬度D1、受光部側(cè)14S1 的寬度D2、側(cè)面?zhèn)?4S2的寬度D3可根據(jù)攝像裝置1的規(guī)格而適當(dāng)確定。[〇〇77] 例如，凸點(diǎn)14的高度H1在10_以上100M1以下，受光部側(cè)14S1的高度H2在高度H1的 90%以下10%以上。即，凸點(diǎn)14的上表面的臺(tái)階差A(yù) T在lwii以上90wii以下。此外，例如，凸點(diǎn) 14的寬度D1在lOwii以上100M1以下，受光部側(cè)14S1的寬度D2在寬度D1的90%以下10%以上。 根據(jù)凸點(diǎn)14的上表面形狀，確定內(nèi)部引線21的彎曲部21Y的彎曲形狀。
[0078]如果處于所述范圍內(nèi)，則如后所述，即使將內(nèi)部引線21彎折為大致直角，內(nèi)部引線 21與攝像元件10也不易接觸。[〇〇79]如圖8B所示，利用壓接夾具40將內(nèi)部引線21的前端部與凸點(diǎn)14的受光部側(cè)14S1壓接接合。此時(shí)，內(nèi)部引線21與凸點(diǎn)14的側(cè)面?zhèn)?4S2(高度H1的部分)抵接，因此以接合端面作為基點(diǎn)，內(nèi)部引線21相對(duì)于受光面10SA而塑性變形為凹形狀。
[0080]內(nèi)部引線21中，彎曲部21Y的前端側(cè)21Y1根據(jù)凸點(diǎn)14的上表面形狀而發(fā)生塑性變形，并且前端部21X與凸點(diǎn)14壓接接合。另外，未被壓接夾具40按壓的凸點(diǎn)14的側(cè)面?zhèn)?4S2 與內(nèi)部引線21的界面接觸，然而并非如被壓接的凸點(diǎn)14的受光部側(cè)14S1與內(nèi)部引線21的界面那樣牢固地接合。[〇〇81]另外，在凸點(diǎn)的塑性變形處理和壓接處理中可使用相同的壓接夾具。進(jìn)而，在短柱凸點(diǎn)的上表面的平坦化處理中也可以使用相同的壓接夾具。例如，使用相同的壓接接合裝置和相同的壓接夾具，首先進(jìn)行短柱凸點(diǎn)的上表面的平坦化處理，并且在進(jìn)行了凸點(diǎn)的塑性變形處理后，能夠接合內(nèi)部引線21。另外，優(yōu)選使用能夠同時(shí)按壓多個(gè)凸點(diǎn)和多條內(nèi)部引線的棒狀的壓接夾具。
[0082]< 步驟 S16>[〇〇83]如圖8C所示，內(nèi)部引線21彎曲成使得后端部21Z與攝像元件10的側(cè)面10SS大致平行配置。即，內(nèi)部引線21的塑性變形成凹形狀的彎曲部21Y的前端側(cè)21Y1的后端部側(cè)成為塑性變形為凸形狀的彎曲部21Y的后端部側(cè)21Y2。
[0084]另外，例如，可以在將棒狀的彎曲夾具(未圖示)插入到多條內(nèi)部引線21與攝像元件10之間的狀態(tài)下使內(nèi)部引線21彎曲。
[0085]此外，在壓接接合裝置上設(shè)置了攝像元件10的狀態(tài)下，可以利用壓接夾具4 0—邊壓接一邊使內(nèi)部引線21彎曲為大致直角。如上所述，可以利用相同的壓接接合裝置來進(jìn)行短柱凸點(diǎn)的上表面的平坦化處理、塑性變形處理和壓接處理。因此，可以利用I個(gè)壓接接合裝置來處理到彎曲處理。
[0086]另外，接合后，可以利用密封樹脂來密封接合部。進(jìn)而，可以利用粘結(jié)劑等將撓性配線板20的基材22與攝像元件10的側(cè)面1SS接合。此外，在內(nèi)部引線21的后端部21Z較長(zhǎng)的情況下，可以以覆蓋側(cè)面1SS的方式將后端部21Z進(jìn)行樹脂密封。
[0087]根據(jù)攝像元件10的制造方法，在使內(nèi)部引線21彎曲為與攝像元件10的側(cè)面1SS大致平行之前，利用塑性變形為凹形狀的前端側(cè)21Y1而使得內(nèi)部引線21與攝像元件10的受光面1SA的距離變大，因此易于將內(nèi)部引線21以不與攝像元件10接觸的方式彎折為大致直角。
[0088]<第1實(shí)施方式的變形例>
[0089]上表面存在臺(tái)階差的凸點(diǎn)14的制造方法不限于利用壓接接合用的壓接夾具40來局部地進(jìn)行塑性變形的方法。
[0090 ] 例如圖9A和圖9B所示，可以利用切削夾具41切掉凸點(diǎn)14的一部分。
[0091]此外，如圖1OA所示，在利用蝕刻掩模42覆蓋了凸點(diǎn)14后，如圖1OB所示，可以通過干蝕刻法進(jìn)行各向異性蝕刻處理，也可以如圖1OC所示，通過濕蝕刻法進(jìn)行各向同性蝕刻處理。
[0092]進(jìn)而，如圖1lA和圖1lB所示，可以在凸點(diǎn)14A的上表面的側(cè)面?zhèn)?4S2還配設(shè)凸點(diǎn)14B。此外，圖12所示的凸點(diǎn)14由高度不同的多個(gè)部件14A、14B構(gòu)成。
[0093]此外，如果凸點(diǎn)14的上表面具有高低差，則可以相對(duì)于受光面1SA傾斜，也可以具有傾斜面和臺(tái)階差面。
[0094]變形例的攝像裝置的凸點(diǎn)14的形狀與實(shí)施方式的攝像裝置I不同，然而同樣凸點(diǎn)14的受光部側(cè)14S1的高度H2低于側(cè)面?zhèn)?4S2的高度Hl，因而具備與攝像裝置I相同的效果。
[0095]<第2實(shí)施方式>
[0096]下面，對(duì)第2實(shí)施方式的攝像裝置IA和攝像裝置IA的制造方法進(jìn)行說明。攝像裝置IA和攝像裝置IA的制造方法與攝像裝置I和攝像裝置I的制造方法類似，因此對(duì)相同功能的結(jié)構(gòu)要素賦予相同符號(hào)并省略說明。
[0097]攝像裝置IA的制造方法中，內(nèi)部引線21和凸點(diǎn)14一邊變形一邊被壓接接合。即，接合前的凸點(diǎn)14的上表面平坦而不存在高低差。
[0098]根據(jù)圖13的流程圖對(duì)攝像裝置IA的制造方法進(jìn)行說明。
[0099]< 步驟 S21、S22、S23>
[0100]與上述說明的攝像裝置I的步驟Sll、步驟S12、步驟S14大致相同。其中，不需要攝像裝置I的制造方法中的凸點(diǎn)變形工序(步驟SI3)。
[0101]< 步驟 S24>
[0102]攝像裝置IA的壓接接合工序中，如圖14A所示，壓接夾具40按壓攝像元件10的凸點(diǎn)14的受光部側(cè)14S1，側(cè)面?zhèn)?4S2被設(shè)置于未被按壓的位置。
[0103]因此，如圖14B所示，通過壓接夾具40的按壓，內(nèi)部引線21和凸點(diǎn)14在發(fā)生塑性變形的同時(shí)被壓接接合。
[0104]S卩，凸點(diǎn)14的受光部側(cè)14S1的高度低于側(cè)面?zhèn)?4S2的高度。另一方面，內(nèi)部引線21以與凸點(diǎn)14的受光部側(cè)14S1的接合端面作為基點(diǎn)，相對(duì)于受光面1SA而塑性變形為凹形狀。因此，與預(yù)先在上表面存在高低差的凸點(diǎn)進(jìn)行接合的情況(第I實(shí)施方式、圖SB等)同樣地，內(nèi)部引線21的后端部21Z遠(yuǎn)離受光面10SA。另外，未被壓接夾具40按壓的凸點(diǎn)14與內(nèi)部引線21的界面相接觸，然而未牢固地接合。
[0105]< 步驟 S25>
[0106]如圖14C所示，內(nèi)部引線21以使得后端部21Z與攝像元件10的側(cè)面1SS大致平行配置的方式進(jìn)行彎曲。
[0107]攝像裝置IA的制造方法具備與攝像裝置I的制造方法相同的效果，進(jìn)而，由于無需在接合前形成上表面存在臺(tái)階差的凸點(diǎn)14，因而易于制造。
[0108]<第2實(shí)施方式的變形例>
[0109]內(nèi)部引線21和凸點(diǎn)14同時(shí)發(fā)生塑性變形并壓接接合的方法不限于使用壓接面平坦的壓接夾具40的方法。
[0110]圖15所示的壓接夾具40A的壓接面傾斜。因此，凸點(diǎn)14一邊使上表面相對(duì)于受光面1SA而塑性變形為傾斜面，一邊與內(nèi)部引線21接合。
[0111]圖16所示的壓接夾具40B的壓接面存在臺(tái)階差。因此，凸點(diǎn)14一邊使上表面塑性變形為臺(tái)階差面，一邊與內(nèi)部引線21接合。
[0112]圖17所示的壓接夾具40C在壓接面存在臺(tái)階差。并且，凸點(diǎn)14的上表面整體被按壓，從而一邊發(fā)生塑性變形一邊與內(nèi)部引線21接合。
[0113]圖18所示的壓接夾具40D在壓接面存在2級(jí)的臺(tái)階差。并且，凸點(diǎn)14的上表面整體被按壓，從而一邊發(fā)生塑性變形一邊與內(nèi)部引線21接合。
[0114]圖17和圖18所示的內(nèi)部引線21中，凸點(diǎn)14的上表面的側(cè)面?zhèn)?4S2高于受光面?zhèn)?4S1，因此內(nèi)部引線21與受光面1SA之間的空間較大。
[0115]使用上述的各種壓接夾具40A?40C的變形例的制造方法以及通過變形例的制造方法而制造出的攝像裝置都具備與第2實(shí)施方式的制造方法和攝像裝置同樣的效果。
[0116]本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式，可以在不改變本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更、改變等。
[0117]本申請(qǐng)以2014年2月24日在日本提交申請(qǐng)的日本特愿2014-033081號(hào)和日本特愿2014-033083號(hào)作為優(yōu)先權(quán)基礎(chǔ)而申請(qǐng)，上述公開內(nèi)容在本申請(qǐng)說明書、權(quán)利要求書和附圖中進(jìn)行引用。
[0118]標(biāo)號(hào)說明
[0119]I…攝像裝置，10...攝像元件，10SA...受光面，10SS...側(cè)面，11...半導(dǎo)體芯片，12...受光部，13...電極焊盤，13L...內(nèi)部配線，14...凸點(diǎn)，20...撓性配線板，21...內(nèi)部引線，22...基材，40…壓接夾具，41.??切削夾具，42…蝕刻掩模，101…固體攝像裝置。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種攝像裝置，其特征在于，具有:攝像元件，其在形成有受光部的受光面的外周部排列配設(shè)有與所述受光部連接的多個(gè) 凸點(diǎn)；以及撓性配線板，其包括多條內(nèi)部引線，這多條內(nèi)部引線分別由前端部、彎曲部和后端部構(gòu) 成，所述前端部與所述多個(gè)凸點(diǎn)中的任意凸點(diǎn)壓接接合，并且經(jīng)由所述彎曲部，所述后端部 與所述攝像元件的側(cè)面平行配置，所述凸點(diǎn)的受光部側(cè)的高度低于側(cè)面?zhèn)鹊母叨?，?nèi)部引線的所述彎曲部根據(jù)所述凸點(diǎn)的上表面形狀而發(fā)生塑性變形。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的攝像裝置，其特征在于，所述凸點(diǎn)的上表面具有臺(tái)階差。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的攝像裝置，其特征在于，所述凸點(diǎn)的上表面相對(duì)于所述受光面傾斜。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的攝像裝置，其特征在于，所述凸點(diǎn)由高度不同的多個(gè)部件構(gòu)成。5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項(xiàng)所述的攝像裝置，其特征在于，所述凸點(diǎn)的受光部側(cè)利用來自外部的壓力而發(fā)生塑性變形。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的攝像裝置，其特征在于，所述凸點(diǎn)的受光部側(cè)在與所述內(nèi)部引線接合前發(fā)生塑性變形。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的攝像裝置，其特征在于，所述內(nèi)部引線的前端側(cè)和所述凸點(diǎn)的受光部側(cè)在接合時(shí)發(fā)生塑性變形。8.—種攝像裝置的制造方法，其特征在于，包括如下工序:制作在形成有受光部的受光面的外周部排列設(shè)置有與所述受光部連接的多個(gè)凸點(diǎn)的 攝像元件的工序；對(duì)凸點(diǎn)的受光部側(cè)施加壓力，使其塑性變形以使得所述受光部側(cè)的高度低于側(cè)面?zhèn)鹊?高度的工序；制作包括多條內(nèi)部引線的撓性配線板的工序；對(duì)配置于所述凸點(diǎn)的受光部側(cè)的上方的內(nèi)部引線的所述前端部施加壓力，使得所述內(nèi) 部引線一邊根據(jù)所述凸點(diǎn)的上表面形狀發(fā)生塑性變形一邊與所述凸點(diǎn)壓接接合的工序；以 及對(duì)所述內(nèi)部引線進(jìn)行彎曲，以使得其后端部與所述攝像元件的側(cè)面平行配置的工序。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的攝像裝置的制造方法，其特征在于，對(duì)所述凸點(diǎn)施加壓力使其塑性變形的夾具是對(duì)所述內(nèi)部引線和所述凸點(diǎn)進(jìn)行壓接接 合的壓接夾具。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的攝像裝置的制造方法，其特征在于，利用棒狀的所述壓接夾具對(duì)所述多個(gè)凸點(diǎn)同時(shí)進(jìn)行接合。11.一種攝像裝置的制造方法，其特征在于，包括如下工序:制作在形成有受光部的受光面的外周部排列設(shè)置有與所述受光部連接的多個(gè)凸點(diǎn)的 攝像兀件的工序；制作包括多條內(nèi)部引線的撓性配線板的工序； 對(duì)配置于凸點(diǎn)的受光部側(cè)的上方的所述前端部施加壓力，使得內(nèi)部引線和所述凸點(diǎn)一邊發(fā)生變形一邊被壓接接合的工序；以及 對(duì)所述內(nèi)部引線進(jìn)行彎曲，以使得其后端部與所述攝像元件的側(cè)面平行配置的工序。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的攝像裝置的制造方法，其特征在于， 利用棒狀的所述壓接夾具對(duì)所述多個(gè)凸點(diǎn)同時(shí)進(jìn)行接合。
【文檔編號(hào)】H01L27/146GK106031151SQ201580009249
【公開日】2016年10月12日
【申請(qǐng)日】2015年2月17日
【發(fā)明人】米山純平, 下畑隆博
【申請(qǐng)人】奧林巴斯株式會(huì)社