技術(shù)總結(jié)
一種用于微?電子?機械系統(tǒng)的保護蓋以及相關(guān)方法，其中所述系統(tǒng)具有超聲換能器和鄰近所述換能器的保護蓋，并且具有小于或等于3g/sm的質(zhì)量/面積比。

技術(shù)研發(fā)人員：A·J·霍利達
受保護的技術(shù)使用者：W.L.戈爾及同仁股份有限公司
文檔號碼：201580036170
技術(shù)研發(fā)日：2015.07.07
技術(shù)公布日：2017.03.01