精密調(diào)諧升降基臺的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及微波等離子體反應(yīng)腔內(nèi)的諧振裝置，尤其涉及一種精密調(diào)諧升降基臺。
【背景技術(shù)】
[0002]微波等離子體反應(yīng)腔通過大小調(diào)諧基臺進行精密調(diào)諧。目前，公知的是大調(diào)諧基臺與主基臺之間通過帶法蘭盤的大波紋管進行密封。大波紋管兩端焊接連接法蘭盤，大波紋管一端與大調(diào)諧基臺一端通過法蘭盤密封連接，大波紋管另一端與主基臺一端通過橡膠密封圈進行密封。由于大波紋管材質(zhì)為304不銹鋼，且工作時反應(yīng)腔內(nèi)部充滿氣體，密封要求較高，所以大波紋管與法蘭盤的焊接要求高，焊接難度大，導(dǎo)致帶有大波紋管的裝置造價曰蟲印貝ο
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的是解決上述提出的問題，提供能夠在保持密封效能條件下降低成本的一種精密調(diào)諧升降基臺。
[0004]本實用新型的目的是以如下方式實現(xiàn)的:一種精密調(diào)諧升降基臺，精密調(diào)諧升降基臺與反應(yīng)腔體構(gòu)成微波等離子反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔體底部固定在主基臺上，位于所述主基臺上套設(shè)有同軸間隙配合的大調(diào)諧基臺和小調(diào)諧基臺，其中所述小調(diào)諧基臺位于反應(yīng)腔體的中軸線上，所述大調(diào)諧基臺與主基臺之間通過O型密封圈和金屬密封塊進行密封。
[0005]更進一步的優(yōu)化方案是，上述的精密調(diào)諧升降基臺，所述O型密封圈固定在大調(diào)諧基臺外側(cè)面上環(huán)狀溝槽內(nèi)，位于大調(diào)諧基臺和金屬密封塊之間間隙內(nèi)。
[0006]更進一步的優(yōu)化方案是，上述的精密調(diào)諧升降基臺，所述金屬密封塊與主基臺之間通過橡膠圈密封連接。
[0007]更進一步的優(yōu)化方案是，上述的精密調(diào)諧升降基臺，所述大調(diào)諧基臺底端通過法蘭盤與小波紋管密封連接。
[0008]更進一步的優(yōu)化方案是，上述的精密調(diào)諧升降基臺，所述小調(diào)諧基臺底端與小波紋管一端通過法蘭盤密封連接。
[0009]更進一步的優(yōu)化方案是，上述的精密調(diào)諧升降基臺，所述主基臺與反應(yīng)腔體焊接。
[0010]更進一步的優(yōu)化方案是，上述的精密調(diào)諧升降基臺，所述反應(yīng)腔體端部連接將微波傳送到反應(yīng)腔體內(nèi)的模式轉(zhuǎn)換器，所述模式轉(zhuǎn)換器橫向開口一端連接短路活塞，其橫向開口另一端連接銷釘調(diào)節(jié)器。
[0011]本實用新型的優(yōu)點:本實用新型的升降基臺不僅能夠精密調(diào)諧微波等離子體反應(yīng)腔，而且大調(diào)諧基臺與主基臺之間通過O型密封圈和金屬密封塊進行密封；由于O型橡膠圈材質(zhì)是硅橡膠，硅橡膠具有極好的密封性能，可置高溫下加熱，不變形，不產(chǎn)生有害物質(zhì)，良好的抗拉力性能，長期使用不變黃不褪色，耐電暈性，耐電弧性、耐老化性能好、耐高低溫，可在-60度?+200度溫度范圍內(nèi)長期使用。工作時，反應(yīng)腔內(nèi)部氣壓較低。在低壓情況下，O型橡膠圈可以保證微波等離子體反應(yīng)腔內(nèi)的密封性，且成本較低，維護方便。
【附圖說明】
[0012]為了使本實用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實施例并結(jié)合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中
[0013]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
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[0014]見圖1所示，一種精密調(diào)諧升降基臺，精密調(diào)諧升降基臺與反應(yīng)腔體I構(gòu)成微波等離子反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔體I，底部固定在主基臺2上，位于所述主基臺2上套設(shè)有同軸間隙配合的大調(diào)諧基臺3和小調(diào)諧基臺4，其中所述小調(diào)諧基臺4位于反應(yīng)腔體I的中軸線上，所述大調(diào)諧基臺3與主基臺2之間通過O型密封圈12和金屬密封塊13進行密封。所述O型密封圈12固定在大調(diào)諧基臺3外側(cè)面上環(huán)狀溝槽內(nèi)，位于大調(diào)諧基臺3和金屬密封塊13之間間隙內(nèi)。所述金屬密封塊13與主基臺2之間通過橡膠圈14密封連接。所述大調(diào)諧基臺3底端通過法蘭盤與小波紋管6密封連接。所述小調(diào)諧基臺4底端與小波紋管6 —端通過法蘭盤密封連接。所述主基臺2與反應(yīng)腔體I焊接。所述反應(yīng)腔體I端部連接將微波傳送到反應(yīng)腔體I內(nèi)的模式轉(zhuǎn)換器7，所述模式轉(zhuǎn)換器7橫向開口一端連接短路活塞8，其橫向開口另一端連接銷釘調(diào)節(jié)器9。
[0015]在圖1所示實施例中，反應(yīng)腔體I與箱體11通過螺栓固定連接，基片10位于小調(diào)諧基臺4上，大調(diào)諧基臺3和小調(diào)諧基臺4之間采用間隙配合。同時，大調(diào)諧基臺3的一端和小波紋管6 —端通過法蘭盤密封連接，小調(diào)諧基臺4的一端與小波紋管6的另一端通過法蘭盤密封連接。金屬密封塊13與大調(diào)諧基臺3之間是間隙配合，O型橡膠圈12固定在大調(diào)諧基臺3外側(cè)面上環(huán)狀溝槽內(nèi)，位于大調(diào)諧基臺3和金屬密封塊13之間間隙內(nèi)，起到密封作用，主基臺2與大調(diào)諧基臺3之間是間隙配合，主基臺2與反應(yīng)腔體I之間焊接連接。工作時，金屬密封塊13與主基臺2通過橡膠圈14進行密封，O型橡膠圈12在金屬密封塊13的范圍內(nèi)滑動，起到密封大調(diào)諧基臺3的作用。分別升降大調(diào)諧基臺3和小調(diào)諧基臺4，實現(xiàn)對微波等離子體反應(yīng)腔的精密調(diào)諧。
[0016]反應(yīng)腔體I直徑180暈米，尚220暈米，材質(zhì)是304不鎊鋼；大調(diào)諧基臺3和小調(diào)諧基臺4的直徑分別為100毫米和50毫米，高度分別為350毫米和510毫米，大調(diào)諧基臺3材質(zhì)是304不銹鋼，小調(diào)諧基臺4材質(zhì)是304不銹鋼；主基臺2內(nèi)徑是100毫米，高度為48毫米，材質(zhì)是304不銹鋼；小波紋管6壁厚0.2毫米，型號是KF40FXC100，材質(zhì)是304不銹鋼。
[0017]以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種精密調(diào)諧升降基臺，其特征在于:精密調(diào)諧升降基臺與反應(yīng)腔體(I)構(gòu)成微波等離子反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔體(I)底部固定在主基臺(2)上，位于所述主基臺(2)上套設(shè)有同軸間隙配合的大調(diào)諧基臺⑶和小調(diào)諧基臺(4)，其中所述小調(diào)諧基臺(4)位于反應(yīng)腔體(I)的中軸線上，所述大調(diào)諧基臺⑶與主基臺⑵之間通過O型密封圈(12)和金屬密封塊(13)進行密封。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密調(diào)諧升降基臺，其特征在于:所述O型密封圈(12)固定在大調(diào)諧基臺(3)外側(cè)面上環(huán)狀溝槽內(nèi)，位于大調(diào)諧基臺(3)和金屬密封塊(13)之間間隙內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的精密調(diào)諧升降基臺，其特征在于:所述金屬密封塊(13)與主基臺(2)之間通過橡膠圈(14)密封連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的精密調(diào)諧升降基臺，其特征在于:所述大調(diào)諧基臺(3)底端通過法蘭盤與小波紋管(6)密封連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的精密調(diào)諧升降基臺，其特征在于:所述小調(diào)諧基臺(4)底端與小波紋管(6) —端通過法蘭盤密封連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的精密調(diào)諧升降基臺，其特征在于:所述主基臺(2)與反應(yīng)腔體⑴焊接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的精密調(diào)諧升降基臺，其特征在于:所述反應(yīng)腔體(I)端部連接將微波傳送到反應(yīng)腔體(I)內(nèi)的模式轉(zhuǎn)換器(7)，所述模式轉(zhuǎn)換器(7)橫向開口一端連接短路活塞(8)，其橫向開口另一端連接銷釘調(diào)節(jié)器(9)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種精密調(diào)諧升降基臺，不僅能夠精密調(diào)諧微波等離子體反應(yīng)腔，而且所述大調(diào)諧基臺與主基臺之間通過O型密封圈和金屬密封塊進行密封，由于O型橡膠圈材質(zhì)是硅橡膠，硅橡膠具有極好的密封性能，可置高溫下加熱，不變形，不產(chǎn)生有害物質(zhì)，良好的抗拉力性能，長期使用不變黃不褪色，耐電暈性，耐電弧性、耐老化性能好、耐高低溫，可在-60度～+200度溫度范圍內(nèi)長期使用，工作時，反應(yīng)腔內(nèi)部氣壓較低，在低壓情況下，O型橡膠圈可以保證微波等離子體反應(yīng)腔內(nèi)的密封性，且成本較低，維護方便。
【IPC分類】H05H1-46
【公開號】CN204291552
【申請?zhí)枴緾N201420752779
【發(fā)明人】劉小利, 周學(xué)芹, 史玉芬, 趙海棟
【申請人】劉小利
【公開日】2015年4月22日
【申請日】2014年12月5日