濾波器裝置以及雙工器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及在壓電基板上構(gòu)成了多個(gè)彈性波諧振器的濾波器裝置，特別涉及具有縱耦合諧振器型彈性波濾波器部的濾波器裝置以及雙工器。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為移動(dòng)電話的雙工器的接收濾波器而廣泛使用縱耦合諧振器型濾波器裝置。對(duì)于縱耦合諧振器型濾波器裝置而言，強(qiáng)烈地謀求小型化。
[0003]在下述的專利文獻(xiàn)1中，將2個(gè)縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元級(jí)聯(lián)連接而成的第1、第2縱耦合諧振器型濾波器部被并聯(lián)連接。S卩，公開了 2級(jí)4個(gè)元件構(gòu)成的縱耦合諧振器型彈性波濾波器裝置。在專利文獻(xiàn)1中，第1、第2縱耦合諧振器型彈性波濾波器部的第1級(jí)的縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元的相鄰的IDT電極的接地端子彼此通過布線而被電連接。因此，不將布線連接于大地電位，而設(shè)為虛擬接地布線。因此，無(wú)需將虛擬接地布線與大地電位連接。因此能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。
[0004]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:JP特開2008-118277號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明要解決的課題
[0008]在使用了專利文獻(xiàn)1所記載的虛擬接地布線的情況下，能夠省略用于與大地電位連接的端子、布線。因此，能夠推進(jìn)小型化。
[0009]但是，對(duì)于平衡型的彈性波濾波器裝置而言，存在若使用接地布線，則在一對(duì)平衡端子間的振幅差、相位差的特性上出現(xiàn)較大的波動(dòng)的問題。此外，對(duì)于不平衡型的彈性波濾波器裝置而言，存在若使用虛擬接地布線，則在通頻帶內(nèi)出現(xiàn)較大的波動(dòng)的問題。因此，以往，沒有使用虛擬接地布線。
[0010]本發(fā)明的目的在于，提供一種使用虛擬接地布線，并且能夠降低在濾波器特性上出現(xiàn)的波動(dòng)的濾波器裝置。
[0011]解決課題的手段
[0012]本申請(qǐng)的第1發(fā)明所涉及的濾波器裝置具備:壓電基板；輸入端子；輸出端子；和形成在壓電基板上的第1、第2濾波器部。第1濾波器部連接在上述輸入端子與上述輸出端子之間。第2濾波器部連接在上述輸入端子與上述輸出端子之間，并與上述第1濾波器部并聯(lián)連接。
[0013]在第1發(fā)明中，第1濾波器部具有:第1縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元；與第1縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元級(jí)聯(lián)連接的第2縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元；和將第1縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元與第2縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元連接的第1、第2級(jí)間布線。
[0014]第2濾波器部具有:第3縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元；與第3縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元級(jí)聯(lián)連接的第4縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元；和將第3、第4縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元連接的第3、第4級(jí)間布線。
[0015]在第1發(fā)明中，第1濾波器部和第2濾波器部具有與HOT側(cè)電位連接的多個(gè)第1端子部分、和與并非HOT側(cè)電位的電位連接的多個(gè)第2端子部分。
[0016]還具備虛擬接地布線，以對(duì)上述第1濾波器部的多個(gè)上述第2端子部分的至少1個(gè)端子部分、和上述第2濾波器部的上述多個(gè)第2端子部分的至少1個(gè)端子部分進(jìn)行連接。
[0017]此外，在第1發(fā)明中，還具備與上述虛擬接地布線相鄰的HOT側(cè)布線部分、和設(shè)置在壓電基板上的絕緣膜。與虛擬接地布線相鄰的上述HOT側(cè)布線部分位于上述絕緣膜上。
[0018]本申請(qǐng)的第2發(fā)明所涉及的濾波器裝置具備:壓電基板；輸入端子；輸出端子；和在壓電基板上形成的第1、第2濾波器部。第1濾波器部連接在上述輸入端子與上述輸出端子之間。第2濾波器部連接在上述輸入端子與上述輸出端子之間，并與上述第1濾波器部并聯(lián)連接。
[0019]在本發(fā)明中，第1濾波器部具有:第1縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元；與第1縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元級(jí)聯(lián)連接的第2縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元；和將第1縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元與第2縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元連接的第1、第2級(jí)間布線。
[0020]第2濾波器部具有:第3縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元；與第3縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元級(jí)聯(lián)連接的第4縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元；和將第3、第4縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元連接的第3、第4級(jí)間布線。
[0021]在第2發(fā)明中，第1濾波器部和第2濾波器部具有與HOT側(cè)電位連接的多個(gè)第1端子部分、和與并非HOT側(cè)電位的電位連接的多個(gè)第2端子部分。
[0022]還具備虛擬接地布線，以對(duì)上述第1濾波器部的多個(gè)上述第2端子部分的至少1個(gè)端子部分、和上述第2濾波器部的多個(gè)上述第2端子部分的至少1個(gè)端子部分進(jìn)行連接。
[0023]在第2發(fā)明中，還具備與虛擬接地布線立體交叉的HOT側(cè)布線部分。而且，在該立體交叉的部分，在虛擬接地布線與HOT側(cè)布線部分之間還具備層間絕緣膜。經(jīng)由該層間絕緣膜而立體交叉的部分的虛擬接地布線的寬度比該虛擬接地布線的剩余部分的寬度更細(xì)。
[0024]在本發(fā)明(以下，將第1、第2發(fā)明總稱為本發(fā)明)的濾波器裝置的某特定的方式中，所述虛擬接地布線也可以對(duì)所述第2縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元的至少1個(gè)所述第2端子部分、和所述第4縱耦合諧振器型彈性波濾波器單元的至少1個(gè)所述第2端子部分進(jìn)行電連接。
[0025]在本發(fā)明所涉及的濾波器裝置中，所述輸入端子也可以為不平衡輸入端子，所述輸出端子也可以為不平衡輸出端子。即，本發(fā)明的濾波器裝置也可以為不平衡型的濾波器
目.ο
[0026]此外，本發(fā)明所涉及的濾波器裝置，所述輸入端子也可以為不平衡輸入端子，所述輸出端子也可以為第1、第2平衡輸出端子。即，本發(fā)明所涉及的濾波器裝置也可以為平衡型的濾波器裝置。
[0027]本發(fā)明所涉及的濾波器裝置也可以進(jìn)一步具備連接在所述輸入端子與所述輸出端子之間，并與所述第1、第2濾波器部并聯(lián)連接的至少1個(gè)第3濾波器部。
[0028]本發(fā)明所涉及的雙工器具備:按照本發(fā)明而構(gòu)成的濾波器裝置所組成的第1帶通型濾波器裝置；和設(shè)置在上述壓電基板上，與第1帶通型濾波器裝置不同的第2帶通型濾波器裝置。
[0029]發(fā)明效果
[0030]根據(jù)本發(fā)明，與虛擬接地布線相鄰的HOT側(cè)布線部分位于絕緣膜上，或者虛擬接地布線和HOT側(cè)布線部分經(jīng)由層間絕緣膜而立體交叉的部分的虛擬接地布線部分的寬度比剩余的虛擬接地布線部分的寬度更窄，因此能夠有效地壓制在濾波器特性上出現(xiàn)的波動(dòng)。因此，不僅能夠使用虛擬接地布線實(shí)現(xiàn)小型化，還能夠提供一種特性良好的濾波器裝置。
【附圖說明】
[0031]圖1是本發(fā)明的第1實(shí)施方式所涉及的雙工器的電路圖。
[0032]圖2是圖1所示的雙工器的俯視圖。
[0033]圖3是將圖2所示的雙工器的主要部分放大表示的部分摳取俯視圖。
[0034]圖4是比較例的雙工器的俯視圖。
[0035]圖5是表示第1實(shí)施方式以及比較例的雙工器的接收濾波器的濾波器特性的圖。
[0036]圖6是表示作為圖1所示的實(shí)施方式中的接收濾波器來使用的濾波器裝置的電極構(gòu)造的示意俯視圖。
[0037]圖7是表示應(yīng)用本發(fā)明的濾波器裝置的電極構(gòu)造的第1變形例的示意俯視圖。
[0038]圖8是表示應(yīng)用本發(fā)明的濾波器裝置的電極構(gòu)造的第2變形例的示意俯視圖。
[0039]圖9是表示應(yīng)用本發(fā)明的濾波器裝置的電極構(gòu)造的第3變形例的示意俯視圖。
[0040]圖10是表示應(yīng)用本發(fā)明的濾波器裝置的電極構(gòu)造的第4變形例的示意俯視圖。
[0041]圖11是表示應(yīng)用本發(fā)明的濾波器裝置的電極構(gòu)造的第5變形例的示意俯視圖。
[0042]圖12是本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的雙工器的俯視圖。
[0043]圖13是表示圖12所示的雙工器的主要部分的部分摳取放大俯視圖。
[0044]圖14是表示針對(duì)第2實(shí)施方式的比較例的濾波器構(gòu)成的圖。
[0045]圖15是表示第2實(shí)施方式以及比較例的雙工器中的接收濾波器的濾波器特性的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0046]以下，通過參照附圖對(duì)本發(fā)明的具體的實(shí)施方式進(jìn)行說明，來明確本發(fā)明。
[0047]圖1是第1實(shí)施方式的雙工器的電路圖。雙工器1通過在圖2所示的壓電基板2上形成圖2所示的電極構(gòu)造而構(gòu)成?；氐綀D1，雙工器1具有天線端子5、發(fā)送端子6、和接收端子7。天線端子5與公共連接點(diǎn)8連接。在公共連接點(diǎn)8與發(fā)送端子6之間連接有發(fā)送濾波器3。在公共連接點(diǎn)8與接收端子7之間連接有接收濾波器4。
[0048]接收濾波器4構(gòu)成了本發(fā)明的濾波器裝置的一個(gè)實(shí)施方式。以下，對(duì)發(fā)送濾波器3以及接收濾波器4的詳情進(jìn)行說明。
[0049]發(fā)送濾波器3為梯子型濾波器。由具有IDT電極的彈性波諧振器組成的多個(gè)串聯(lián)臂諧振器S1?S7被設(shè)置于串聯(lián)臂。此外，并聯(lián)臂諧振器P1?P3分別被設(shè)置于不同的并聯(lián)臂。并聯(lián)臂諧振器P1?P3也由具有IDT電極的彈性波諧振器構(gòu)成。