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等離子體噴槍的制作方法

文檔序號(hào):12925708閱讀:1183來源:國(guó)知局

本實(shí)用新型涉及等離子體噴槍。



背景技術(shù):

等離子工業(yè)清洗設(shè)備在液晶面板制造和柔性PCB板制造業(yè)中有廣泛的應(yīng)用。等離子工業(yè)清洗設(shè)備設(shè)有等離子體噴槍。

目前,等離子體噴槍內(nèi)的電極容易氧化,從而影響到電極壽命。另外,等離子的濃度及均勻度會(huì)直接影響到清洗效果。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的目的在于提供一種等離子體噴槍,其可利用氣流對(duì)電極進(jìn)行冷卻,防止電極溫度過高,延長(zhǎng)電極的壽命。

為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型的技術(shù)方案是設(shè)計(jì)一種等離子體噴槍,包括:

筒狀殼體,

置于殼體后端用于向殼體內(nèi)輸入氣體的氣體輸入接頭,

置于殼體前端用于向殼體外部輸出氣體的噴嘴,

置于殼體內(nèi)的桿狀電極,

置于殼體內(nèi)且套裝于電極外周的石英管,

將石英管固定在電極外周的石英管固定模塊,

將電極固定在殼體內(nèi)的電極固定模塊,

置于殼體內(nèi)的氣流分配模塊,

以及向電極供電的供電模塊;

所述氣流分配模塊設(shè)有沿殼體周向均布的多個(gè)螺旋氣孔。

優(yōu)選的,所述殼體沿其軸向由三段構(gòu)成:后段護(hù)套、中段護(hù)套和前段護(hù)套。

優(yōu)選的,所述氣體輸入接頭設(shè)于后段護(hù)套上。

優(yōu)選的,所述電極設(shè)于前段護(hù)套內(nèi)。

優(yōu)選的,所述電極管固定模塊包括:與電極固定桿后端螺紋連接的電極固定桿,以及設(shè)于電極固定桿后端的螺紋頭。

優(yōu)選的,所述電極固定桿設(shè)于中段護(hù)套內(nèi)。

優(yōu)選的,所述螺紋頭設(shè)于后段護(hù)套和中段護(hù)套的結(jié)合部。

優(yōu)選的,所述電極固定桿外周還套裝有密封套管。

優(yōu)選的,所述氣體輸入接頭為快速接頭。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于:提供一種等離子體噴槍,其可利用氣流對(duì)電極進(jìn)行冷卻,防止電極溫度過高,延長(zhǎng)電極的壽命,且可輸出均勻而穩(wěn)定的等離子流。

使用時(shí),外部氣體由氣體輸入接頭輸入,由殼體后端流向殼體前端,并由噴嘴噴出,氣體流經(jīng)電極表面;電極上通有高壓交流電,電極表面會(huì)產(chǎn)生等離子體,等離子體和氣流混合后從噴嘴輸出,可形成等離子流;氣體還流經(jīng)氣流分配模塊,氣流分配模塊設(shè)有沿殼體周向均布的多個(gè)螺旋氣孔,利于形成均勻而穩(wěn)定的等離子流。

本實(shí)用新型可以通過控制氣流,在噴嘴處形成均勻而穩(wěn)定的等離子流。

本實(shí)用新型的螺旋氣孔有利于氣體的均勻噴出,一方面冷卻電極,另一方面也確保產(chǎn)生的等離子體濃度相對(duì)均勻。

本實(shí)用新型優(yōu)化電極的結(jié)構(gòu)和安裝位置,兼顧等離子體在電極表面產(chǎn)生的面積及流動(dòng)性,正常工作時(shí),在電極表面形成的等離子可以和氣流形成清洗需要的比較高濃度且均勻穩(wěn)定的等離子流。

本實(shí)用新型采用螺紋固定的安裝方式方便了更換電極、石英管等耗材,并且在電極周圍形成了相對(duì)的密閉空間,有利于等離子體的產(chǎn)生。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型一種等離子體噴槍的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例,對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于更加清楚地說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案,而不能以此來限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

本實(shí)用新型具體實(shí)施的技術(shù)方案是:

一種等離子體噴槍,包括:

筒狀殼體,

置于殼體后端用于向殼體內(nèi)輸入氣體的氣體輸入接頭,

置于殼體前端用于向殼體外部輸出氣體的噴嘴,

置于殼體內(nèi)的桿狀電極,

置于殼體內(nèi)且套裝于電極外周的石英管,

將石英管固定在電極外周的石英管固定模塊,

將電極固定在殼體內(nèi)的電極固定模塊,

置于殼體內(nèi)的氣流分配模塊,

以及向電極供電的供電模塊;

所述氣流分配模塊設(shè)有沿殼體周向均布的多個(gè)螺旋氣孔。

優(yōu)選的,所述殼體沿其軸向由三段構(gòu)成:后段護(hù)套、中段護(hù)套和前段護(hù)套。

優(yōu)選的,所述氣體輸入接頭設(shè)于后段護(hù)套上。

優(yōu)選的,所述電極設(shè)于前段護(hù)套內(nèi)。

優(yōu)選的,所述電極管固定模塊包括:與電極固定桿后端螺紋連接的電極固定桿,以及設(shè)于電極固定桿后端的螺紋頭。

優(yōu)選的,所述電極固定桿設(shè)于中段護(hù)套內(nèi)。

優(yōu)選的,所述螺紋頭設(shè)于后段護(hù)套和中段護(hù)套的結(jié)合部。

優(yōu)選的,所述電極固定桿外周還套裝有密封套管。

優(yōu)選的,所述氣體輸入接頭為快速接頭。

以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾,這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

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