用于磁懸浮渦輪分子泵的開(kāi)關(guān)功率放大器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供用于磁懸浮渦輪分子泵的開(kāi)關(guān)功率放大器，其包括：電流誤差信號(hào)處理電路；生成并輸出兩個(gè)PWM信號(hào)的PWM信號(hào)發(fā)生電路；光耦隔離驅(qū)動(dòng)電路，生成并輸出用于驅(qū)動(dòng)下一級(jí)電路中的功率開(kāi)關(guān)管柵極的驅(qū)動(dòng)信號(hào)；利用來(lái)自光耦隔離驅(qū)動(dòng)電路的柵極驅(qū)動(dòng)信號(hào)，分別對(duì)各個(gè)功率開(kāi)關(guān)管進(jìn)行控制，由此在負(fù)載磁軸承線圈中生成的電流作為待檢測(cè)電流輸出的半橋功率主電路；和電流檢測(cè)電路，用于檢測(cè)來(lái)自半橋功率主電路的在負(fù)載磁軸承線圈中流通的電流的大小，將檢測(cè)出的電流值作為電流反饋信號(hào)輸出至電流誤差信號(hào)處理電路。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供能提高集成度、可靠性以及能量轉(zhuǎn)換效率的用于磁懸浮渦輪分子泵的開(kāi)關(guān)功率放大器。
【專利說(shuō)明】用于磁懸浮渦輪分子泵的開(kāi)關(guān)功率放大器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于磁懸浮渦輪分子泵的開(kāi)關(guān)功率放大器，用于對(duì)磁懸浮渦輪分子泵的磁軸承線圈中的電流進(jìn)行主動(dòng)控制。
【背景技術(shù)】
[0002]渦輪真空分子泵是一種機(jī)械式真空泵，它通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的多級(jí)渦輪轉(zhuǎn)子葉片和靜止渦輪葉片的組合進(jìn)行抽氣，在分子流區(qū)域內(nèi)對(duì)被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比，從而獲得所需要的高真空和超高真空性能。磁懸浮渦輪分子泵代替?zhèn)鹘y(tǒng)機(jī)械式真空泵的機(jī)械軸承支承，而采用磁軸承支承，由于磁軸承無(wú)需加入任何潤(rùn)滑介質(zhì)，分子泵的葉輪便可在無(wú)油條件下運(yùn)行，因此在分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，高真空區(qū)域不會(huì)受到油蒸汽的污染，不需要冷阱和油擋板，即可獲得清潔的高真空和超高真空環(huán)境。另外，由于磁軸承沒(méi)有機(jī)械接觸和摩擦，也不存在潤(rùn)滑介質(zhì)流淌的問(wèn)題，因此磁懸浮渦輪分子泵可以實(shí)現(xiàn)任意角度安裝，這使得分子泵的應(yīng)用更為靈活。目前，磁懸浮渦輪分子泵已廣泛應(yīng)用于加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、半導(dǎo)體制造、電子顯微鏡、電真空器件等的制造機(jī)真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域中，為制造過(guò)程提供穩(wěn)定可靠的高真空環(huán)境。
[0003]功率放大器作為磁懸浮渦輪分子泵磁軸承控制系統(tǒng)的執(zhí)行器，其能量消耗最大，同時(shí)也是整個(gè)磁軸承控制系統(tǒng)中可靠性較薄弱的環(huán)節(jié)。為了提高功率放大器的效率，磁懸浮渦輪分子泵的磁軸承控制系統(tǒng)采用開(kāi)關(guān)功率放大器。現(xiàn)有的用于磁軸承控制系統(tǒng)的開(kāi)關(guān)功率放大器功率主電路的高壓側(cè)功率開(kāi)關(guān)管和低壓側(cè)功率開(kāi)關(guān)管均是采用同類型的開(kāi)關(guān)管，這樣在高壓端的柵極驅(qū)動(dòng)電路中通常就需要使用獨(dú)立懸浮電源、自舉電源或是帶有隔離變壓器的驅(qū)動(dòng)電路才能實(shí)現(xiàn)。如果采用獨(dú)立懸浮電源，則不僅增加了整個(gè)磁軸承控制系統(tǒng)中電源的數(shù)量，勢(shì)必同時(shí)增加電路的體積和重量，結(jié)果必然大大降低電路的可靠性。采用自舉電源，雖然可以節(jié)省獨(dú)立電源的數(shù)量，但是如果自舉電路的參數(shù)選擇不當(dāng)，導(dǎo)致自舉不成功，則將嚴(yán)重影響到磁軸承控制系統(tǒng)正常的穩(wěn)定運(yùn)行。采用帶有隔離變壓器的柵極驅(qū)動(dòng)電路通常較為復(fù)雜，且使用了隔離變壓器也會(huì)造成電路體積的增加。此外，現(xiàn)有的用于磁軸承控制系統(tǒng)的開(kāi)關(guān)功率放大器在PWM生成電路方面，多是采用DSP或是FPGA的數(shù)字信號(hào)處理方式來(lái)生成PWM信號(hào)，如果在需要輸出很多路PWM的情況下，這種方式是很有必要的，但對(duì)于輸出路數(shù)較少的應(yīng)用場(chǎng)合，反而容易將簡(jiǎn)單問(wèn)題復(fù)雜化。通過(guò)減小電路的體積和元器件數(shù)量，可以降低開(kāi)關(guān)功率放大器的功耗，同時(shí)提高開(kāi)關(guān)功率放大器的電路可靠性。為了滿足磁懸浮渦輪分子泵的磁軸承控制系統(tǒng)對(duì)開(kāi)關(guān)功率放大器高可靠性和低功耗的要求，需要開(kāi)發(fā)一種控制方式和電路結(jié)構(gòu)都簡(jiǎn)單且電路體積小的開(kāi)關(guān)功率放大器。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于提供一種適用于磁懸浮渦輪分子泵的磁軸承控制系統(tǒng)的開(kāi)關(guān)功率放大器，能夠提高開(kāi)關(guān)功率放大器的集成度、可靠性以及能量轉(zhuǎn)換效率。[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種用于磁懸浮渦輪分子泵的開(kāi)關(guān)功率放大器，其特征在于，包括:
[0006]電流誤差信號(hào)處理電路，對(duì)輸入的電流控制信號(hào)和電流反饋信號(hào)進(jìn)行求差運(yùn)算，對(duì)所得到的差值進(jìn)行比例積分運(yùn)算后輸出至PWM信號(hào)發(fā)生電路；
[0007]PWM信號(hào)發(fā)生電路，對(duì)來(lái)自上述電流誤差信號(hào)處理電路的信號(hào)進(jìn)行PWM調(diào)制處理，生成并輸出兩個(gè)PWM信號(hào)；
[0008]光耦隔離驅(qū)動(dòng)電路，對(duì)上述PWM信號(hào)發(fā)生電路生成的上述兩個(gè)PWM信號(hào)進(jìn)行光耦隔離，并進(jìn)行驅(qū)動(dòng)來(lái)放大功率，生成并輸出用于對(duì)下一級(jí)電路中的功率開(kāi)關(guān)管的柵極進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的柵極驅(qū)動(dòng)信號(hào)；
[0009]半橋功率主電路，包括第一功率開(kāi)關(guān)管、第二功率開(kāi)關(guān)管、第一續(xù)流二極管、第二續(xù)流二極管、電流檢測(cè)電阻和負(fù)載磁軸承線圈，分別利用來(lái)自上述光耦隔離驅(qū)動(dòng)電路的上述柵極驅(qū)動(dòng)信號(hào)，對(duì)各個(gè)上述功率開(kāi)關(guān)管進(jìn)行控制，使得上述功率開(kāi)關(guān)管同時(shí)導(dǎo)通或者同時(shí)關(guān)斷，由此在上述負(fù)載磁軸承線圈中生成的電流作為待檢測(cè)電流輸出；和
[0010]電流檢測(cè)電路，用于檢測(cè)來(lái)自半橋功率主電路的在上述負(fù)載磁軸承線圈中流通的電流的大小，將檢測(cè)出的電流值作為電流反饋信號(hào)輸出至上述電流誤差信號(hào)處理電路。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的上述結(jié)構(gòu)，能夠得到提高了集成度、可靠性以及能量轉(zhuǎn)換效率的用于磁懸浮渦輪分子泵的開(kāi)關(guān)功率放大器。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本發(fā)明涉及的用于磁懸浮渦輪分子泵的開(kāi)關(guān)功率放大器的電路結(jié)構(gòu)的框圖。
[0013]圖2為本發(fā)明涉及的用于磁懸浮渦輪分子泵的開(kāi)關(guān)功率放大器中的PWM信號(hào)發(fā)生電路的電路連接圖。
[0014]圖3為本發(fā)明涉及的用于磁懸浮渦輪分子泵的開(kāi)關(guān)功率放大器中的電流檢測(cè)電路的電路連接圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明涉及的用于磁懸浮渦輪分子泵的開(kāi)關(guān)功率放大器(以下簡(jiǎn)稱為“開(kāi)關(guān)功率放大器”)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0016]圖1示出了磁懸浮渦輪分子泵的磁軸承控制系統(tǒng)用開(kāi)關(guān)功率放大器的電路結(jié)構(gòu)框圖。如圖1所示，開(kāi)關(guān)功率放大器包括依次連接的電流誤差信號(hào)處理電路1、PWM信號(hào)發(fā)生電路2、光耦隔離驅(qū)動(dòng)電路3、半橋功率主電路4和電流檢測(cè)電路5。
[0017]具體而言，電流誤差信號(hào)處理電路I對(duì)輸入的電流控制信號(hào)和電流反饋信號(hào)進(jìn)行求差運(yùn)算，對(duì)所得到的差值進(jìn)行比例積分運(yùn)算后輸出至PWM信號(hào)發(fā)生電路2。PWM信號(hào)發(fā)生電路2對(duì)輸入的信號(hào)進(jìn)行PWM調(diào)制處理，生成兩路PWM信號(hào)，輸出到光耦隔離驅(qū)動(dòng)電路3。光耦隔離驅(qū)動(dòng)電路3對(duì)由PWM信號(hào)發(fā)生電路2生成的兩路PWM信號(hào)PWMl、PWM2進(jìn)行光耦隔離，并進(jìn)行驅(qū)動(dòng)來(lái)放大功率，生成柵極驅(qū)動(dòng)信號(hào)Ugl和Ug2輸出到半橋功率主電路4，對(duì)半橋功率主電路4中的功率開(kāi)關(guān)管VTl、VT2的柵極進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。半橋功率主電路4如圖1所示，包括:分別與柵極驅(qū)動(dòng)信號(hào)Ugl和Ug2連接的第一功率開(kāi)關(guān)管VTl和第二功率開(kāi)關(guān)管VT2、相互串聯(lián)連接的電流檢測(cè)電阻R和負(fù)載磁軸承線圈L、以及與電流檢測(cè)電阻R連接的第一續(xù)流二極管VDl和與負(fù)載磁軸承線圈L連接的第二續(xù)流二極管VD2。利用來(lái)自光耦隔離驅(qū)動(dòng)電路3的柵極驅(qū)動(dòng)信號(hào)Ugl、Ug2，對(duì)功率開(kāi)關(guān)管VT1、VT2進(jìn)行控制，使得功率開(kāi)關(guān)管VT1、VT2能夠同時(shí)導(dǎo)通或者同時(shí)關(guān)斷。通過(guò)使半橋功率主電路5的功率開(kāi)關(guān)管VTl、VT2在柵極驅(qū)動(dòng)信號(hào)的控制下導(dǎo)通或關(guān)斷，在負(fù)載磁軸承線圈L中輸出與電流控制信號(hào)成比例的電流。將在與負(fù)載磁軸承線圈L串聯(lián)連接的電流檢測(cè)電阻R中流通的電流作為電流檢測(cè)電路5要檢測(cè)的電流輸出。電流檢測(cè)電路5對(duì)來(lái)自半橋功率主電路4的在負(fù)載磁軸承線圈L中流通的電流大小進(jìn)行檢測(cè)，將檢測(cè)出的電流值作為電流反饋信號(hào)輸出至電流誤差信號(hào)處理電路I。
[0018]圖2示出了本發(fā)明的涉及的用于磁懸浮渦輪分子泵的開(kāi)關(guān)功率放大器中的PWM信號(hào)發(fā)生電路2的電路連接圖。如圖2所示，PWM信號(hào)發(fā)生電路2將三角波載波信號(hào)通過(guò)運(yùn)算放大器A5跟隨后，分別輸入到比較器A7的反相輸入端和比較器AS的同相輸入端。另一方面，將運(yùn)算后的電流誤差信號(hào)經(jīng)運(yùn)算放大器A6反相后，分別輸入到比較器A7的同相輸入端和比較器A8的反相輸入端。比較器A8的輸出信號(hào)為脈寬調(diào)制信號(hào)PWM1,比較器A7的輸出信號(hào)為脈寬調(diào)制信號(hào)PWM2。
[0019]圖3示出了本發(fā)明涉及的用于磁懸浮渦輪分子泵的開(kāi)關(guān)功率放大器中的電流檢測(cè)電路5的電路連接圖。如圖3所示，由于電流檢測(cè)電阻R是串接在半橋功率主電路4的功率開(kāi)關(guān)管VTl的漏極與續(xù)流二極管VDl的陰極的相連處和負(fù)載磁軸承線圈L之間的，因此在將電流檢測(cè)電阻R兩端的電位+IN1、-1Nl分別接入到運(yùn)算放大器Al的同相輸入端和反相輸入端進(jìn)行差分放大時(shí)，在運(yùn)算放大器Al的同相輸入端和反相輸入端就會(huì)有相當(dāng)高的共模電壓信號(hào)，如果差分運(yùn)算放大器的抑制共模信號(hào)的能力較弱，就會(huì)在電流檢測(cè)過(guò)程中引起干擾。在本發(fā)明中，采用能夠在輸入高共模電壓信號(hào)時(shí)進(jìn)行差分運(yùn)算的運(yùn)算放大器AD628，從而能夠有效地解決高共模電壓信號(hào)對(duì)電流檢測(cè)過(guò)程的影響。經(jīng)過(guò)由運(yùn)算放大器Al和運(yùn)算放大器A2構(gòu)成的差分運(yùn)算放大電路U1、以及由運(yùn)算放大器A3、線性光耦U2和運(yùn)算放大器A4構(gòu)成的線性光耦隔離電路，輸出作為流過(guò)負(fù)載磁軸承線圈L的實(shí)際電流大小的電流反饋信號(hào)。
[0020]此外，在半橋功率主電路4中設(shè)置的第一功率開(kāi)關(guān)管VTl使用P溝道M0SFET，第二功率開(kāi)關(guān)管VT2使用N溝道MOSFET。
[0021]此外，如圖1所示，第一功率開(kāi)關(guān)管VTl的柵極驅(qū)動(dòng)信號(hào)Ugl的參考地電位為半橋功率主電路4中的母線電源的正極電位+U，第二功率開(kāi)關(guān)管VT2的柵極驅(qū)動(dòng)信號(hào)Ug2的參考地電位為半橋功率主電路4中的母線電源的地電位GND。
[0022]本發(fā)明與現(xiàn)有的用于磁軸承系統(tǒng)的開(kāi)關(guān)功率放大器相比，具有如下優(yōu)點(diǎn):
[0023]( I)與現(xiàn)有的電磁軸承開(kāi)關(guān)功率放大器的半橋或全橋功率主電路普遍采用的同類型的功率開(kāi)關(guān)管相比，本發(fā)明通過(guò)在功率主電路中的高壓端采用P溝道M0SFET，在低壓端采用傳統(tǒng)功率主電路低壓端使用的N溝道M0SFET，能夠有效地簡(jiǎn)化功率主電路的高壓端驅(qū)動(dòng)電路。這是因?yàn)閭鹘y(tǒng)的開(kāi)關(guān)功率放大器中的功率主電路的高壓側(cè)功率開(kāi)關(guān)管和低壓側(cè)功率開(kāi)關(guān)管均采用同類型的N溝道開(kāi)關(guān)管，這樣在高壓端的柵極驅(qū)動(dòng)電路中通常就需要使用獨(dú)立懸浮電源、自舉電源或帶有隔離變壓器的驅(qū)動(dòng)電路才能夠?qū)崿F(xiàn)。與此相對(duì)，在本發(fā)明中，高壓端采用P溝道MOSFET后，功率開(kāi)關(guān)管VTl的柵極驅(qū)動(dòng)信號(hào)Ugl的參考地即為半橋功率主電路4的母線電源的正極+U，從而不需要使用獨(dú)立懸浮電源、自舉電源或帶有隔離變壓器的驅(qū)動(dòng)電路，就能夠?qū)崿F(xiàn)高壓側(cè)功率開(kāi)關(guān)管的驅(qū)動(dòng)。
[0024]( 2 )此外，與現(xiàn)有的電磁軸承開(kāi)關(guān)功率放大器中的PWM信號(hào)生成電路相比，本發(fā)明中采用的PWM信號(hào)生成電路非常簡(jiǎn)單，使用兩個(gè)比較器即可實(shí)現(xiàn)PWM信號(hào)的生成。
[0025]( 3)與現(xiàn)有的電磁軸承開(kāi)關(guān)功率放大器中的采用霍爾電流傳感器的電流檢測(cè)電路相比，本發(fā)明中的電流檢測(cè)電路通過(guò)采用高共模輸入差分運(yùn)算放大器和線性光耦來(lái)實(shí)現(xiàn)磁軸承線圈電流的檢測(cè)，能夠節(jié)省成本并且減小電路體積。
[0026]雖然以上結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了具體說(shuō)明，但是可以理解，上述說(shuō)明不以任何形式限制本發(fā)明。本領(lǐng)域技術(shù)人員在不偏離本發(fā)明的實(shí)質(zhì)精神和范圍的情況下可以根據(jù)需要對(duì)本發(fā)明進(jìn)行變形和變化，這些變形和變化均落入本發(fā)明的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于磁懸浮渦輪分子泵的開(kāi)關(guān)功率放大器，其特征在于，包括: 電流誤差信號(hào)處理電路(1)，對(duì)輸入的電流控制信號(hào)和電流反饋信號(hào)進(jìn)行求差運(yùn)算，對(duì)所得到的差值進(jìn)行比例積分運(yùn)算后輸出至PWM信號(hào)發(fā)生電路(2); PWM信號(hào)發(fā)生電路(2)，對(duì)來(lái)自所述電流誤差信號(hào)處理電路(1)的信號(hào)進(jìn)行PWM調(diào)制處理，生成并輸出兩個(gè)PWM信號(hào)(PWM1和PWM2)； 光耦隔離驅(qū)動(dòng)電路(3 )，對(duì)所述PWM信號(hào)發(fā)生電路(2 )生成的所述兩個(gè)PWM信號(hào)(PWMl和PWM2)進(jìn)行光耦隔離，并進(jìn)行驅(qū)動(dòng)來(lái)放大功率，生成并輸出用于對(duì)下一級(jí)電路中的功率開(kāi)關(guān)管(VTl和VT2)的柵極進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的柵極驅(qū)動(dòng)信號(hào)(Ugl和Ug2)； 半橋功率主電路(4)，包括第一功率開(kāi)關(guān)管(VT1)、第二功率開(kāi)關(guān)管(VT2)、第一續(xù)流二極管(VD1)、第二續(xù)流二極管(VD2)、電流檢測(cè)電阻(R)和負(fù)載磁軸承線圈(L)，分別利用來(lái)自所述光耦隔離驅(qū)動(dòng)電路(3)的所述柵極驅(qū)動(dòng)信號(hào)(Ugl和Ug2)，對(duì)各個(gè)所述功率開(kāi)關(guān)管(VTl和VT2)進(jìn)行控制，使得所述功率開(kāi)關(guān)管(VTl和VT2)同時(shí)導(dǎo)通或者同時(shí)關(guān)斷，由此在所述負(fù)載磁軸承線圈(L)中生成的電流作為待檢測(cè)電流輸出；和 電流檢測(cè)電路(5)，用于檢測(cè)來(lái)自半橋功率主電路(4)的在所述負(fù)載磁軸承線圈(L)中流通的電流的大小，將檢測(cè)出的電流值作為電流反饋信號(hào)輸出至所述電流誤差信號(hào)處理電路(1)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于磁懸浮渦輪分子泵的開(kāi)關(guān)功率放大器，其特征在于: 所述PWM信號(hào)發(fā)生電路(2)具備: 多個(gè)運(yùn)算放大器，包括第一運(yùn)算放大器(A5)和第二運(yùn)算放大器(A6);和 多個(gè)比較器，包括第一比較器(A7)和第二比較器(AS)， 通過(guò)所述第一運(yùn)算放大器(A5)對(duì)輸入的載波信號(hào)進(jìn)行跟隨后，將得到的信號(hào)分別輸入到所述第一比較器(A7)的反相輸入端和所述第二比較器(AS)的同相輸入端， 通過(guò)所述第二運(yùn)算放大器(A6)將來(lái)自所述電流誤差信號(hào)處理電路(1)的信號(hào)反相后，將得到的信號(hào)分別輸入到所述第一比較器(A7)的同相輸入端和所述第二比較器(AS)的反相輸入端， 所述第二比較器(AS)輸出第一脈寬調(diào)制信號(hào)(PWM1)，所述第一比較器(A7)輸出第二脈寬調(diào)制信號(hào)(PWM2)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于磁懸浮渦輪分子泵的開(kāi)關(guān)功率放大器，其特征在于: 在所述半橋功率主電路(4)中，所述第一功率開(kāi)關(guān)管(VTl)使用P溝道MOSFET，所述第二功率開(kāi)關(guān)管(VT2)使用N溝道MOSFET，所述第一功率開(kāi)關(guān)管(VTl)的柵極驅(qū)動(dòng)信號(hào)(Ugl)的參考地電位為所述半橋功率主電路(4)中的母線電源的正極電位(+U)，所述第二功率開(kāi)關(guān)管(VT2)的柵極驅(qū)動(dòng)信號(hào)(Ug2)的參考地電位為所述半橋功率主電路(4)中的母線電源的地電位(GND)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于磁懸浮渦輪分子泵的開(kāi)關(guān)功率放大器，其特征在于: 在所述半橋功率主電路(4)中，所述第一功率開(kāi)關(guān)管(VTl)的漏極與所述第一續(xù)流二極管(VDl)的陰極連接，所述第二功率開(kāi)關(guān)管(VT2)的漏極與所述第二續(xù)流二極管(VD2)的陽(yáng)極連接， 所述電流檢測(cè)電阻(R)的一端與所述第一功率開(kāi)關(guān)管(VTl)的漏極連接，另一端與所述負(fù)載磁軸承線圈(L)的一端連接，所述負(fù)載磁軸承線圈(L)的另一端與所述第二功率開(kāi)關(guān)管(VT2)的漏極連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于磁懸浮渦輪分子泵的開(kāi)關(guān)功率放大器，其特征在于: 所述電流檢測(cè)電路(5)具備: 差分運(yùn)算放大電路(Ul )，包括第三運(yùn)算放大器(Al)和第四運(yùn)算放大器(A2);和線性光耦隔離電路，包括第五運(yùn)算放大器(A3)、線性光耦(U2)和第六運(yùn)算放大器(A4)， 所述半橋功率主電路(4)中的所述電流檢測(cè)電阻(R)兩端的電位(+IN1、-1N1)分別接入到所述第三運(yùn)算放大器(Al)的同相輸入端和反相輸入端，經(jīng)由所述差分運(yùn)算放大電路(Ul)和與其串聯(lián)連接的所述線性光耦隔離電路，輸出與流過(guò)所述半橋功率主電路(4)中的所述負(fù)載磁軸承線圈L的電流成正比的電壓信號(hào)作為電流反饋信號(hào)。
【文檔編號(hào)】H03F1/02GK103973239SQ201310030526
【公開(kāi)日】2014年8月6日 申請(qǐng)日期:2013年1月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月25日
【發(fā)明者】洪申平, 張亮, 沙宏磊, 俞天野, 項(xiàng)海銘 申請(qǐng)人:天津飛旋科技研發(fā)有限公司